專利名稱:靜電吸附裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種靜電吸附裝置，尤其是涉及與一般工件的檢查、測量、加工、輸送、夾持及組裝有關(guān)的靜電吸附裝置。
背景技術(shù)：
目前，電子產(chǎn)業(yè)正日益蓬勃發(fā)展，尤其是印刷電路板技術(shù)更是一日千里，其中的柔、硬性電路板則是關(guān)鍵零件，特別是，柔性電路板的占有率已有逐年提升的趨勢，因此，柔性電路板的檢測工作日受重視。
電路板的檢驗及測量為一必須、重要且復雜的工作，以往在進行電路板的檢測時，通?？稍趩我粰C臺或生產(chǎn)在線進行。而固定電路板的方法通常為通過機械夾持、真空吸附或靜電吸附等方式來實現(xiàn)，但這些裝置既復雜且整體費用太高。其中，使用靜電來固定電路板的方式極為常見。例如，靜電式持取裝置就是利用靜電來吸附工件。一般常用的靜電式持取裝置通常是使用一電源供應器，其可提供高電壓且低電流的電源，以此電源導通物體而使物體表面產(chǎn)生靜電，因而該物體可具有吸附的功能，當不需靜電時，則切斷電源。而使用靜電來吸附固定電路板與機械夾持裝置相比，靜電吸附可不必依賴接觸電路板的機構(gòu)，也無磨損電路板的缺點。然而，此種公知裝置造價昂貴、產(chǎn)生靜電的費用高昂，以致整體生產(chǎn)成本非常高昂。此外，尚可采用真空吸附來固定電路板，而真空吸附也須另外設(shè)置產(chǎn)生真空的裝置，通常費用比較高，同樣地，也將大大增加生產(chǎn)成本。由此可知，一般固定工件所公知的裝置大多需要高額的成本且存在損傷電路板的缺陷。
另外，值得注意的是，上述的工件固定問題，并不是只有在針對電路板進行檢測操作時會發(fā)生，凡是在自動光學檢測、精密測量、自動化產(chǎn)業(yè)、加工、產(chǎn)品組裝以及一般產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域在進行工件的檢查、測量、加工、輸送、夾持及組裝等都可能會發(fā)生。
為了改善公知裝置及方法在固定工件時的種種缺點，以有效降低生產(chǎn)成本，本發(fā)明的申請人在經(jīng)悉心試驗與研究之后，終于研發(fā)出本發(fā)明的靜電吸附裝置。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種靜電吸附裝置，其能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。
具體而言，就本發(fā)明的一個技術(shù)方案來說，本發(fā)明提出了一種靜電吸附裝置，所述靜電吸附裝置包括一機座、一可動式支架、一操控裝置、一摩擦裝置以及一平臺。其中，該可動式支架設(shè)置于該機座上，該操控裝置則設(shè)置于該可動式支架上，而該摩擦裝置與該操控裝置連接而設(shè)置于該可動式支架上，該平臺平置于該機座上，該平臺的一上表面用于置放一對象，通過該摩擦裝置與該平臺相互摩擦以在該表面產(chǎn)生一靜電，使得該平臺可吸附并固定該對象。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該對象為一印刷電路板。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該印刷電路板為一柔性電路板。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，該裝置還包括一驅(qū)動裝置，其與該可動式支架連接，以提供一動力以驅(qū)動該可動式支架。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該動力為一人工驅(qū)動以及一機器驅(qū)動其中之一。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該操控裝置可控制該摩擦裝置與該平臺之間的一相對位置，使得該摩擦裝置與該平臺接觸或分離。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該摩擦裝置與該平臺分別由一第一材料以及一第二材料所組成，該第一材料與該第二材料所具有的物理特性為，當該摩擦裝置與該平臺相互摩擦時，使該摩擦裝置與該平臺其中之一極易獲得電子而成為帶負電體，該摩擦裝置與該平臺的另一極易失去電子而成為帶正電體，以產(chǎn)生該靜電。