本發(fā)明涉及晶圓厚度檢測，具體為一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，晶圓作為半導(dǎo)體制造的基礎(chǔ)材料，其質(zhì)量和精度要求越來越高。晶圓的厚度是衡量其質(zhì)量的重要參數(shù)之一，精確地檢測晶圓厚度對于半導(dǎo)體制造過程的控制和產(chǎn)品質(zhì)量的保證至關(guān)重要，傳統(tǒng)的晶圓厚度檢測方法主要有機械接觸式測量和光學測量。機械接觸式測量雖然精度較高，但容易對晶圓表面造成損傷，且測量速度較慢，不適合大規(guī)模生產(chǎn)。光學測量方法中，紅外檢測技術(shù)因其非接觸、快速、高精度等優(yōu)點，逐漸成為晶圓厚度檢測的主要手段，紅外檢測設(shè)備利用紅外光的特性來測量晶圓的厚度。當紅外光照射到晶圓上時，會在晶圓的上下表面發(fā)生反射，通過檢測反射光的干涉條紋或強度變化，可以計算出晶圓的厚度。然而，現(xiàn)有的紅外檢測設(shè)備在實際應(yīng)用中仍存在一些缺陷。

2、目前使用的紅外檢測設(shè)備送料不太方便，導(dǎo)致設(shè)備工作效率較低，并且檢測過程中空氣環(huán)境質(zhì)量較低容易影響檢測精準度。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，包括工作臺，所述工作臺頂部固定連接有支撐架，所述支撐架頂部設(shè)置有送料裝置，所述支撐架一側(cè)固定連接有檢測支架，所述檢測支架頂部固定連接有檢測裝置，所述支撐架上遠離檢測支架的一側(cè)固定連接有除塵裝置；

2、所述送料裝置包括送料架，所述送料架中心位置貫穿并固定連接有轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸一端固定連接有驅(qū)動電機，所述送料架側(cè)面固定連接有安裝座，所述安裝座側(cè)面開設(shè)有送料槽，所述送料槽內(nèi)壁底部固定連接有真空吸盤，所述真空吸盤一側(cè)連通有抽氣管，所述抽氣管遠離真空吸盤的一端連通有環(huán)形管，所述環(huán)形管一側(cè)連通有抽氣泵的抽氣口，送料操作方便，同時晶圓在取出和安裝時無需耽誤檢測時間，檢測效率較高。

3、優(yōu)選的，所述驅(qū)動電機與支撐架側(cè)面固定連接，所述轉(zhuǎn)動軸遠離驅(qū)動電機的一端與支撐架轉(zhuǎn)動連接。

4、優(yōu)選的，所述安裝座設(shè)置有多組并且均勻分布在送料架上，所述抽氣泵與送料架固定連接，所述抽氣管上設(shè)置有電子三通閥。

5、優(yōu)選的，所述除塵裝置包括除塵風機，所述除塵風機的進風口通過連通管連通有過濾裝置，所述過濾裝置遠離除塵風機的一側(cè)連通有進風管，所述進風管遠離過濾裝置的一端連通有進風嘴，所述除塵風機的出風口連通有出風管，所述出風管遠離除塵風機的一端連通有出風嘴，能夠避免環(huán)境空氣中的雜質(zhì)對晶圓厚度的檢測結(jié)果造成較大影響，能夠使得檢測結(jié)果更加精準。

6、優(yōu)選的，所述除塵風機和過濾裝置均通過連接架與支撐架側(cè)面固定連接，所述進風管和出風管均設(shè)置為弧形管。

7、優(yōu)選的，所述進風嘴和出風嘴均設(shè)置為漏斗狀，所述進風嘴和出風嘴分別對稱設(shè)置在送料裝置兩側(cè)，所述進風嘴和出風嘴在送料裝置和檢測裝置之間的位置相對設(shè)置。

8、優(yōu)選的，所述過濾裝置包括過濾筒，所述過濾筒內(nèi)壁固定連接有環(huán)形滑道，所述環(huán)形滑道內(nèi)壁滑動連接有轉(zhuǎn)動圈，所述轉(zhuǎn)動圈內(nèi)壁固定連接有三角濾網(wǎng)，所述三角濾網(wǎng)設(shè)置有多組并且均勻分布在轉(zhuǎn)動圈內(nèi)壁上，所述三角濾網(wǎng)遠離轉(zhuǎn)動圈的一端固定連接有振動器，相鄰所述三角濾網(wǎng)之間固定連接有連接板，所述連接板側(cè)面固定連接有靜電吸附柱，所述過濾筒底部位于環(huán)形滑道兩側(cè)的部分均連通有收集盒，方便避免灰塵堆積在三角濾網(wǎng)上導(dǎo)致網(wǎng)孔發(fā)生堵塞的情況，使得三角濾網(wǎng)能夠始終保持較好的過濾效果以及通風效果，當裝置不使用時，脫落的灰塵即可從三角濾網(wǎng)和連接板上滑落，并掉落至收集盒內(nèi)部，無需人工拆卸清理，使用比較方便。

