本發(fā)明主要涉及一種對光掩模(photomask)進(jìn)行收納的盒。該光掩模用于制作例如液晶電視或有機(jī)el電視等畫面，是通過“光刻”轉(zhuǎn)印技術(shù)而將電子器件的電路圖案等轉(zhuǎn)印在被轉(zhuǎn)印物之時的原版(玻璃制光掩模)。

背景技術(shù)：

1、(1.1.以往的收納盒的說明)

2、圖14～圖22表示以往的合成樹脂制的光掩模收納盒1。

3、該以往的收納盒1例如是用于收納玻璃制光掩模2的盒。該收納盒1例如如圖14、圖15、圖16、圖21、圖22所示，由上表面呈開口的合成樹脂制的矩形箱狀的下側(cè)盒部3、以及以開閉自如的方式將該下側(cè)盒部3的開口部封堵的合成樹脂制的上側(cè)盒部4構(gòu)成。

4、另外，如圖14、圖15所示，在上述收納盒1的下側(cè)的側(cè)壁部1a設(shè)置有腳輪等移動機(jī)構(gòu)17。

5、所以，如果將上述收納盒1立起來，通過上述移動機(jī)構(gòu)17就能夠移動。

6、另外，在上述下側(cè)盒部3的上下左右的各側(cè)壁部3b、以及上述上側(cè)盒部4的上下左右的各側(cè)壁部4b，在相對應(yīng)的位置分別設(shè)置有：一方的連結(jié)固定部3c和另一方的連結(jié)固定部4c。

7、而且，通過將所對應(yīng)的各一方的連結(jié)固定部3c和另一方的連結(jié)固定部4c連結(jié)起來，使得上述下側(cè)盒部3和上側(cè)盒部4被固定。

8、另外，上述收納盒1在一般情況下，當(dāng)收納光掩模時，呈傾斜、或者躺著而被使用。另外，上述收納盒1在保管光掩模時、移動時，則是立起來而被使用。

9、上述收納盒1例如為：高度大約1000mm、寬度大約1200mm、厚度大約250mm的大小。

10、而且，例如，高度800mm、寬度945mm、厚度8.0mm或10.0mm的矩形狀的玻璃制光掩模2被收納于上述收納盒1。

11、(1.2.上側(cè)盒部3的說明)

12、上述下側(cè)盒部3例如，如圖16～圖18所示，由矩形板狀的底板部3a與矩形板狀的側(cè)壁部3b構(gòu)成，其中，側(cè)壁部3b設(shè)置成：分別粘貼于該底板部3a的上邊、下邊、左邊、右邊。

13、另外，在上述下側(cè)盒部3的底板部3a的上表面的四角，分別固定有光掩模定位載放部5。

14、而且，通過該光掩模定位載放部5，分別載放被收納于上述下側(cè)盒部3內(nèi)的光掩模2的各角部，且對其定位。

15、(1.2.1.光掩模定位載放部5的說明)

16、該光掩模定位載放部5例如如圖17以及圖18所示，由被固定在上述底板部3a上表面的板體5a、立設(shè)于該板體5a上表面而形成的立設(shè)部5b、設(shè)置于上述板體5a上表面的槽部5c、以及嵌入于上述槽部5c的緩沖部件5d構(gòu)成。

17、上述立設(shè)部5b具有：供上述光掩模2的角部抵接的l字狀的欠缺部等角部定位部6。

18、另外，緩沖部件5d例如由圓形管狀的合成樹脂制部件形成。

19、另外，該緩沖部件5d在上端從上述板體5a的上表面突出來的狀態(tài)下被嵌入于上述槽部5c。

20、另外，為了容易將光掩模2載放在上述四角的定位載放部5，在上述角部定位部6與上述光掩模2之間形成有些許的間隙。

21、所以，通過后面敘述的下部支承載放部7與上部挾持部8，對光掩模2進(jìn)行挾持來限制上下方向的移動。

22、另外，通過后面敘述的左側(cè)挾持部9與右側(cè)挾持部10，對光掩模2進(jìn)行挾持來限制左右方向的移動。

23、另外，也可以在上述l字狀的欠缺部6設(shè)置槽部5e，而且，使上述緩沖部件5d嵌入于該槽部5e。

24、(1.2.2.下側(cè)支承載放部7、上部挾持部8的說明)

