本技術(shù)涉及吸盤(pán)加工，特別涉及一種真空吸盤(pán)加工用輔助工裝。

背景技術(shù)：

1、碳化硅真空陶瓷吸盤(pán)被廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體的光刻機(jī)刻蝕、晶圓減薄、晶圓檢測(cè)以及激光加工等加工程序當(dāng)中，由于所加工對(duì)象均具有較高的精度要求，因此對(duì)于碳化硅吸盤(pán)的表面平整度要求也較高。

2、專(zhuān)利授權(quán)公告號(hào)cn?218329747?u的實(shí)用新型專(zhuān)利公開(kāi)了一種真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，包括底座，所述底座上方設(shè)有移動(dòng)板，所述上滑槽與所述下滑槽相對(duì)應(yīng)，所述上滑槽與所述下滑槽內(nèi)壁滑動(dòng)連接有檢測(cè)柱，所述檢測(cè)柱外壁與所述上滑槽和所述下滑槽內(nèi)壁相匹配，所述檢測(cè)柱內(nèi)設(shè)有推桿，所述推桿外壁固定連接有支撐塊，所述支撐塊底部設(shè)有彈簧，所述彈簧另一端與所述檢測(cè)柱內(nèi)壁固定連接。

3、但是上述裝置在實(shí)際使用時(shí)仍舊存在一些缺點(diǎn)，較為明顯的就是每次進(jìn)行檢測(cè)操作時(shí)，都需要將待測(cè)吸盤(pán)放置到移動(dòng)板的正下方并利用兩組連接塊和螺紋桿對(duì)碳化硅吸盤(pán)進(jìn)行夾持固定，檢測(cè)完成后，還需要反向轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋桿以解除夾持，操作繁瑣的同時(shí)可操作空間較小，存在較大的操作難度，另外對(duì)于檢測(cè)效率也存在較大影響。

4、因此，發(fā)明一種真空吸盤(pán)加工用輔助工裝來(lái)解決上述問(wèn)題很有必要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，通過(guò)設(shè)置有吸盤(pán)承載定位機(jī)構(gòu)，以便于通過(guò)環(huán)形把手對(duì)旋轉(zhuǎn)環(huán)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使旋轉(zhuǎn)環(huán)帶動(dòng)多個(gè)承載槽依次經(jīng)過(guò)下料工位、檢測(cè)工位和出料工位，承載槽抵達(dá)下料工位時(shí)，吸盤(pán)下料機(jī)構(gòu)將待測(cè)吸盤(pán)輸入到承載槽內(nèi)側(cè)，承載槽則對(duì)待測(cè)吸盤(pán)進(jìn)行定位，承載槽抵達(dá)檢測(cè)工位時(shí)，平整檢測(cè)機(jī)構(gòu)則對(duì)承載槽內(nèi)側(cè)的被定位后的待測(cè)吸盤(pán)進(jìn)行檢測(cè)，承載槽抵達(dá)出料工位時(shí)，操作人員將手由操作通道伸入到承載槽內(nèi)側(cè)，然后將檢測(cè)后的吸盤(pán)向上取出，隨后根據(jù)檢測(cè)結(jié)果對(duì)其進(jìn)行分類(lèi)，以解決上述背景技術(shù)中提出的每次進(jìn)行檢測(cè)操作時(shí)，都需要將待測(cè)吸盤(pán)放置到移動(dòng)板的正下方并利用兩組連接塊和螺紋桿對(duì)碳化硅吸盤(pán)進(jìn)行夾持固定，檢測(cè)完成后，還需要反向轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋桿以解除夾持，操作繁瑣的同時(shí)可操作空間較小，存在較大的操作難度，另外對(duì)于檢測(cè)效率也存在較大影響的問(wèn)題。

2、根據(jù)本公開(kāi)的一個(gè)方面，提供了如下技術(shù)方案：一種真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，包括：

3、底座，所述底座用于對(duì)吸盤(pán)承載定位機(jī)構(gòu)、吸盤(pán)下料機(jī)構(gòu)和平整檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行安裝；

4、吸盤(pán)承載定位機(jī)構(gòu)，所述吸盤(pán)承載定位機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)環(huán)、承載槽、操作通道和環(huán)形把手；

5、所述旋轉(zhuǎn)環(huán)通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)嵌套設(shè)置于底座頂部，所述承載槽與操作通道均設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述承載槽均勻開(kāi)設(shè)于旋轉(zhuǎn)環(huán)頂部，多個(gè)所述操作通道均勻開(kāi)設(shè)于旋轉(zhuǎn)環(huán)外側(cè)，任意一個(gè)所述操作通道均與相鄰承載槽連通，所述環(huán)形把手固定套接設(shè)置于旋轉(zhuǎn)環(huán)外側(cè)中部；

6、吸盤(pán)下料機(jī)構(gòu)，所述吸盤(pán)下料機(jī)構(gòu)用于將待測(cè)吸盤(pán)沿豎直方向輸送至相鄰的承載槽內(nèi)側(cè)；以及

7、平整檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述平整檢測(cè)機(jī)構(gòu)用于對(duì)相鄰承載槽中被定位的待測(cè)吸盤(pán)進(jìn)行檢測(cè)與標(biāo)記。

8、根據(jù)本公開(kāi)的至少一個(gè)實(shí)施方式的真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，所述吸盤(pán)下料機(jī)構(gòu)包括l形固定板、料筒和觀(guān)察窗。

