具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型有關(guān)于一種電子組件的承盤(pán)結(jié)構(gòu)，特別是關(guān)于一種晶圓承盤(pán)的晶圓移位限止結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)今社會(huì)高科技產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，晶圓制造產(chǎn)業(yè)亦然，晶圓在運(yùn)送過(guò)程中通常是通過(guò)自動(dòng)化系統(tǒng)運(yùn)送，晶圓在搬運(yùn)或者是制造過(guò)程中大多是將晶圓容置于一承盤(pán)的容槽內(nèi)，通過(guò)承盤(pán)的結(jié)構(gòu)防止晶圓受到外力撞擊造成不當(dāng)損傷。
[0003]晶圓在全自動(dòng)化的特定制程中，必需借助機(jī)械手臂將晶圓傳送至各個(gè)機(jī)臺(tái)，以完成數(shù)個(gè)不同的制程。然而晶圓是否能夠在制程中準(zhǔn)確地置放于機(jī)臺(tái)中正確的位置，將會(huì)影響制程的良率，因此，如何即時(shí)監(jiān)控晶圓的實(shí)際位置為非常重要的關(guān)鍵技術(shù)。
[0004]如圖1所示為已知的晶圓承盤(pán)的一承載平面10，該承載平面10周圍成形三弧面的擋止部20及二限止塊21，二限止塊21間間隔一距離，承載平面10用以裝設(shè)一晶圓A，已知晶圓承盤(pán)通過(guò)各擋止部20防止晶圓A脫出承載平面10，并通過(guò)限止塊21防止晶圓A在承載平面10內(nèi)旋轉(zhuǎn)，惟二限止塊21之間間隔一距離，導(dǎo)致限止塊21與晶圓A的接觸面積較小，進(jìn)而產(chǎn)生限止效果不佳的問(wèn)題，因此需要一種具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)，其主要目的是克服晶圓在晶圓承盤(pán)內(nèi)大幅度的旋轉(zhuǎn)及位移的問(wèn)題。
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)，包括:
[0007]一承盤(pán)本體，所述承盤(pán)本體的一面具有多個(gè)承載平面，各承載平面供以容置多個(gè)晶圓;
[0008]各承載平面的周圍具有二擋止部，所述擋止部的高度高于所述承載平面的高度，二擋止部間具有一限位肋，所述擋止部與限位肋的組合構(gòu)成至少一平面，所述限位肋的高度高于所述承載平面的高度；以及
[0009]所述承載平面的周圍具有至少二限位部，各限位部面對(duì)所述承載平面一側(cè)的形狀與所述承載平面周緣的形狀相互對(duì)應(yīng)，各限位部設(shè)置于所述承載平面的周圍。
[0010]由前述可知，本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)通過(guò)設(shè)置一限位肋在二擋止部之間，藉此使限位肋及擋止部的組合構(gòu)成一平面，進(jìn)而增強(qiáng)晶圓承盤(pán)的擋止部的限止能力，克服已知晶圓承盤(pán)限止效果不佳的問(wèn)題、提升晶圓承盤(pán)整體的限止能力，解決晶圓在晶圓承盤(pán)內(nèi)大幅度的旋轉(zhuǎn)及位移的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是已知晶圓承盤(pán)的局部俯視圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)的立體不意圖；
[0013]圖3是本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)的局部立體圖；
[0014]圖4是本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)的局部俯視圖；
[0015]圖5是本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)另一實(shí)施例的局部立體圖。
[0016]其中附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:
[0017]承載平面10擋止部20
[0018]限止塊21
[0019]承盤(pán)本體30承載平面40
[0020]第一側(cè)41第二側(cè)42
[0021]第三側(cè)43第四側(cè)44
[0022]擋止部50限位肋60
[0023]限位部70對(duì)應(yīng)槽80
[0024]支撐柱90晶圓A
[0025]平面B
