本公開文本涉及在容器中收納有異丙醇的異丙醇收納體及該收納體的制造方法、以及異丙醇收納體的品質(zhì)管理方法。

背景技術(shù)：

1、異丙醇(也稱為2-丙醇)是各種用途中使用的有機(jī)溶劑，尤其在半導(dǎo)體器件的制造工序中作為清洗液或干燥液使用。近年來，在謀求半導(dǎo)體器件的高性能化的過程中，元件及布線的微細(xì)化及高集成化不斷發(fā)展，對于作為清洗液或干燥液使用的異丙醇，也要求金屬雜質(zhì)極少的高純度化。

2、例如，專利文獻(xiàn)1中記載，若在半導(dǎo)體器件的制造工序中，在清洗用途中使用因長期保存而雜質(zhì)增加的異丙醇，則有時在清洗及干燥后來源于異丙醇中雜質(zhì)的殘渣會殘留于半導(dǎo)體器件的表面，成為半導(dǎo)體器件產(chǎn)生缺陷的主要原因。由此也可知，已無法忽視作為清洗液或干燥液使用的異丙醇的品質(zhì)對半導(dǎo)體器件的成品率造成的影響，強(qiáng)烈要求提高異丙醇的品質(zhì)。

3、另外已知，在異丙醇中作為雜質(zhì)存在丙酮等有機(jī)雜質(zhì)，在異丙醇中的溶解氧濃度高的情況下，異丙醇中的有機(jī)雜質(zhì)的含量增加(例如，參見專利文獻(xiàn)2或3)。作為使異丙醇中的溶解氧濃度降低的方法，專利文獻(xiàn)2中提出了在制造異丙醇時的蒸餾工序中控制蒸餾塔氣相部的氧分壓的方法。另外，專利文獻(xiàn)3中，提出了通過向異丙醇中吹入氮氣等非活性氣體來進(jìn)行鼓泡從而除去溶解氧的方法。

4、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

5、專利文獻(xiàn)

6、專利文獻(xiàn)1：國際公開第2020/071307號

7、專利文獻(xiàn)2：國際公開第2018/135408號

8、專利文獻(xiàn)3：日本特開2014-201524號公報

9、專利文獻(xiàn)4：國際公開第2020/009225號

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明所要解決的課題

2、根據(jù)專利文獻(xiàn)2或3中記載的方法，能夠制造溶解氧濃度降低的高純度的異丙醇。所制造的異丙醇在貯存罐中保存后，在作為制品出廠時填充于iso(國際標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)構(gòu))罐式集裝箱(tank?container)、儲罐(canister?can)等容器中，進(jìn)行出廠及交貨。專利文獻(xiàn)4中記載向容器內(nèi)封入高純度的氮氣。

3、填充于iso罐式集裝箱、儲罐等容器中的異丙醇在半導(dǎo)體器件的制造工序中作為清洗液或干燥液使用之前，有時隔著數(shù)十天至數(shù)個月的間隔。本技術(shù)的發(fā)明人進(jìn)行了研究，結(jié)果判明，即使在將由上述方法制造的溶解氧濃度低的異丙醇填充于容器中、并封入氧濃度低的氮氣的情況下，若在隔著數(shù)十天至數(shù)個月的間隔后對該容器中的異丙醇進(jìn)行分析，有時金屬雜質(zhì)、丙酮等有機(jī)雜質(zhì)的含量仍會增加，無法用于半導(dǎo)體清洗用途。

4、因此，本公開文本的課題在于提供在長期保管后仍可抑制金屬雜質(zhì)、丙酮等有機(jī)雜質(zhì)的含量增加的異丙醇收納體、及其制造方法。

5、用于解決課題的手段

6、本技術(shù)的發(fā)明人為了解決上述課題而反復(fù)深入研究。首先，對金屬雜質(zhì)、丙酮等有機(jī)雜質(zhì)的含量變高了的容器進(jìn)行了確認(rèn)，結(jié)果可知，即使將從同一貯存罐供給的異丙醇填充于容器中、并使用相同氮氣進(jìn)行封入，有時金屬雜質(zhì)、丙酮等有機(jī)雜質(zhì)的含量也變高。對此時使用的異丙醇批次中的溶解氧濃度、及封入所使用的氮氣的氧濃度也進(jìn)行了確認(rèn)，但均不是會導(dǎo)致問題的氧濃度。另外還確認(rèn)了，即使在同一容器中填充相同程度的溶解氧濃度的異丙醇、使用相同程度的氧濃度的氮氣進(jìn)行封入并長期保管，有時異丙醇中的金屬雜質(zhì)、丙酮等有機(jī)雜質(zhì)的含量增加也被抑制。根據(jù)這些情況，關(guān)于使用的容器，也確認(rèn)了沒有容器的破損等。另一方面，若對金屬雜質(zhì)、丙酮等有機(jī)雜質(zhì)的含量高的容器進(jìn)行確認(rèn)，則可知容器內(nèi)的氣相部的氧濃度、及異丙醇中的鉻的含有率高。

7、根據(jù)上述見解，推測長期保管時的丙酮等有機(jī)雜質(zhì)及鉻的含量增加的原因是由于某種理由使得剛填充后的氧濃度變高，因容器內(nèi)的氧，在長期保管期間，丙酮等有機(jī)雜質(zhì)及鉻的含有率增加。并且可知，通過使填充有異丙醇且封入有氮氣等非活性氣體之后的容器內(nèi)的氣體的氧濃度為規(guī)定濃度以下，能夠抑制長期保管時的丙酮等有機(jī)雜質(zhì)的含量的經(jīng)時增加，從而完成了本發(fā)明。

