本技術(shù)涉及吊裝設(shè)備，尤其涉及一種掩膜版輸送吊具。

背景技術(shù)：

1、掩膜版(mask)應(yīng)用十分廣泛，在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版，掩膜版是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版，是承載圖形設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)等知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息的載體，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu)，再通過曝光過程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。

2、目前，更換曝光機(jī)所使用的掩膜版時(shí)，需要使用地面智能叉車進(jìn)行掩膜版的輸送，如圖1所示，在掩膜版?zhèn)}庫(kù)1’和曝光機(jī)2’之間設(shè)有專用輸送通道3’，地面智能叉車從掩膜版?zhèn)}庫(kù)1’進(jìn)行掩膜版的裝載，沿專用輸送通道3’移動(dòng)后將掩膜版輸送至對(duì)應(yīng)的曝光機(jī)?，F(xiàn)有技術(shù)存在以下缺陷：需要在地面上設(shè)置專用輸送通道3’確保地面智能叉車能夠到達(dá)每臺(tái)曝光機(jī)2’，占用大量地面的有效使用面積，同時(shí)，地面智能叉車的移動(dòng)速度很慢，在進(jìn)行掩膜版的輸送時(shí)也容易與專用輸送通道3’上的其他物體發(fā)生干涉，導(dǎo)致掩膜版的輸送效率較低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于：提供一種掩膜版輸送吊具，其通過吊裝的方式輸送掩膜版，提高了工廠地面的有效使用面積，以及掩膜版的輸送效率。

2、為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

3、提供一種掩膜版輸送吊具，包括：

4、吊軌，設(shè)置在曝光機(jī)的上方，所述吊軌沿掩膜版?zhèn)}庫(kù)與所述曝光機(jī)之間的輸送路線延伸；

5、輸送機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述吊軌上；

6、升降機(jī)構(gòu)，與所述輸送機(jī)構(gòu)相連，所述輸送機(jī)構(gòu)用于沿所述輸送路線輸送所述升降機(jī)構(gòu)；

7、掩膜版吊架，與所述升降機(jī)構(gòu)的輸出端相連，所述升降機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述掩膜版吊架升降，所述掩膜版吊架包括用于放置盛放掩膜版的載具的搬運(yùn)部和設(shè)置在所述搬運(yùn)部上的鎖緊組件，所述鎖緊組件用于鎖緊固定所述載具。

8、作為掩膜版輸送吊具的一種優(yōu)選方案，所述搬運(yùn)部包括至少兩個(gè)間隔設(shè)置的叉臂，每個(gè)所述叉臂上設(shè)有一個(gè)所述鎖緊組件。

9、作為掩膜版輸送吊具的一種優(yōu)選方案，所述鎖緊組件包括兩個(gè)夾緊塊和第一驅(qū)動(dòng)組件，所述第一驅(qū)動(dòng)組件與兩個(gè)所述夾緊塊相連，用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè)所述夾緊塊相互靠近或遠(yuǎn)離，以?shī)A緊或松開所述載具。

10、作為掩膜版輸送吊具的一種優(yōu)選方案，所述叉臂上設(shè)有安裝槽，所述安裝槽沿所述叉臂的長(zhǎng)度方向延伸，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括：

11、正反牙螺桿，安裝在所述安裝槽內(nèi)，并轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述叉臂，兩個(gè)所述夾緊塊均螺紋連接于所述正反牙螺桿；

12、第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，設(shè)置在所述搬運(yùn)部上，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件的輸出端與所述正反牙螺桿相連，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過驅(qū)動(dòng)所述正反牙螺桿正反轉(zhuǎn)使兩個(gè)所述夾緊塊相互靠近或遠(yuǎn)離。

13、作為掩膜版輸送吊具的一種優(yōu)選方案，所述叉臂上設(shè)有安裝槽，所述安裝槽沿所述叉臂的長(zhǎng)度方向延伸，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括：

14、正反牙螺桿，安裝在所述安裝槽內(nèi)，并轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述叉臂；

