產(chǎn)品良率；輔助支撐臂2為可伸縮輔助支撐臂2，包括多個(gè)子輔助支撐臂(第一子輔助支撐臂21和第二子輔助支撐臂22)，當(dāng)基板20的尺寸較小時(shí)，第二子輔助支撐臂22可縮入第一子輔助支撐臂21內(nèi)；當(dāng)基板20的尺寸較大時(shí)，子輔助支撐臂22可伸出第一子輔助支撐臂21外，這樣就可以滿足不同尺寸的基板20的轉(zhuǎn)運(yùn)；多個(gè)氣孔3均勻的設(shè)置在輔助支撐臂2的上表面，可以使被支撐的基板20各處的受力大小一致，使基板20受到的支撐力更加均勻，進(jìn)而避免基板20發(fā)生形變。
[0045]實(shí)施例3:
[0046]本實(shí)施例提供一種基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，其中，該方法采用的機(jī)械手臂為實(shí)施例1中的機(jī)械手臂，該基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法包括:
[0047]主支撐臂I支撐基板20 ；
[0048]輔助支撐臂2上的氣孔3向基板20噴出氣體，以避免基板20下垂或翹曲。
[0049]本實(shí)施例中通過輔助支撐臂2的氣孔向基板20噴出氣體可通過設(shè)備中的氣栗產(chǎn)生氣體得以實(shí)現(xiàn)，可以通過管道與氣孔連接，進(jìn)行吹氣、吸氣等操作。
[0050]本實(shí)施例的基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，由于機(jī)械手臂中包括主支撐臂I和至少一個(gè)輔助支撐臂2，主支撐臂I用于支撐基板20，輔助支撐臂2與主支撐臂I連接，且輔助支撐臂2設(shè)置在主支撐臂I的兩側(cè)，在輔助支撐臂2上設(shè)置有多個(gè)氣孔3，這些氣孔3可用于向被承載的基板20嗔出氣體，以避免基板20下垂或翅曲，從而提尚廣品良率。
[0051]實(shí)施例4:
[0052]本實(shí)施例提供一種基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，其中，該方法采用的機(jī)械手臂為實(shí)施例2中的機(jī)械手臂，該基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法包括:
[0053]主支撐臂I支撐基板20 ；
[0054]輔助支撐臂2上的氣孔3向基板20噴出氣體，以避免基板20下垂或翹曲。
[0055]本實(shí)施例中通過輔助支撐臂2的氣孔向基板20噴出氣體可通過設(shè)備中的氣栗產(chǎn)生氣體得以實(shí)現(xiàn)，可以通過管道與氣孔連接，進(jìn)行吹氣、吸氣等操作。
[0056]優(yōu)選地，輔助支撐臂2的上表面低于主支撐臂I的上表面。
[0057]之所以如此設(shè)置，是由于當(dāng)輔助支撐臂2的上表面低于主支撐臂I的上表面時(shí)，輔助支撐臂2的上表面不會(huì)與基板20的下表面接觸，因此，不會(huì)增加機(jī)械手臂與基板20的接觸面積，進(jìn)而不會(huì)導(dǎo)致制備的基板20出現(xiàn)接觸不良的現(xiàn)象，影響產(chǎn)品良率。
[0058]優(yōu)選地，輔助支撐臂2為可伸縮的輔助支撐臂2。
[0059]進(jìn)一步優(yōu)選地，輔助支撐臂2包括多個(gè)子輔助支撐臂，多個(gè)子輔助支撐臂相互連接，如第一子輔助支撐臂21和第二子輔助支撐臂22。
[0060]當(dāng)然，子輔助支撐臂的數(shù)量并不局限于兩個(gè)，子輔助支撐臂的數(shù)量可以依據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行增加，本實(shí)施例僅以子輔助支撐臂的數(shù)量為兩個(gè)進(jìn)行舉例。
[0061]更進(jìn)一步優(yōu)選地，多個(gè)子輔助支撐臂采用套接方式連接，即第一子輔助支撐臂21和第二子輔助支撐臂22采用套接的方式連接。具體地，可以設(shè)置為第一子輔助支撐臂21與主支撐臂I連接，第二子輔助支撐臂22與第一子輔助支撐臂21相連，第二子輔助支撐臂22的直徑小于第一子輔助支撐臂21的直徑，不需要使用第二子輔助支撐臂22時(shí)，第二子輔助支撐臂22可以收縮在第一子輔助支撐臂21內(nèi)，當(dāng)需要使用第二子輔助支撐臂22時(shí)，第二子輔助支撐臂22從第一子輔助支撐臂21內(nèi)伸出，對(duì)基板20進(jìn)行支撐。之所以如此設(shè)置，是由于基板20的尺寸并沒有進(jìn)行限定，當(dāng)基板20的尺寸較大時(shí)，輔助支撐臂2的長度越接近基板20的邊緣越好，越能夠通過氣孔3噴出的氣體對(duì)基板20進(jìn)行支撐；當(dāng)基板20的尺寸較小時(shí)，輔助支撐臂2的長度超出近基板20的邊緣過多，超出部分的輔助支撐臂2的氣孔3依舊處于噴氣狀態(tài)。因此，將輔助支撐臂2設(shè)置為可伸縮的輔助支撐臂2，當(dāng)基板20的尺寸較小時(shí)，輔助支撐臂2的第二子輔助支撐臂22可收縮到第一子輔助支撐臂21內(nèi)；當(dāng)基板20的尺寸較大時(shí)，第二子輔助支撐臂22可從第一子輔助支撐臂21內(nèi)伸出，這樣就可以滿足不同尺寸的基板20的轉(zhuǎn)運(yùn)。
[0062]當(dāng)然，第一子輔助支撐臂21和第二子輔助支撐臂22的連接方式并不局限于此，只要能使第一子輔助支撐臂21和第二子輔助支撐臂22相互連接，且達(dá)到使輔助支撐臂2可伸縮即可，在此不再贅述。
[0063]優(yōu)選地，多個(gè)氣孔3均勻的設(shè)置在輔助支撐臂2的上表面。
