28]S卩，在加強(qiáng)板3B的內(nèi)表面被透氣性薄片60真空吸附時(shí)，加強(qiáng)板3B的外周面密合于密封框構(gòu)件62，因此能夠防止空氣泄漏，因而，能夠使加強(qiáng)板3B可靠地真空吸附于透氣性薄片60。
[0129]另外，由于為使透氣性薄片60和密封框構(gòu)件62支承于撓性板58的結(jié)構(gòu)，因此，能夠在剝離裝置40的外部將透氣性薄片60和密封框構(gòu)件62高精度地組裝撓性板58。
[0130]而且，由于柔軟的透氣性薄片60和密封框構(gòu)件62被支承于剛性高于透氣性薄片60和密封框構(gòu)件62的剛性的撓性板58，因此，能夠穩(wěn)定地發(fā)揮各自的功能。
[0131]接著，特征在于，著眼于能夠更換吸附部54，且能夠更換與層疊體6的尺寸相對(duì)應(yīng)的尺寸的吸附部54。
[0132]S卩，預(yù)先準(zhǔn)備與層疊體6的尺寸相對(duì)應(yīng)的多個(gè)尺寸的吸附部54，根據(jù)層疊體6的尺寸而選擇的一個(gè)吸附部以裝卸自如的方式安裝于燒性板52。
[0133]圖11的(A)是剝離單元42的俯視圖，圖11的⑶是沿圖11的(A)的D — D線的剝離單元42的放大縱剖視圖。
[0134]在圖11的剝離單元42的吸附部82吸附并保持有尺寸小于圖7所示的加強(qiáng)板3B的尺寸的、矩形的加強(qiáng)板8。因此，吸附部82能夠使用尺寸小于圖7所示的透氣性薄片60的尺寸、且與加強(qiáng)板8的尺寸相對(duì)應(yīng)的尺寸的透氣性薄片84。另外，吸附部82能夠使用尺寸大于圖7所示的密封框構(gòu)件62的尺寸的密封框構(gòu)件86。
[0135]透氣性薄片84以及密封框構(gòu)件86隔著雙面粘接帶64粘貼于撓性板58的上表面。在更換吸附部時(shí)，自撓性板52使雙面粘接帶56剝離。另外，在透氣性薄片84與密封框構(gòu)件86之間具有框狀的槽88，槽88與貫通孔68連通。因而，加強(qiáng)板8的內(nèi)表面被透氣性薄片84真空吸附并保持，且加強(qiáng)板8的外周面被按壓并抵接于密封框構(gòu)件86。
[0136]這樣，在隨著加強(qiáng)板的尺寸變更而更換吸附部時(shí)，也使吸附部的更換變得容易，另夕卜，能夠縮短用于更換吸附部的非運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。
[0137]參照特定的實(shí)施方式詳細(xì)地說明了本發(fā)明，但本領(lǐng)域技術(shù)人員明確的是，能夠在不偏離本發(fā)明的主旨和范圍的前提下施加各種變更、修正。
[0138]本申請(qǐng)基于2014年6月5日申請(qǐng)的日本特許出愿2014 — 116464，其內(nèi)容通過參照編入到本說明書中。
[0139]附圖標(biāo)iP,說曰月
[0140]N、刀；P、面板；1、層疊體；1A、第1層疊體；1B、第2層疊體；2、基板；2a、基板的表面；2b、基板的背面；2A、基板；2Aa、基板的表面；2B、基板；2Ba、基板的表面；3、加強(qiáng)板；3a、加強(qiáng)板的表面；3A、加強(qiáng)板；3B、加強(qiáng)板；3Bb、加強(qiáng)板的背面；4、樹脂層；4A、樹脂層；4B、樹脂層；6、層疊體；6A、6B、角部；7、功能層；8、加強(qiáng)板；10、剝離開始部制作裝置；12、工作臺(tái)；14、保持件；16、高度調(diào)整裝置；18、輸送裝置；20、液體；22、液體供給裝置；24、界面；26、剝離開始部；28、界面；30、剝離開始部；40、剝離裝置；42、剝離單元；44、可動(dòng)體；46、可動(dòng)裝置；48、驅(qū)動(dòng)裝置；50、控制器；52、撓性板；54、吸附部；56、雙面粘接帶；58、撓性板；60、透氣性薄片；62、密封框構(gòu)件；64、雙面粘接帶；66、槽；68、貫通孔；70、桿；72、球接頭；74、框架；76、緩沖構(gòu)件；78、吸盤；80、輸送裝置；82、吸附部；84、透氣性薄片；86、密封框構(gòu)件；88、槽。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種層疊體的剝離裝置，對(duì)于以能夠剝離的方式粘貼第1基板和第2基板而成的層疊體，在上述第1基板與上述第2基板之間的界面沿著自一端側(cè)朝向另一端側(cè)的剝離行進(jìn)方向依次進(jìn)行剝離，其特征在于， 該層疊體的剝離裝置包括: 支承部，其支承上述層疊體的上述第1基板； 剝離單元，其包含吸附部和板狀的第1撓性構(gòu)件，該吸附部以裝卸自如的方式設(shè)置于上述第1撓性構(gòu)件，用于吸附上述層疊體的上述第2基板；以及 驅(qū)動(dòng)部，其使上述剝離單元變形，以使上述層疊體的上述第2基板自一端側(cè)朝向另一端側(cè)依次撓曲變形。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體的剝離裝置，其中， 上述支承部與上述剝離單元為相同結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的層疊體的剝離裝置，其中， 上述吸附部包括: 板狀的第2撓性構(gòu)件，其一側(cè)面以裝卸自如的方式設(shè)置于上述第1撓性構(gòu)件； 透氣性薄片，其設(shè)置于上述第2撓性構(gòu)件的另一側(cè)面，真空吸附上述第2基板的內(nèi)表面；以及 密封框構(gòu)件，其以包圍上述透氣性薄片的方式設(shè)置于上述第2撓性構(gòu)件的上述另一側(cè)面，與上述第2基板的除上述內(nèi)表面以外的外周面相接觸。