一種硅片盒搬送系統(tǒng)及搬運(yùn)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送機(jī)臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種的硅片盒搬送系統(tǒng)及搬運(yùn)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，300mm硅片已經(jīng)逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會(huì)降低效率，還存在搬運(yùn)人員人身傷害的可能。同時(shí)，半導(dǎo)體制造對(duì)于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴(yán)茍S自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)(Automated MaterialHandlingSystems，簡(jiǎn)稱AMHS)作為連接各個(gè)制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日?凸顯出來。
[0003]現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于天花板上的多條軌道結(jié)構(gòu)與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個(gè)機(jī)臺(tái)之間(tool to tool輸送模式)，或往返于機(jī)臺(tái)與暫存區(qū)Stocker之間。如圖1所示，現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)包括在輸送車101以及工藝設(shè)備103，輸送車101抓取硅片盒102在軌道(圖中未示出)上行駛，工藝設(shè)備103具有用于裝載硅片盒的裝載臺(tái)104，當(dāng)抓取有硅片盒102的輸送車101沿著軌道到達(dá)工藝設(shè)備103上方時(shí)，輸送車101下降，將硅片盒102放置在裝載臺(tái)104上。
[0004]通常在300mm半導(dǎo)體廠房建設(shè)中，先安裝AMHS系統(tǒng)軌道，然后工藝設(shè)備才就位，工藝設(shè)備上的裝載臺(tái)根據(jù)軌道上投射的對(duì)準(zhǔn)線對(duì)準(zhǔn)，通常對(duì)準(zhǔn)要求非常高，誤差要求〈+/-lcm，而300mm工藝設(shè)備通常都非常重，從兩三噸重量至十幾噸重量不等，目前仍然需要通過人力搬運(yùn)工藝設(shè)備，使工藝設(shè)備的裝載臺(tái)與軌道投射的對(duì)準(zhǔn)線對(duì)準(zhǔn)，在這樣高的對(duì)準(zhǔn)精度要求下，需要耗費(fèi)大量時(shí)間和人力。如果工藝設(shè)備與軌道預(yù)設(shè)位置偏差較大，則無法完成娃片盒的取放工作。
[0005]由此可見，本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需提供一種可自動(dòng)識(shí)別位置偏差的硅片盒搬送系統(tǒng)及搬運(yùn)方法，從而降低工藝設(shè)備的裝載臺(tái)與軌道之間的對(duì)準(zhǔn)時(shí)間和人力消耗，保證硅片盒的正常取放。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明目的是提供一種的硅片盒搬送系統(tǒng)及搬運(yùn)方法，通過在輸送車在裝載臺(tái)上進(jìn)行硅片盒取放時(shí)，輸送車可自動(dòng)修正其自身位置，保證硅片盒的正常取放，減少前期工藝設(shè)備與軌道對(duì)準(zhǔn)的工作量。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種硅片盒搬送系統(tǒng)，包括輸送車以及工藝設(shè)備，所述輸送車用于抓取硅片盒并沿著軌道行駛，所述工藝設(shè)備具有用于放置所述硅片盒的裝載臺(tái)；所述輸送車的車身上設(shè)有感測(cè)單元、控制單元以及驅(qū)動(dòng)單元；其中，所述感測(cè)單元用于采集所述裝載臺(tái)的圖像，所述控制單元將采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像進(jìn)行對(duì)比，并確認(rèn)待修正的距離，所述驅(qū)動(dòng)單元用于接收所述控制單元反饋的待修正距離的信息，并調(diào)整所述輸送車的位置，直至采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像重合。
[0008]優(yōu)選的，所述裝載臺(tái)的中心位置處設(shè)有十字形的中心線。
[0009]優(yōu)選的，所述裝載臺(tái)上設(shè)有多個(gè)信息腳位。
[0010]優(yōu)選的，所述控制單元與物料控制系統(tǒng)連接，所述控制單元同時(shí)將待修正距離的信息發(fā)送至所述物料控制系統(tǒng)。
[0011]優(yōu)選的，所述控制單元通過無線網(wǎng)絡(luò)與物料控制系統(tǒng)連接。