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該平臺由一剛性硬質(zhì)材料所構(gòu)成，其中該剛性硬質(zhì)材料為一金屬及一非金屬其中之一。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該第一材料以及該第二材料分別為一PVC與一玻璃、一鋁與一壓克力以及一尼龍布與一塑料的其中之一。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該靜電吸附裝置還包括一靜電消除裝置，用于消除該平臺上的該靜電，以取走該對象。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該靜電消除裝置為一離子風扇，其設(shè)置于該機座上。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該靜電吸附裝置還包括一集塵裝置，設(shè)置于該機座上，用于將該平臺以及該對象上的一污染物吸入并收集。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該離子風扇可使該靜電吸附裝置上的空氣電離以及將該平臺及該對象上的該污染物吹除，且其中所吹除的該物染物還可由該集塵裝置吸入并收集。
另外，本發(fā)明還提出了另一種靜電吸附裝置，該靜電吸附裝置包括一機座、一固定支架、一摩擦裝置以及一可動式平臺。其中，該固定支架系與該機座連接，摩擦裝置是設(shè)置于該固定支架上，而該可動式平臺則平置于該機座上，用于置放一對象，通過該摩擦裝置與該可動式平臺的一表面相互摩擦以在該可動式平臺產(chǎn)生一靜電，使得該可動式平臺可吸附并固定該物件。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該對象為一印刷電路板。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該印刷電路板為一柔性電路板。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中，當該表面為該平臺的一上表面時，該靜電吸附裝置還包括一操控裝置，設(shè)置于該支架上，用于控制該摩擦裝置與該平臺之間的一相對位置，使得該摩擦裝置與該平臺接觸或分離。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中，當該表面為該平臺的一下表面時，該摩擦裝置直接與該下表面接觸。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，該靜電吸附裝置還包括一驅(qū)動裝置，其與該平臺連接，以提供一動力以驅(qū)動該平臺，使得該平臺與該支架產(chǎn)生一相對運動。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該動力為一人工驅(qū)動以及一機器驅(qū)動其中之根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該摩擦裝置與該平臺分別由一第一材料以及一第二材料所組成，該第一材料與該第二材料所具有的物理特性為，當該摩擦裝置與該平臺相互摩擦時，使該摩擦裝置與該平臺其中之一極易獲得電子而成為帶負電體，該摩擦裝置與該平臺的另一極易失去電子而成為帶正電體，以產(chǎn)生該靜電。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該平臺由一剛性硬質(zhì)材料所構(gòu)成，其中該剛性硬質(zhì)材料為一金屬及一非金屬其中之一。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該第一材料以及該第二材料分別為一PVC與一玻璃、一鋁與一壓克力、以及一尼龍布與一塑料的其中之一。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該靜電吸附裝置還包括一靜電消除裝置，用于消除該平臺上的該靜電，以取走該對象。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該靜電消除裝置為一離子風扇，其設(shè)置于該機座上。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該靜電吸附裝置還包括一集塵裝置，設(shè)置于該機座上，用于將該平臺以及該對象上的一污染物吸入并收集。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該離子風扇可使該靜電吸附裝置上的空氣電離以及將該平臺及該對象上的該污染物吹除，且其中所吹除的該物染物還可由該集塵裝置吸入并收集。
