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一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪

文檔序號:40481691發(fā)布日期:2024-12-31 12:49閱讀:12來源:國知局
一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪

本技術涉及柔性夾爪,具體為一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪。


背景技術:

1、用硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有著驚人的運算能力,在硅片的生產過程中,對硅片進行傳輸時,機器臂需要通過柔性夾爪對硅片進行夾持并轉運。

2、硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪在使用時,雖然能夠對硅片進行柔性夾持,但夾爪一般在三個或以上,并且單個夾爪需要通過單個液壓桿進行控制,因此柔性夾爪需要使用多個液壓桿對多個夾爪進行控制,使得柔性夾爪的油路控制較為復雜,使得其生產和維修成本較高,不便使用,因此我們提出了一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,以解決所提出的問題。


技術實現思路

1、本實用新型的目的在于提供一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,達到了該機器臂用的柔性夾爪,通過單個液壓桿的伸縮,能夠帶動四側夾爪與柔性夾頭同時靠攏或遠離,對工件完成夾持或松開,其結構簡單,降低液壓桿油路的復雜性,有效的降低了柔性夾爪的生產和維修成本的目的。

2、為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,包括機器臂,所述機器臂的端部固定連接有安裝盤,所述安裝盤遠離機器臂的一側安裝有安裝座,其中,

3、所述安裝座遠離安裝盤的一側固定連接有筒體,所述筒體的四側對稱設置有夾爪,所述筒體的端部通過支架與夾爪構成轉動連接,所述夾爪的端部安裝有柔性夾頭,所述筒體對應夾爪的側壁開設有連通槽;

4、所述筒體靠近安裝座的內側端部安裝有液壓桿,所述液壓桿的端部安裝有伸縮架,所述伸縮架與夾爪之間轉動連接有傳動桿,所述安裝座通過快速拆裝機構與安裝盤構成可拆卸連接。

5、優(yōu)選的,所述夾爪靠近柔性夾頭的一端開設有卡槽,所述柔性夾頭對應卡槽一側固定連接有卡塊。

6、優(yōu)選的,所述卡塊為矩形柱狀,且卡塊與柔性夾頭均由橡膠材料制成。

7、優(yōu)選的,所述快速拆裝機構包括安裝槽,所述安裝盤靠近安裝座一側開設有安裝槽,所述安裝座靠近安裝槽一側固定連接有安裝架,所述安裝槽兩側內壁對稱開設有固定桿槽,所述安裝架對應固定桿槽的位置開設有固定槽,所述固定桿槽內安裝有彈簧,所述彈簧靠近固定桿槽的開口側安裝有固定桿,所述固定桿遠離安裝槽的一端固定連接有拉桿,所述拉桿遠離固定桿一端貫穿安裝盤的內部并延伸到外側。

8、優(yōu)選的,所述固定桿遠離彈簧的端部外側為曲面。

9、與現有技術相比,本實用新型的有益效果如下:

10、1、本實用新型,硅片在傳輸過程中,需要使用到機器臂對硅片進行轉運時,通過機器臂帶動柔性夾爪向硅片移動,夾持硅片時,通過液壓桿伸長帶動伸縮架向右側移動,伸縮架在移動時,通過傳動桿帶動四側夾爪同時轉動,所夾爪帶動端部的柔性夾頭相互靠攏,通過柔性夾頭對硅片進行夾持,松開硅片時,使液壓桿縮短即可將硅片松開,該機器臂用的柔性夾爪,通過單個液壓桿的伸縮,能夠帶動四側夾爪與柔性夾頭同時靠攏或遠離,對工件完成夾持或松開,其結構簡單,降低液壓桿油路的復雜性,有效的降低了柔性夾爪的生產和維修成本。

11、2、本實用新型,需要安裝柔性夾爪時,使安裝座帶動安裝架插入安裝槽,安裝架抵住固定桿的曲面時,使固定桿克服彈簧彈力縮入固定桿槽內,在安裝架完全進入安裝槽內,且固定桿槽、固定槽對齊時,彈簧推動固定桿插入固定槽,將安裝架固定在安裝槽內,即可完成對柔性夾爪的安裝,需要拆卸柔性夾爪時,通過拉桿帶動固定桿移出固定槽,即可拆下柔性夾爪,通過該快速拆裝機構,方便對柔性夾爪快速完成拆裝,方便對柔性夾爪進行更換。



技術特征:

1.一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,包括機器臂(1),其特征在于:所述機器臂(1)的端部固定連接有安裝盤(2),所述安裝盤(2)遠離機器臂(1)的一側安裝有安裝座(3),其中,

2.根據權利要求1所述的硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,其特征在于:所述夾爪(5)靠近柔性夾頭(7)的一端開設有卡槽(8),所述柔性夾頭(7)對應卡槽(8)一側固定連接有卡塊(9)。

3.根據權利要求2所述的硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,其特征在于:所述卡塊(9)為矩形柱狀,且卡塊(9)與柔性夾頭(7)均由橡膠材料制成。

4.根據權利要求1所述的硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,其特征在于:所述快速拆裝機構包括安裝槽(14),所述安裝盤(2)靠近安裝座(3)一側開設有安裝槽(14),所述安裝座(3)靠近安裝槽(14)一側固定連接有安裝架(15),所述安裝槽(14)兩側內壁對稱開設有固定桿槽(16),所述安裝架(15)對應固定桿槽(16)的位置開設有固定槽(17),所述固定桿槽(16)內安裝有彈簧(18),所述彈簧(18)靠近固定桿槽(16)的開口側安裝有固定桿(19),所述固定桿(19)遠離安裝槽(14)的一端固定連接有拉桿(20),所述拉桿(20)遠離固定桿(19)一端貫穿安裝盤(2)的內部并延伸到外側。

5.根據權利要求4所述的硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,其特征在于:所述固定桿(19)遠離彈簧(18)的端部外側為曲面。


技術總結
本技術公開了一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,屬于柔性夾爪技術領域,一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪,包括機器臂,機器臂的端部固定連接有安裝盤;本技術,硅片在傳輸過程中需要轉運時,通過機器臂帶動柔性夾爪向硅片移動,夾持硅片時,通過液壓桿伸長帶動伸縮架向右側移動,伸縮架在移動時,通過傳動桿帶動四側夾爪同時轉動,所夾爪帶動端部的柔性夾頭相互靠攏,通過柔性夾頭對硅片進行夾持,松開硅片時,使液壓桿縮短即可將硅片松開,該機器臂用的柔性夾爪,通過單個液壓桿的伸縮,能夠帶動四側夾爪與柔性夾頭同時靠攏或遠離,對工件完成夾持或松開,其結構簡單,降低液壓桿油路的復雜性,有效的降低了柔性夾爪的生產和維修成本。

技術研發(fā)人員:許博
受保護的技術使用者:北京信息科技大學
技術研發(fā)日:20240423
技術公布日:2024/12/30
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