15、底座，與所述夾緊塊一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述底座螺紋連接于所述正反牙螺桿，且所述底座的頂部不高于所述叉臂的上表面，所述底座的頂部設(shè)有凹槽；

16、升降驅(qū)動(dòng)件，安裝在所述凹槽內(nèi)，所述升降驅(qū)動(dòng)件與所述夾緊塊相連，所述升降驅(qū)動(dòng)件通過驅(qū)動(dòng)所述夾緊塊升降使所述夾緊塊于夾緊位置和收藏位置之間切換；在所述夾緊位置，所述夾緊塊突出于所述凹槽；在所述收藏位置，所述夾緊塊置于所述凹槽內(nèi)；

17、第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件，設(shè)置在所述搬運(yùn)部上，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件的輸出端與所述正反牙螺桿相連，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過驅(qū)動(dòng)所述正反牙螺桿正反轉(zhuǎn)使兩個(gè)所述底座相互靠近或遠(yuǎn)離。

18、作為掩膜版輸送吊具的一種優(yōu)選方案，所述叉臂上設(shè)有物料檢測(cè)傳感器，所述夾緊塊的夾緊面上設(shè)有壓力傳感器，所述掩膜版輸送吊具還包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)與所述物料檢測(cè)傳感器、所述壓力傳感器和所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件均信號(hào)連接，所述控制系統(tǒng)用于在所述物料檢測(cè)傳感器檢測(cè)到所述叉臂上有所述載具時(shí)控制所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述正反牙螺桿按預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)，以及在所述壓力傳感器的壓力值超過預(yù)設(shè)值時(shí)控制所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件停止。

19、作為掩膜版輸送吊具的一種優(yōu)選方案，所述夾緊塊包括相互垂直的第一夾緊面和第二夾緊面，所述第一夾緊面用于與所述載具的側(cè)面抵接，所述第二夾緊面用于與所述載具的上表面抵接。

20、作為掩膜版輸送吊具的一種優(yōu)選方案，所述搬運(yùn)部還包括連接板和加強(qiáng)梁，所有所述叉臂的一端與所述連接板相連，并位于所述連接板的同一側(cè)，所述加強(qiáng)梁連接相鄰的兩個(gè)所述叉臂。

21、作為掩膜版輸送吊具的一種優(yōu)選方案，所述輸送機(jī)構(gòu)包括：

22、移動(dòng)輸送座，所述移動(dòng)輸送座內(nèi)部設(shè)有空腔；

23、連接軸，轉(zhuǎn)動(dòng)穿設(shè)于所述移動(dòng)輸送座，所述連接軸的中部置于所述空腔內(nèi)；

24、轉(zhuǎn)動(dòng)輪，設(shè)置在所述移動(dòng)輸送座的兩側(cè)，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪分別與所述連接軸的兩端相連，所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪用于在所述吊軌上行走；

25、第二驅(qū)動(dòng)組件，設(shè)置在所述空腔內(nèi)，所述第二驅(qū)動(dòng)組件與所述連接軸的中部相連，用于驅(qū)動(dòng)所述連接軸正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)。

26、作為掩膜版輸送吊具的一種優(yōu)選方案，所述第二驅(qū)動(dòng)組件包括第二轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件、設(shè)置在所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件的輸出端上的主動(dòng)齒輪和套設(shè)在所述連接軸上的從動(dòng)齒輪，所述從動(dòng)齒輪與所述主動(dòng)齒輪嚙合，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過驅(qū)動(dòng)所述主動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述從動(dòng)齒輪帶動(dòng)所述連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

27、本實(shí)用新型的有益效果為：通過輸送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)升降機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)，使得與升降機(jī)構(gòu)相連的掩膜版吊架能夠帶動(dòng)掩膜版在掩膜版?zhèn)}庫(kù)和曝光機(jī)之間進(jìn)行輸送，完成掩膜版的裝載和卸載，與使用地面智能叉車進(jìn)行掩膜版的輸送相比，無(wú)需在地面設(shè)置專用輸送通道，提高了工廠地面的有效使用面積，并且輸送過程中無(wú)障礙物干擾，輸送效率較高。