4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的層疊體的剝離裝置，其中， 上述吸附部以裝卸自如的方式隔著雙面粘接帶設(shè)置在上述第1撓性構(gòu)件上， 上述雙面粘接帶的對(duì)上述吸附部的粘接力高于上述雙面粘接帶的對(duì)上述第1撓性構(gòu)件的粘接力。5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的層疊體的剝離裝置，其中， 上述吸附部具有與上述層疊體的尺寸相對(duì)應(yīng)的多個(gè)尺寸的吸附部，根據(jù)上述層疊體的尺寸而選擇的一個(gè)吸附部以裝卸自如的方式安裝于上述第1撓性構(gòu)件。6.一種層疊體的剝離方法，對(duì)于以能夠剝離的方式粘貼第1基板和第2基板而成的層疊體，在上述第1基板與上述第2基板之間的界面沿著自一端側(cè)朝向另一端側(cè)的剝離行進(jìn)方向依次進(jìn)行剝離，其特征在于， 該層疊體的剝離方法包括: 支承工序，利用支承部支承上述層疊體的上述第1基板； 吸附工序，使用剝離單元，該剝離單元包含吸附部和板狀的第1撓性構(gòu)件，該吸附部以裝卸自如的方式設(shè)置于上述第1撓性構(gòu)件，用于吸附上述層疊體的上述第2基板，利用上述吸附部吸附上述層疊體的上述第2基板；以及 剝離工序，利用驅(qū)動(dòng)部以使上述層疊體的上述第2基板自一端側(cè)朝向另一端側(cè)依次撓曲變形的方式使上述剝離單元變形從而在上述界面使上述層疊體的上述第2基板剝離。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的層疊體的剝離方法，其中， 在上述支承工序中，使用與上述吸附工序中的上述剝離單元相同的結(jié)構(gòu)的上述支承部來支承上述第1基板。8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的層疊體的剝離方法，其中， 上述吸附部具有與上述層疊體的尺寸相對(duì)應(yīng)的多個(gè)尺寸的吸附部，根據(jù)上述層疊體的尺寸而選擇的一個(gè)吸附部以裝卸自如的方式安裝于上述第1撓性構(gòu)件。9.一種電子器件的制造方法，包括:功能層形成工序，對(duì)于以能夠剝離的方式粘貼第1基板和第2基板而成的層疊體，在上述第1基板的暴露面上形成功能層；以及分離工序，從形成有上述功能層的上述第1基板分離上述第2基板，其特征在于， 上述分離工序包括: 支承工序，利用支承部支承上述層疊體的上述第1基板； 吸附工序，使用剝離單元，該剝離單元包含吸附部和板狀的第1撓性構(gòu)件，該吸附部以裝卸自如的方式設(shè)置于上述第1撓性構(gòu)件，用于吸附上述層疊體的上述第2基板，利用上述吸附部吸附上述層疊體的上述第2基板；以及 剝離工序，利用驅(qū)動(dòng)部使上述剝離單元變形，以使上述層疊體的上述第2基板自一端側(cè)朝向另一端側(cè)依次撓曲變形，從而使上述第2基板從上述第1基板剝離。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子器件的制造方法，其中， 在上述支承工序中，使用與上述吸附工序中的上述剝離單元相同結(jié)構(gòu)的上述支承部來支承上述第1基板。11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的電子器件的制造方法，其中， 上述吸附部具有與上述層疊體的尺寸相對(duì)應(yīng)的多個(gè)尺寸的吸附部，根據(jù)上述層疊體的尺寸而選擇的一個(gè)吸附部以裝卸自如的方式安裝于上述第1撓性構(gòu)件。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種層疊體的剝離裝置和剝離方法及電子器件的制造方法。上述層疊體的剝離裝置對(duì)于以能夠剝離的方式粘貼第1基板和第2基板而成的層疊體，在上述第1基板與上述第2基板之間的界面沿著自一端側(cè)朝向另一端側(cè)的剝離行進(jìn)方向依次進(jìn)行剝離，包括：支承部，其支承上述層疊體的上述第1基板；剝離單元，其包含吸附部和板狀的第1撓性構(gòu)件，該吸附部以裝卸自如的方式設(shè)置于上述第1撓性構(gòu)件，用于吸附上述層疊體的上述第2基板；以及驅(qū)動(dòng)部，其使上述剝離單元變形，以使上述層疊體的上述第2基板自一端側(cè)朝向另一端側(cè)依次撓曲變形。
【IPC分類】H05K3/00, B65H41/00
【公開號(hào)】CN105270909
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510303612
【發(fā)明人】伊藤泰則, 宇津木洋, 滝內(nèi)圭
【申請(qǐng)人】旭硝子株式會(huì)社
【公開日】2016年1月27日
【申請(qǐng)日】2015年6月5日