8、用于解決上述課題的具體手段包括以下的實施方式。

9、＜1＞異丙醇收納體，其是在容器中收納有異丙醇的異丙醇收納體，

10、前述容器中的氧含量相對于前述異丙醇而言為0.001～0.100molpp?m，

11、前述異丙醇中的作為雜質(zhì)的丙酮的含量以質(zhì)量基準(zhǔn)計為10～200ppb。

12、＜2＞如＜1＞所述的異丙醇收納體，其中，前述異丙醇中的作為雜質(zhì)的鉻的含量以質(zhì)量基準(zhǔn)計為0.01～2.50ppt。

13、＜3＞如＜1＞或＜2＞所述的異丙醇收納體，其中，前述容器的容積在1000～1500000l的范圍內(nèi)。

14、＜4＞如＜3＞所述的異丙醇收納體，其中，前述容器為中型散裝容器、油罐車(tank?lorry)、iso罐式集裝箱、或貯存罐。

15、＜5＞異丙醇收納體的制造方法，其是在容器中收納有異丙醇的異丙醇收納體的制造方法，

16、在將異丙醇收納于前述容器中時，使該容器中的氣體的氧濃度以體積基準(zhǔn)計為0.1～10ppm。

17、＜6＞如＜5＞所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，收納于前述容器的異丙醇中的溶解氧濃度相對于大氣下、25℃時的氧飽和溶解度而言為0.001～0.050％。

18、＜7＞如＜5＞或＜6＞所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，收納于前述容器的異丙醇中的作為雜質(zhì)的丙酮的含量以質(zhì)量基準(zhǔn)計為10～200ppb。

19、＜8＞如＜5＞～＜7＞中任一項所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，收納于前述容器的異丙醇中的作為雜質(zhì)的鉻的含量以質(zhì)量基準(zhǔn)計為0.01～2.50ppt。

20、＜9＞如＜5＞～＜8＞中任一項所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，前述容器的容積在1000～1500000l的范圍內(nèi)。

21、＜10＞如＜9＞所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，前述容器為中型散裝容器、油罐車、iso罐式集裝箱、或貯存罐。

22、＜11＞異丙醇收納體的制造方法，其是在容器中收納有異丙醇的異丙醇收納體的制造方法，

23、以成為前述容器的容積的2～98％的方式收納前述異丙醇，

24、在將異丙醇收納于前述容器中時，使該容器中的氣體的氧濃度以體積基準(zhǔn)計為0.1～10ppm。

25、＜12＞如＜11＞所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，收納于前述容器的異丙醇中的溶解氧濃度相對于大氣下、25℃時的氧飽和溶解度而言為0.001～0.050％。

26、＜13＞如＜11＞或＜12＞所述的異丙醇的收納體的制造方法，其中，收納于前述容器的異丙醇中的作為雜質(zhì)的丙酮的含量以質(zhì)量基準(zhǔn)計為10～200ppb。

27、＜14＞如＜11＞～＜13＞中任一項所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，收納于前述容器的異丙醇中的作為雜質(zhì)的鉻的含量以質(zhì)量基準(zhǔn)計為0.01～2.50ppt。

28、＜15＞如＜11＞～＜14＞中任一項所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，前述容器的容積在1000～1500000l的范圍內(nèi)。

29、＜16＞如＜15＞所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，前述容器為中型散裝容器、油罐車、iso罐式集裝箱、或貯存罐。

30、＜17＞異丙醇收納體的制造方法，其是將第一容器中收納的異丙醇收納于第二容器的異丙醇收納體的制造方法，

31、在將異丙醇收納于前述第二容器時，使該第二容器中的氣體的氧濃度以體積基準(zhǔn)計為0.1～10ppm。

32、＜18＞如＜17＞所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，收納于前述第二容器的異丙醇中的溶解氧濃度相對于大氣下、25℃時的氧飽和溶解度而言為0.001～0.050％。

33、＜19＞如＜17＞或＜18＞所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，收納于前述第二容器的異丙醇中的作為雜質(zhì)的丙酮的含量以質(zhì)量基準(zhǔn)計為10～200ppb。

34、＜20＞如＜17＞～＜19＞中任一項所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，收納于前述第二容器的異丙醇中的作為雜質(zhì)的鉻的含量以質(zhì)量基準(zhǔn)計為0.01～2.50ppt。

35、＜21＞如＜17＞～＜20＞中任一項所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，前述容器的容積在1000～1500000l的范圍內(nèi)。

36、＜22＞如＜21＞所述的異丙醇收納體的制造方法，其中，前述容器為中型散裝容器、油罐車、iso罐式集裝箱、或貯存罐。

37、＜23＞異丙醇收納體的品質(zhì)管理方法，其是在容器中收納有異丙醇的異丙醇收納體的品質(zhì)管理方法，

38、使前述異丙醇中的溶解氧濃度相對于大氣下、25℃時的氧飽和溶解度而言為0.001～0.050％，并且使前述容器中的氣體的氧濃度以體積基準(zhǔn)計為0.1～10ppm。

39、發(fā)明效果

40、根據(jù)本公開文本，可提供能夠抑制長期保管時的鉻等金屬雜質(zhì)、丙酮等有機(jī)雜質(zhì)的含量增加的異丙醇收納體。特別地，本公開文本的制造方法也能夠適用于將異丙醇收納在iso罐式集裝箱、貯存罐等內(nèi)容積大的容器中的情況。本公開文本的異丙醇收納體能夠進(jìn)行數(shù)十天至數(shù)個月的長期保管，能夠?qū)⑹占{的異丙醇合適地用作半導(dǎo)體器件的清洗液或干燥液，產(chǎn)業(yè)上的可利用性高。