9、優(yōu)選的，所述過濾筒一側(cè)通過連通管與除塵風機的進風口連通，所述過濾筒上遠離除塵風機的一側(cè)與進風管連通，所述過濾筒通過連接架與支撐架側(cè)面固定連接。

10、優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動圈側(cè)面延伸至環(huán)形滑道內(nèi)部并與環(huán)形滑道內(nèi)部的電子滑塊固定連接，所述連接板兩端分別與轉(zhuǎn)動圈內(nèi)壁和振動器側(cè)面固定連接。

11、本發(fā)明提供了一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備。具備以下有益效果：

12、1.該晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，使用時將晶圓放置到送料槽內(nèi)部，通過抽氣泵驅(qū)動真空吸盤將送料槽內(nèi)部的晶圓吸附住，然后通過驅(qū)動電機帶動送料架轉(zhuǎn)動，送料架帶動安裝座轉(zhuǎn)動，即可通過安裝座帶動送料槽內(nèi)部的晶圓移動至檢測裝置下方，方便完整自動送料，并且收料時，可通過送料架帶動安裝座轉(zhuǎn)動至下方，然后通過抽氣管上的電動三通閥控制真空吸盤將晶圓釋放開，送料槽內(nèi)部的晶圓即可從送料槽內(nèi)部掉落出，送料時直接通過送料架帶動晶圓移動至指定位置即可，送料操作方便，同時收料時通過真空吸盤將晶圓釋放即可完成收料，收料也比較方便，通過轉(zhuǎn)動循環(huán)的結(jié)構(gòu)使得在進行厚度檢測的過程中可將需要檢測的晶圓裝入其他送料槽內(nèi)部，從而實現(xiàn)轉(zhuǎn)動循環(huán)檢測，使得晶圓在取出和安裝時無需耽誤檢測時間，檢測效率較高。

13、2.該晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，設(shè)置有除塵裝置，使用時檢測裝置和送料裝置之間的空氣被抽入進風嘴內(nèi)部，通過進風嘴進入進風管內(nèi)部，進風管內(nèi)部的空氣經(jīng)過過濾裝置過濾之后，進入除塵風機內(nèi)部，并從除塵風機中排出到出風管中，出風管中的空氣經(jīng)過出風嘴再次排出至檢測裝置和送料裝置之間，使得檢測裝置在對下方的晶圓進行檢測時，兩者之間的空氣更加干凈，能夠避免環(huán)境空氣中的雜質(zhì)對晶圓厚度的檢測結(jié)果造成較大影響，能夠使得檢測結(jié)果更加精準。

14、3.該晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，設(shè)置有過濾裝置，當空氣進入過濾裝置內(nèi)部時，首先進入過濾筒內(nèi)部，經(jīng)過過濾筒內(nèi)部的三角濾網(wǎng)過濾之后，從過濾筒另一側(cè)排出，空氣在經(jīng)過三角濾網(wǎng)時，位于三角濾網(wǎng)附近的靜電吸附柱可將空氣中的灰塵吸附住，同時由于靜電吸附柱僅僅是靠近三角濾網(wǎng)，并不在空氣流動的主要路徑上，因此可通過靜電吸附柱將灰塵吸附住，而氣流不會將靜電吸附柱上吸附的灰塵帶走，方便避免灰塵堆積在三角濾網(wǎng)上導(dǎo)致網(wǎng)孔發(fā)生堵塞的情況，使得三角濾網(wǎng)能夠始終保持較好的過濾效果以及通風效果。