[0064]之所以如此設(shè)置，是由于當(dāng)多個(gè)氣孔3均勻的設(shè)置在輔助支撐臂2的上表面時(shí)，被支撐的基板20各處的受力大小一致，使基板20受到的支撐力更加均勻，進(jìn)而避免基板20發(fā)生形變。
[0065]本實(shí)施例的基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，由于機(jī)械手臂中包括主支撐臂I和至少一個(gè)輔助支撐臂2，主支撐臂I用于支撐基板20，輔助支撐臂2與主支撐臂I連接，且輔助支撐臂2設(shè)置在主支撐臂I的兩側(cè)，在輔助支撐臂2上設(shè)置有多個(gè)氣孔3，這些氣孔3可用于向被承載的基板20噴出氣體，以避免基板20下垂或翹曲，從而提高產(chǎn)品良率；由于輔助支撐臂2的上表面低于主支撐臂I的上表面，不會(huì)增加機(jī)械手臂與基板20的接觸面積，進(jìn)而不會(huì)導(dǎo)致制備的基板20出現(xiàn)接觸不良的現(xiàn)象，影響產(chǎn)品良率；輔助支撐臂2為可伸縮輔助支撐臂2，包括多個(gè)子輔助支撐臂(第一子輔助支撐臂21和第二子輔助支撐臂22)，當(dāng)基板20的尺寸較小時(shí)，第二子輔助支撐臂22可縮入第一子輔助支撐臂21內(nèi)；當(dāng)基板20的尺寸較大時(shí)，子輔助支撐臂22可伸出第一子輔助支撐臂21外，這樣就可以滿足不同尺寸的基板20的轉(zhuǎn)運(yùn)；多個(gè)氣孔3均勻的設(shè)置在輔助支撐臂2的上表面，可以使被支撐的基板20各處的受力大小一致，使基板20受到的支撐力更加均勻，進(jìn)而避免基板20發(fā)生形變。
[0066]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種機(jī)械手臂，其特征在于，包括主支撐臂和至少一個(gè)輔助支撐臂，所述主支撐臂用于支撐基板，所述輔助支撐臂與所述主支撐臂連接，且所述輔助支撐臂設(shè)置在所述主支撐臂的兩側(cè)，所述輔助支撐臂上設(shè)置有多個(gè)氣孔，所述氣孔用于向所述基板噴出氣體，以避免所述基板下垂或翹曲。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂，其特征在于，所述輔助支撐臂的上表面低于所述主支撐臂的上表面。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂，其特征在于，所述輔助支撐臂為可伸縮的輔助支撐臂。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機(jī)械手臂，其特征在于，所述輔助支撐臂包括多個(gè)子輔助支撐臂，所述多個(gè)子輔助支撐臂相互連接。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機(jī)械手臂，其特征在于，所述多個(gè)子輔助支撐臂采用套接方式連接。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂，其特征在于，多個(gè)所述氣孔均勻的設(shè)置在所述輔助支撐臂的上表面。7.一種基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，其特征在于，所述方法采用權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的機(jī)械手臂，所述方法包括: 所述主支撐臂支撐所述基板； 所述輔助支撐臂上的所述氣孔向所述基板噴出氣體，以避免所述基板下垂或翹曲。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，其特征在于，所述輔助支撐臂的上表面低于所述主支撐臂的上表面。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，其特征在于，所述輔助支撐臂為可伸縮的輔助支撐臂。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，其特征在于，所述輔助支撐臂包括多個(gè)子輔助支撐臂。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，其特征在于，所述多個(gè)子輔助支撐臂采用套接方式連接。12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，其特征在于，多個(gè)所述氣孔均勻的設(shè)置在所述輔助支撐臂的上表面。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種機(jī)械手臂及基板的轉(zhuǎn)運(yùn)方法，屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的在基板轉(zhuǎn)運(yùn)過程中，由于機(jī)械手臂支撐基板導(dǎo)致的基板變形，發(fā)生下垂或翹曲的問題。本發(fā)明的機(jī)械手臂，包括主支撐臂和至少一個(gè)輔助支撐臂，所述主支撐臂用于支撐基板，所述輔助支撐臂與所述主支撐臂連接，且所述輔助支撐臂設(shè)置在所述主支撐臂的兩側(cè)，所述輔助支撐臂上設(shè)置有多個(gè)氣孔，所述氣孔用于向所述基板噴出氣體，以避免所述基板下垂或翹曲。
【IPC分類】B65G49/05
【公開號(hào)】CN105110006
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510574226
【發(fā)明人】張雨, 趙承潭, 黃華, 賈倩
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請(qǐng)日】2015年9月10日