防塵薄膜組件收納容器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的是提供一種在雖隨時間的經(jīng)過而發(fā)生的尺寸變化小，即使長期使用其內(nèi)部的清潔度也不降低的，適宜于收納至少一個的邊長超過1000mm的大型的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器。本發(fā)明為的防塵薄膜組件收納容器10，由載置防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器本體11和由用JIS K7209，A法，材料厚3mm，24小時的方法測定的吸水率為0.2％以下的樹脂材料來構(gòu)成蓋體12來構(gòu)成。本發(fā)明優(yōu)選使用JIS K7209，A法，材料厚3mm的方法測定的30日經(jīng)過后的吸水率為0.5％以下的樹脂材料，防塵薄膜組件收納容器本體11用金屬材料來代替樹脂材料。
【專利說明】
防塵薄膜組件收納容器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及一種收納在半導(dǎo)體裝置，1C封裝，印刷基板，液晶面板或者有機EL面板 等的制造中作為防塵器使用的防塵薄膜組件的的收納容器，其最適合至少一個邊長超過 1000mm的大型的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器。
【背景技術(shù)】
[0002] LSI，超LSI等的半導(dǎo)體或液晶面板等的制造中，要向半導(dǎo)體晶片或液晶用玻璃板 照射紫外光來進行圖案制作，如此時使用的光掩模上有灰塵附著，所述灰塵就會將紫外光 遮擋，反射，從而就會發(fā)生轉(zhuǎn)印密封圖案的形變，短路等，使品質(zhì)受損。
[0003] 因此，這些的作業(yè)為通常無塵室中進行，但是即使如此，要保持光掩模的經(jīng)常清潔 也是困難的。因此，要在光掩模表面貼附作為防塵器的防塵薄膜組件后再進行曝光。在所述 場合，異物不在光掩模的表面上直接附著，而是附著在防塵薄膜組件上，由此光刻時只要將 焦點對準(zhǔn)光掩模的圖案上，就可以了。
[0004] 所述防塵薄膜組件，一般說來，是使透光良好的硝酸纖維素，醋酸纖維素或氟樹脂 等構(gòu)成的透明的防塵膜，在鋁，不銹鋼，工程塑料等構(gòu)成的防塵薄膜組件框架的上端面上接 著而成。再者，在防塵薄膜組件框架的下端面，設(shè)有將防塵薄膜組件安裝在光掩模上的由聚 丁烯樹脂，聚醋酸乙烯基樹脂，丙烯酸樹脂，有機硅樹脂等構(gòu)成的粘著層，以及對所述粘著 層進行保護的離型層(分離片）。
[0005] 另一方面，將這樣的防塵薄膜組件，特別是邊長超過1000mm的大型的防塵薄膜組 件進行收納的防塵薄膜組件收納容器，由對防塵薄膜組件進行載置的防塵薄膜組件收納容 器本體在其周緣部嵌合而密封的蓋體部件構(gòu)成。這些部件材料，為將厚度2~8mm程度的樹 脂板進行真空成形或者壓空成形而制作的，該制法，即使大型也可以整體成形而制作，所以 具有內(nèi)部發(fā)塵根源少，并且生率高且成本低的優(yōu)點。
[0006] 防塵薄膜組件收納容器本體，為了對附著的異物進行確認，黑色為好，再者蓋體為 了對內(nèi)部收納密封的防塵薄膜組件進行確認，以透明或有色半透明為好(專利文獻1參照）。 從這樣的觀點，幾乎所有的場合，作為收納容器本體的材料以ABS樹脂為好，再者作為蓋體 的材料，以ABS樹脂或者丙烯酸樹脂為好。
[0007] 然后，近年來，伴隨著面板的大型化，防塵薄膜組件的尺寸也變得大型化，其邊長 為超過1000mm的場合也變得多起了，另一方面，伴隨著防塵薄膜組件的大型化，防塵薄膜組 件收納容器，隨著防塵薄膜組件的尺寸的變化，其尺寸隨著時間經(jīng)過而發(fā)生變化也就成了 問題。因此，例如，專利文獻2中，作為其對策，提出了將樹脂制的容器本體和補強體進行組 合建議。
[0008] 但是，防塵薄膜組件收納容器的隨時間的經(jīng)過其尺寸的變化，是由于成形前的材 料本身的吸濕，成形時發(fā)生的內(nèi)部應(yīng)力的減小，再者溫度等的使用環(huán)境條件等各種各樣的 因素夾雜在一起而造成的，所以對其解決是困難的。
[0009] 現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0010] 【專利文獻1】日本特開2001-100394
[0011] 【專利文獻2】日本特開2013-205690