就另一方案而言，本發(fā)明還提出了一種靜電吸附裝置，所述靜電吸附裝置包括一機座、一支架、一摩擦裝置以及一平臺。其中，該支架與該機座連接，該摩擦裝置設(shè)置于該支架上，而該平臺則平置于該機座上，用于置放一對象，通過該摩擦裝置與該平臺的一表面相互摩擦以在該平臺產(chǎn)生一靜電，使得該平臺可吸附并固定該對象。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該對象為一印刷電路板。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該印刷電路板為一柔性電路板。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中，當該表面為該平臺的一上表面時，該靜電吸附裝置還包括一操控裝置，設(shè)置于該支架上，用于控制該摩擦裝置與該平臺之間的一相對位置，使得該摩擦裝置與該平臺接觸或分離。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中，當該表面為該平臺的一下表面時，該摩擦裝置直接與該下表面接觸。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該靜電吸附裝置還包括一第一驅(qū)動裝置，其與該支架以及該平臺其中之一連接，以提供一動力以驅(qū)動該支架以及該平臺其中之一，使得該平臺與該支架產(chǎn)生一相對運動。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該動力為一人工驅(qū)動以及一機器驅(qū)動其中之一。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中所述靜電吸附裝置還包括一第二驅(qū)動裝置，其與該支架以及該平臺中的另外一個連接，以提供一動力以驅(qū)動該支架以及該平臺中的該另外一個。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該動力為一人工驅(qū)動以及一機器驅(qū)動其中之根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該摩擦裝置與該平臺分別由一第一材料以及一第二材料所組成，該第一材料與該第二材料所具有的物理特性為，當該摩擦裝置與該平臺相互摩擦時，使該摩擦裝置與該平臺其中之一極易獲得電子而成為帶負電體，該摩擦裝置與該平臺的另一極易失去電子而成為帶正電體，以產(chǎn)生該靜電。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該平臺由一剛性硬質(zhì)材料所構(gòu)成，其中該剛性硬質(zhì)材料為一金屬及一非金屬其中之一。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該第一材料以及該第二材料分別為一PVC與一玻璃、一鋁與一壓克力以及一尼龍布與一塑料的其中之一。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中更包括一靜電消除裝置，用于消除該平臺上的該靜電，以取離該對象。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該靜電消除裝置為一離子風扇，其設(shè)置于該機座上。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中所述靜電吸附裝置還包括一集塵裝置，設(shè)置于該機座上，用于將該平臺以及該對象上的一污染物吸入并收集。
根據(jù)上述技術(shù)構(gòu)思，其中該離子風扇可使該靜電吸附裝置上的空氣電離以及將該平臺及該對象上的該污染物吹除，且其中所吹除的該物染物還可由該集塵裝置吸入并收集。
本發(fā)明可以通過下列附圖及詳細說明來得到更深入的了解圖1為本發(fā)明的靜電吸附裝置一實施例的示意圖；以及圖2為本發(fā)明的靜電吸附裝置另一實施例的示意圖。
其中，附圖標記說明如下1靜電吸附裝置 11機座 12可動式支架
