本技術(shù)涉及半導(dǎo)體尾氣處理，尤其是一種反應(yīng)室升降裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備中，需要通過(guò)反應(yīng)室內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)(如燃燒)或物理吸附(如活性炭)等消除尾氣。所以實(shí)際工作時(shí)，需要經(jīng)常性地更換和檢修反應(yīng)室。

2、目前，需要將反應(yīng)室拆下時(shí)，需要將其周圍的進(jìn)氣端和出氣端等周邊設(shè)備一并拆除后，才能將反應(yīng)室拆卸，非常費(fèi)時(shí)費(fèi)力。而且全人力拆卸，重量較大的反應(yīng)室有砸到工作人員的安全風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在解決上述問(wèn)題，提供了一種反應(yīng)室升降裝置，解決了現(xiàn)有的反應(yīng)室拆卸費(fèi)時(shí)費(fèi)力、有安全風(fēng)險(xiǎn)的問(wèn)題。

2、一種反應(yīng)室升降裝置，包括：出氣端、氣缸和固定板，所述出氣端與多個(gè)固定板固定連接，多個(gè)固定板繞出氣端做圓周均勻排布，每個(gè)固定板與至少一個(gè)氣缸的活塞桿固定連接，所述氣缸的缸體與機(jī)架固定連接。

3、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括開關(guān)，所述開關(guān)與機(jī)架固定連接，所述開關(guān)用于控制氣缸的動(dòng)作。

4、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括限位塊，所述限位塊在限位出氣端時(shí)位于固定板和缸體之間并分別與固定板和缸體接觸，所述限位塊與缸體滑動(dòng)連接。

5、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述限位塊為內(nèi)部形成有凹槽的凹字形，所述凹槽的開口朝向出氣端。

6、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述限位塊在凹槽開口處形成有倒角。

7、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括拉環(huán)，所述拉環(huán)與限位塊固定連接。

8、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)限位塊做直線運(yùn)動(dòng)。

9、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述機(jī)架形成有安裝臺(tái)，所述安裝臺(tái)上側(cè)與缸體固定連接。

10、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述出氣端下端與波紋管固定連接且相連通。

11、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括螺釘，所述螺釘穿過(guò)固定板的豎直通孔與活塞桿端部螺紋連接。

12、本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)：通過(guò)氣缸驅(qū)動(dòng)出氣端和反應(yīng)室運(yùn)動(dòng)，需要拆卸的部件大大減少，且不需要將進(jìn)氣端和出氣端等從設(shè)備上拆下，也避免了重新連接管路，解決了現(xiàn)有的反應(yīng)室拆卸費(fèi)時(shí)費(fèi)力、有安全風(fēng)險(xiǎn)的問(wèn)題。

技術(shù)特征：

1.一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于，包括：出氣端(1)、氣缸(2)和固定板(11)，所述出氣端(1)與多個(gè)固定板(11)固定連接，多個(gè)固定板(11)繞出氣端(1)做圓周均勻排布，每個(gè)固定板(11)與至少一個(gè)氣缸(2)的活塞桿(22)固定連接，所述氣缸(2)的缸體(21)與機(jī)架(4)固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于：還包括開關(guān)(5)，所述開關(guān)(5)與機(jī)架(4)固定連接，所述開關(guān)(5)用于控制氣缸(2)的動(dòng)作。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于：還包括限位塊(6)，所述限位塊(6)在限位出氣端(1)時(shí)位于固定板(11)和缸體(21)之間并分別與固定板(11)和缸體(21)接觸，所述限位塊(6)與缸體(21)滑動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于：所述限位塊(6)為內(nèi)部形成有凹槽的凹字形，所述凹槽的開口朝向出氣端(1)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于：所述限位塊(6)在凹槽開口處形成有倒角(62)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于：還包括拉環(huán)(61)，所述拉環(huán)(61)與限位塊(6)固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于：還包括驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)限位塊(6)做直線運(yùn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于：所述機(jī)架(4)形成有安裝臺(tái)(41)，所述安裝臺(tái)(41)上側(cè)與缸體(21)固定連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于：所述出氣端(1)下端與波紋管(3)固定連接且相連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反應(yīng)室升降裝置，其特征在于：還包括螺釘，所述螺釘穿過(guò)固定板(11)的豎直通孔與活塞桿(22)端部螺紋連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種反應(yīng)室升降裝置，包括：出氣端、氣缸和固定板，所述出氣端與多個(gè)固定板固定連接，多個(gè)固定板繞出氣端做圓周均勻排布，每個(gè)固定板與至少一個(gè)氣缸的活塞桿固定連接，所述氣缸的缸體與機(jī)架固定連接。本技術(shù)通過(guò)氣缸驅(qū)動(dòng)出氣端和反應(yīng)室運(yùn)動(dòng)，需要拆卸的部件大大減少，且不需要將進(jìn)氣端和出氣端等從設(shè)備上拆下，也避免了重新連接管路，解決了現(xiàn)有的反應(yīng)室拆卸費(fèi)時(shí)費(fèi)力、有安全風(fēng)險(xiǎn)的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：崔漢寬,程勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海高笙集成電路設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240523
技術(shù)公布日：2024/12/26