25、另外，在上述下側(cè)盒部3的底板部3a的上表面的下部中央部(下部的左右方向上的中央部)，如圖16所示，設(shè)置有下部支承載放部7。

26、該下部支承載放部7用于載放上述光掩模2的下邊，而且在使上述收納盒1立起來時，對上述光掩模2的下邊進(jìn)行支承。

27、另外，在上述底板部3a的上表面的上部中央部(上部的左右方向上的中央部)設(shè)置有：在上下方向上移動自如的上部挾持部8。

28、而且，通過該上部挾持部8與上述下部支承載放部7，在上下方向上對上述光掩模2進(jìn)行挾持。

29、通過該挾持，上述光掩模2的上下方向上的移動被限制。

30、上述支承載放部7例如，由被固定在上述底板部3a上表面的板體7a、立設(shè)于該板體7a上表面的下部而形成的立設(shè)部7b、設(shè)置于上述板體7a上表面的槽部7c、以及嵌入于上述槽部7c的緩沖部件7d構(gòu)成。

31、通過上述立設(shè)部7b，對上述光掩模2的下邊進(jìn)行支承。

32、另外，緩沖部件7d例如由圓形管狀的合成樹脂制部件形成。

33、另外，緩沖部件7d在上端從上述板體7a的上表面突出來的狀態(tài)下被嵌入于上述槽部7c。

34、另外，也可以在上述立設(shè)部7b設(shè)置槽部，而且，使緩沖部件嵌入于該槽部。

35、另外，上述上部挾持部8例如，由相對于上述底板部3a而在上下方向上移動自如地設(shè)置的矩形板體8a、分別在該矩形板體8a的左右側(cè)設(shè)置的且沿著上下方向延伸的長孔8b、插入于該長孔8b且與上述底板部3a的螺紋孔(未圖示)螺合的固定螺栓8c、以及在上述矩形板體8a的下邊端面設(shè)置的且沿著左右方向延伸的槽部8d構(gòu)成。

36、而且，上述光掩模2的上邊嵌入于上述槽部8d。

37、而且，松緩上述固定螺栓8c，使移動到上方的上述上部挾持部8向下方移動，從而將上述光掩模2的上邊插入于該挾持部8的槽部8d。

38、而且，通過上述挾持部8與上述下部支承載放部7而對上述光掩模2進(jìn)行挾持。

39、而且，利用上述固定螺栓8c進(jìn)行固定，在上下方向上對上述光掩模2進(jìn)行固定。

40、另外，也可以在上述槽部8d設(shè)置槽部，而且，將光掩模用的緩沖部件設(shè)置在該槽部。

41、(1.2.3.左側(cè)挾持部9、右側(cè)挾持部10的說明)

42、另外，在上述下側(cè)盒部3的底板部3a的上表面的左側(cè)中央部(左側(cè)的上下方向的中央部)，如圖16所示，設(shè)置有：在上下方向上移動自如的左側(cè)挾持部9。

43、另外，在上述下側(cè)盒部3的底板部3a的上表面的右側(cè)中央部(右側(cè)的上下方向的中央部)，設(shè)置有：在上下方向上移動自如的右側(cè)挾持部10。

44、而且，通過上述左側(cè)挾持部9與上述右側(cè)挾持部10，在左右方向上對上述光掩模2進(jìn)行挾持而固定。

45、上述左側(cè)挾持部9例如，由相對于上述底板部3a而在上下方向上移動自如地設(shè)置的矩形板體9a、分別在該矩形板體9a的上下側(cè)設(shè)置的且沿著左右方向延伸的長孔9b、插入于該長孔9b且與上述底板部3a的螺紋孔(未圖示)螺合的固定螺栓9c、以及在上述矩形板體8a的右側(cè)邊端面設(shè)置的且沿著上下方向延伸的槽部9d構(gòu)成。

46、另外，上述右側(cè)挾持部10例如，由相對于上述底板部3a而在上下方向上移動自如地設(shè)置的矩形板體10a、分別在該矩形板體10a的上下側(cè)設(shè)置的且沿著左右方向延伸的長孔10b、插入于該長孔10b且與上述底板部3a的螺紋孔(未圖示)螺合的固定螺栓10c、以及在上述矩形板體10a的左側(cè)邊端面設(shè)置的且沿著上下方向延伸的槽部10d構(gòu)成。

47、而且，松緩左右的挾持部9、10的上述各固定螺栓9c、10c，使移動到左側(cè)的上述左側(cè)挾持部9和移動到右側(cè)的上述右側(cè)挾持部10朝著相互接近的方向進(jìn)行移動。

