移載裝置以及移載裝置的控制方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠可靠地抑制移動部無意中的飛出的移載裝置。該移載裝置(40)具備能夠相對于基座部(41)移動的移動部(42)，移動部(42)以從基座部(41)突出的狀態(tài)移載物品(FP)，并具備移動限制部(43)，該移動限制部(43)能夠在將移動部(42)限制于基準位置(P1)的第1狀態(tài)、與允許移動部(42)從基準位置(P1)向第1方向(D1)以及與第1方向(D1)相反的第2方向(D2)中的任一方移動并且限制移動部(42)向另一方移動的第2狀態(tài)之間進行切換。
【專利說明】
移載裝置以及移載裝置的控制方法
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及移載裝置以及移載裝置的控制方法。
【背景技術】
[0002]對于在設置于頂棚的軌道上行駛的橋式行駛車而言，公知有連結有移載物品的移載裝置的結構。該移載裝置具備與橋式行駛車連結的主體部、以及能夠相對于該主體部向橋式行駛車的行駛方向的側方移動的移動部。在該移載裝置中，例如形成為利用帶機構、齒輪機構等驅(qū)動機構使移動部移動并向主體部的側方突出，并以該狀態(tài)移載物品的結構。另夕卜，在移載物品之后，利用驅(qū)動機構使移動部向主體部側返回。
[0003]在這種移載裝置中，若帶斷開、齒輪的卡合脫離，則存在移動部從主體部無意中向側方飛出，并與其他橋式行駛車、支柱等周圍的構造物干擾的擔憂。與此相對，例如專利文獻I所示，為了防止移動部無意中的飛出，而提出了一種在橋式行駛車的行駛過程中使移動部與主體部卡合，在停止橋式行駛車并移載物品的情況下解除移動部與主體部的卡合并使移動部向主體部的側方移動的卡合裝置。
[0004]專利文獻1:國際公開第2011/148459號
[0005]然而，在上述結構中，例如在使移動部向主體部的側方移動之后，向主體部側返回時帶斷開、齒輪的卡合脫離的情況下，存在移動部向相反的一側飛出，并與其他橋式行駛車干擾的擔憂。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]鑒于如上情況，本發(fā)明的目的在于提供能夠可靠地抑制移動部無意中的飛出的移載裝置以及移載裝置的控制方法。
[0007]在本發(fā)明中，提出一種移載裝置，其具備能夠相對于主體部移動的移動部，移動部以從主體部突出的狀態(tài)移載物品，該移載裝置具備移動限制部，該移動限制部能夠在將移動部限制于基準位置的第I狀態(tài)、與允許移動部從基準位置向第I方向以及與第I方向相反的第2方向中的任一方移動并且限制移動部向另一方移動的第2狀態(tài)之間進行切換。
[0008]另外，優(yōu)選，移動限制部形成為除了第I狀態(tài)以及第2狀態(tài)之外，還能夠切換為在規(guī)定范圍內(nèi)允許移動部向第I方向以及第2方向移動的第3狀態(tài)。另外，優(yōu)選，移動限制部具備旋轉(zhuǎn)體并根據(jù)旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置至少切換第I狀態(tài)與第2狀態(tài)，其中，該旋轉(zhuǎn)體具有在設置于移動部的卡合部的移動方向上與卡合部抵接的止擋部。另外，優(yōu)選，旋轉(zhuǎn)體在止擋部的外側具備在規(guī)定范圍內(nèi)允許卡合部的移動的外側止擋部。另外，優(yōu)選，移動限制部具備伴隨著旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)的指標部、檢測指標部的傳感器部、以及基于來自傳感器部的檢測結果控制旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置的控制部。另外，優(yōu)選，傳感器部沿指標部的旋轉(zhuǎn)方向配置有多個，控制部基于來自多個傳感器部的檢測結果控制旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置。另外，優(yōu)選，主體部與橋式行駛車連結，移動部具備能夠保持物品的夾持部、以及使夾持部升降的升降驅(qū)動部。另外，優(yōu)選，第I方向以及第2方向也可以為水平方向中的與橋式行駛車的行駛方向交叉的方向。
[0009]另外，在本發(fā)明的移載裝置的控制方法中，是具備能夠相對于主體部移動的移動部并且移動部以從主體部突出的狀態(tài)移載物品的移載裝置的控制方法，該移載裝置的控制方法的特征在于:利用移動限制部在將移動部限制于基準位置的第I狀態(tài)、與允許移動部從基準位置向第I方向以及與第I方向相反的第2方向的任一方移動并且限制移動部向另一方移動的第2狀態(tài)之間進行切換。
[0010]根據(jù)本發(fā)明，由于能夠利用移動限制部在將移動部限制于基準位置的第I狀態(tài)、允許移動部從基準位置向第I方向以及與第I方向相反的第2方向中的任一方移動并且限制移動部向另一方移動的第2狀態(tài)之間進行切換，所以在使移動部向第I方向移動之后為了向基準位置返回而向第2方向移動的情況下，利用移動限制部抑制向第2方向飛出。由此，可靠地抑制移動部無意中的飛出。
