搬運(yùn)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對(duì)收納有半導(dǎo)體基板等工件的搬運(yùn)容器進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體器件等的制造設(shè)備中，有時(shí)，收納有半導(dǎo)體基板等工件的搬運(yùn)容器，在被沿著設(shè)于設(shè)備的頂棚附近的行走軌行走的頂棚搬運(yùn)車(搬運(yùn)裝置)把持的狀態(tài)下，在多個(gè)處理裝置之間依次進(jìn)行搬運(yùn)。
[0003]例如，在專利文獻(xiàn)I中公開了一種搬運(yùn)裝置，該搬運(yùn)裝置具備升降單元，該升降單元設(shè)置于水平移動(dòng)單元，使對(duì)工件(密閉匣)進(jìn)行保持的工件保持單元升降，在工件保持單元與各處理裝置之間進(jìn)行工件的交接，該搬運(yùn)裝置在潔凈室內(nèi)在多個(gè)處理裝置間循環(huán)，向各處理裝置搬運(yùn)工件。
[0004]在專利文獻(xiàn)I的搬運(yùn)裝置中，上述工件保持單元由向工件(密閉匣)的兩側(cè)面以3字狀延伸的工件保持部構(gòu)成。通過在此工件保持部的兩側(cè)部的下端相向地設(shè)置對(duì)工件的底面進(jìn)行保持的手，上述工件保持單元對(duì)工件(密閉匣)進(jìn)行保持。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2004-25427號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]然而，專利文獻(xiàn)I的搬運(yùn)裝置以對(duì)形狀相同的密閉匣(搬運(yùn)容器)進(jìn)行搬運(yùn)為目的，不能隨時(shí)搬運(yùn)形狀或大小不同的搬運(yùn)容器。因此，特別是在必須搬運(yùn)各種各樣的形狀或大小的搬運(yùn)容器的半導(dǎo)體器件制造工序的后工序，存在必須與搬運(yùn)容器的形狀或大小適應(yīng)地變更裝置構(gòu)成(例如容器的把持單元的構(gòu)成)的問題。
[0007]另外，在用于半導(dǎo)體器件制造工序的后工序的搬運(yùn)容器中，具有用于防止被收納的工件跳出的跳出防止構(gòu)件(例如用于將搬運(yùn)容器密閉的蓋等)的搬運(yùn)容器少。因此，需要另行在搬運(yùn)裝置設(shè)置跳出防止構(gòu)件，還存在裝置構(gòu)成變復(fù)雜這一問題。
[0008]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種搬運(yùn)裝置，該搬運(yùn)裝置不變更裝置構(gòu)成即可進(jìn)行各種各樣的形狀或大小的搬運(yùn)容器的搬運(yùn)，并且，可由簡(jiǎn)單的裝置結(jié)構(gòu)防止搬運(yùn)容器內(nèi)的工件跳出。
[0009]本發(fā)明的要解決的課題如上，接下來對(duì)用于解決此課題的技術(shù)手段進(jìn)行說明。
[0010]S卩，本發(fā)明中的技術(shù)方案I記載的搬運(yùn)裝置具備對(duì)收納工件的搬運(yùn)容器進(jìn)行把持的容器把持單元，在上述容器把持單元對(duì)上述搬運(yùn)容器進(jìn)行把持的狀態(tài)下搬運(yùn)上述搬運(yùn)容器；在該搬運(yùn)裝置中，上述容器把持單元具備對(duì)上述搬運(yùn)容器進(jìn)行把持的把持部和對(duì)由上述把持部把持的搬運(yùn)容器進(jìn)行檢測(cè)的容器檢測(cè)部；上述把持部基于由上述容器檢測(cè)部進(jìn)行的檢測(cè)來控制對(duì)上述搬運(yùn)容器的把持動(dòng)作，并且，上述把持部防止被收納在上述搬運(yùn)容器中的工件跳出。
[0011]當(dāng)采用上述構(gòu)成時(shí)，通過容器檢測(cè)部對(duì)搬運(yùn)容器進(jìn)行檢測(cè)，來控制把持部對(duì)上述搬運(yùn)容器的把持動(dòng)作，并且，把持部防止被收納在搬運(yùn)容器中的工件跳出。
[0012]另外，技術(shù)方案2記載的發(fā)明在技術(shù)方案I記載的搬運(yùn)裝置中，上述把持部以覆蓋上述搬運(yùn)容器的上述工件的收納口的方式對(duì)上述搬運(yùn)容器進(jìn)行把持，由此來防止被收納在上述搬運(yùn)容器中的工件跳出。
