本實(shí)用新型涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種基板搬送裝置。
背景技術(shù):
彩膜工廠的顯影設(shè)備主要是利用顯影液將基板表面不需要的光刻膠清洗除去以獲得設(shè)計所需要的形狀,為保證顯影的均勻性,防止顯影不良產(chǎn)生,基板在在顯影過程中,需要保持表面平整無凹凸,流動速度均勻無波動。
目前顯影設(shè)備采用兩頭支撐、單側(cè)驅(qū)動的裝有滾輪的Shaft(搬送軸)搬送基板;基板搬送過程不可避免存在抖動,利用Shaft材質(zhì)本身的高強(qiáng)度控制基板的彎曲以滿足工藝要求。在彩膜10.5世代工場生產(chǎn)的玻璃基板尺寸為3370*2940,導(dǎo)致顯影設(shè)備使用的Shaft長達(dá)3300mm,難于保證基板表面的平整,同時也給Shaft更換清潔作業(yè)帶來困難。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供一種基板搬送裝置,保證基板表面的平整度,降低清潔作業(yè)難度。
為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種基板搬送裝置,包括多個平行設(shè)置的傳送軸,設(shè)置于所述傳送軸相對的第一端和第二端的支撐結(jié)構(gòu),以及用于驅(qū)動傳送軸轉(zhuǎn)動的驅(qū)動結(jié)構(gòu),每個所述傳送軸沿其長度方向至少劃分為兩部分,相鄰兩部分所述傳送軸之間設(shè)有連接結(jié)構(gòu),所述支撐結(jié)構(gòu)與所述連接結(jié)構(gòu)相配合使得每個所述傳送軸整體位于一水平面上。
進(jìn)一步的,每個所述傳送軸沿其長度方向包括第一部分和第二部分,所述連接結(jié)構(gòu)包括:
連接所述第一部分的第一軸承和連接所述第二部分的第二軸承;
設(shè)置于所述第一部分和所述第二部分之間的第一支撐架,所述第一支撐架上設(shè)有用于安裝所述第一軸承和所述第二軸承的第一軸承槽。
進(jìn)一步的,所述第一軸承槽上設(shè)有導(dǎo)向槽,所述第一軸承的外部和所述第二軸承的外部均固定連接有連接件,所述連接件具有能夠插接于所述導(dǎo)向槽內(nèi)、以防止相應(yīng)的所述傳送軸在與所述傳送軸徑向相平行的方向跳動的插接部;所述導(dǎo)向槽的延伸方向與所述傳送軸的延伸方向一致。
進(jìn)一步的,所述第一支撐架上沿其長度方向設(shè)有壓板,所述壓板覆蓋于所述第一軸承槽上以防止所述傳送軸在與水平面垂直的方向跳動。
進(jìn)一步的,每個所述傳送軸沿其長度方向包括第一部分和第二部分,且所述第一部分的長度和所述第二部分的長度相等,所述第一支撐架上包括數(shù)量與所述傳送軸數(shù)量相對應(yīng)的所述第一軸承槽。
進(jìn)一步的,所述第一軸承和所述第二軸承之間具有間隙。
進(jìn)一步的,所述支撐結(jié)構(gòu)包括第二支撐架,所述第二支撐架設(shè)有數(shù)量與所述傳送軸的數(shù)量相對應(yīng)的第二軸承槽,所述第二軸承槽內(nèi)安裝有第三軸承以與所述第一部分或所述第二部分連接。
進(jìn)一步的,所述第二支撐架上設(shè)置有壓條,所述壓條覆蓋于所述第二軸承槽上以防止所述傳送軸在與水平面垂直的方向跳動。
進(jìn)一步的,所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述傳送軸第一端的第一驅(qū)動部和設(shè)置于所述傳送軸第二端的第二驅(qū)動部,所述第一驅(qū)動部和所述第二驅(qū)動部相配合以使得每個傳送軸的所述第一部分和所述第二部分同時轉(zhuǎn)動,且使得多個傳送軸同時轉(zhuǎn)動。
進(jìn)一步的,所述第一驅(qū)動部的結(jié)構(gòu)和所述第二驅(qū)動部的結(jié)構(gòu)相同,所述第一驅(qū)動部包括:
驅(qū)動馬達(dá);
傳動結(jié)構(gòu),與多個所述傳送軸的相應(yīng)的所述第一部分連接,用于在所述驅(qū)動馬達(dá)的驅(qū)動下驅(qū)動多個所述傳送軸同時轉(zhuǎn)動。
本實(shí)用新型的有益效果是:傳送軸由至少兩部分組成,避免傳送軸轉(zhuǎn)動過程中的抖動,保證基板表面的平整,降低清潔作業(yè)難度。
附圖說明
圖1表示本實(shí)用新型實(shí)施例中基板搬送裝置結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2表示本實(shí)用新型實(shí)施例中基板搬送裝置局部結(jié)構(gòu)放大示意圖;