[0011]另外，移動限制部形成為除了第I狀態(tài)以及第2狀態(tài)之外，還能夠切換為在規(guī)定范圍內(nèi)允許移動部向第I方向以及第2方向移動的第3狀態(tài)，在移動限制部處于第3狀態(tài)的情況下，能夠在規(guī)定范圍內(nèi)微調(diào)移動部的位置。另外，移動限制部具備旋轉(zhuǎn)體并根據(jù)旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置至少切換第I狀態(tài)與第2狀態(tài)，其中，該旋轉(zhuǎn)體具有在設置于移動部的卡合部的移動方向上與卡合部抵接的止擋部，從而僅通過使旋轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)，便能夠容易地至少在第I狀態(tài)與第2狀態(tài)之間切換移動限制部。另外，旋轉(zhuǎn)體在止擋部的外側具備在規(guī)定范圍內(nèi)允許卡合部的移動的外側止擋部，從而能夠在外側止擋部限制卡合部的移動。另外，移動限制部具備伴隨著旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)的指標部、檢測指標部的傳感器部、以及基于來自傳感器部的檢測結果控制旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置的控制部，從而能夠自動地進行移動限制部的切換。另外，傳感器部沿指標部的旋轉(zhuǎn)方向配置有多個，控制部基于來自多個傳感器部的檢測結果控制旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置，從而能夠利用傳感器部以及控制部可靠地控制旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置。另外，主體部與橋式行駛車連結，移動部具備能夠保持物品的夾持部、以及使夾持部升降的升降驅(qū)動部，從而在橋式行駛車行駛的情況下、移動部向主體部的側方移動的情況、移動部使夾持部升降的情況下、移動部向主體部側返回的情況的任一種情況下，均能夠可靠地抑制移動部無意中的飛出。另外，第I方向以及第2方向為水平方向中的與橋式行駛車的行駛方向交叉的方向，從而能夠可靠地抑制移動部向與橋式行駛車的行駛方向交叉的方向無意中飛出。由此，在橋式行駛車分別在平行地延伸的軌道上行駛的情況下，能夠抑制橋式行駛車彼此干擾。
【附圖說明】
[0012]圖1是表示處理室的頂棚部分的一個例子的圖。
[0013]圖2是表不帶機構的一個例子的圖。
[0014]圖3是表示移載裝置的動作狀態(tài)的一個例子的圖。
[0015]圖4是表示移動限制部的一個例子的立體圖。
[0016]圖5是表不移動限制部的一個例子的側視圖。
[0017]圖6中，(a)是表示旋轉(zhuǎn)體的一個例子的圖，(b)是表示指標部以及傳感器部的一個例子的圖。
[0018]圖7中，(a)?(d)是用于對移動限制部的動作進行說明的圖。
【具體實施方式】
[0019]以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。其中，本發(fā)明并不限定于此。另外，在附圖中，為了對實施方式進行說明，通過將局部放大或者強調(diào)記載等而適宜變更比例尺進行表現(xiàn)。在以下各圖中，使用XYZ坐標系對圖中的方向進行說明。在該XYZ坐標系中，將與水平面平行的平面設為XY平面。在該XY平面中，將橋式行駛車20的行駛方向記載為Y方向，將與Y方向正交的方向記載為X方向。另外，將與XY平面垂直的方向記載為Z方向。將X方向、Y方向以及Z方向各自的圖中的箭頭的方向作為+方向，將與箭頭的方向相反的方向作為一方向進行說明。另外，將繞X軸的旋轉(zhuǎn)方向記載為ΘΧ方向，將繞Y軸的旋轉(zhuǎn)方向記載為ΘΥ方向，將繞Z軸的旋轉(zhuǎn)方向記載為ΘZ方向。
[0020]圖1是表示處理室I的頂棚部分的一個例子的圖。處理室I例如為潔凈室內(nèi)部，并設置有未圖示的半導體處理裝置等。
[0021]在處理室I的頂棚部分設置有頂棚部件4、第I支柱6以及第2支柱15。在頂棚部件4形成有頂棚面4a。頂棚面4a形成為與水平面平行。第I支柱6固定于頂棚部件4，并從頂棚面4a向下方(一 Z方向)延伸。
[0022]在第I支柱6的各群的一Z側端部分別固定有第I支承部件8、9。第I支承部件8、9形成為在Y方向上具有長邊。第I支承部件8、9經(jīng)由第I支柱6固定于頂棚部件4。第I支承部件8、9的一 Z側的面(支承面)8a、9a配置為與頂棚面4a平行。
[0023]在支承面8a、9a分別相鄰設置有導軌10。導軌10是引導橋式行駛車20的軌道。導軌10具有行駛導軌11以及供電導軌12。導軌10的至少一部分例如沿第I支承部件8、9的長度方向(Y方向)設置。相鄰的導軌10彼此配置為相互平行。此外，在圖1中省略了設置于第I支承部件9的導軌10的橋式行駛車的圖示。
[0024]橋式行駛車20配置于行駛導軌11的內(nèi)側。橋式行駛車20沿導軌10向+Y方向行駛。橋式行駛車20具有行駛驅(qū)動部21、受電部22以及連結部23。行駛驅(qū)動部21具有與行駛導軌11的內(nèi)表面抵接的多個滾子21a、以及使上述多個滾子21a旋轉(zhuǎn)的未圖示的驅(qū)動裝置。受電部22經(jīng)由設置于供電導軌12的非接觸供電線進行受電，并向行駛驅(qū)動部21等供給電力。連結部23安裝于行駛驅(qū)動部21的一 Z側，并將行駛驅(qū)動部21與移載裝置40連結。
[0025]移載裝置40具備基座部(主體部)41、移動部42以及移動限制部43?；?1經(jīng)由連結部23與橋式行駛車20(行駛驅(qū)動部21)連結。因此，基座部41能夠與橋式行駛車20—體地移動。
[0026]移動部42具有中間部44以及頂部45。中間部44安裝于基座部41。中間部44借助未圖示的引導而向沿著X方向的第I方向Dl以及第2方向D2移動。頂部45安裝于中間部44。頂部45伴隨著中間部44的移動而能夠向沿著X方向的第I方向Dl以及第2方向D2移動。
[0027]另外，在頂部45的下方(一Z側)設置有回旋部46、升降驅(qū)動部47、升降臺48以及夾持部49?；匦?6使升降驅(qū)動部47以下的結構(升降驅(qū)動部47、升降臺48以及夾持部49)相對于頂部45向ΘΖ方向回旋。
[0028]升降驅(qū)動部47對升降臺48的升降(Z方向的移動)進行控制。升降驅(qū)動部47經(jīng)由形成為規(guī)定的長度的帶48a(參照圖3)與升降臺48連接。在升降驅(qū)動部47設置有供帶48a纏繞的未圖示的滾筒。升降驅(qū)動部47—邊供帶48a纏繞一邊將其送出，由此使升降臺48向Z方向移動。