[0012]優(yōu)選的，所述物料控制系統(tǒng)與其他輸送車的控制單元連接，用于將待修正距離的信息發(fā)送至其他輸送車的控制單元，其他輸送車的驅(qū)動(dòng)單元用于接受待調(diào)整位置的信息并調(diào)整其自身的位置，使其最終停止在所述裝載臺(tái)的正上方位置。
[0013]優(yōu)選的，所述物料控制系統(tǒng)通過無線網(wǎng)絡(luò)與其他輸送車連接。
[0014]本發(fā)明還提供一種硅片盒搬送方法，其特征在于，包括以下步驟:
[0015]步驟S01、所述輸送車抓取硅片盒行駛至所述工藝設(shè)備的裝載臺(tái)上方；
[0016]步驟S02、所述輸送車的感測(cè)單元對(duì)所述裝載臺(tái)進(jìn)行圖像采集，并將采集的圖像反饋至所述控制單元；
[0017]步驟S03、所述控制單元將采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像進(jìn)行對(duì)比，并確認(rèn)待修正的距離；
[0018]步驟S04、所述驅(qū)動(dòng)單元接收所述控制單元發(fā)送的待修正距離的信息，并調(diào)整所述輸送車的位置，直至采集的圖像與預(yù)設(shè)圖像重合；
[0019]步驟S05、所述輸送車的抓取裝置將硅片盒下降并放置在所述裝載臺(tái)上后，輸送車離開。
[0020]優(yōu)選的，所述步驟S03中，所述控制單元同時(shí)將待修正距離的信息通過物料控制系統(tǒng)反饋至其他輸送車的控制單元，其他輸送車的驅(qū)動(dòng)單元接受到待修正距離的信息后調(diào)整其自身位置，使其最終停止在所述裝載臺(tái)的正上方位置。
[0021]優(yōu)選的，所述裝載臺(tái)上具有十字形的中心線圖像和/或多個(gè)信息腳位圖像。
[0022]本發(fā)明提供了一種硅片盒搬送系統(tǒng)及方法，通過增設(shè)感測(cè)單元、控制單元以及驅(qū)動(dòng)單元，使輸送車具備位置修正功能，保證輸送車行駛至裝載臺(tái)正上方時(shí)進(jìn)行硅片盒取放動(dòng)作，由于輸送車具備位置修正功能，因此工藝設(shè)備在前期安裝的過程中，與軌道位置對(duì)準(zhǔn)時(shí)的偏差容許量得以增加，從而大大減少工藝設(shè)備就位時(shí)耗費(fèi)的人力和時(shí)間；此外，本發(fā)明還可同時(shí)將位置修正的信息發(fā)送至其他輸送車，避免其他輸送車重復(fù)的確認(rèn)待修正距離的信息，簡(jiǎn)化了搬運(yùn)步驟；本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、操作安全，大大提高了搬送效率。
【附圖說明】
[0023]圖1為現(xiàn)有的硅片盒搬送系統(tǒng)優(yōu)選實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為本發(fā)明提供的硅片盒搬送系統(tǒng)優(yōu)選實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為圖2中硅片盒搬送系統(tǒng)中裝載臺(tái)的對(duì)準(zhǔn)位置示意圖。
[0026]其中，圖1?圖3中:
[0027]101、輸送車;102、硅片盒;103、工藝設(shè)備;104、裝載臺(tái);105、感測(cè)單元;106、控制單元；107、驅(qū)動(dòng)單元;108、中心線;109、信息腳位。
【具體實(shí)施方式】
[0028]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本發(fā)明利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本發(fā)明實(shí)例時(shí)，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本發(fā)明的限定。
[0029]需要說明的是，在下述的實(shí)施例中，利用圖2?3的結(jié)構(gòu)示意圖對(duì)按本發(fā)明硅片盒搬送系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)的表述。在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了便于說明，各示意圖不依照一般比例繪制并進(jìn)行了局部放大及省略處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本發(fā)明的限定。
[0030]請(qǐng)參考圖2?圖3，圖2為本發(fā)明提供的硅片盒搬送系統(tǒng)優(yōu)選實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2中硅片盒搬送系統(tǒng)中裝載臺(tái)的對(duì)準(zhǔn)位置示意圖。
[0031]如圖2所示，本發(fā)明提供了一種硅片盒搬送系統(tǒng)，包括輸送車101以及工藝設(shè)備103，輸送車101用于抓取硅片盒102并沿著軌道(圖中未示出)行駛，軌道安裝在天花板上，工藝設(shè)備103具有用于放置硅片盒102的裝載臺(tái)104，工藝設(shè)備103安裝在軌道的下方。
[0032]為了使輸送車101具備位置自動(dòng)修正功能，輸送車101的車身上設(shè)有依次連接的感測(cè)單元10