48、而且，將上述光掩模2的左側(cè)邊和右側(cè)邊插入且挾持于上述各挾持部9、10的槽部9d、10d。

49、而且，利用上述各固定螺栓9c、10c，對上述各挾持部9、10進(jìn)行固定，從而在左右方向上對上述光掩模2進(jìn)行固定。

50、另外，也可以在上述槽部8d、10d分別設(shè)置槽部，而且，使光掩模用的緩沖部件嵌入于該槽部。

51、另外，如圖19以及圖20所示，在上述下側(cè)盒部3的上述各側(cè)壁部3b的上端面外側(cè)，形成有階梯部11，該階梯部11具有沿著周向形成的立起部。

52、另外，在上述上端面內(nèi)側(cè)設(shè)置有：沿著周向形成的槽部12，而且，緩沖部件13插入于該槽部12。

53、該緩沖部件13例如由圓形管狀的合成樹脂制部件形成。

54、另外，該緩沖部件13在上端從上述上端面突出來的狀態(tài)下被嵌入于上述槽部12。

55、另外，如圖21所示，在上述上側(cè)盒部4的下端面內(nèi)側(cè)形成有階梯部14，該階梯部14具有：沿著周向的立起部。

56、而且，上述階梯部14嵌入于上述下側(cè)盒部3的階梯部11的內(nèi)側(cè)，上述下側(cè)盒部3通過上側(cè)盒部4而被封堵。

57、另外，上述上側(cè)盒部4的各側(cè)壁部的平坦?fàn)畹南露嗣媾c上述緩沖部件13緊密接觸，從而保持氣密性。

58、(1.3.上側(cè)盒部4的說明)

59、另外，上述上側(cè)盒部4例如如圖21所示，由矩形板狀的頂板部4a、以及分別粘貼在該頂板部4a的上邊、下邊、左邊、右邊而設(shè)置的矩形板狀的側(cè)壁部4b構(gòu)成。

60、在上述上側(cè)盒部4的頂板部4a的下表面的四角設(shè)置有矩形板狀的按壓部15。

61、上述各按壓部15的位置與上述下側(cè)盒部3的各定位載放部5的位置相對應(yīng)。

62、而且，光掩模2通過上述按壓部15與上述定位載放部5而被挾持。

63、另外，上述按壓部15在與上述下側(cè)盒部3的各緩沖部件5d相對應(yīng)的位置具有槽部15a。

64、而且，緩沖部件15b嵌入于該槽部15a。

65、另外，上述緩沖部件15b例如由圓形管狀的合成樹脂制部件形成。

66、另外，上述緩沖部件15b在上端從上述按壓部15的面突出來的狀態(tài)下被嵌入于上述槽部15a。

67、而且，上述光掩模2在利用上述上側(cè)盒部4而被封堵在上述下側(cè)盒部3時，通過上述緩沖部件5d與上述緩沖部件15b而被挾持且被固定。

68、另外，在上述上側(cè)盒部4的頂板部4a的下表面設(shè)置有矩形板狀的按壓部16。

69、上述按壓部16的位置與上述下側(cè)盒部3的下部支承載放部7的位置相對應(yīng)。

70、而且，光掩模2通過上述按壓部16與上述下部支承載放部7而被挾持。

71、上述按壓部16在與上述下側(cè)盒部3的緩沖部件7d相對應(yīng)的位置具有槽部16a。

72、緩沖部件16b嵌入于該槽部16a。

73、而且，該緩沖部件16b例如由管狀的合成樹脂制部件形成。

74、另外，該緩沖部件16b在上端從上述按壓部16的上表面突出來的狀態(tài)下被嵌入于上述槽部16a。

75、而且，上述光掩模2在利用上述上側(cè)盒部4而被封堵在上述下側(cè)盒部3時，通過上述緩沖部件7d與上述緩沖部件16b而被挾持且被固定。

76、(1.4.以往的收納盒的使用方法的說明)

77、在上述以往的收納盒1中，首先，解除上述各一方的連結(jié)固定部3c與上述各另一方的連結(jié)固定部4c之間的連結(jié)，再從上述下側(cè)盒部3將上述上側(cè)盒部4拆取下來。

