本發(fā)明涉及輸送車(chē)。

背景技術(shù)：

1、例如，在半導(dǎo)體制造工廠等，利用輸送容納晶圓或中間掩模等的容器的輸送車(chē)。在日本特開(kāi)2017-88332號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)中公開(kāi)了這樣的輸送車(chē)的一個(gè)示例。專利文獻(xiàn)1的輸送車(chē)(頂棚輸送車(chē)1)以沿著設(shè)置于頂棚的軌道行駛的方式構(gòu)成，將容器(foup?50)以懸掛保持的狀態(tài)輸送。另外，專利文獻(xiàn)1的輸送車(chē)具備用于抑制被懸掛保持的容器在輸送中橫向搖擺的橫向搖擺抑制裝置(搖擺抑制裝置30)。

2、如專利文獻(xiàn)1的圖4至圖10所示，該專利文獻(xiàn)1的橫向搖擺抑制裝置具備臂機(jī)構(gòu)(第1臂32、第2臂34)和設(shè)于臂機(jī)構(gòu)的抵接機(jī)構(gòu)(施力部件36、按壓機(jī)構(gòu)37、旋轉(zhuǎn)部40、限制部42a、42b)。而且，橫向搖擺抑制裝置成為如下的構(gòu)成：伴隨著臂機(jī)構(gòu)的姿態(tài)變化，切換抵接機(jī)構(gòu)抵接于容器的下部側(cè)面的狀態(tài)和分離的狀態(tài)。此外，抵接機(jī)構(gòu)是如下的構(gòu)造：旋轉(zhuǎn)部40伴隨著容器向?qū)挾确较虻膿u擺而旋轉(zhuǎn)，并且，在旋轉(zhuǎn)部40欲旋轉(zhuǎn)既定角度以上時(shí)，限制部42a、42b對(duì)其進(jìn)行限制。

3、這樣，在專利文獻(xiàn)1的橫向搖擺抑制裝置，是通過(guò)旋轉(zhuǎn)部40抵接于容器的側(cè)面來(lái)抑制容器的搖擺的構(gòu)造，但如該專利文獻(xiàn)1的段落0036所記載的，旋轉(zhuǎn)部40由氨基甲酸乙酯等材料構(gòu)成。因此，取決于容器的側(cè)面的形狀，存在如下的可能性：在旋轉(zhuǎn)部40產(chǎn)生磨損，成為粉塵等的產(chǎn)生原因?？墒牵趯＠墨I(xiàn)1中，未特別地對(duì)這樣的旋轉(zhuǎn)部40的磨損加以考慮。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、于是，期望實(shí)現(xiàn)如下的輸送車(chē)：能夠抑制被懸掛保持的容器的橫向搖擺，并且，能夠?qū)⒂糜谝种圃摍M向搖擺的機(jī)構(gòu)與容器的接觸所導(dǎo)致的磨損抑制得少。

2、本公開(kāi)所涉及的輸送車(chē)是將容器以懸掛的狀態(tài)輸送的輸送車(chē)，

3、具備抵接于被懸掛保持的前述容器的容器外側(cè)面而抑制前述容器的橫向搖擺的橫向搖擺抑制裝置，

4、前述橫向搖擺抑制裝置具備抵接于前述容器外側(cè)面而旋轉(zhuǎn)自如的抵接輥，

5、在前述抵接輥的外周面的與凸?fàn)畈繉?duì)應(yīng)的區(qū)域，形成有遍及整周連續(xù)地延伸的凹槽，該凸?fàn)畈渴桥c前述容器的前述容器外側(cè)面區(qū)分的部位，是至少與在上下任一側(cè)鄰接的其它部位相比而向外側(cè)突出的部位。

6、依據(jù)該構(gòu)成，通過(guò)旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置抵接于容器外側(cè)面的抵接輥，能夠抑制被懸掛保持的容器在輸送中橫向搖擺。此時(shí)，在容器外側(cè)面存在凸?fàn)畈康那闆r下，存在抵接輥的外周面與凸?fàn)畈拷佑|而局部地磨損的顧慮，但由于在與凸?fàn)畈繉?duì)應(yīng)的區(qū)域形成有遍及整周連續(xù)地延伸的凹槽，抵接輥不與容器的凸?fàn)畈拷佑|。因此，能夠?qū)⒌纸虞伒哪p所導(dǎo)致的粉塵等的產(chǎn)生量抑制得少。由此，能夠抑制被懸掛保持的容器的橫向搖擺，并且，能夠?qū)⑴c容器的接觸所導(dǎo)致的抵接輥的磨損抑制得少，將粉塵等的產(chǎn)生量抑制得少。

7、通過(guò)參照附圖而記述的以下的例示性且非限定性的實(shí)施方式的說(shuō)明，本公開(kāi)所涉及的技術(shù)的進(jìn)一步的特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更明確。

技術(shù)特征：

1.一種輸送車(chē)，其是將容器以懸掛的狀態(tài)輸送的輸送車(chē)，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送車(chē)，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送車(chē)，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輸送車(chē)，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的輸送車(chē)，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的輸送車(chē)，其中，

技術(shù)總結(jié)
將容器以懸掛的狀態(tài)輸送的輸送車(chē)具備抵接于被懸掛保持的容器的容器外側(cè)面而抑制容器的橫向搖擺的橫向搖擺抑制裝置。橫向搖擺抑制裝置具備抵接于容器外側(cè)面而旋轉(zhuǎn)自如的抵接輥。在抵接輥的外周面的與容器的凸?fàn)畈繉?duì)應(yīng)的區(qū)域，形成有遍及整周連續(xù)地延伸的凹槽。

技術(shù)研發(fā)人員：稻積響太
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社大福
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2