[0029]升降臺48借助升降驅(qū)動部47的驅(qū)動而與夾持部49 一體地向Z方向移動。夾持部49具有一對爪部49a。該爪部49a例如能夠?qū)Π雽w晶圓的搬運容器(FOUP)等物品FP進行把持。一對爪部49a對設置于物品FP的+Z側的面的突起部FPa進行把持。
[0030]另外，在第I支承部件8、9的支承面8a、9a設置有第3支柱16。第3支柱16配置于在X方向上隔著導軌10的位置。第3支柱16向一 Z方向延伸。在第3支柱16的一 Z方向的端部分別固定有第2支承部件17、18。第2支承部件17配置于第I支承部件8的+X側，第2支承部件18配置于第I支承部件8的一 X側。第2支承部件17、18分別具有載置面17a、18a。載置面17a、18a形成為與水平面平行。在第2支承部件17、18的載置面17a、18a能夠臨時放置物品等，第2支承部件17、18作為緩沖器使用。
[0031]第2支承部件17由配置于+X側的第3支柱16、以及第2支柱15支承。第2支柱15從頂棚面4a向一 Z方向延伸，并在一 Z側端部固定于第2支承部件17。另外，第2支承部件18由設置于第I支承部件8的第3支柱16中的一X側的支柱、以及設置于第I支承部件9的第3支柱16中的+X側的支柱支承。
[0032]此外，也可以代替第2支承部件17、18，配置適宜的自動倉庫或者儲料器等。另外，也可以不設置第I支承部件9以及配置于該第I支承部件9的導軌10、橋式行駛車20等。另外，也可以不設置第2支承部件18。
[0033]圖2是示意地表示對基座部41以及移動部42進行驅(qū)動的帶機構30的一個例子的圖。此外，帶機構30并不限定于圖2所示的結構。
[0034]如圖2所示，上述中間部44以及頂部45由帶機構30驅(qū)動。帶機構30具有驅(qū)動馬達
31、驅(qū)動帶輪32、33、從動帶輪34、35以及驅(qū)動帶36、37。驅(qū)動馬達31、驅(qū)動帶輪32以及從動帶輪34固定于基座部41的一 Z側。驅(qū)動帶輪32借助驅(qū)動馬達31的驅(qū)動力而旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動帶36架設于驅(qū)動帶輪32與從動帶輪34之間，并具有固定部36a。固定部36a固定于中間部44。
[0035]驅(qū)動帶輪33以及從動帶輪35固定于中間部44的一 Z側。驅(qū)動帶輪33經(jīng)由未圖示的旋轉(zhuǎn)力傳遞機構與驅(qū)動馬達31或者驅(qū)動帶輪32連接。驅(qū)動帶輪33與驅(qū)動帶輪32的旋轉(zhuǎn)同步地旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動帶37架設于驅(qū)動帶輪33與從動帶輪35之間，并具有固定部37a。固定部37a固定于頂部45。
[0036]在上述帶機構30中，通過使驅(qū)動馬達31旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動帶36、37經(jīng)由驅(qū)動帶輪32、33而旋轉(zhuǎn)。通過驅(qū)動帶36的旋轉(zhuǎn)，中間部44以向基座部41的+X側以及一 X側(在圖2中作為一個例子為+X側)突出的方式移動。另外，通過驅(qū)動帶37的旋轉(zhuǎn)，頂部45以向中間部44的+X側以及一 X側(在圖2中作為一個例子為+X側)突出的方式移動。
[0037]圖3是表示移載裝置40的動作狀態(tài)的一個例子的圖。
[0038]在使橋式行駛車20行駛的情況下，若移動部42向?qū)к?0的+X側或者一X側飛出，則存在與周圍的構造物干擾的擔憂。這點無論是在夾持部49把持物品FP的情況下還是在未把持物品FP的情況下均相同。因此，在使橋式行駛車20行駛的情況下，移載裝置40不使移動部42向+X側或者一X側移動，如圖3所示，成為配置于規(guī)定的基準位置Pl的狀態(tài)(第I狀態(tài))。在第I狀態(tài)下，基準位置Pl為使橋式行駛車20行駛的情況下的移動部42的位置，在本實施方式中，作為一個例子形成為基座部41與移動部42(中間部44以及頂部45)在Z方向觀察下重疊的位置，但并不限定于此。
[0039]另一方面，在欲將利用夾持部49把持的物品FP載置于第2支承部件17、18的情況下、或欲利用夾持部49對載置于第2支承部件17、18的物品FP進行把持的情況下，形成為使橋式行駛車20停止的狀態(tài)。而且，移載裝置40形成為使移動部42中的頂部45移動至第I方向Dl側的突出位置P2、或者第2方向D2側的突出位置P3的狀態(tài)(第2狀態(tài))。突出位置P2配置于第2支承部件17的+Z方向上。另外，突出位置P3配置于第2支承部件18的+Z方向上。此外，如圖3中點劃線所示，通過從該第2狀態(tài)送出帶48a，能夠使升降臺48以及夾持部49向下方移動。在夾持部49把持有物品FP的情況下，例如能夠?qū)⑽锲稦P載置于第2支承部件17、18上。另夕卜，在夾持部49未把持物品FP而在第2支承部件17、18上載置有物品FP的情況下，能夠利用夾持部49把持第2支承部件17、18上的物品FP。
[0040]此外，在欲將由夾持部49把持的物品FP載置于在導軌10的下方配置的裝置等的規(guī)定位置的情況下、或欲利用夾持部49對載置于在導軌10的下方配置的裝置等的規(guī)定位置的物品FP進行把持的情況下，也形成為使橋式行駛車20停止的狀態(tài)。而且，不使移動部42向突出位置P2以及突出位置P3移動，而形成為使升降臺48向一Z方向移動的狀態(tài)(第3狀態(tài))。在第3狀態(tài)下，對夾持部49與物品FP的位置關系進行微調(diào)，因此能夠使移動部42向X方向移動規(guī)定范圍。