78、然后，如圖22所示，將光掩模2載放在上述下側(cè)盒部3的四角的支承載放部5。

79、之后，通過上述下部支承載放部7與上述上部挾持部8而對該光掩模2進(jìn)行挾持來限制上下方向的移動。

80、另外，通過上述左側(cè)挾持部9與上述右側(cè)挾持部10進(jìn)行挾持來限制左右方向的移動。

81、然后，利用上述上側(cè)盒部4封堵上述下側(cè)盒部3。

82、之后，將上述各一方的連結(jié)固定部3c與上述各另一方的連結(jié)固定部4c連結(jié)起來。

83、據(jù)此，上述光掩模2被各緩沖部件挾持且被固定。

84、然后，將下側(cè)側(cè)壁部作為下側(cè)而將上述收納盒部2立起來，而且，通過上述腳輪17，能夠進(jìn)行移動。

85、作為例如以往的光掩模收納盒，例如，有專利文獻(xiàn)1。

86、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

87、專利文獻(xiàn)

88、專利文獻(xiàn)1：日本實用新型登錄第3171687號公報

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、(1.5.以往的收納盒的課題)

2、然而，由于上述上側(cè)盒部3以及上述下側(cè)盒部4是將各側(cè)壁部3b、4b貼合于底板部3a以及頂板部4a而形成的，因此，在制作上需要工時。

3、另外，一般情況下，即便光掩模的上下方向上的長度相同，也還是有其寬度方向的長度不同的3種光掩模。

4、另外，厚度也為8.0mm～10.0mm。

5、所以，以往，需要有與各種類的大小相對應(yīng)的收納盒，故而存在著缺乏通用性的缺點。

6、另外，在盡可能不使用接合劑等而形成的收納盒之中，由于各緩沖部件只是插入于槽部而已，因此，在將收納于收納盒的光掩模拆取下來時，有時緩沖部件會與光掩模粘連在一起而從槽部脫離出來。

7、另外，因為上述上側(cè)盒部3和下側(cè)盒部4之間的制造誤差等原因，有時上述上側(cè)盒部的階梯部與下側(cè)盒部的階梯部難以嵌合。

8、本發(fā)明是為了排除上述缺點而完成的。

9、即，能夠應(yīng)對不同的光掩模的大小。

10、另外，能夠防止緩沖部件從槽部脫離出來。

11、另外，使得上側(cè)盒部與下側(cè)盒部能夠利用相同模具來形成，從而提高了經(jīng)濟(jì)性。

12、本發(fā)明的光掩模收納盒是由下側(cè)盒部與封堵該下側(cè)盒部的上側(cè)盒部構(gòu)成，其特征在于，在上述下側(cè)盒部的底板部的上表面的四角分別設(shè)置有：載放被收納的光掩模的角部且進(jìn)行定位的在上下方向上移動自如的定位載放部，該各定位載放部分別被固定于上述下側(cè)盒部中的與被載放的各光掩模的寬度相對應(yīng)的所期望的位置，與該被載放的光掩模的寬度相對應(yīng)的所期望的位置設(shè)定為：即便是任意寬度的光掩模，被載放的各光掩模的左右方向上的中心位置也會與上述下側(cè)盒部的所期望的位置相一致。

13、另外，其特征在于，上述下側(cè)盒部的所期望的位置為：該下側(cè)盒部的左右方向上的中心的位置。

14、另外，其特征在于，在上述下側(cè)盒部的底板部的上表面形成有多個凹部，在上述定位載放部的下表面設(shè)置有：能夠嵌入于上述各凹部的凸部，通過使上述凸部嵌入于上述任意的凹部，上述各定位載放部被固定于上述下側(cè)盒部。

15、另外，其特征在于，在上述定位載放部的下表面形成有多個凹部，在上述下側(cè)盒部的底板部的上表面設(shè)置有：能夠嵌入于上述各凹部的凸部，通過使上述凸部嵌入于上述任意的凹部，上述各定位載放部被固定于上述下側(cè)盒部。

16、另外，其特征在于，在上述底板部的上表面設(shè)置有：作為上述凹部的位置標(biāo)記的顯示部。

17、另外，其特征在于，與上述被載放的光掩模的寬度相對應(yīng)的所期望的位置為3個，上述定位載放部根據(jù)被收納的光掩模的寬度而被固定于該3個位置的任意一者。

18、另外，其特征在于，上述被收納的光掩模的寬度為920mm、945mm、960mm這3種。

19、另外，其特征在于，還具有：插入于槽部的光掩模用的緩沖部件，該槽部形成在上述下側(cè)盒部或者上側(cè)盒部，該緩沖部件由比上述槽部的上表面開口部大的頭部、在該頭部的下部設(shè)置的插入片、以及在該插入片設(shè)置的且向上方延伸的1個或者多個倒鉤部構(gòu)成。