技術(shù)特征：

1.掩膜版輸送吊具，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版輸送吊具，其特征在于，所述搬運(yùn)部包括至少兩個(gè)間隔設(shè)置的叉臂，每個(gè)所述叉臂上設(shè)有一個(gè)所述鎖緊組件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版輸送吊具，其特征在于，所述鎖緊組件包括兩個(gè)夾緊塊和第一驅(qū)動(dòng)組件，所述第一驅(qū)動(dòng)組件與兩個(gè)所述夾緊塊相連，用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè)所述夾緊塊相互靠近或遠(yuǎn)離，以?shī)A緊或松開所述載具。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜版輸送吊具，其特征在于，所述叉臂上設(shè)有安裝槽，所述安裝槽沿所述叉臂的長(zhǎng)度方向延伸，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜版輸送吊具，其特征在于，所述叉臂上設(shè)有安裝槽，所述安裝槽沿所述叉臂的長(zhǎng)度方向延伸，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的掩膜版輸送吊具，其特征在于，所述叉臂上設(shè)有物料檢測(cè)傳感器，所述夾緊塊的夾緊面上設(shè)有壓力傳感器，所述掩膜版輸送吊具還包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)與所述物料檢測(cè)傳感器、所述壓力傳感器和所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件均信號(hào)連接，所述控制系統(tǒng)用于在所述物料檢測(cè)傳感器檢測(cè)到所述叉臂上有所述載具時(shí)控制所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述正反牙螺桿按預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)，以及在所述壓力傳感器的壓力值超過預(yù)設(shè)值時(shí)控制所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件停止。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜版輸送吊具，其特征在于，所述夾緊塊包括相互垂直的第一夾緊面和第二夾緊面，所述第一夾緊面用于與所述載具的側(cè)面抵接，所述第二夾緊面用于與所述載具的上表面抵接。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版輸送吊具，其特征在于，所述搬運(yùn)部還包括連接板和加強(qiáng)梁，所有所述叉臂的一端與所述連接板相連，并位于所述連接板的同一側(cè)，所述加強(qiáng)梁連接相鄰的兩個(gè)所述叉臂。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版輸送吊具，其特征在于，所述輸送機(jī)構(gòu)包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掩膜版輸送吊具，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)組件包括第二轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件、設(shè)置在所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件的輸出端上的主動(dòng)齒輪和套設(shè)在所述連接軸上的從動(dòng)齒輪，所述從動(dòng)齒輪與所述主動(dòng)齒輪嚙合，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過驅(qū)動(dòng)所述主動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述從動(dòng)齒輪帶動(dòng)所述連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開一種掩膜版輸送吊具，包括吊軌、輸送機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)和掩膜版吊架，吊軌設(shè)置在曝光機(jī)的上方，吊軌沿掩膜版?zhèn)}庫(kù)和曝光機(jī)的輸送路線延伸；輸送機(jī)構(gòu)設(shè)置在吊軌上；升降機(jī)構(gòu)與輸送機(jī)構(gòu)相連，輸送機(jī)構(gòu)用于沿輸送路線輸送升降機(jī)構(gòu)；掩膜版吊架與升降機(jī)構(gòu)的輸出端相連，升降機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)掩膜版吊架升降，掩膜版吊架包括用于放置盛放掩膜版的載具的搬運(yùn)部和設(shè)置在搬運(yùn)部上的鎖緊組件，鎖緊組件用于鎖緊固定載具。該掩膜版輸送吊具通過吊裝的方式輸送掩膜版，提高了工廠地面的有效使用面積，以及掩膜版的輸送效率。

技術(shù)研發(fā)人員：黃遠(yuǎn)科
受保護(hù)的技術(shù)使用者：樂金顯示光電科技（中國(guó)）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240522
技術(shù)公布日：2024/12/26