[0041 ]圖4是表示移動限制部43的一個例子的立體圖。另外，圖5是表示移動限制部43的一個例子的側視圖。
[0042]如圖4以及圖5所示，移動限制部43具有驅(qū)動源51、旋轉(zhuǎn)傳遞齒輪52、旋轉(zhuǎn)軸53、旋轉(zhuǎn)體54、指標部55、傳感器部56、控制部57以及機械限位器60。
[0043]驅(qū)動源51例如使用馬達等，并具有輸出旋轉(zhuǎn)的輸出軸51a。驅(qū)動源51使輸出軸51a向ΘΖ方向旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)傳遞齒輪52具有第I齒輪52a以及第2齒輪52b。第I齒輪52a固定于驅(qū)動源51的輸出軸51a。第2齒輪52b與第I齒輪52a嚙合，并將第I齒輪52a的ΘΖ方向的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為ΘΥ方向的旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)軸53固定于第2齒輪52b。伴隨著第2齒輪52b的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸53向沿著Y方向的旋轉(zhuǎn)中心軸AX的繞軸方向(ΘΥ方向)旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)體54與旋轉(zhuǎn)軸53設置為一體。旋轉(zhuǎn)軸53旋轉(zhuǎn)，從而旋轉(zhuǎn)體54向旋轉(zhuǎn)中心軸AX的繞軸方向(Θ Y方向)旋轉(zhuǎn)。
[0044]旋轉(zhuǎn)體54被固定為在X方向、Y方向以及Z方向上位置不變化。旋轉(zhuǎn)體54具有第I止擋部(止擋部)54a、第2止擋部(止擋部)54b、第3止擋部(外側止擋部)54c以及第4止擋部(夕卜側止擋部)54d。
[0045]第I止擋部54a以及第2止擋部54b沿以旋轉(zhuǎn)體54的旋轉(zhuǎn)中心軸AX為中心的同一圓筒面形成。在第I止擋部54a與第2止擋部54b之間設置有間隙54m、54n。另外，第3止擋部54c以及第4止擋部54d沿以旋轉(zhuǎn)中心軸AX為中心并相比第I止擋部54a以及第2止擋部54b更靠外側的同一圓筒面形成。
[0046]如圖4以及圖5所示，在頂部45的一 Y側的面設置有向一 Y方向突出的卡合部45a?？ê喜?5a例如形成為圓柱狀或者棒狀。第I止擋部54a?第4止擋部54d配置于卡合部45a的周圍。換句話說，卡合部45a的一Y側的前端部成為配置于由第I止擋部54a?第4止擋部54d圍起的部分的狀態(tài)。第I止擋部54a?第4止擋部54d通過與卡合部45a抵接來限制卡合部45a的移動，由此限制頂部45的移動。中間部44與頂部45同步地移動，因此若限制頂部45的移動則會限制中間部44的移動。因此，通過限制卡合部45a的移動，能夠限制移動部42(中間部44以及頂部45)的移動。
[0047]圖6中，(a)是表不沿一Y方向觀察旋轉(zhuǎn)體54時的一個例子的圖。在圖6的(a)中，與旋轉(zhuǎn)體54—并地圖示了頂部45的卡合部45a。以下，對于繞Y軸的ΘΥ方向的正負而言，在沿行駛方向(+Y方向)觀察時，將順時針的方向記載為+ΘΥ方向，將逆時針的方向記載為一ΘΥ方向。在圖6的(a)中，為了沿與行駛方向相反的方向觀察旋轉(zhuǎn)體54，而將+ΘΥ方向在圖中表示為右旋的方向，將一ΘΥ方向在圖中表示為左旋的方向。
[0048]如圖6的(a)所示，第I止擋部54a形成為以旋轉(zhuǎn)中心軸AX為基準在ΘΥ方向上遍及角度α?的范圍。該角度α?例如被設定為120°左右，但并不限定于此。第2止擋部54b形成為以旋轉(zhuǎn)中心軸AX為基準在ΘΥ方向上遍及角度α2的范圍。該角度α2例如可以被設定為60°左右，但并不限定于此。
[0049]間隙54m形成為從第I止擋部54a的+ΘΥ側端部朝向第2止擋部54b的一ΘΥ側端部以旋轉(zhuǎn)中心軸AX為基準在ΘΥ方向上遍及角度α3的范圍。另外，間隙54η形成為從第I止擋部54a的一 ΘΥ側端部朝向第2止擋部54b的+ΘΥ側端部以旋轉(zhuǎn)中心軸AX為基準在ΘΥ方向上遍及角度α4的范圍。角度α3被設定為比角度α4大。另外，與卡合部45a的直徑對應地設定角度α4，使得卡合部45a能夠在間隙54η通過。此外，也可以先設定角度α4，并與該角度α4的值對應地設定卡合部45a的直徑。在本實施方式中，例如，角度α3被設定為120°左右，角度α4被設定為60°左右，但并不限定于此。
[0050]第3止擋部54c形成為以旋轉(zhuǎn)中心軸AX為基準在ΘΥ方向上遍及角度α5的范圍。該角度α5例如被設定為60°左右，但并不限定于此。此外，第3止擋部54c以在旋轉(zhuǎn)體54的旋轉(zhuǎn)方向上覆蓋設置于第I止擋部54a的一 ΘΥ側的縫隙部分的方式配置。
[0051 ]第4止擋部54d配置于以旋轉(zhuǎn)中心軸AX為基準從第3止擋部54c偏離了 180°的位置。第4止擋部54d形成為在ΘΥ方向上遍及角度α6的范圍。該角度α5例如被設定為60°左右，但并不限定于此。此外，第4止擋部54d以在旋轉(zhuǎn)體54的旋轉(zhuǎn)方向上覆蓋設置于第I止擋部54a的+ΘΥ側的縫隙部分的一部分的方式配置。
[0052]圖6的(b)是表示從+Y側觀察指標部55以及傳感器部56時的一個例子的圖。此外，與圖6的(a)同樣，在沿行駛方向(+Y方向)觀察時，將順時針的方向記載為+ΘY方向，將逆時針的方向記載為一 ΘΥ方向。