20、另外，其特征在于，上述頭部是：高度形成得比橫向?qū)挾刃〉墓堋?/p>

21、另外，其特征在于，在上述光掩模用的緩沖部件的頭部的上部的外表面形成有：具有無數(shù)凹凸的聚烯烴系樹脂層，該聚烯烴系樹脂層包含比例比上述部件所含有的增塑劑少的增塑劑。

22、另外，其特征在于，在上述光掩模用的緩沖部件的最下段的倒鉤部的下表面形成有：具有無數(shù)凹凸的聚烯烴系樹脂層，該聚烯烴系樹脂層包含比例比上述部件所含有的增塑劑少的增塑劑。

23、另外，其特征在于，由沿著周向而在上述下側(cè)盒部的側(cè)壁部的上端面形成的槽部、插入于該槽部的長條狀的盒用的緩沖部件、沿著周向而在上述上側(cè)盒部的側(cè)壁部的下端面形成的槽部、以及插入于該槽部的長條狀的盒用的緩沖部件構(gòu)成，關(guān)于上述各緩沖部件，其一方的外表面以及與其相對置的另一方的外表面中的任意一方外表面為平坦面，另一方的外表面形成為沿著長度方向延伸的凸部，上述各緩沖部件構(gòu)成為：上述緩沖部件的一方的外表面以及另一方的外表面中的任意一方外表面被插入于上述下側(cè)盒部的槽部，一方的外表面以及另一方的外表面中的任意另一方外表面被插入于上述上側(cè)盒部的槽部，在上述上側(cè)盒部被封堵于上述下側(cè)盒部的情況下，上述緩沖部件的平坦面與凸部相抵接。

24、另外，其特征在于，本發(fā)明的光掩模收納盒的光掩模挾持用的緩沖部件由插入于槽部的光掩模用的緩沖部件構(gòu)成，該槽部形成在由收納光掩模的下側(cè)盒部與上側(cè)盒部構(gòu)成的光掩模收納盒，該緩沖部件由比上述槽部的上表面開口部大的頭部、在該頭部的下部設(shè)置的插入片、以及在該插入片設(shè)置的且向上方延伸的1個或者多個倒鉤部構(gòu)成。

25、另外，其特征在于，上述頭部是：高度形成得比橫向?qū)挾刃〉墓堋?/p>

26、另外，其特征在于，在上述光掩模用的緩沖部件的頭部的上部的外表面形成有：具有無數(shù)凹凸的聚烯烴系樹脂層，該聚烯烴系樹脂層包含比例比上述部件所含有的增塑劑少的增塑劑。

27、另外，其特征在于，在上述光掩模用的緩沖部件的最下段的倒鉤部的下表面形成有：具有無數(shù)凹凸的聚烯烴系樹脂層，該聚烯烴系樹脂層包含比例比上述部件所含有的增塑劑少的增塑劑。

28、另外，本發(fā)明的光掩模收納盒由上述下側(cè)盒部、封堵下側(cè)盒部的上側(cè)盒部、沿著周向而在上述下側(cè)盒部的側(cè)壁部的上端面形成的槽部、插入于該槽部的長條狀的盒用的緩沖部件、沿著周向而在上述上側(cè)盒部的側(cè)壁部的下端面形成的槽部、以及插入于該槽部的長條狀的盒用的緩沖部件構(gòu)成，其特征在于，

29、關(guān)于上述各緩沖部件，其一方的外表面以及與其相對置的另一方的外表面中的任意一方外表面為平坦面，另一方的外表面形成為沿著長度方向延伸的凸部，上述各緩沖部件構(gòu)成為：上述緩沖部件的一方的外表面以及另一方的外表面中的任意一方外表面被插入于上述下側(cè)盒部的槽部，一方的外表面以及另一方的外表面中的任意另一方外表面被插入于上述上側(cè)盒部的槽部，在上述上側(cè)盒部被封堵于上述下側(cè)盒部的情況下，上述緩沖部件的平坦面與凸部相抵接。

30、【發(fā)明效果】

31、根據(jù)本發(fā)明，無論光掩模的種類如何，都能夠被收納于收納盒，另外，能夠使被收納的光掩模的中心位于收納盒的中心位置。

32、另外，在將光掩模2從收納盒取出之時，能夠防止緩沖部件與該光掩模粘連在一起而從槽部脫離出來的情形。

33、關(guān)于上下的盒部，由于能夠制成相同的，因此，能夠利用相同模具來形成上下的盒部，從而能夠提高經(jīng)濟(jì)性。