本申請屬于上料器械，更具體地說，是涉及一種上料機(jī)構(gòu)及加工設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、晶圓一般設(shè)置于片狀鐵環(huán)上，然后再疊放于料盒內(nèi)存儲，當(dāng)需要加工晶圓時，則利用上料機(jī)構(gòu)搬運(yùn)鐵環(huán)，從而將晶圓從料盒內(nèi)取出并放置于加工工位。

2、相關(guān)技術(shù)公開了一種晶圓上料機(jī)構(gòu)，該上料機(jī)構(gòu)通過夾持承載晶圓的鐵環(huán)的一處邊緣以取料，但當(dāng)晶圓尺寸較大時，相對于晶圓的結(jié)構(gòu)幅面來說，上料機(jī)構(gòu)夾持的鐵環(huán)邊緣部分較小，而鐵環(huán)的未被夾持區(qū)域的幅面占比較大，受晶圓重力作用將會相對下墜，如此，上料機(jī)構(gòu)在運(yùn)輸晶圓過程中，可能導(dǎo)致晶圓受振動而碎裂，或者，因鐵環(huán)未被夾持部分承載晶圓后較重下墜變形而在運(yùn)輸路徑中與其他結(jié)構(gòu)產(chǎn)生碰撞干涉。

3、因此，如何能夠?qū)⑤^大尺寸晶圓從料盒較安全移動至加工工位，有待解決。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┮环N上料機(jī)構(gòu)，夠?qū)⑤^大尺寸晶圓從料盒較安全移動至加工工位。

2、本申請采用的技術(shù)方案是：提供一種能夠用于將片狀工件從料盒內(nèi)轉(zhuǎn)移至加工工位的上料機(jī)構(gòu)，包括安裝架、夾持件以及吸附件，所述安裝架可移動設(shè)置；所述夾持件和/或所述吸附件可活動設(shè)置于所述安裝架，所述夾持件可夾持所述工件，所述吸附件可吸附所述工件，所述吸附件與所述夾持件相對可避讓，以使所述夾持件可單獨(dú)夾持所述工件或所述吸附件可單獨(dú)吸附所述工件；所述夾持件單獨(dú)夾持所述工件后，移動所述安裝架將所述工件從所述料盒移至一承載件，再切換至所述吸附件單獨(dú)吸附位于該承載件的所述工件，繼而移動所述安裝架將所述工件移至所述加工工位。

3、進(jìn)一步的，定義所述夾持件能夠單獨(dú)夾持所述工件時對應(yīng)的所述夾持件和所述吸附件配合的狀態(tài)為第一狀態(tài)，所述吸附件與所述夾持件相對活動調(diào)節(jié)至所述第一狀態(tài)時，所述夾持件的夾持作用端沿靠近所述料盒的出料口方向突出于所述吸附件；定義所述吸附件能夠單獨(dú)吸附所述工件時對應(yīng)的所述夾持件和所述吸附件配合的狀態(tài)為第二狀態(tài)，所述吸附件與所述夾持件相對活動調(diào)節(jié)至所述第二狀態(tài)時，所述吸附件的吸附作用端沿吸附方向突出于所述夾持件。

4、進(jìn)一步的，定義所述工件以水平狀態(tài)并沿豎直方向?qū)盈B放置于所述料盒內(nèi)，定義平行于水平面的第一方向，所述料盒的出料口朝所述第一方向設(shè)置，所述安裝架沿所述第一方向可移動設(shè)置，所述夾持件夾持所述工件的第一方向邊緣，所述吸附件沿豎直方向吸附所述工件上表面；所述夾持件于所述第一方向和豎直方向構(gòu)成的面內(nèi)可轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述安裝架，轉(zhuǎn)動所述夾持件可至對應(yīng)的所述第一狀態(tài)或所述第二狀態(tài)。

5、進(jìn)一步的，所述上料機(jī)構(gòu)還包括第一感應(yīng)件以及對應(yīng)可感應(yīng)所述第一感應(yīng)件的第一傳感件，所述第一感應(yīng)件設(shè)置于所述夾持件，所述第一傳感件設(shè)置于所述安裝架；所述第一感應(yīng)件與所述第一傳感件感應(yīng)配合時，所述夾持件轉(zhuǎn)動至對應(yīng)所述第一狀態(tài)。

6、進(jìn)一步的，所述上料機(jī)構(gòu)還包括第二感應(yīng)件以及對應(yīng)可感應(yīng)所述第二感應(yīng)件的第二傳感件，所述第二感應(yīng)件設(shè)置于所述夾持件，所述第二傳感件設(shè)置于所述安裝架；所述第二感應(yīng)件與所述第二傳感件感應(yīng)配合時，所述夾持件轉(zhuǎn)動至對應(yīng)所述第二狀態(tài)。

