本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，具體涉及一種晶圓盒存儲設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、潔凈立庫是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，暫存在制品的一種存儲方式。半導(dǎo)體晶圓廠中需要在線邊放置大量存儲設(shè)備，要求潔凈度高、節(jié)拍快，潔凈立庫可以滿足半導(dǎo)體工廠存取需求。

2、相關(guān)技術(shù)中，半導(dǎo)體晶圓廠在使用潔凈立庫存取晶圓盒時(shí)，常用的取電方式為滑觸線或坦克鏈取電。滑觸線或坦克鏈取電會因?yàn)槟Σ廉a(chǎn)生粉塵和火花，影響晶圓品質(zhì)，存在安全隱患，且也會增加潔凈立庫的運(yùn)維成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的第一個目的在于提出一種晶圓盒存儲設(shè)備。

2、本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：

3、本發(fā)明的實(shí)施例提出了一種晶圓盒存儲設(shè)備，包括：主框架；儲位，所述儲位固定在框架上，所述儲位用于存儲晶圓盒；軌道移動設(shè)備，所述軌道移動設(shè)備設(shè)置在軌道且能夠在軌道上移動，所述軌道移動設(shè)備設(shè)置有可伸縮機(jī)械手，所述可伸縮機(jī)械手能夠在軌道移動設(shè)備上上下移動，所述軌道移動設(shè)備用于將所述晶圓盒輸送至所述儲位或者取出儲位中的晶圓盒；供電裝置，所述供電裝置包括供電端和受電端，所述供電端通過無線、非接觸的形式向受電端供電，供電端包括配電柜和利茲線，利茲線延軌道鋪設(shè)構(gòu)成一個單圈的回路作為原邊，所述受電端作為副邊通過電磁耦合將原邊電能轉(zhuǎn)移到副邊，所述軌道移動設(shè)備通過受電端在軌道上取電。

4、本發(fā)明上述提出的晶圓盒存儲設(shè)備還可以具有如下附加技術(shù)特征：

5、根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例，所述配電柜包括：斷路器，所述斷路器的一端與電網(wǎng)端供電線路相連；emi（electromagnetic?interference，電磁干擾）濾波器，所述emi濾波器的一端與所述斷路器的另一端相連；交流接觸器，所述交流接觸器的一端通過熔斷器與所述emi濾波器另一端相連；三相scr（silicon?controlled?rectifier，可控硅）橋，所述三相scr橋的交流輸入端與所述交流接觸器的另一端相連，所述三相scr橋用于將三相交流電轉(zhuǎn)換為第一直流電；逆變橋，所述逆變器的直流輸入端通過濾波電感和泄放電阻與所述三相scr橋的直流輸出端相連；補(bǔ)償電容陣，所述補(bǔ)償電容陣的一端通過諧振電感與所述逆變橋的交流輸出端相連；隔離變壓器，所述隔離變壓器的原邊與所述補(bǔ)償電容陣的另一端相連，所述隔離變壓器的副邊作為所述配電柜的輸出端與利茲線連接。

6、根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例，所述受電端包括由鐵氧體材料制作而成的磁芯，所述利茲線纏繞在所述磁芯上。

7、根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例，所述利茲線采用漆包絞線。

8、根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例，上述的晶圓盒存儲設(shè)備還包括：整流電路和升壓電路，所述受電端通過電磁感應(yīng)原理取到電后，通過所述整流電路整流接入所述升壓電路，以通過升壓電路進(jìn)行升壓處理并生成第二直流電，所述第二直流電的電壓大于所述第一直流電的電壓。

9、根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例，所述升壓電路包括：第一電感，所述第一電感的一端與第一預(yù)設(shè)電源的負(fù)極端相連，所述第一電感的另一端與整流電路的輸出端相連；第二電感，所述第二電感的一端與第二預(yù)設(shè)電源的負(fù)極端相連，所述第二電感的另一端與整流電路的輸出端相連；第一電容，所述第一電容的一端與所述第一電感的另一端相連；第二電容，所述第二電容的另一端與所述第一電容的另一端相連；第一二極管，所述第一二極管的陰極與所述第二電容的另一端相連，所述第一二極管的陽極與所述第一預(yù)設(shè)電源的正極端相連；第一mos管，所述第一mos管的第一端與所述第一預(yù)設(shè)電源的正極端相連，所述第一mos管的第二端接地；第三電容，所述第三電容的一端與所述第二電感的另一端相連；第四電容，所述第四電容的一端與所述第三電容的另一端相連后接地，所述第四電容的另一端與所述第一二極管的陰極相連；第二二極管，所述第二二極管的陰極與所述第四電容的另一端相連，所述第二二極管的陽極與所述第二預(yù)設(shè)電源的正極端相連；第二mos管，所述第二mos管的第一端與所述第二預(yù)設(shè)電源的正極端相連，所述第二mos管的第二端接地；第五電容和第六電容，所述第五電容和第六電容一端相連后與所述第四電容的另一端相連，所述第五電容和第六電容的另一端接地，所述第五電容和第六電容一端作為所述升壓電路的輸出端。

10、本發(fā)明的有益效果：

11、本發(fā)明的晶圓盒存儲設(shè)備采用非接觸式供電，不會產(chǎn)生火花、粉塵，不僅可以保證晶圓的存儲品質(zhì)，且可以降低潔凈立庫的維護(hù)成本。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓盒存儲設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒存儲設(shè)備，其特征在于，所述配電柜包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒存儲設(shè)備，其特征在于，所述受電端包括由鐵氧體材料制作而成的磁芯，所述利茲線纏繞在所述磁芯上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的種晶圓盒存儲設(shè)備，其特征在于，所述利茲線采用漆包絞線。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓盒存儲設(shè)備，其特征在于，還包括：整流電路和升壓電路，所述受電端通過電磁感應(yīng)原理取到電后，通過所述整流電路整流接入所述升壓電路，以通過升壓電路進(jìn)行升壓處理并生成第二直流電，所述第二直流電的電壓大于所述第一直流電的電壓。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓盒存儲設(shè)備，其特征在于，所述升壓電路包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種晶圓盒存儲設(shè)備，包括：主框架；儲位，固定在框架上，用于存儲晶圓盒；軌道移動設(shè)備，設(shè)置在軌道且能夠在軌道上移動，設(shè)置有可伸縮機(jī)械手，可伸縮機(jī)械手能夠在軌道移動設(shè)備上上下移動，軌道移動設(shè)備用于將晶圓盒輸送至儲位或者取出儲位中的晶圓盒；供電裝置，包括供電端和受電端，供電端通過無線、非接觸的形式向受電端供電，供電端包括配電柜和利茲線，利茲線延軌道鋪設(shè)構(gòu)成一個單圈的回路作為原邊，受電端作為副邊通過電磁耦合將原邊電能轉(zhuǎn)移到副邊，軌道移動設(shè)備通過受電端在軌道上取電。本發(fā)明的晶圓盒存儲設(shè)備采用非接觸式供電，不會產(chǎn)生火花、粉塵，不僅可以保證晶圓的存儲品質(zhì)，且可以降低潔凈立庫的維護(hù)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：曹旭東,張曉鵬,曹海霞,嚴(yán)翔
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇道達(dá)智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9