[0013]當(dāng)采用上述構(gòu)成時(shí)，通過把持部對(duì)搬運(yùn)容器進(jìn)行把持，并且在對(duì)搬運(yùn)容器進(jìn)行把持的狀態(tài)下覆蓋工件的收納口，防止被收納在搬運(yùn)容器中的工件跳出。
[0014]并且，技術(shù)方案3記載的發(fā)明在技術(shù)方案I或技術(shù)方案2記載的搬運(yùn)裝置中，上述把持部通過使相對(duì)于上述搬運(yùn)容器的移動(dòng)方向分階段地改變來對(duì)上述搬運(yùn)容器進(jìn)行把持。
[0015]當(dāng)采用上述構(gòu)成時(shí)，通過一邊使把持部相對(duì)于該搬運(yùn)容器的移動(dòng)方向分階段地改變一邊與搬運(yùn)容器接近或分開，對(duì)搬運(yùn)容器進(jìn)行把持。
[0016]并且，技術(shù)方案4記載的發(fā)明在技術(shù)方案I至技術(shù)方案3的任意一項(xiàng)記載的搬運(yùn)裝置中，上述容器檢測(cè)部由對(duì)上述搬運(yùn)容器的一個(gè)側(cè)面進(jìn)行檢測(cè)的第I容器檢測(cè)部和對(duì)上述搬運(yùn)容器的另一個(gè)側(cè)面進(jìn)行檢測(cè)的第2容器檢測(cè)部構(gòu)成。
[0017]當(dāng)采用上述構(gòu)成時(shí)，在兩個(gè)檢測(cè)部(第I及第2容器檢測(cè)部)，從兩方向?qū)Π徇\(yùn)容器進(jìn)行檢測(cè)。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的搬運(yùn)裝置，因?yàn)閷?duì)搬運(yùn)容器進(jìn)行把持的把持部基于對(duì)搬運(yùn)容器進(jìn)行檢測(cè)的容器檢測(cè)部的檢測(cè)對(duì)搬運(yùn)容器進(jìn)行把持，所以，可與搬運(yùn)容器的形狀或大小適應(yīng)地對(duì)搬運(yùn)容器進(jìn)行把持。因此，不用對(duì)搬運(yùn)裝置(把持部)的構(gòu)成進(jìn)行變更即可搬運(yùn)各種各樣的形狀或大小的搬運(yùn)容器。
[0019]另外，根據(jù)本發(fā)明的搬運(yùn)裝置，因?yàn)閷?duì)搬運(yùn)容器進(jìn)行把持的把持部具有防止被收納在搬運(yùn)容器中的工件跳出的跳出防止構(gòu)件的功能，所以，不需要在搬運(yùn)裝置另行設(shè)置跳出防止構(gòu)件。因此，可由簡(jiǎn)單的裝置結(jié)構(gòu)防止搬運(yùn)容器內(nèi)的工件跳出。
【附圖說明】
[0020]圖1是作為本發(fā)明的搬運(yùn)裝置的一例的頂棚搬運(yùn)車的正視圖。
[0021]圖2是由頂棚搬運(yùn)車搬運(yùn)的盒的立體圖。
[0022]圖3是頂棚搬運(yùn)車的夾持裝置的側(cè)面剖視圖。
[0023]圖4 (a)至(C)是使頂棚搬運(yùn)車的第I夾頭縱構(gòu)件及第2夾頭縱構(gòu)件分兩個(gè)階段進(jìn)行移動(dòng)的場(chǎng)合的俯視簡(jiǎn)圖，(d)及(e)是使頂棚搬運(yùn)車的第I夾頭縱構(gòu)件及第2夾頭縱構(gòu)件以一個(gè)階段進(jìn)行移動(dòng)的場(chǎng)合的俯視簡(jiǎn)圖。
[0024]圖5(a)是表示由頂棚搬運(yùn)車搬運(yùn)的盒的另外的實(shí)施例的立體圖，(b)及(C)是相對(duì)于該盒使面導(dǎo)向構(gòu)件移動(dòng)的場(chǎng)合的俯視簡(jiǎn)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]首先，對(duì)作為本發(fā)明的搬運(yùn)裝置的一例的頂棚搬運(yùn)車10進(jìn)行說明。
[0026]如圖1所示那樣，頂棚搬運(yùn)車10是用于向?qū)τ诎雽?dǎo)體基板等工件(未圖示)進(jìn)行規(guī)定的處理的多個(gè)處理裝置(未圖示)搬運(yùn)工件的搬運(yùn)車。頂棚搬運(yùn)車10在對(duì)收納工件的盒80( “搬運(yùn)容器”的一例)進(jìn)行了把持的狀態(tài)下進(jìn)行搬運(yùn)。
[0027]如圖2所示那樣，頂棚搬運(yùn)車10搬運(yùn)的盒80是大致長(zhǎng)方體的箱狀的搬運(yùn)容器。在搬運(yùn)的盒80的內(nèi)部設(shè)置可收納多個(gè)工件的多層的載置部81。盒80可從在其長(zhǎng)度方向的兩端部開口的收納口 82收納工件地構(gòu)成。收納口 82的上下部分形成為被開槽口的狀態(tài)。