圖3表示本實(shí)用新型實(shí)施例中連接結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4表示本實(shí)用新型實(shí)施例中基板搬送裝置局部結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5表示圖4的仰視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的特征和原理進(jìn)行詳細(xì)說明,所舉實(shí)施例僅用于解釋本實(shí)用新型,并非以此限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
如圖1和圖2所示(圖1和圖2為基板搬送裝置的剖視圖),本實(shí)施例提供一種基板搬送裝置,包括多個平行設(shè)置的傳送軸1,設(shè)置于所述傳送軸1相對的第一端和第二端的支撐結(jié)構(gòu)3,以及用于驅(qū)動傳送軸1轉(zhuǎn)動的驅(qū)動結(jié)構(gòu)2,每個所述傳送軸1沿其長度方向至少劃分為兩部分,相鄰兩部分所述傳送軸1之間設(shè)有連接結(jié)構(gòu)4,所述支撐結(jié)構(gòu)3與所述連接結(jié)構(gòu)4相配合使得每個所述傳送軸1整體位于一水平面上。
每個所述傳送軸1由至少兩部分組成,不但在所述傳送軸1相對的第一端和第二端設(shè)置支撐結(jié)構(gòu)3,在相鄰兩部分傳送軸1之間也設(shè)有連接結(jié)構(gòu)4以實(shí)現(xiàn)對傳送軸1的支撐,相對于現(xiàn)有技術(shù)中的每個傳送軸1整體式設(shè)置,本實(shí)施中的傳送軸1的分體式設(shè)置,縮短了傳送軸1的長度,降低了傳送軸1在轉(zhuǎn)動過程中的抖動,提高了基板傳送的平穩(wěn)性,保證了基板表面的平整,降低了清潔作業(yè)難度。
每個所述傳送結(jié)構(gòu)沿其長度方向可以包括兩部分或者兩個以上的部分,可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定,以下以每個所述傳送軸1包括兩部分為例具體介紹本實(shí)施例中基板搬送裝置的具體結(jié)構(gòu)形式。
所述連接結(jié)構(gòu)4的具體結(jié)構(gòu)形式也可以有多種,只要實(shí)現(xiàn)相應(yīng)的部分的傳送軸1的支撐和轉(zhuǎn)動即可,本實(shí)施例中,如圖2所示,每個所述傳送軸1沿其長度方向包括第一部分11和第二部分12,所述連接結(jié)構(gòu)4包括:
連接所述第一部分11的第一軸承41和連接所述第二部分12的第二軸承42;
設(shè)置于所述第一部分11和所述第二部分12之間的第一支撐架43,所述第一支撐架43上設(shè)有用于安裝所述第一軸承41和所述第二軸承42的第一軸承槽46。
本實(shí)施例中,所述第一軸承槽46均勻的分布于所述第一支撐架43上。
進(jìn)一步的,所述第一軸承槽46上設(shè)有導(dǎo)向槽45,所述第一軸承41的外部和所述第二軸承42的外部均固定連接有連接件,所述連接件具有能夠插接于所述導(dǎo)向槽45內(nèi)、以防止相應(yīng)的所述傳送軸1在與所述傳送軸1徑向相平行的方向跳動的插接部。
本實(shí)施例中,所述連接件為軸承套。
本實(shí)施例一實(shí)施方式中,第一軸承41和第二軸承42的外部可分別套設(shè)一個軸承套,相應(yīng)的,在第一軸承槽46上對應(yīng)于相應(yīng)的軸承套的位置設(shè)有導(dǎo)向槽45。
為了保證每個傳送軸1的第一部分11和第二部分12在同一水平面上,且降低制作難度,本實(shí)施例中另一實(shí)施方式中,所述第一軸承41和第二軸承42共用一個軸承套40,所述第一軸承槽46上對應(yīng)于軸承套40的插接部的位置設(shè)有導(dǎo)向槽45。
圖3表示的是連接結(jié)構(gòu)的剖視圖,傳送軸1的第一部分11通過第一軸承41(或傳送軸的第二部分12通過第二軸承42)安裝于第一軸承槽46內(nèi),第一軸承41(或第二軸承42)的外部套設(shè)有軸承套40,軸承套40的插接部插接于導(dǎo)向槽45內(nèi),
導(dǎo)向槽45的設(shè)置可以保證相鄰兩部分搬送軸在沿傳送軸1的長度方向(圖示中的Y方向)上的同一直線上,防止相鄰兩部分傳送軸1在高速轉(zhuǎn)動過程中發(fā)生前后跳動,即在基板傳送方向(X方向)上的跳動,從而防止兩部分傳送軸1在交接處沿X方向出現(xiàn)偏移,導(dǎo)致搬送異常。