13操控裝置 14摩擦裝置 141摩擦桿142PVC 15玻璃平臺 16離子風扇17集塵裝置 18柔性電路板 2靜電吸附裝置21機座 22固定式支架 23操控裝置24摩擦裝置 241摩擦桿 242PVC25動式玻璃平臺 26靜電消除裝置 27吸氣集塵裝置28電路板具體實施方式
本發(fā)明的靜電吸附裝置將可由以下的實施例說明而得到充分了解，使得本領(lǐng)域技術(shù)人員可以據(jù)以完成本申請的技術(shù)方案。然而本發(fā)明的并不受限于所述實施例。
在進行電路板的檢測或測量時，一般公知的機臺都具有可產(chǎn)生線性運動的機構(gòu)，即進給系統(tǒng)，通常包括伺服馬達、滾珠導螺桿、線性滑軌等，可使工作平臺或其它相關(guān)構(gòu)件在機臺上移動，本發(fā)明的靜電吸附裝置即建構(gòu)在配合當前產(chǎn)業(yè)中所慣用的機臺來產(chǎn)生靜電，進而吸附所欲進行檢測或測量的電路板。請參閱圖1，其為本發(fā)明的靜電吸附裝置一實施例的示意圖。如圖1所示，本實施例中的靜電吸附裝置1包括機座11、可動式支架12、一操控裝置13、一摩擦裝置14、玻璃平臺15、離子風扇16以及集塵裝置17。其中，機座11具有公知可產(chǎn)生線性運動的進給系統(tǒng)(圖中未示出)，可動式支架12可通過機座11的進給系統(tǒng)(圖中未示出)或是以手動方式而于機座11上前后移動，操控裝置13與摩擦裝置14設(shè)置在可動式支架12上，摩擦裝置14長度約與玻璃平臺15的寬度相等，其由一摩擦桿141與一特殊PVC 142所組成，操控裝置13可控制摩擦裝置14的高度位置，使該PVC 142與玻璃平臺表面接觸或分離。在操作時，利用操控裝置13來控制摩擦裝置14的位置，以使摩擦裝置14的PVC 142與玻璃平臺15的表面成適當接觸，通過機座11的進給系統(tǒng)(圖中未示出)或是以手動方式驅(qū)動可動式支架12，使其在機座11上產(chǎn)生前后移動，這樣，摩擦裝置14前端的PVC 142與玻璃平臺15表面相互摩擦而使玻璃平臺15表面產(chǎn)生靜電，于是玻璃平臺15表面便可吸附并固定柔性電路板18，以進行柔性電路板18的檢測或測量工作。
在機座11上所設(shè)置的離子風扇16可使空氣產(chǎn)生電離，使得玻璃平臺15上的電荷相互中和以消除玻璃平臺15上的靜電。在靜電消除之后，玻璃平臺15便不再具有吸附的能力，此時便可從玻璃平臺15上取走電路板18，待下次需吸附另一電路板時，再重新執(zhí)行上述的程序。在電路板的檢測或測量過程或是工作環(huán)境中極可能存在灰塵、微粒，而這些灰塵、微粒將會影響檢測或測量工作的進行，因此，在此靜電吸附裝置1中還可以設(shè)置有集塵裝置17，與離子風扇16分別設(shè)置于玻璃平臺15的相對側(cè)，離子風扇16除了具有使空氣電離的作用外，還可將平臺或工作物表面的污染物吹除，以此配合集塵裝置17可將玻璃平臺15表面及其附近的灰塵、微粒吸入并收集，以避免灰塵、微粒附著于玻璃平臺15及電路板18表面而影響檢驗、測量的工作。
請參閱圖2，其為本發(fā)明靜電吸附裝置另一實施例的示意圖。如圖2所示，本實施例中的靜電吸附裝置2包括一機座21、一固定支架22、操控裝置23、摩擦裝置24、可動式玻璃平臺25、靜電消除裝置26以及吸氣集塵裝置27。機座21具有公知的進給系統(tǒng)(圖中未示出)，可動式玻璃平臺25與機座21的進給系統(tǒng)(圖中未示出)連接，在操作時，可利用進給系統(tǒng)(圖中未示出)作為動力來源或是以手動方式來驅(qū)動可動式玻璃平臺25，以使可動式玻璃平臺25在機座21上前后移動，操控裝置23與摩擦裝置24設(shè)置在固定支架22上，摩擦裝置24由一摩擦桿241與一特殊PVC 242所組成，操控裝置23可控制摩擦裝置24的位置，以使摩擦裝置24上的PVC 242與可動式玻璃平臺25表面接觸或分離。在操作時，先利用操控裝置23來控制摩擦裝置24的位置，使摩擦裝置24的PVC 242與可動式玻璃平臺25的表面適當接觸，通過機座21的進給系統(tǒng)(圖中未示出)或是以手動方式來驅(qū)動可動式平臺25而在機座21上產(chǎn)生前后移動，通過摩擦裝置24前端的PVC 242與玻璃平臺25表面相互摩擦使可動式玻璃平臺25表面產(chǎn)生靜電從而具有吸附能力，此時玻璃平臺25便可吸附以及固定所欲進行檢測或測量的工件，例如，印刷電路板等等。