7、進(jìn)一步的，所述承載件承載所述工件的方向與所述料盒承載所述工件的方向同向，且所述承載件與所述料盒沿承載所述工件的方向相對可移動設(shè)置。

8、進(jìn)一步的，所述承載件設(shè)置于靠近所述料盒的出料口側(cè)，并與所述料盒相鄰。

9、進(jìn)一步的，所述安裝架包括支撐部和安裝部，所述支撐部可移動設(shè)置，所述安裝部沿所述承載件承載所述工件的方向可移動連接于所述支撐部，所述夾持件和所述吸附件設(shè)置于所述安裝部。

10、進(jìn)一步的，所述料盒、所述承載件以及所述加工工位沿所述第一方向依次設(shè)置，所述料盒的出料口朝所述第一方向靠近所述承載件側(cè)設(shè)置，并與所述承載件相鄰；所述承載件承載所述工件的方向與所述料盒承載所述工件的方向沿豎直方向，且所述承載件與所述料盒沿豎直方向相對可移動設(shè)置；所述安裝架包括支撐部和安裝部，所述支撐部沿所述第一方向可移動設(shè)置，所述安裝部沿豎直方向可升降設(shè)置于所述支撐部，所述夾持件和所述吸附件設(shè)置于所述安裝部。

11、本申請還提供了一種加工設(shè)備，包括機(jī)座、加工機(jī)構(gòu)以及如上任意所述的上料機(jī)構(gòu)，所述加工機(jī)構(gòu)和所述料盒設(shè)置于所述機(jī)座，所述上料機(jī)構(gòu)的安裝架可移動設(shè)置于所述機(jī)座，所述加工機(jī)構(gòu)設(shè)置為可加工放置于所述加工工位的工件。

12、本申請?zhí)峁┑纳狭蠙C(jī)構(gòu)中，安裝架作為夾持件和吸附件的承載架，當(dāng)夾持件夾持工件或吸附件吸附工件后，通過移動安裝架可同步調(diào)節(jié)夾持件和吸附件的位置，以用于轉(zhuǎn)移工件。而夾持件與吸附件之間為相對可活動的避讓設(shè)置，使夾持件和吸附件相對活動調(diào)節(jié)能夠而達(dá)到避讓效果，從而實現(xiàn)能夠分別單獨(dú)作用于工件。夾持件和吸附件交接工件時，承載件則作為該被交接的工件的中轉(zhuǎn)承載結(jié)構(gòu)，承載件設(shè)置于料盒的一側(cè)并滿足工件能夠從料盒被轉(zhuǎn)移至承載件即可，即夾持件夾持固定料盒內(nèi)的工件并配合安裝架轉(zhuǎn)移至承載件，然后再相對活動調(diào)節(jié)夾持件和吸附件至吸附件單獨(dú)工作的狀態(tài)，利用吸附件將該工件從承載件并配合安裝架轉(zhuǎn)移至加工工位。

13、其中，夾持件和吸附件均設(shè)置于安裝架，相對于夾持件和吸附件分別單獨(dú)移動設(shè)置的方案而言，本申請的設(shè)置能夠有效減小結(jié)構(gòu)所占空間，有助于結(jié)構(gòu)優(yōu)化；夾持件和吸附件的相對可活動避讓設(shè)置，可以是任何滿足能夠?qū)崿F(xiàn)夾持件和吸附件分別單獨(dú)作用于工件的設(shè)置，具體使用中，夾持件能夠夾持工件的邊緣，無需伸入料盒即可將工件從料盒取出，能夠解決料盒內(nèi)的工件相對密集而難以取件的問題；而吸附件能夠?qū)ぜ谋砻孢M(jìn)行整體吸附，吸附穩(wěn)定性高且工件結(jié)構(gòu)受力穩(wěn)定性也較高，能夠解決工件從料盒被取出后如何安全轉(zhuǎn)運(yùn)的問題，夾持件彌補(bǔ)了吸附件所需作用空間較大的不足，而吸附件則解決了夾持件作用面積較小導(dǎo)致工件結(jié)構(gòu)受力穩(wěn)定性較差的問題，運(yùn)用于晶圓上料過程中，本申請的上料機(jī)構(gòu)先利用夾持件夾持承載晶圓的鐵環(huán)的一處邊緣，將其移至承載件，然后利用吸附件吸附鐵環(huán)的多處邊緣，使鐵環(huán)受力較均衡，從而將鐵環(huán)以及承載的晶圓從承載件較安全地移至加工工位。