[0012] 再者，所述隨時間的經(jīng)過防塵薄膜收納容器的尺寸的變化，會造成防塵薄膜組件 收納容器本體和蓋體的嵌合時，它們的間隙變大，這不但會從外部向防塵薄膜組件收納容 器內(nèi)進入異物，而且會有由于劃擦而發(fā)塵的可能。再者，防塵薄膜組件被固定在防塵薄膜收 納容器內(nèi)部的場合，固定位置決定裝置，會由于尺寸變化而發(fā)生位置不能對準(zhǔn)，從而變?yōu)椴?能收納防塵薄膜組件的狀態(tài)，這是不能與進入異物相比的大問題。
[0013] 因此，本發(fā)明，就是鑒于上述問題而成的，本發(fā)明的目的為，提供一種隨時間的經(jīng) 過尺寸變化小，長期使用內(nèi)部的清潔度也不降低的收納至少一個的邊長為超過1000mm的大 型的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014] 本發(fā)明的發(fā)明人，為了達成上述的目，進行了深入的研究，得知，在造成隨時間的 經(jīng)過的尺寸的變化的各種各樣的因素中，防塵薄膜組件收納容器中用的材料的吸水率的影 響特別大。因此，進一步對材料的吸水率進行了研究后，得知，在使用吸水率0.2%以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的樹脂材料的場合，隨時間的經(jīng)過的尺寸變化可以被抑制到極 小，從而完成了本發(fā)明。
[0015] 即，本發(fā)明為，收納至少一個的邊長為超過1000mm的矩形的防塵薄膜組件的防塵 薄膜組件收納容器，其特征為將防塵薄膜組件載置的防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體為 由吸水率〇. 2 %以下(JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的樹脂材料構(gòu)成的。
[0016] 再者，在本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器中，其蓋體由吸水率0.2%以下（JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h)的樹脂材料構(gòu)成，其本體可以也可不用樹脂材料，而用金屬材 料。再者，本發(fā)明中使用的樹脂材料，優(yōu)選其吸水率在經(jīng)過30日后為0.5%以下(JIS K7209， A法，材料厚3mm)。
[0017] 根據(jù)本發(fā)明，防塵薄膜組件收納容器的隨時間的經(jīng)過的尺寸變化極小，在適宜地 保持防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體的良好嵌合的同時，由于薄膜組件收納容器內(nèi)中設(shè) 置的防塵薄膜組件固定部品的位置不會變化，所以防塵薄膜組件的清潔度可以長期得以保 持。
【附圖說明】
[0018] 圖1為表示本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器的概要的平面圖。
[0019] 圖2為表示本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器的概要的沿圖1的AA線的截面圖。
[0020] 圖3為表示本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器的概要的圖1的BB線的截面圖。
[0021] 圖4為表示本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器的蓋體撤掉后的平面圖。
[0022] 圖5為表示本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器的斜視圖。
【具體實施方式】
[0023] 以下，對本發(fā)明的一實施方式參照附圖進行詳細說明，但是本發(fā)明并不限于此。
[0024] 本發(fā)明，適用于所有的具有隨時間的經(jīng)過而發(fā)生的尺寸變化，從而內(nèi)部的清潔度 降低的問題的防塵薄膜組件收納容器，特別是，最適用于收納邊長為超過1000mm的極大型 的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器。