[0028][頂棚搬運(yùn)車10]
[0029]如圖1所示那樣，頂棚搬運(yùn)車10以相對(duì)于設(shè)置在設(shè)備的頂棚90附近的行走軌91懸掛的狀態(tài)進(jìn)行安裝。頂棚搬運(yùn)車10可沿行走軌91移動(dòng)地構(gòu)成。頂棚搬運(yùn)車10主要由移動(dòng)車11、升降驅(qū)動(dòng)部12和夾持裝置20 ( “容器把持單元”的一例)構(gòu)成。
[0030]移動(dòng)車11可沿固定地安裝于頂棚90的行走軌91行走地構(gòu)成。移動(dòng)車11主要由線性馬達(dá)式的行走車體13和支承部14構(gòu)成。線性馬達(dá)式的行走車體13產(chǎn)生用于沿行走軌91行走的行走推力。支承部14被相對(duì)于行走車體13連結(jié)，對(duì)升降驅(qū)動(dòng)部12進(jìn)行支承。另外，行走車體13不限定于線性馬達(dá)式的行走車體，只要是可在潔凈室等要求潔凈度的空間中行走的方式的行走車體即可。
[0031]升降驅(qū)動(dòng)部12是在懸掛了夾持裝置20的狀態(tài)下進(jìn)行升降的部分。升降驅(qū)動(dòng)部12安裝于移動(dòng)車11的下端部。升降驅(qū)動(dòng)部12具有多條升降皮帶15。升降驅(qū)動(dòng)部12構(gòu)成為可同時(shí)地卷取及開卷多條升降皮帶15。通過進(jìn)行多條升降皮帶15的卷取及開卷，由升降皮帶15懸掛支承的夾持裝置20被一邊維持大致水平姿勢(shì)一邊進(jìn)行升降操作。
[0032][夾持裝置20]
[0033]夾持裝置20是對(duì)盒80進(jìn)行把持的裝置。夾持裝置20被安裝于升降驅(qū)動(dòng)部12。夾持裝置20以從盒80的底部將盒80包入(掏取)的方式對(duì)盒80進(jìn)行把持。夾持裝置20主要由對(duì)盒80進(jìn)行把持的把持部21、對(duì)把持部21進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部22和對(duì)盒80進(jìn)行檢測(cè)的傳感器23 ( “容器檢測(cè)部”的一例)構(gòu)成。
[0034][把持部21]
[0035]如圖1至圖3所示那樣，把持部21沿夾持裝置20的上下方向延設(shè)。把持部21是以從盒80的底部將盒80包入(掏取)的方式可搬運(yùn)地對(duì)盒80進(jìn)行保持的部分。即，把持部21是對(duì)盒80進(jìn)行把持的部分。把持部21由沿上下方向延設(shè)的多條(在圖1中是3條)夾頭縱構(gòu)件(夾頭縱構(gòu)件24、25、26)構(gòu)成。把持部21由多個(gè)夾頭縱構(gòu)件對(duì)盒80進(jìn)行把持。另外，通過由3條夾頭縱構(gòu)件(夾頭縱構(gòu)件24、25、26)構(gòu)成把持部21，盒80的重量確實(shí)地搭乘在各夾頭縱構(gòu)件(夾頭縱構(gòu)件24、25、26)的承接部分(承接部分28、30)上，可更穩(wěn)定地對(duì)盒80進(jìn)行把持。
[0036]第I夾頭縱構(gòu)件24及第2夾頭縱構(gòu)件25是在對(duì)盒80進(jìn)行把持時(shí)被配置于盒80的角部的角導(dǎo)向構(gòu)件。第I夾頭縱構(gòu)件24及第2夾頭縱構(gòu)件25是對(duì)盒80的角部進(jìn)行把持并且對(duì)盒80的角部進(jìn)行導(dǎo)向的構(gòu)件。第I夾頭縱構(gòu)件24及第2夾頭縱構(gòu)件25由與盒80的角部抵接的臂部分27和形成于臂部分27的一端部、對(duì)盒80的底面進(jìn)行承接的承接部分28構(gòu)成。
[0037]臂部分27是與盒80的角部的形狀適應(yīng)地將2片板狀構(gòu)件27a接合成大致L字形狀形成的部分。臂部分27在由把持部21對(duì)盒80進(jìn)行把持時(shí)與盒80的角部抵接。通過臂部分27與盒80的角部抵接，成為第I夾頭縱構(gòu)件24及第2夾頭縱構(gòu)件25可與第3夾頭縱構(gòu)件26 —起對(duì)盒80的側(cè)面進(jìn)行把持的狀態(tài)。
[0038]并且，通過臂部分27與盒80的角部抵接，成為臂部分27在上下方向上對(duì)盒80的收納口 82的一端進(jìn)行覆蓋的