[0053]如圖6的(b)所示，指標部55形成為圓板狀，并固定于第2齒輪52b或者旋轉(zhuǎn)軸53。此夕卜，圖6的(b)所示的指標部55的姿勢與圖6的(a)所示的旋轉(zhuǎn)體54的姿勢相對應。換句話說，在旋轉(zhuǎn)體54形成為圖6的(a)所示的姿勢的情況下，指標部55形成為圖6的(b)所示的姿勢。另外，反之，在指標部55形成為圖6的(b)所示的姿勢的情況下，旋轉(zhuǎn)體54形成為圖6的(a)所示的姿勢。指標部55與第2齒輪52b或者旋轉(zhuǎn)軸53—體地向ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)。由于在旋轉(zhuǎn)軸53除了固定有指標部55之外還固定有旋轉(zhuǎn)體54，所以在旋轉(zhuǎn)軸53旋轉(zhuǎn)的情況下，指標部55與旋轉(zhuǎn)體54—體地旋轉(zhuǎn)。
[0054]指標部55相對于第2齒輪52b配置于一 Y側。指標部55具有基部55a以及遮光部55b。基部55a是形成為圓形的部分。遮光部55b設置于基部55a的外周的一部分，并形成為能夠?qū)鞲衅鞑?6所使用的檢測光進行遮光。遮光部55b例如具有端面55c、55d。端面55c以及端面55d被配置為以旋轉(zhuǎn)中心軸AX為中心在ΘΥ方向上形成為角度β?。角度β?形成為不足120°的角度，例如形成為116°左右，但并不限定于此。此外，在圖6的(b)所示的結構中，遮光部55b相對于基部55a配置于+X側。
[0055]另外，傳感器部56具有第I傳感器61、第2傳感器62、第3傳感器63以及第4傳感器64。例如圖5所不，第I傳感器61?第4傳感器64分別具有基部56a、發(fā)光部56b以及受光部56c?；?6a形成為“口”字形(或者U字形)，并具有平行的兩個前端部(第I端部56m以及第2端部56η)。發(fā)光部56b設置于第I端部56m。發(fā)光部56b射出檢查光。受光部56c設置于第2端部56η。作為發(fā)光部56b，例如使用LED等，作為受光部56c使用光電二極管等光電轉(zhuǎn)換元件等。
[0056]在本實施方式中，發(fā)光部56b與受光部56c配置為對置。在發(fā)光部56b與受光部56c之間在Y方向上設置有規(guī)定的間隙。從發(fā)光部56b射出的檢查光在該間隙中行進并向受光部56c射入。受光部56c對射入的檢查光進行光電轉(zhuǎn)換，輸出受光信號(電信號)。
[0057]第I傳感器61?第4傳感器64以使發(fā)光部56b以及受光部56c隔著遮光部55b的軌道而對置的方式配置。通過指標部55旋轉(zhuǎn)，從而與旋轉(zhuǎn)角度相對應，遮光部55b進入發(fā)光部56b與受光部56c之間。在通過指標部55的旋轉(zhuǎn)而使遮光部55b進入發(fā)光部56b與受光部56c之間的情況下，檢查光被遮光部55b遮光。因此，在受光部56c中，不輸出受光信號。在第I傳感器61?第4傳感器64中，通過檢測該受光信號的有無，能夠分別對在發(fā)光部56b與受光部56c之間有無遮光部55b進行檢測。
[0058]另外，如圖6的(b)所示，第I傳感器61配置于旋轉(zhuǎn)中心軸AX的一X側。第2傳感器62被配置為相對于第I傳感器61在一 ΘΥ方向上隔開角度β2。第3傳感器63被配置為相對于第2傳感器62在一 ΘΥ方向上隔開角度β3。第4傳感器64被配置為相對于第3傳感器63在一 ΘΥ方向上隔開角度Mο角度β2、β3、β4例如分別被設定為60°左右。通過該配置，遮光部55b不同時與第I傳感器61?第4傳感器64中的三個以上傳感器重疊。
[0059]在此，在本實施方式中，以旋轉(zhuǎn)中心軸AX為基準使第I傳感器61與第3傳感器63在ΘY方向上隔開120°進行設置，遮光部55b的ΘΥ方向的范圍形成為116°。因此，在遮光部55b例如配置于第I傳感器61與第3傳感器63之間的狀態(tài)下，遮光部55b的+ΘΥ側端部與第I傳感器61之間在ΘΥ方向上僅具有2°左右，同樣遮光部55b的一ΘΥ側端部與第3傳感器63之間在ΘΥ方向上僅具有2°左右。因此，若指標部55從遮光部55b配置于第I傳感器61與第3傳感器63之間的狀態(tài)沿ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)2°以上，則遮光部55b的ΘΥ側的任一端部對第I傳感器61或者第3傳感器63的檢查光進行遮光。此外，在遮光部55b配置于第2傳感器62與第4傳感器64之間的情況下，也能夠采用同樣的說明。
[0060]另外，機械限位器60具有限位器面65以及限位器面66。限位器面65與遮光部55b的端面55c抵接。另外，限位器面66與遮光部55b的端面55d抵接。遮光部55b的端面55c、55d與限位器面65、66分別抵接，由此限制指標部55的ΘΥ方向的旋轉(zhuǎn)。在本實施方式中，在端面55c抵接于限位器面65的狀態(tài)(遮光部55b相對于基部55a配置于+X側的狀態(tài))、與端面55d抵接于限位器面66的狀態(tài)(遮光部55b相對于基部55a配置于一 X側的狀態(tài))之間，指標部55被限制為在180°的范圍內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)。
[0061]接下來，對移動限制部43的動作進行說明。圖7的(a)?(d)是用于對移動限制部43的動作進行說明的圖。
[0062]圖7的(a)表示移載裝置40成為第I狀態(tài)(參照圖3等)的情況下的移動限制部43的動作。
[0063]在使移動部42處于第I狀態(tài)的情況下，如圖7的(a)所示，控制部57以在卡合部45a的+X側配置第2止擋部54b，并且在卡合部45a的一 X側配置第I止擋部54a的方式調(diào)整旋轉(zhuǎn)體54的姿勢。以下，將該姿勢記載為第I姿勢。通過使旋轉(zhuǎn)體54形成為第I姿勢，從而若移動部42(頂部45)欲向+X方向移動則卡合部45a與第2止擋部54b抵接，若欲向一 X方向移動則卡合部45a與第I止擋部54a抵接。因此，卡合部45a向X方向的移動被限制。因此，移動部42向X方向的移動被限制，從而成為移動部42配置于基準位置Pl的狀態(tài)。
