本技術涉及材料，更具體地，涉及一種可電動二維材料轉(zhuǎn)移平臺設備。

背景技術：

1、二維材料，是指電子僅可在兩個維度的納米尺度上自由運動(平面運動)的材料，如納米薄膜、超晶格、量子阱。二維材料是伴隨著成功分離出單原子層的石墨材料—石墨烯而提出的。

2、隨著石墨烯的發(fā)現(xiàn)，已經(jīng)徹底改變了二維層狀材料的研究。除石墨烯外，半導體過渡金屬硫族化合物(少層二硫化鉬，tmdcs)也受到了電子界的極大關注。早期研究人員認為二維材料是硅的潛在替代品，但生長出大面積、高質(zhì)量的二維材料成為了科學家們面臨的難題。因此，高質(zhì)量二維材料在基板上生長并干凈的轉(zhuǎn)移到另一個目標基板上成為一個新的研究方向。

3、由于二維材料在其表面沒有懸掛鍵，所以可以通過堆疊的方式按照預先設計好的方式將二維材料堆疊形成范德華異質(zhì)結(jié)、超晶體或者多異質(zhì)結(jié)，從而創(chuàng)建具有性能大幅改進和功能獨特的電子設備，如“范德華異質(zhì)結(jié)構(gòu)“，即由不同的二維材料相互堆疊并通過范德華力粘合的結(jié)構(gòu)。這種新結(jié)構(gòu)中出現(xiàn)的“扭曲電子”領域為科學創(chuàng)造了前所未有的機遇，但這很大程度上得益于基板之間轉(zhuǎn)移二維材料的能力和允許輕松堆疊和扭曲具有不匹配晶格的層。因此實現(xiàn)無污染、無損傷、高精度、易操作的二維材料轉(zhuǎn)移勢在必行。

4、現(xiàn)有的轉(zhuǎn)移平臺需要手動操作，精度也不足，已經(jīng)嚴重影響材料轉(zhuǎn)移的質(zhì)量和效率，亟需一種新的轉(zhuǎn)移平臺設備改善此問題。

技術實現(xiàn)思路

1、鑒于上述問題，本實用新型的目的在于提供一種可電動二維材料轉(zhuǎn)移平臺設備，其位移模塊可由控制模塊進行電動控制，通過位移模塊帶動移動臺進行移動，顯著提高了移動的精度和穩(wěn)定性，提升了二維材料轉(zhuǎn)移的效率。

2、本實用新型提供一種可電動二維材料轉(zhuǎn)移平臺設備，其特征在于，包括：載物臺，用于固定襯底；移動臺，位于所述載物臺上方，所述移動臺與所述載物臺平行，所述移動臺上具有待轉(zhuǎn)移的二維材料；位移模塊，與所述移動臺的至少一側(cè)相連，所述位移模塊可沿立柱上下移動；成像模塊，位于所述移動臺上方，用于觀察所述移動臺和所述載物臺；顯示模塊，與所述成像模塊相連，所述顯示模塊用于顯示所述成像模塊的信號；控制模塊，分別與所述載物臺和所述位移模塊相連；其中，所述控制模塊可控制所述位移模塊帶動所述移動臺靠近所述載物臺，以將所述移動臺上的待轉(zhuǎn)移的二維材料轉(zhuǎn)移至所述襯底上。

3、優(yōu)選地，所述移動臺包括支架和固定螺栓，所述待轉(zhuǎn)移的二維材料位于載玻片上，所述固定螺栓可將具有所述載玻片固定在所述支架上，所述支架朝向所述載物臺的一側(cè)具有觀察口，使所述載玻片上的待轉(zhuǎn)移的二維材料裸露。

4、優(yōu)選地，所述載物臺包括：基座，所述基座具有調(diào)節(jié)旋鈕；調(diào)溫模塊，位于所述基座上，用于調(diào)整所述載物臺上的襯底的溫度；吸附模塊，位于所述調(diào)溫模塊上，用于吸附所述襯底；其中，通過所述基座的調(diào)節(jié)旋鈕可調(diào)節(jié)所述基座的位置，使所述載物臺上的襯底與所述移動臺上的載玻片對準。