15、4.該晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，當裝置不使用時，可通過振動器帶動三角濾網(wǎng)和連接板振動，連接板帶動靜電吸附柱震動，靜電吸附柱震動的時候，其上的灰塵即可從靜電吸附柱上脫落，同時環(huán)形滑道帶動轉(zhuǎn)動圈轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動圈帶動三角濾網(wǎng)和連接板轉(zhuǎn)動，此時脫落的灰塵即可從三角濾網(wǎng)和連接板上滑落，并掉落至收集盒內(nèi)部，無需人工拆卸清理，使用比較方便。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，其特征在于，包括工作臺（1），所述工作臺（1）頂部固定連接有支撐架（2），所述支撐架（2）頂部設(shè)置有送料裝置（3），所述支撐架（2）一側(cè)固定連接有檢測支架（4），所述檢測支架（4）頂部固定連接有檢測裝置（5），所述支撐架（2）上遠離檢測支架（4）的一側(cè)固定連接有除塵裝置（6）；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，其特征在于：所述驅(qū)動電機（33）與支撐架（2）側(cè)面固定連接，所述轉(zhuǎn)動軸（32）遠離驅(qū)動電機（33）的一端與支撐架（2）轉(zhuǎn)動連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，其特征在于：所述安裝座（37）設(shè)置有多組并且均勻分布在送料架（31）上，所述抽氣泵（39）與送料架（31）固定連接，所述抽氣管（36）上設(shè)置有電子三通閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，其特征在于：所述除塵裝置（6）包括除塵風機（61），所述除塵風機（61）的進風口通過連通管連通有過濾裝置（62），所述過濾裝置（62）遠離除塵風機（61）的一側(cè)連通有進風管（63），所述進風管（63）遠離過濾裝置（62）的一端連通有進風嘴（64），所述除塵風機（61）的出風口連通有出風管（65），所述出風管（65）遠離除塵風機（61）的一端連通有出風嘴（66）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，其特征在于：所述除塵風機（61）和過濾裝置（62）均通過連接架與支撐架（2）側(cè)面固定連接，所述進風管（63）和出風管（65）均設(shè)置為弧形管。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，其特征在于：所述進風嘴（64）和出風嘴（66）均設(shè)置為漏斗狀，所述進風嘴（64）和出風嘴（66）分別對稱設(shè)置在送料裝置（3）兩側(cè)，所述進風嘴（64）和出風嘴（66）在送料裝置（3）和檢測裝置（5）之間的位置相對設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，其特征在于：所述過濾裝置（62）包括過濾筒（621），所述過濾筒（621）內(nèi)壁固定連接有環(huán)形滑道（622），所述環(huán)形滑道（622）內(nèi)壁滑動連接有轉(zhuǎn)動圈（623），所述轉(zhuǎn)動圈（623）內(nèi)壁固定連接有三角濾網(wǎng)（624），所述三角濾網(wǎng)（624）設(shè)置有多組并且均勻分布在轉(zhuǎn)動圈（623）內(nèi)壁上，所述三角濾網(wǎng)（624）遠離轉(zhuǎn)動圈（623）的一端固定連接有振動器（625），相鄰所述三角濾網(wǎng)（624）之間固定連接有連接板（626），所述連接板（626）側(cè)面固定連接有靜電吸附柱（627），所述過濾筒（621）底部位于環(huán)形滑道（622）兩側(cè)的部分均連通有收集盒（628）。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，其特征在于：所述過濾筒（621）一側(cè)通過連通管與除塵風機（61）的進風口連通，所述過濾筒（621）上遠離除塵風機（61）的一側(cè)與進風管（63）連通，所述過濾筒（621）通過連接架與支撐架（2）側(cè)面固定連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動圈（623）側(cè)面延伸至環(huán)形滑道（622）內(nèi)部并與環(huán)形滑道（622）內(nèi)部的電子滑塊固定連接，所述連接板（626）兩端分別與轉(zhuǎn)動圈（623）內(nèi)壁和振動器（625）側(cè)面固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及晶圓厚度檢測技術(shù)領(lǐng)域，并公開了一種晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，包括工作臺，所述工作臺頂部固定連接有支撐架，所述支撐架頂部設(shè)置有送料裝置，所述支撐架一側(cè)固定連接有檢測支架，所述檢測支架頂部固定連接有檢測裝置，所述支撐架上遠離檢測支架的一側(cè)固定連接有除塵裝置；所述送料裝置包括送料架，所述送料架中心位置貫穿并固定連接有轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸一端固定連接有驅(qū)動電機，所述送料架側(cè)面固定連接有安裝座，所述安裝座側(cè)面開設(shè)有送料槽，所述送料槽內(nèi)壁底部固定連接有真空吸盤。該晶圓厚度檢測用紅外檢測設(shè)備，送料操作方便，同時晶圓在取出和安裝時無需耽誤檢測時間，檢測效率較高。

技術(shù)研發(fā)人員：賈懷宇,吳興梅,司建立,王超,辛寶川
受保護的技術(shù)使用者：北京三禾泰達技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6