[0064]另外，在旋轉(zhuǎn)體54的姿勢形成為上述第I姿勢的情況下，指標部55的遮光部55b配置于第I傳感器61與第3傳感器63之間。在該情況下，在第I傳感器61、第3傳感器63以及第4傳感器64中來自發(fā)光部56b的檢查光由受光部56c受光，輸出受光信號。另外，在第2傳感器62中檢查光被遮光，不輸出受光信號。
[0065]因此，控制部57以成為在第I傳感器61、第3傳感器63以及第4傳感器64中輸出受光信號、在第2傳感器62中不輸出受光信號的狀態(tài)的方式調(diào)整指標部55的姿勢，由此能夠?qū)⑿D(zhuǎn)體54的姿勢設定為上述第I姿勢。
[0066]此時，控制部57對第I傳感器61?第4傳感器64的受光信號進行檢測，并與檢測結果對應地使指標部55向+ΘΥ方向或者一 ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)。例如，在第I傳感器61檢測到被遮光的狀態(tài)的情況下，控制部57使指標部55向一ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)。而且，在第I傳感器61從遮光被切換為受光之后停止指標部55的旋轉(zhuǎn)。由此，能夠?qū)⒄诠獠?5b配置于第I傳感器61與第3傳感器63之間。
[0067]另外，在第4傳感器64檢測到遮光的狀態(tài)的情況下，控制部57使指標部55向+ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)，從而第3傳感器63形成為被遮光的狀態(tài)。而且，控制部57在第3傳感器63檢測到被遮光的狀態(tài)之后，一邊使指標部55進一步向+ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)一邊檢測第3傳感器63的輸出，在第3傳感器63從遮光被切換為受光之后停止指標部55的旋轉(zhuǎn)。在該情況下，也能夠使遮光部55b配置于第I傳感器61與第3傳感器63之間。
[0068]接下來，作為使移動部42形成為第2狀態(tài)的情況，有使移動部42移動至第I方向Dl的突出位置P2的情況、以及使移動部42移動至第2方向D2的突出位置P3的情況。其中，在使移動部42移動至突出位置P2的情況下，如圖7的(b)所示，控制部57調(diào)整旋轉(zhuǎn)體54的姿勢，以在卡合部45a的+X側配置間隙54m，并且，在卡合部45a的一X側配置第I止擋部54a。以下，將該姿勢記載為第2姿勢。通過使旋轉(zhuǎn)體54形成為第2姿勢，從而若移動部42欲向+X方向移動，則卡合部45a通過間隙54m，因此卡合部45a的移動不被限制。因此，移動部42能夠向第I方向Dl移動。另外，若移動部42欲向一X方向移動，則卡合部45a與第I止擋部54a抵接，因此卡合部45a向一 X方向的移動被限制。因此，在例如移動部42欲從突出位置P2向基準位置Pl返回的情況下，能夠限制越過基準位置Pl向一 X方向移動的情況。
[0069]另外，在旋轉(zhuǎn)體54的姿勢成為上述第2姿勢的情況下，如圖7的(b)所示，遮光部55b的端面55d與限位器面66抵接。另外，遮光部55b配置于第2傳感器62的+ΘΥ側。并且，遮光部55b的ΘΥ方向的中央部以與第I傳感器61對應的方式配置。在該情況下，在第2傳感器62、第3傳感器63以及第4傳感器64中來自發(fā)光部56b的檢查光由受光部56c受光，輸出受光信號。另外，在第I傳感器61中檢查光被遮光，不輸出受光信號。
[0070]因此，控制部57調(diào)整指標部55的姿勢，以成為在第2傳感器62、第3傳感器63以及第4傳感器64中輸出受光信號、在第I傳感器61中不輸出受光信號的狀態(tài)，由此能夠?qū)⑿D(zhuǎn)體54的姿勢設定為上述第2姿勢。
[0071]此時，控制部57對第I傳感器61?第4傳感器64的受光信號進行檢測，并與檢測結果對應地使指標部55向+ΘΥ方向或者一 ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)。例如，在第3傳感器63以及第4傳感器64的任一個檢測到被遮光的狀態(tài)的情況下，控制部57使指標部55向+ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)，從而第2傳感器62形成為被遮光的狀態(tài)。而且，控制部57在第2傳感器62檢測到被遮光的狀態(tài)之后，一邊使指標部55進一步向+ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)一邊檢測第2傳感器62的輸出，在第2傳感器62從遮光被切換為受光之后停止指標部55的旋轉(zhuǎn)。由此，能夠使遮光部55b配置于第2傳感器62的+ΘΥ側。
[0072]在本實施方式中，由于配置有限位器面66，所以能夠通過使遮光部55b的端面55d與限位器面66抵接來限制指標部55的旋轉(zhuǎn)。此外，也可以代替配置限位器面66(機械限位器60)，將具有與第I傳感器61?第4傳感器64相同的功能的傳感器設置于限位器面66的位置。在該結構中，使用該傳感器的檢測結果，控制部57能夠以停止指標部55的旋轉(zhuǎn)的方式進行控制。
[0073]另外，在例如使移動部42移動至第2方向D2的突出位置P3的情況下，如圖7的(C)所示，控制部57調(diào)整旋轉(zhuǎn)體54的姿勢，以在卡合部45a的+X側配置第I止擋部54a，并且，在卡合部45a的一X側配置間隙54m。以下，將該姿勢記載為第3姿勢。通過使旋轉(zhuǎn)體54形成為第3姿勢，從而若移動部42欲向一X方向移動，則卡合部45a通過間隙54m，因此卡合部45a的移動不被限制。因此，移動部42能夠向第2方向D2移動。另外，若移動部42欲向+X方向移動，則卡合部45a與第I止擋部54a抵接，因此卡合部45a向+X方向的移動被限制。因此，在例如移動部42欲從突出位置P3向基準位置Pl返回的情況下，能夠限制越過基準位置Pl向+X方向移動的情況。