5、優(yōu)選地，所述支架還包括貫穿孔，所述成像模塊可透過所述貫穿孔對所述待轉(zhuǎn)移的二維材料和所述襯底的位置關系生成圖像。

6、優(yōu)選地，所述立柱垂直于所述載物臺所在平面，所述立柱上設置有第一調(diào)節(jié)旋鈕和第二調(diào)節(jié)旋鈕，所述第一調(diào)節(jié)旋鈕和所述第二調(diào)節(jié)旋鈕均可調(diào)節(jié)所述位移模塊在所述立柱的初始高度，所述第一調(diào)節(jié)旋鈕的調(diào)節(jié)精度小于所述第二調(diào)節(jié)旋鈕的調(diào)節(jié)精度。

7、優(yōu)選地，所述吸附模塊包括：吸附孔，位于所述載物臺的承載面，真空泵，所述真空泵的一端與所述吸附孔相連，所述真空泵的另一端與所述控制模塊相連；其中，所述控制模塊可控制所述真空泵工作，通過所述吸附孔將所述襯底吸附在所述載物臺的承載面上。

8、優(yōu)選地，所述立柱上還設置有標尺，通過所述標尺反饋所述位移模塊所處的高度。

9、優(yōu)選地，所述位移模塊的行程為0-25mm，所述位移模塊的最小行程精度為0.5μm。

10、優(yōu)選地，該二維材料轉(zhuǎn)移平臺設備還包括防震基臺，所述載物臺、所述移動臺、所述立柱、所述位移模塊和所述成像模塊均位于所述防震基臺上。

11、本實用新型的實施例具有以下優(yōu)點或有益效果：本實用新型提供的一種可電動二維材料轉(zhuǎn)移平臺設備采用了由控制模塊控制位移模塊移動的設計，使得移動精度顯著提升，提高了二維材料轉(zhuǎn)移的穩(wěn)定性和成功率，減少了人工操作對二維材料轉(zhuǎn)移的影響，且該可電動二維材料轉(zhuǎn)移平臺設備結(jié)構(gòu)簡單，操作便捷，通過該裝置進行二維材料轉(zhuǎn)移，可以顯著提升效率，對于同種材料可采用相同的參數(shù)進行操作，實現(xiàn)批量化獲取，可節(jié)省操作人員的精力和時間，具有很強的實用性。

技術特征：

1.一種可電動二維材料轉(zhuǎn)移平臺設備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設備，其特征在于，所述立柱垂直于所述載物臺所在平面，所述立柱上設置有第一調(diào)節(jié)旋鈕和第二調(diào)節(jié)旋鈕，所述第一調(diào)節(jié)旋鈕和所述第二調(diào)節(jié)旋鈕均可調(diào)節(jié)所述位移模塊在所述立柱的初始高度，所述第一調(diào)節(jié)旋鈕的調(diào)節(jié)精度小于所述第二調(diào)節(jié)旋鈕的調(diào)節(jié)精度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設備，其特征在于，所述吸附模塊包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設備，其特征在于，所述立柱上還設置有標尺，通過所述標尺反饋所述位移模塊所處的高度。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設備，其特征在于，所述位移模塊的行程為0-25mm，所述位移模塊的最小行程精度為0.5μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設備，其特征在于，還包括防震基臺，所述載物臺、所述移動臺、所述立柱、所述位移模塊和所述成像模塊均位于所述防震基臺上。

技術總結(jié)
本申請公開了一種可電動二維材料轉(zhuǎn)移平臺設備，用于實現(xiàn)二維材料的轉(zhuǎn)移，該二維材料轉(zhuǎn)移平臺設備包括：載物臺，用于固定襯底；移動臺，位于載物臺上方，移動臺與載物臺平行，移動臺上具有待轉(zhuǎn)移的二維材料；位移模塊，與移動臺的至少一側(cè)相連，位移模塊可沿立柱上下移動；成像模塊，位于移動臺上方，用于觀察移動臺和載物臺；顯示模塊，與成像模塊相連，顯示模塊用于顯示成像模塊的信號；控制模塊，分別與載物臺和位移模塊相連；其中，控制模塊可控制位移模塊帶動移動臺靠近載物臺，以將移動臺上的待轉(zhuǎn)移的二維材料轉(zhuǎn)移至襯底上。通過采用控制模塊對位移模塊進行電動控制，顯著提高了移動的精度和穩(wěn)定性，提升了二維材料轉(zhuǎn)移的效率。

技術研發(fā)人員：劉瑤瑤,齊靜波
受保護的技術使用者：電子科技大學
技術研發(fā)日：20230321
技術公布日：2025/1/2