[0025]本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器10,由防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12構(gòu) 成。防塵薄膜組件收納容器本體11，對防塵薄膜組件20進行載置，蓋體12,與防塵薄膜組件 收納容器本體11在周緣部嵌合，密閉，使防塵薄膜組件20不受外部的灰塵侵害。再者，在防 塵薄膜組件收納容器本體11上被載置的防塵薄膜組件20,通過由插入在框架側(cè)面設(shè)置的非 貫通的孔(未圖示）中的針13和支持所述針的針支持裝置14構(gòu)成的固定裝置，被在防塵薄膜 組件收納容器本體11上固定。
[0026]本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12的材料為，在JISK7209(A法， 24h，材料厚3mm)的測定方法中，吸水率0.2%以下的樹脂材料。吸水為樹脂材料的分子的網(wǎng) 目有水分侵入現(xiàn)象，吸水率超過〇. 2 %會特別使尺寸變化，不好。作為滿足所述的吸水率的 條件的樹脂材料，有硬質(zhì)PVC，PE，PP，PC等。再者，即使ABS等吸水率的大的材料，可以通過將 填料混入的方法使其吸水率降低。
[0027] 再者，所述材料，由于其吸水率要長期保持在低水平，由此更優(yōu)選在JISK7209(A 法，材料厚3mm)的測定方法中，30日經(jīng)過后其吸水率為0.5%以下的樹脂材料。防塵薄膜組 件收納容器，由于會在濕度高的環(huán)境下被使用，因此不管使用吸水性多么低的材料，吸水本 身是不可避免的。所以防塵薄膜組件收納容器制造之后，隨時間的經(jīng)過，吸水也在同時進 行，所以塵薄膜組件收納容器，會在水分量為幾乎為飽和的狀態(tài)下被使用。所述飽和狀態(tài)的 吸水率低，且與初期的吸水率的差越小，尺寸安定性越高。一般，以30日經(jīng)過后，具有0.5 % 以下的吸水率為好。作為滿足這一條件的樹脂材料，與上述同樣，可以例舉硬質(zhì)PVC，PE，PP， PC等。
[0028] 使用所述材料的防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12為將厚度2~8mm的樹 脂板進行真空成形或者壓空成形而制作的，這從品質(zhì)以及成本點來看良好。
[0029] 作為防塵薄膜組件收納容器10的隨時間的經(jīng)過而發(fā)生的尺寸變化的原因，有各種 各樣，其中，防塵薄膜組件收納容器10中用的材料的吸水率隨時間的經(jīng)過而發(fā)生的尺寸變 化的影響為大，如果使用滿足本發(fā)明的條件的樹脂材料的話，隨時間的經(jīng)過而發(fā)生的尺寸 變化就可以大幅度地減少。其結(jié)果，在長期維持以防塵薄膜組件收納容器的嵌合狀態(tài)以及 防塵薄膜組件的固定狀態(tài)不發(fā)生變化同時，可以保持防塵薄膜組件收納容器內(nèi)的清潔度， 在實用上可以沒有問題地作為防塵薄膜組件收納容器，來使收納的防塵薄膜組件的品質(zhì)優(yōu) 良。
[0030] 作為本發(fā)明的樹脂材料，除了其吸水率在上述范圍內(nèi)，為了減少異物附著，還優(yōu)選 在樹脂中混煉進帶電防止成分，或在其表面進行防帶電涂裝等，由此使其具有帶電防止性 能。還優(yōu)選加入鹵素化合物等的難燃劑使其具有難燃性，或者使用本事具有難燃性的樹脂。
[0031] 如本發(fā)明，在至少一個邊長為超過1000mm的本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器的場 合，可燃物的容積以及重量大，所以材料具有難燃性在安全上是一大優(yōu)點。作為滿足這些的 條件的良好的樹脂，可以例舉PC，無機填料混入的PVC以及ABS等。
[0032] 再者，在防塵薄膜組件收納容器本體11以及蓋體12中，根據(jù)需要，也可以設(shè)置肋筋 等的補強構(gòu)造，也可以設(shè)置金屬或者樹脂制的補強裝置，以及處理把手，以及對蓋體進行固 定的扣環(huán)等。
[0033] 進一步，在防塵薄膜組件邊長為超過1500mm的極大型的場合，防塵薄膜組件收納 容器特別要求具有剛性，因此特別優(yōu)選僅蓋體12用樹脂制成，防塵薄膜組件收納容器本體 11用金屬制成。防塵薄膜組件收納容器本體11為金屬制的場合，可使用鋁合金，鎂合金等的 輕量材料，但是也可以使用鋼，不銹鋼等的高剛性材料。
[0034] 作為所述場合的成形加工方法，可以在使用薄板彎曲加工，壓縮成模，溶接等的造 形的方法之外，也可以使用鑄造。其表面，為了防銹，防止發(fā)生灰塵，優(yōu)選進行涂裝，特別是， 賦予帶電防止性能，此外，為了提高附著異物的可認識性，以黑色為優(yōu)選。