[0074]另外，在旋轉(zhuǎn)體54的姿勢成為上述第3姿勢的情況下，如圖7的(C)所示，遮光部55b的端面55c與限位器面65抵接。另外，遮光部55b配置于第3傳感器63的一 ΘΥ側。并且，遮光部55b的ΘΥ方向的中央部以與第4傳感器64對應的方式配置。在該情況下，在第I傳感器61、第2傳感器62以及第3傳感器63中來自發(fā)光部56b的檢查光由受光部56c受光，輸出受光信號。另外，在第4傳感器64中檢查光被遮光，不輸出受光信號。
[0075]因此，控制部57調(diào)整指標部55的姿勢，以成為在第I傳感器61、第2傳感器62以及第3傳感器63中輸出受光信號、在第4傳感器64中不輸出受光信號的狀態(tài)，由此能夠?qū)⑿D(zhuǎn)體54的姿勢設定為上述第3姿勢。
[0076]此時，控制部57對第I傳感器61?第4傳感器64的受光信號進行檢測，并與檢測結果對應地使指標部55向+ΘΥ方向或者一 ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)。例如，在檢測到第I傳感器61以及第2傳感器62的任一個被遮光的狀態(tài)的情況下，控制部57使指標部55向一 ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)，從而第3傳感器63形成為被遮光的狀態(tài)。而且，控制部57檢測到第3傳感器63被遮光的狀態(tài)之后，一邊使指標部55進一步向一ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)一邊檢測第3傳感器63的輸出，在第3傳感器63從遮光被切換為受光之后停止指標部55的旋轉(zhuǎn)。由此，能夠使遮光部55b配置于第3傳感器63的一 ΘΥ側。
[0077]在本實施方式中，由于配置有限位器面65，所以能夠通過使遮光部55b的端面55c與限位器面65抵接來限制指標部55的旋轉(zhuǎn)。此外，也可以代替配置限位器面65(機械限位器60)，將具有與第I傳感器61?第4傳感器64相同的功能的傳感器設置于限位器面65的位置。在該結構中，使用該傳感器的檢測結果，控制部57能夠以停止指標部55的旋轉(zhuǎn)的方式進行控制。
[0078]接下來，在使移動部42形成為第3狀態(tài)的情況下，如圖7的(d)所示，控制部57調(diào)整旋轉(zhuǎn)體54的姿勢，以在卡合部45a的+X側配置間隙54η，在間隙54η的+X側配置第3止擋部54c，在卡合部45a的一X側配置間隙54m，在間隙54m的一X側配置第4止擋部54d。以下，將該姿勢記載為第4姿勢。通過使旋轉(zhuǎn)體54形成為第4姿勢，從而若移動部42欲向+X方向移動則卡合部45a通過間隙54η，但若欲進一步使移動部42向+X方向移動則卡合部45a與第3止擋部54c抵接。因此，在間隙54η至第3止擋部54c的規(guī)定范圍L內(nèi)，允許卡合部45a向+X方向的移動。同樣，若移動部42欲向一 X方向移動則卡合部45a通過間隙54m，若欲進一步使移動部42向一 X方向移動則卡合部45a與第4止擋部54d抵接。因此，在間隙54m至第4止擋部54d的規(guī)定范圍內(nèi)，允許卡合部45a向一X方向的移動。因此，在第3止擋部54c至第4止擋部54d的范圍內(nèi)允許移動部42向X方向的移動，但是限制該范圍以上的向X方向的移動。
[0079]另外，在旋轉(zhuǎn)體54的姿勢形成為上述第4姿勢的情況下，指標部55的遮光部55b配置于第2傳感器62與第4傳感器64之間。在該情況下，在第I傳感器61、第2傳感器62以及第4傳感器64中來自發(fā)光部56b的檢查光由受光部56c受光，輸出受光信號。另外，在第3傳感器63中檢查光被遮光，不輸出受光信號。
[0080]因此，控制部57調(diào)整指標部55的姿勢，以成為在第I傳感器61、第2傳感器62以及第4傳感器64中輸出受光信號、在第3傳感器63中不輸出受光信號的狀態(tài)，由此能夠?qū)⑿D(zhuǎn)體54的姿勢設定為上述第4姿勢。
[0081]在該情況下，控制部57對第I傳感器61?第4傳感器64的受光信號進行檢測，并與檢測結果對應地使指標部5 5向+Θ Y方向或者一 Θ Y方向旋轉(zhuǎn)。例如，在檢測到第I傳感器61被遮光的狀態(tài)的情況下，控制部57使指標部55向一 ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)，第2傳感器62形成為被遮光的狀態(tài)。而且，控制部57在檢測到第2傳感器62被遮光的狀態(tài)之后，一邊使指標部55進一步向一ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)一邊檢測第2傳感器62的輸出，在第2傳感器62從遮光被切換為受光之后停止指標部55的旋轉(zhuǎn)。由此，能夠使遮光部55b配置于第2傳感器62與第4傳感器64之間。
[0082]另外，在例如檢測到第4傳感器64被遮光的狀態(tài)的情況下，控制部57—邊使指標部55向+ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)一邊檢測第4傳感器64的輸出，在第4傳感器64從遮光被切換為受光之后停止指標部55的旋轉(zhuǎn)。在該情況下，也能夠使遮光部55b配置于第2傳感器62與第4傳感器64之間。
[0083]如以上那樣，根據(jù)本實施方式，能夠利用移動限制部43在將移動部42限制于基準位置Pl的第I狀態(tài)、與允許移動部42從基準位置Pl向第I方向Dl以及第2方向D2的任一方移動并且限制移動部42向另一方移動的第2狀態(tài)之間進行切換，因此在使移動部42向第I方向Dl移動之后，為了向基準位置Pl返回而向第2方向D2移動的情況下，利用移動限制部43抑制向第2方向D2的飛出。由此，可靠地抑制移動部42無意中的飛出。
