本申請涉及硅片傳輸，特別是一種破片吸盤組件。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有的硅片吸附通常由吸盤吸附，但是功能較為單一，無法檢測輸送的硅片是否破片。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種破片吸盤組件，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

3、本申請實施例公開了破片吸盤組件，其特征在于：包括圓盤、第一檢測部和兩個第二檢測部，兩個所述第二檢測部對稱設置在第一檢測部的上下兩側(cè)，所述第一檢測部包括兩個第一接近傳感器和兩個第一真空吸盤，所述兩個第一接近傳感器左右對稱固定在圓盤上，兩個所述第一真空吸盤對稱設置在兩個第一接近傳感器的左右兩側(cè)且與圓盤固定連接，所述第二檢測部包括三個第二真空吸盤和第二接近傳感器，所述第二接近傳感器固定在圓盤上，其中兩個所述第二真空吸盤對稱設置在第二接近傳感器的左右兩側(cè)且與圓盤固定連接，另一個所述第二真空吸盤固定設置在第二接近傳感器背離圓盤中心一側(cè)的圓盤上。

4、優(yōu)選的，在上述的破片吸盤組件中，第一檢測部的兩個第一真空吸盤與兩個第二檢測部的六個第二真空吸盤設置在同一圓周上且與圓盤同軸設置。

5、優(yōu)選的，在上述的破片吸盤組件中，第一檢測部的兩個第一真空吸盤與兩個第二檢測部的六個第二真空吸盤等間設置。

6、優(yōu)選的，在上述的破片吸盤組件中，第一檢測部的兩個第一接近傳感器與兩個第二檢測部的兩個第二接近傳感器設置在同一圓周上且與圓盤同軸設置。

7、優(yōu)選的，在上述的破片吸盤組件中，第一檢測部的兩個第一接近傳感器與兩個第二檢測部的兩個第二接近傳感器等間設置。

8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于：

9、通過第一檢測部和兩個第二檢測部對硅片的上中下區(qū)域進行單獨檢測，監(jiān)控各自接近傳感器及吸盤的數(shù)據(jù)以此來確定是否破片，從而功能更佳豐富，效果更佳。

技術(shù)特征：

1.一種破片吸盤組件，其特征在于：包括圓盤、第一檢測部和兩個第二檢測部，兩個所述第二檢測部對稱設置在第一檢測部的上下兩側(cè)，所述第一檢測部包括兩個第一接近傳感器和兩個第一真空吸盤，所述兩個第一接近傳感器左右對稱固定在圓盤上，兩個所述第一真空吸盤對稱設置在兩個第一接近傳感器的左右兩側(cè)且與圓盤固定連接，所述第二檢測部包括三個第二真空吸盤和第二接近傳感器，所述第二接近傳感器固定在圓盤上，其中兩個所述第二真空吸盤對稱設置在第二接近傳感器的左右兩側(cè)且與圓盤固定連接，另一個所述第二真空吸盤固定設置在第二接近傳感器背離圓盤中心一側(cè)的圓盤上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種破片吸盤組件，其特征在于：第一檢測部的兩個第一真空吸盤與兩個第二檢測部的六個第二真空吸盤設置在同一圓周上且與圓盤同軸設置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種破片吸盤組件，其特征在于：第一檢測部的兩個第一真空吸盤與兩個第二檢測部的六個第二真空吸盤等間設置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種破片吸盤組件，其特征在于：第一檢測部的兩個第一接近傳感器與兩個第二檢測部的兩個第二接近傳感器設置在同一圓周上且與圓盤同軸設置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種破片吸盤組件，其特征在于：第一檢測部的兩個第一接近傳感器與兩個第二檢測部的兩個第二接近傳感器等間設置。

技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種破片吸盤組件，包括圓盤、第一檢測部和兩個第二檢測部，兩個第二檢測部對稱設置在第一檢測部的上下兩側(cè)。該吸盤組件通過第一檢測部和兩個第二檢測部對硅片的上中下區(qū)域進行單獨檢測，監(jiān)控各自接近傳感器及吸盤的數(shù)據(jù)以此來確定是否破片，從而功能更佳豐富，效果更佳。

技術(shù)研發(fā)人員：陳宏
受保護的技術(shù)使用者：聲達半導體設備（江蘇）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240516
技術(shù)公布日：2025/1/6