進(jìn)一步的,所述導(dǎo)向槽45的延伸方向與所述傳送軸1的延伸方向一致。
進(jìn)一步的,所述第一支撐架43上沿其長度方向設(shè)有壓板44,所述壓板44覆蓋于所述第一軸承槽46上以防止所述傳送軸1在與水平面垂直的方向跳動。
壓板44的設(shè)置防止傳送軸1在轉(zhuǎn)動時產(chǎn)生大幅度的跳動,保證基板運(yùn)送的平穩(wěn)性。
壓板44與第一支撐架43的連接方式有多種,只要實(shí)現(xiàn)覆蓋于所述第一軸承槽46上以防止所述傳送軸1在與水平面垂直的方向跳動的目的即可,本實(shí)施例中壓板44通過螺釘441固定設(shè)置于第一支撐架43上。
優(yōu)選的,每個所述傳送軸1沿其長度方向包括第一部分11和第二部分12,且所述第一部分11的長度和所述第二部分12的長度相等,所述第一支撐架43上包括數(shù)量與所述傳送軸1數(shù)量相對應(yīng)的所述第一軸承槽46。
優(yōu)選的,如圖2所示,為了防止傳送軸1在轉(zhuǎn)動時,第一部分11靠近第二部分12的一端和第二部分12靠近第一部分11的一端接觸產(chǎn)生干涉,所述第一軸承41和所述第二軸承42之間具有間隙L。
該間隙L的大小根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定,本實(shí)施例中優(yōu)選的,所述間隙為10mm。
本實(shí)施例中,所述支撐結(jié)構(gòu)3的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種,所述支撐結(jié)構(gòu)3的具體結(jié)構(gòu)形式可以與所述連接結(jié)構(gòu)4相同也可以不同,只要實(shí)現(xiàn)傳送軸1的支撐即可,本實(shí)施例中,所述支撐結(jié)構(gòu)3包括第二支撐架,所述第二支撐架設(shè)有數(shù)量與所述傳送軸1的數(shù)量相對應(yīng)的第二軸承槽,所述第二軸承槽內(nèi)安裝有第三軸承以與所述第一部分11或所述第二部分12連接。
所述第二軸承槽內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向槽,防止傳送軸1在基板傳送方向上產(chǎn)生跳動,導(dǎo)致搬送異常。
進(jìn)一步的,所述第二支撐架上設(shè)置有壓條,所述壓條覆蓋于所述第二軸承槽上以防止所述傳送軸1在與水平面垂直的方向跳動。
本實(shí)施例中,所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)2包括設(shè)置于所述傳送軸1第一端的第一驅(qū)動部和設(shè)置于所述傳送軸1第二端的第二驅(qū)動部,所述第一驅(qū)動部和所述第二驅(qū)動部相配合以使得每個傳送軸1的所述第一部分11和所述第二部分12同時轉(zhuǎn)動,且使得多個傳送軸1同時轉(zhuǎn)動。
進(jìn)一步的,所述第一驅(qū)動部的結(jié)構(gòu)和所述第二驅(qū)動部的結(jié)構(gòu)相同,如圖4和圖5所示,所述第一驅(qū)動部包括:
驅(qū)動馬達(dá)22;
傳動結(jié)構(gòu),與多個所述傳送軸1的相應(yīng)的所述第一部分11連接,用于在所述驅(qū)動馬達(dá)22的驅(qū)動下驅(qū)動多個所述傳送軸1同時轉(zhuǎn)動。
所述傳動結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于驅(qū)動馬達(dá)22的驅(qū)動軸和傳送軸1之間的傳動軸21,傳動軸21與驅(qū)動軸之間、傳動軸21與傳送軸1之間均通過傳動齒輪連接。
所述傳動齒輪包括設(shè)置于驅(qū)動馬達(dá)22的驅(qū)動軸和傳送軸1上的第一45°斜向齒輪13,以及,傳動軸21上的多個分別與驅(qū)動軸的45°斜向齒輪和傳送軸1上的45°斜向齒輪匹配的第二45°斜向齒輪211。
驅(qū)動軸通過傳動齒輪帶動傳動軸21轉(zhuǎn)動,使得傳動軸21驅(qū)動同側(cè)的多根傳送軸1同時轉(zhuǎn)動,保證傳動的一致性。
本實(shí)施例中,通過PLC控制驅(qū)動馬達(dá)22的轉(zhuǎn)速,實(shí)現(xiàn)對傳送軸1搬送速度的控制,且實(shí)現(xiàn)傳送軸1上至少兩部分的傳送軸1的同時轉(zhuǎn)動。
以上為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例,需要說明的是,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型保護(hù)范圍。