[0084]以上，對實施方式進行了說明，但本發(fā)明并不限定于上述說明，能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進行各種變更。例如，在上述實施方式中，舉出作為傳感器部56使用四個傳感器(第I傳感器61?第4傳感器64)以及指標部55檢測旋轉(zhuǎn)體54的姿勢的情況為例進行了說明，但并不限定于此。例如，作為傳感器部56，也可以省略第I傳感器61?第4傳感器64中的一部分、另外追加相同的傳感器。另外，也可以形成為使用旋轉(zhuǎn)編碼器等其他傳感器檢測旋轉(zhuǎn)軸53的旋轉(zhuǎn)信息，并與其檢測結果對應地調(diào)整旋轉(zhuǎn)軸53的旋轉(zhuǎn)的結構。
[0085]另外，在上述實施方式中，舉出設置有與傳感器部56的檢測結果對應地控制驅(qū)動源51的旋轉(zhuǎn)的控制部57的結構為例進行了說明，但并不限定于此，例如，也可以形成為使統(tǒng)一控制導軌10、橋式行駛車20以及移載裝置40的主控制部進行該動作的結構。另外，在上述實施方式中，也可以形成為在第I傳感器61?第4傳感器64的任一個中產(chǎn)生了檢測不良等的情況下，利用上述主控制部使各部分的動作停止，利用控制部57使驅(qū)動源51的動作停止的結構。
[0086]另外，在上述實施方式中，作為使移動部42移動的結構，舉出使用了帶機構30的結構為例進行了說明，但并不限定于此，例如也可以使用齒輪機構等其他驅(qū)動系統(tǒng)。
[0087]附圖標記說明:
[0088]Dl...第I方向；D2...第2方向；FP...物品；L...規(guī)定范圍；Pl...基準位置;P2、P3…突出位置;ΑΧ...旋轉(zhuǎn)中心軸；I…處理室；10...導軌；20...橋式行駛車；30...帶機構；40...移載裝置;41...基座部(主體部)；42…移動部;43...移動限制部;44...中間部;45...頂部;45a…卡合部;47...升降驅(qū)動部;48...升降臺；48a...帶;49...夾持部；54...旋轉(zhuǎn)體;54a...第I止擋部(止擋部)；54b...第2止擋部(止擋部)；54c...第3止擋部(外側止擋部)；54d...第4止擋部(外側止擋部)；54m、54n...間隙；55...指標部;55b...遮光部；56...傳感器部；57...控制部;61...第I傳感器;62...第2傳感器;63...第3傳感器;64...第4傳感器。
【主權項】
1.一種移載裝置，其具備能夠相對于主體部移動的移動部，所述移動部以從所述主體部突出的狀態(tài)移載物品， 所述移載裝置的特征在于， 具備移動限制部，該移動限制部能夠在將所述移動部限制于基準位置的第I狀態(tài)、與允許所述移動部從所述基準位置向第I方向以及與所述第I方向相反的第2方向中的任一方移動并且限制所述移動部向另一方移動的第2狀態(tài)之間進行切換。2.根據(jù)權利要求1所述的移載裝置，其特征在于， 所述移動限制部形成為除了所述第I狀態(tài)以及所述第2狀態(tài)之外，還能夠切換為在規(guī)定范圍內(nèi)允許所述移動部向所述第I方向以及所述第2方向移動的第3狀態(tài)。3.根據(jù)權利要求1或2所述的移載裝置，其特征在于， 所述移動限制部具備旋轉(zhuǎn)體，并根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置至少切換所述第I狀態(tài)與所述第2狀態(tài)，其中，所述旋轉(zhuǎn)體具有在設置于所述移動部的卡合部的移動方向上與所述卡合部抵接的止擋部。4.根據(jù)權利要求3所述的移載裝置，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)體在所述止擋部的外側具備在規(guī)定范圍內(nèi)允許所述卡合部的移動的外側止擋部。5.根據(jù)權利要求3或4所述的移載裝置，其特征在于， 所述移動限制部具備伴隨著所述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)的指標部、檢測所述指標部的傳感器部、以及基于來自所述傳感器部的檢測結果控制所述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置的控制部。6.根據(jù)權利要求5所述的移載裝置，其特征在于， 所述傳感器部沿所述指標部的旋轉(zhuǎn)方向配置有多個， 所述控制部基于來自所述多個傳感器部的檢測結果控制所述旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)位置。7.根據(jù)權利要求1?6中的任一項所述的移載裝置，其特征在于， 所述主體部與橋式行駛車連結， 所述移動部具備能夠保持物品的夾持部、以及使所述夾持部升降的升降驅(qū)動部。8.根據(jù)權利要求7所述的移載裝置，其特征在于， 所述第I方向以及所述第2方向為水平方向中的與所述橋式行駛車的行駛方向交叉的方向。9.一種移載裝置的控制方法，其中，所述移載裝置具備能夠相對于主體部移動的移動部，所述移動部以從所述主體部突出的狀態(tài)移載物品， 所述移載裝置的控制方法的特征在于， 利用移動限制部在將所述移動部限制于基準位置的第I狀態(tài)、與允許所述移動部從所述基準位置向第I方向以及與所述第I方向相反的第2方向中的任一方移動并且限制所述移動部向另一方移動的第2狀態(tài)之間進行切換。
【文檔編號】B65G1/04GK105899444SQ201480072333
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2014年10月29日
【發(fā)明人】伊藤純, 伊藤純一
【申請人】村田機械株式會社