靜電消除裝置26與吸氣集塵裝置27分別設(shè)置于玻璃平臺25的相對側(cè)，當欲解除可動式玻璃平臺25的靜電吸附能力時，則可使用靜電消除裝置26來消除可動式玻璃平臺25表面上的靜電，此時可動式玻璃平臺25即不再具有靜電，此時即可取走原來吸附于可動式玻璃平臺25表面的電路板28。此外，可進一步配合吸氣集塵裝置27，將可動式玻璃平臺25表面及其附近的灰塵、微粒吸入并收集，以避免這些污物影響電路板檢測或測量的質(zhì)量。
請同時參閱本發(fā)明圖1與圖2，這些較佳實施方式的差異主要在于在圖1中是移動可動式支架12以使摩擦裝置14與玻璃平臺15產(chǎn)生摩擦，而在圖2中則是通過可動式玻璃平臺25與固定式支架22搭配而使摩擦裝置24與玻璃平臺25相互摩擦產(chǎn)生靜電。然而，本發(fā)明主要利用物體之間相互摩擦可產(chǎn)生靜電的原理，因此，上述的平臺與支架間只要有相對運動即可，平臺與支架可一運動一靜止，或二者均運動。此外，在圖1與圖2中，設(shè)置在支架上的摩擦裝置是位于平臺上方，除了此種配置外，也可設(shè)置在相對于平臺的下方，使得平臺與摩擦裝置產(chǎn)生相對運動時，摩擦裝置可直接與平臺接觸，因此，采取這種配置方式時，無須由操控裝置來控制摩擦裝置與平臺的相對位置，而可省去操控裝置的設(shè)置。
如上所述，本發(fā)明利用兩物體之間相互摩擦可產(chǎn)生靜電的原理，以所產(chǎn)生的靜電來吸附工件，靜電的強弱會影響吸附工件的能力，而靜電的強弱則視電荷的多少來決定，因此，在建構(gòu)本發(fā)明的靜電吸附裝置時，為了能產(chǎn)生較強的靜電以提供較佳的吸附能力，在前述實施方式中所采用的玻璃平臺與摩擦裝置的PVC可做不同的選擇，所需考慮的因素為二者必須均是特定材料，使摩擦裝置與平臺在相互摩擦時，一方極易獲得電子，成為帶負電體，一方極易失去電子，成為帶正電體，以產(chǎn)生較佳的靜電吸附能力，因此，平臺與摩擦裝置的材質(zhì)除了玻璃與PVC外，尚可分別采用壓克力與鋁、塑料與尼龍布等等。再者，平臺較佳是由剛性的硬質(zhì)材料所組成，可采用金屬或非金屬的剛性硬質(zhì)材料。若平臺采用透明材質(zhì)，如玻璃、壓克力、塑料時，則更適合進行打光為面光及背光的檢驗、測量工作。
上述兩個實施例各自提出了一種不同建構(gòu)方式的靜電吸附裝置，通過平臺與摩擦裝置之間的相互摩擦產(chǎn)生的靜電來吸附工件。因為本發(fā)明的實施例可利用既有機臺新增設(shè)摩擦裝置與操控裝置，通過摩擦裝置與平臺構(gòu)成材料的選擇并利用其相對運動產(chǎn)生靜電而實施，無需額外配置價格昂貴的裝置以產(chǎn)生靜電。由此可知本發(fā)明所提出的靜電吸附裝置，構(gòu)造簡單、制作容易，其利用兩物體之間相互摩擦可產(chǎn)生靜電的自然現(xiàn)象，與現(xiàn)今利用高壓電力以產(chǎn)生靜電的方法相比，其所產(chǎn)生靜電的成本甚低，且符合節(jié)能及環(huán)保。另外，應當注意的是，凡在自動光學檢測、精密測量、自動化產(chǎn)業(yè)、加工、產(chǎn)品組裝以及一般產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域上工件的檢查、測量、加工、輸送、夾持及組裝等工作等都是本發(fā)明的應用范圍。
本領(lǐng)域技術(shù)人員對本發(fā)明作所的各種修飾和變化，均不脫離本發(fā)明權(quán)利要求
書的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種靜電吸附裝置，包括一機座；一可動式支架，設(shè)置于該機座上；一操控裝置，設(shè)置于該可動式支架上；一摩擦裝置，該摩擦裝置與該操控裝置連接而設(shè)置于該可動式支架上；以及一平臺，平置于該機座上，該平臺的一上表面用于置放一對象；其中，通過該摩擦裝置與該平臺相互摩擦以在該表面產(chǎn)生一靜電，使得該平臺可吸附并固定該對象。
2.如權(quán)利要求
1所述的裝置，其中該對象為一印刷電路板，而該印刷電路板可為一柔性電路板。
3.如權(quán)利要求
1所述的裝置，該裝置還包括一驅(qū)動裝置，該驅(qū)動裝置與該可動式支架連接來提供一動力以驅(qū)動該可動式支架，該動力為一人工驅(qū)動和一機器驅(qū)動其中之一。
4.如權(quán)利要求
1所述的裝置，其中該操控裝置可控制該摩擦裝置與該平臺之間的一相對位置，使得該摩擦裝置與該平臺接觸或分離。
5.如權(quán)利要求