[0035]作為在防塵薄膜組件收納容器本體11中將防塵薄膜組件20固定的的固定裝置，可 以使用公知的各種各樣的方法。在圖4所示的實施方式中，防塵薄膜組件收納容器本體11上 設(shè)置針支持裝置14,進而將其支持的針13插入防塵薄膜組件框架側(cè)面中設(shè)置的非貫通的孔 (未圖示），由此將防塵薄膜組件20固定，也可以使用他的公知的方法。
[0036] 再者，在圖4所示的實施方式中，防塵薄膜組件框架21的下端面上設(shè)置有掩模粘著 層22,在其下安裝保護掩模粘著層22的分離片23,為了不使掩模粘著層22與防塵薄膜組件 收納容器本體11接觸，也可以將防塵薄膜組件框架21的支持裝置等單獨設(shè)置，將分離片省 略。
[0037] 實施例
[0038] 以下，對本發(fā)明的實施例進行詳細說明。
[0039] 實施例中，首先，將防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12用厚度5mm的PC(聚碳 酸脂)板，真空成形制造，在該真空成形之前，從所述聚碳酸脂板切出60x60mm的樣板，將片 面切削使厚度為3mm，按照JIS K7209(A法，24h)，對24h后的吸水率進行測定，其值為 0.15 %。再者，進一步，對30日后的吸水率進行測定，其值為0.34 %。
[0040] 真空成形后的防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12,其周圍用數(shù)控機床進行切 削加工來完成，其表面進行帶電防止涂料(商品名：塞部路吉大（七一夕'')，信越聚合 物株式會社制）的涂布，使其硬化。再者，在防塵薄膜組件收納容器本體11上，將針支持裝置 13從外面用螺栓固定（未圖示）。如此制作的防塵薄膜組件收納容器10的尺寸為，外尺寸 1100xl280x高度120mm。另外，防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12的嵌合部，調(diào)整為各 邊間隙都為0.3~0.5mm。
[0041] 另一方面，本發(fā)明的防塵薄膜組件收納容器10中收納的防塵薄膜組件20為如下的 規(guī)格。即，防塵薄膜組件框架21為，將A5052鋁合金進行機械切削加工而成，其尺寸為外尺寸 910x1130mm，內(nèi)尺寸890x1110mm，高度5.8mm，其表面進行黑色氧化膜處理。再者，各長邊的 中央附近，設(shè)置直徑1.5mm的通氣孔4處(未圖示），各邊的角部附近，設(shè)置直徑2.5mm的非貫 通的夾具孔(未圖示）。
[0042] 然后，所述防塵薄膜組件框架21的下面，作為掩模粘著層22,用有機硅粘著劑(商 品名；KR - 3700,信越化學(xué)工業(yè)株式會社)形成厚度1.3mm，其表面，涂布離型劑形成PET薄 膜，從而構(gòu)成分離片23。再者，防塵薄膜組件框架21側(cè)面的通氣孔具有PTFE多孔質(zhì)膜制的過 濾器，將其用丙烯酸粘著劑貼附（未圖示）。進一步，防塵薄膜組件框架21的上端面，作為防 塵膜接著層24，涂布有機硅粘著劑(商品名;KR-3700，信越化學(xué)工業(yè)株式會社），其上，將氟 樹脂(商品名;CYT0P，旭硝子株式會社)構(gòu)成的厚度4.5wii的防塵膜25繃緊設(shè)置。
[0043]對如此制作防塵薄膜組件20進行異物檢查，用針13和針支持裝置14將其在防塵薄 膜組件收納容器本體11固定，將蓋體12蓋上密閉。其后，嵌合部周圍用PVC制粘著膠帶密封， 在帶電防止聚乙烯制的袋中捆包。另外，將防塵薄膜組件20收納時，將防塵薄膜組件收納容 器10在10級無塵室內(nèi)中用表面活性劑和純水進行良好洗凈，干燥。
[0044] 最后，將如此的收納有防塵薄膜組件20的防塵薄膜組件收納容器10搬入室溫22~ 28 °C，濕度30~55 %的范圍的空調(diào)室內(nèi)，靜置保管1年。
[0045] 然后，1年后，將所述防塵薄膜組件收納容器10搬入10級的無塵室，開捆對內(nèi)部的 狀況進行確認，防塵薄膜組件收納容器本體11和蓋體12的嵌合狀態(tài)沒有特別問題，可以順 利的開閉。再者，將嵌合部周邊用鹵素?zé)粽丈洌M行目視觀察，沒有發(fā)現(xiàn)特別厲害的劃擦的 痕跡。進一步，在對收納密封防塵薄膜組件20的異物進行檢查，完全沒有發(fā)現(xiàn)附著異物以及 損傷，保持在正常的狀態(tài)。
[0046] 比較例
[0047] 比較例中，首先，與實施例完全同樣，進行防塵薄膜組件收納容器的制造。該比較 例，在防塵薄膜組件收納容器本體的材料為厚度5mm的ABS樹脂，蓋體為厚度5mm的PMMA樹脂 的點上與實施例不同。另外，成形使用的模具，根據(jù)各材料的熱膨脹率進行尺寸的微調(diào)整， 使防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體的間隙為各邊〇. 3~0.5_。