9、根據(jù)本公開(kāi)的至少一個(gè)實(shí)施方式的真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，所述l形固定板固定設(shè)置于底座頂部右側(cè)，所述料筒固定設(shè)置于l形固定板端部，所述料筒底部與旋轉(zhuǎn)環(huán)頂部滑動(dòng)貼合，所述觀(guān)察窗開(kāi)設(shè)于料筒正面。

10、根據(jù)本公開(kāi)的至少一個(gè)實(shí)施方式的真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，所述平整檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括液壓缸、承載板和多組檢測(cè)組件，任意一組所述檢測(cè)組件均包括升降筒、限位環(huán)、滑動(dòng)柱、復(fù)位彈簧和涂塊。

11、根據(jù)本公開(kāi)的至少一個(gè)實(shí)施方式的真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，所述液壓缸固定設(shè)置于底座頂部左側(cè)，所述承載板固定設(shè)置于液壓缸的輸出軸頂端，所述升降筒滑動(dòng)貫穿設(shè)置于液壓缸頂部，所述限位環(huán)固定套接設(shè)置于升降筒外側(cè)頂部，所述滑動(dòng)柱滑動(dòng)設(shè)置于升降筒內(nèi)側(cè)，所述復(fù)位彈簧套接設(shè)置于滑動(dòng)柱外側(cè)且固定連接于升降筒與滑動(dòng)柱之間，所述涂塊固定設(shè)置于滑動(dòng)柱底端。

12、本實(shí)用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：

13、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置有吸盤(pán)承載定位機(jī)構(gòu)，以便于通過(guò)環(huán)形把手對(duì)旋轉(zhuǎn)環(huán)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使旋轉(zhuǎn)環(huán)帶動(dòng)多個(gè)承載槽依次經(jīng)過(guò)下料工位、檢測(cè)工位和出料工位，承載槽抵達(dá)下料工位時(shí)，吸盤(pán)下料機(jī)構(gòu)將待測(cè)吸盤(pán)輸入到承載槽內(nèi)側(cè)，承載槽則對(duì)待測(cè)吸盤(pán)進(jìn)行定位，承載槽抵達(dá)檢測(cè)工位時(shí)，平整檢測(cè)機(jī)構(gòu)則對(duì)承載槽內(nèi)側(cè)的被定位后的待測(cè)吸盤(pán)進(jìn)行檢測(cè)，承載槽抵達(dá)出料工位時(shí)，操作人員將手由操作通道伸入到承載槽內(nèi)側(cè)，然后將檢測(cè)后的吸盤(pán)向上取出，隨后根據(jù)檢測(cè)結(jié)果對(duì)其進(jìn)行分類(lèi)，相較于現(xiàn)有技術(shù)中同類(lèi)型裝置，本實(shí)用新型可以在待測(cè)吸盤(pán)下料后實(shí)現(xiàn)其定位，降低操作難度的同時(shí)提高定位速度，進(jìn)而提升待測(cè)吸盤(pán)的檢測(cè)效率。

技術(shù)特征：

1.一種真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，其特征在于：所述吸盤(pán)下料機(jī)構(gòu)包括l形固定板、料筒和觀(guān)察窗。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，其特征在于：所述l形固定板固定設(shè)置于底座頂部右側(cè)，所述料筒固定設(shè)置于l形固定板端部，所述料筒底部與旋轉(zhuǎn)環(huán)頂部滑動(dòng)貼合，所述觀(guān)察窗開(kāi)設(shè)于料筒正面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，其特征在于：所述平整檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括液壓缸、承載板和多組檢測(cè)組件，任意一組所述檢測(cè)組件均包括升降筒、限位環(huán)、滑動(dòng)柱、復(fù)位彈簧和涂塊。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，其特征在于：所述液壓缸固定設(shè)置于底座頂部左側(cè)，所述承載板固定設(shè)置于液壓缸的輸出軸頂端，所述升降筒滑動(dòng)貫穿設(shè)置于液壓缸頂部，所述限位環(huán)固定套接設(shè)置于升降筒外側(cè)頂部，所述滑動(dòng)柱滑動(dòng)設(shè)置于升降筒內(nèi)側(cè)，所述復(fù)位彈簧套接設(shè)置于滑動(dòng)柱外側(cè)且固定連接于升降筒與滑動(dòng)柱之間，所述涂塊固定設(shè)置于滑動(dòng)柱底端。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種真空吸盤(pán)加工用輔助工裝，涉及到吸盤(pán)加工技術(shù)領(lǐng)域，包括：底座，所述底座用于對(duì)吸盤(pán)承載定位機(jī)構(gòu)、吸盤(pán)下料機(jī)構(gòu)和平整檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行安裝；吸盤(pán)承載定位機(jī)構(gòu)，所述吸盤(pán)承載定位機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)環(huán)、承載槽、操作通道和環(huán)形把手；所述旋轉(zhuǎn)環(huán)通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)嵌套設(shè)置于底座頂部，所述承載槽與操作通道均設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述承載槽均勻開(kāi)設(shè)于旋轉(zhuǎn)環(huán)頂部，多個(gè)所述操作通道均勻開(kāi)設(shè)于旋轉(zhuǎn)環(huán)外側(cè)，任意一個(gè)所述操作通道均與相鄰承載槽連通，所述環(huán)形把手固定套接設(shè)置于旋轉(zhuǎn)環(huán)外側(cè)中部；吸盤(pán)下料機(jī)構(gòu)。本技術(shù)可以在待測(cè)吸盤(pán)下料后實(shí)現(xiàn)其定位，降低操作難度的同時(shí)提高定位速度，進(jìn)而提升待測(cè)吸盤(pán)的檢測(cè)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：王喜,王先桃
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寧波精卓氣動(dòng)元件有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240524
技術(shù)公布日：2025/1/2