1所述的裝置，其中該摩擦裝置與該平臺分別由一第一材料以及一第二材料所組成，該第一材料與該第二材料所具有的物理特性為，當該摩擦裝置與該平臺相互摩擦時，使該摩擦裝置與該平臺其中之一極易獲得電子而成為帶負電體，該摩擦裝置與該平臺的另一極易失去電子而成為帶正電體，以產(chǎn)生該靜電，其中該平臺由一剛性硬質(zhì)材料所構(gòu)成，其中該剛性硬質(zhì)材料為一金屬及一非金屬其中之一；及/或該第一材料以及該第二材料分別為一PVC與一玻璃、一鋁與一壓克力、以及一尼龍布與一塑料中的任何一個。
6.如權(quán)利要求
1所述的裝置，其中該裝置還包括一靜電消除裝置，用于消除該平臺上的該靜電，以取離該對象，其中該靜電消除裝置可為一離子風扇，該離子風扇設(shè)置于該機座上；該裝置還包括一集塵裝置，設(shè)置于該機座上，用于將該平臺以及該對象上的一污染物吸入并收集；及/或該離子風扇可使該靜電吸附裝置上的空氣電離以及將該平臺及該對象上的該污染物吹除，且其中所吹除的該物染物還可由該集塵裝置吸入并收集。
7.一種靜電吸附裝置，包括一機座；一固定支架，連接于該機座；一摩擦裝置，設(shè)置于該固定支架上；以及一可動式平臺，平置于該機座上，用于置放一物件；其中，通過該摩擦裝置與該可動式平臺的一表面相互摩擦以在該可動式平臺產(chǎn)生一靜電，使得該可動式平臺可吸附并固定該物件。
8.如權(quán)利要求
7所述的裝置，其中，當該表面為該平臺的一上表面時，該靜電吸附裝置還包括一操控裝置，設(shè)置于該支架上，用于控制該摩擦裝置與該平臺之間的一相對位置，使得該摩擦裝置與該平臺接觸或分離。
9.如權(quán)利要求
7所述的裝置，其中，當該表面為該平臺的一下表面時，該摩擦裝置直接與該下表面接觸。
10.如權(quán)利要求
7所述的裝置，其中該裝置還包括一驅(qū)動裝置，該驅(qū)動裝置與該平臺連接來提供一動力以驅(qū)動該平臺，使得該平臺與該支架產(chǎn)生一相對運動，而該動力可為一人工驅(qū)動以及一機器驅(qū)動其中之一。
11.一種靜電吸附裝置，包括一機座；一支架，連接于該機座；一摩擦裝置，設(shè)置于該支架上；以及一平臺，平置于該機座上，用于置放一物件；其中，通過該摩擦裝置與該平臺的一表面相互摩擦以在該平臺產(chǎn)生一靜電，使得該平臺可吸附并固定該對象。
12.如權(quán)利要求
11所述的裝置，其中，當該表面為該平臺的一上表面時，該靜電吸附裝置還包括一操控裝置，該操控裝置設(shè)置于該支架上，用于控制該摩擦裝置與該平臺之間的一相對位置，使得該摩擦裝置與該平臺接觸或分離。
13.如權(quán)利要求
11所述的裝置，其中，當該表面為該平臺的一下表面時，該摩擦裝置直接與該下表面接觸。
14.如權(quán)利要求
11所述的裝置，其中該裝置還包括一第一驅(qū)動裝置，該第一驅(qū)動裝置與該支架以及該平臺其中之一連接，以提供一動力以驅(qū)動該支架以及該平臺其中之一，使得該平臺與該支架產(chǎn)生一相對運動。
15.如權(quán)利要求
11所述的裝置，其中該裝置還包括一第二驅(qū)動裝置，該第二驅(qū)動裝置與該支架以及該平臺中的另外一個連接，以提供一動力以驅(qū)動該支架以及該平臺中的該另外一個。
16.如權(quán)利要求
11所述的裝置，其中該摩擦裝置與該平臺分別由一第一材料以及一第二材料所組成，該第一材料與該第二材料所具有的物理特性為，當該摩擦裝置與該平臺相互摩擦時，使該摩擦裝置與該平臺其中之一極易獲得電子而成為帶負電體，該摩擦裝置與該平臺的另一極易失去電子而成為帶正電體，以產(chǎn)生該靜電。
17.如權(quán)利要求
11所述的裝置，其中該裝置還包括一靜電消除裝置，用于消除該平臺上的該靜電，以取走該對象；及/或一集塵裝置，設(shè)置于該機座上，用于將該平臺以及該對象上的一污染物吸入并收集。
專利摘要
本發(fā)明公開了一種靜電吸附裝置，該靜電吸附裝置具有機座、支架、操控裝置、摩擦裝置以及平臺。其中，摩擦裝置與操控裝置連接而設(shè)置于支架上，通過操控裝置控制摩擦裝置與平臺表面成適當接觸，當平臺與摩擦裝置有相對運動時，摩擦裝置與平臺可相互摩擦，以在平臺表面產(chǎn)生靜電，進而吸附并固定欲進行檢測的電路板。
文檔編號H05K3/00GK1994839SQ200610051364
公開日2007年7月11日 申請日期2006年1月5日
發(fā)明者石宇森 申請人:財團法人工業(yè)技術(shù)研究院導出引文BiBTeX, EndNote, RefMan