[0048] 然后，所述比較例的防塵薄膜組件收納容器，也以與上述實施例相同的方法進行1 年保管試驗。即，在防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體的成形前，所述材料的吸水率按JIS K7209(A法)進行測定，防塵薄膜組件收納容器本體使用的ABS樹脂，24h后為0.3%，30日后 為0.8%。另一方面，蓋體中使用的丙烯酸樹脂，24h后為0.3%，30日后為1.6%。
[0049] 然后，對與實施例相同的規(guī)格的防塵薄膜組件進行異物檢查，將該防塵薄膜組件 用針和針支持裝置在防塵薄膜組件收納容器本體上固定，蓋體密閉。然后，將嵌合部周圍用 PVC制粘著膠帶密封，用帶電防止聚乙烯制袋捆包。另外，在防塵薄膜組件20的收納時，防塵 薄膜組件收納容器10搬入10級的無塵室內(nèi)，用表面活性劑和純水進行良好的洗凈，干燥密 封。然后，將所述防塵薄膜組件收納容器，搬入與實施例相同的室溫22~28°C，濕度30~ 55%的范圍的空調(diào)室中，1年靜置保管。
[0050] 然后，1年后，所述捆包體搬入10級的無塵室中，開捆對內(nèi)部的狀況進行確認，得知 蓋體和防塵薄膜組件收納容器本體的嵌合變緊。再者，蓋體，其一部變形，周圍密封的粘著 膠帶有剝離，防塵薄膜組件收納容器本體有若干翹起。然后，將卸下的密封蓋體的尺寸進行 確認，長邊方向有約5mm，短邊方向有約4mm的伸長。防塵薄膜組件收納容器本體，長邊方向 上有約1.5mm，短邊方向上也有約1.5mm的伸長。
[0051 ]再者，對收納密封防塵薄膜組件20的異物進行檢查，膜面中q>3 ~ 5pm的異物多， cplO~20叫1的異物為5個，這是由于防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體的嵌合變差，防塵 薄膜組件收納容器內(nèi)外通氣，從而內(nèi)部被污染。再者，針插入的防塵薄膜組件框架的夾具孔 周緣部也有多的粉塵附著，這是由于防塵薄膜組件收納容器本體的尺寸變化，針的嵌合位 置脫略和防塵薄膜組件框架產(chǎn)生劃擦而產(chǎn)生的。
[0052]符號的說明
[0053] 10防塵薄膜組件收納容器
[0054] 11防塵薄膜組件收納容器本體
[0055] 12 蓋體
[0056] 13 針
[0057] 14針支持裝置
[0058] 20防塵薄膜組件
[0059] 21防塵薄膜組件框架
[0060] 22掩模粘著層 [0061 ] 23分離片
[0062] 24防塵膜接著層
[0063] 25防塵膜
【主權(quán)項】
1. 一種收納至少一個的邊長為超過1000 mm的矩形的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收 納容器，其特征在于：由載置所述防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器本體和在其周緣 部嵌合而密閉的蓋體形成，所述防塵薄膜組件收納容器本體和蓋體由吸水率在以JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h的方法測定時為0.2 %以下的樹脂材料來構(gòu)成。2. -種收納至少一個的邊長超過1000 mm的矩形的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納 容器，其特征在于：由載置所述防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收納容器本體和在其周緣部 嵌合而密閉的蓋體來形成，所述防塵薄膜組件收納容器本體由金屬材料構(gòu)成，所述蓋體由 在JIS K7209，A法，材料厚3mm，24h的方法測定的吸水率為0.2%以下的樹脂材料構(gòu)成。3. 根據(jù)權(quán)利1或2所述的防塵薄膜組件收納容器，其特征在于:所述樹脂材料在30日經(jīng) 過后的用JIS K7209，A法，材料厚3mm的方法測定的吸水率為0.5%以下。
【文檔編號】B65D1/00GK105883122SQ201610076428
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年2月3日
【發(fā)明人】關(guān)原敏, 關(guān)原一敏
【申請人】信越化學(xué)工業(yè)株式會社