技術(shù)特征：

1.一種上料機(jī)構(gòu)，用于將片狀工件從料盒內(nèi)轉(zhuǎn)移至加工工位，其特征在于，所述上料機(jī)構(gòu)包括安裝架、夾持件以及吸附件，所述安裝架可移動設(shè)置；所述夾持件和/或所述吸附件可活動設(shè)置于所述安裝架，所述夾持件可夾持所述工件，所述吸附件可吸附所述工件，所述吸附件與所述夾持件相對可避讓，以使所述夾持件可單獨(dú)夾持所述工件或所述吸附件可單獨(dú)吸附所述工件；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的上料機(jī)構(gòu)，其特征在于，定義所述夾持件能夠單獨(dú)夾持所述工件時對應(yīng)的所述夾持件和所述吸附件配合的狀態(tài)為第一狀態(tài)，所述吸附件與所述夾持件相對活動調(diào)節(jié)至所述第一狀態(tài)時，所述夾持件的夾持作用端沿靠近所述料盒的出料口方向突出于所述吸附件；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的上料機(jī)構(gòu)，其特征在于，定義所述工件以水平狀態(tài)并沿豎直方向?qū)盈B放置于所述料盒內(nèi)，定義平行于水平面的第一方向，所述料盒的出料口朝所述第一方向設(shè)置，所述安裝架沿所述第一方向可移動設(shè)置，所述夾持件夾持所述工件的第一方向邊緣，所述吸附件沿豎直方向吸附所述工件上表面；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的上料機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上料機(jī)構(gòu)還包括第一感應(yīng)件以及對應(yīng)可感應(yīng)所述第一感應(yīng)件的第一傳感件，所述第一感應(yīng)件設(shè)置于所述夾持件，所述第一傳感件設(shè)置于所述安裝架；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的上料機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上料機(jī)構(gòu)還包括第二感應(yīng)件以及對應(yīng)可感應(yīng)所述第二感應(yīng)件的第二傳感件，所述第二感應(yīng)件設(shè)置于所述夾持件，所述第二傳感件設(shè)置于所述安裝架；

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項所述的上料機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載件承載所述工件的方向與所述料盒承載所述工件的方向同向，且所述承載件與所述料盒沿承載所述工件的方向相對可移動設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的上料機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載件設(shè)置于靠近所述料盒的出料口側(cè)，并與所述料盒相鄰。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的上料機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述安裝架包括支撐部和安裝部，所述支撐部可移動設(shè)置，所述安裝部沿所述承載件承載所述工件的方向可移動連接于所述支撐部，所述夾持件和所述吸附件設(shè)置于所述安裝部。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的上料機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述料盒、所述承載件以及所述加工工位沿所述第一方向依次設(shè)置，所述料盒的出料口朝所述第一方向靠近所述承載件側(cè)設(shè)置，并與所述承載件相鄰；

10.一種加工設(shè)備，其特征在于，所述加工設(shè)備包括機(jī)座、加工機(jī)構(gòu)以及如權(quán)利要求1-9中任一項所述的上料機(jī)構(gòu)，所述加工機(jī)構(gòu)和所述料盒設(shè)置于所述機(jī)座，所述上料機(jī)構(gòu)的安裝架可移動設(shè)置于所述機(jī)座，所述加工機(jī)構(gòu)設(shè)置為可加工放置于所述加工工位的工件。

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┝艘环N上料機(jī)構(gòu)及加工設(shè)備，上料機(jī)構(gòu)包括安裝架、夾持件以及吸附件，安裝架可移動設(shè)置；夾持件和/或吸附件可活動設(shè)置于安裝架，夾持件可夾持工件，吸附件可吸附工件，吸附件與夾持件相對可避讓，以使夾持件可單獨(dú)夾持工件或吸附件可單獨(dú)吸附工件；夾持件單獨(dú)夾持工件后，移動安裝架將工件從料盒移至一承載件，再切換至吸附件單獨(dú)吸附位于該承載件的工件，繼而移動安裝架將工件移至加工工位。夾持件能夠夾持工件的邊緣，能夠解決料盒內(nèi)的工件相對密集而難以取件的問題，而吸附件吸附穩(wěn)定性高，能夠解決工件從料盒被取出后如何安全轉(zhuǎn)運(yùn)的問題，因此能夠?qū)崿F(xiàn)將較大尺寸晶圓從料盒較安全地移動至加工工位。

技術(shù)研發(fā)人員：韋炫,梁國炤,王利彪,周福海,余俊華,尹建剛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2025/1/9