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面結(jié)合附圖與【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0027]本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)，如圖2至圖5所示，包括:
[0028]一承盤(pán)本體30，承盤(pán)本體30的一面具有多個(gè)承載平面40，各承載平面40供以容置多個(gè)晶圓A ;
[0029]各承載平面40的周圍具有二擋止部50，二的擋止部50的高度高于承載平面40的高度，二擋止部50間具有一限位肋60，擋止部50與該限位肋60的組合構(gòu)成至少一平面B，限位肋60的高度高于承載平面40的高度，擋止部50及限位肋60用以防止晶圓A在承載平面40內(nèi)旋轉(zhuǎn)；
[0030]承載平面40的周圍具有至少二限位部70，各限位部70面對(duì)承載平面40 —側(cè)的形狀與承載平面40周緣的形狀相互對(duì)應(yīng)，各限位部70設(shè)置在承載平面40的周圍，限位部70用以防止晶圓A脫出承載平面40。
[0031]在本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)第一實(shí)施例中，承載平面40的形狀為一側(cè)具有平面的圓形，二擋止部50及限位肋60設(shè)置在承載平面40具有平面的一偵牝二擋止部50與限位肋60之間形成一對(duì)應(yīng)槽80，限位部70的數(shù)量為三。
[0032]承盤(pán)本體30開(kāi)設(shè)有承載平面40的另一面具有多個(gè)支撐柱90，各支撐柱90成形于與對(duì)應(yīng)槽80相對(duì)應(yīng)的位置，且對(duì)應(yīng)槽80的形狀與支撐柱90的形狀相互對(duì)應(yīng)，在多個(gè)承盤(pán)本體30相互堆疊時(shí)，上層的承盤(pán)本體30的支撐柱90置于下層的承盤(pán)本體30的對(duì)應(yīng)槽80內(nèi)，使各承盤(pán)本體30在相互堆疊的狀態(tài)下更加的穩(wěn)固。
[0033]在本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)第二實(shí)施例中，承載平面40的形狀為方形，承載平面40具有依序接鄰的一第一側(cè)41、一第二側(cè)42、一第三側(cè)43及一第四側(cè)44，二擋止部50分別設(shè)置在承載平面40的第一側(cè)41及第二側(cè)42，限位部70的數(shù)量為二，二限位部70分別設(shè)置在承載平面40的第三側(cè)43及第四側(cè)44，限位肋60設(shè)置在二擋止部50之間形成相互垂直接鄰的二平面B，另二擋止部50與二限位部70之間分別設(shè)置一限位肋60，二限位部70之間亦設(shè)置一限位肋60。
[0034]本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)在移動(dòng)過(guò)程中，如圖4所示，置于承載平面40內(nèi)的晶圓A旋轉(zhuǎn)一角度便被限位肋60所限止，如此一來(lái)便大幅降低晶圓A在晶圓承盤(pán)內(nèi)旋轉(zhuǎn)的幅度。
[0035]由前述可知，本實(shí)用新型具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)通過(guò)設(shè)置一限位肋60在二擋止部50之間，藉此使限位肋60及擋止部50的組合構(gòu)成至少一平面B，進(jìn)而增強(qiáng)晶圓承盤(pán)的擋止部50的限止能力，克服已知晶圓承盤(pán)限止效果不佳的問(wèn)題、提升晶圓承盤(pán)整體的限止能力，解決晶圓A在晶圓承盤(pán)內(nèi)大幅度的旋轉(zhuǎn)及位移的問(wèn)題。
[0036]以上通過(guò)具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，但這些并非構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在不脫離本實(shí)用新型原理的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可做出許多變形和等效置換，這些也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)，其特征在于，包括: 一承盤(pán)本體，所述承盤(pán)本體的一面具有多個(gè)承載平面，各承載平面供以容置多個(gè)晶圓； 各承載平面的周圍具有二擋止部，所述擋止部的高度高于所述承載平面的高度，二擋止部間具有一限位肋，所述擋止部與限位肋的組合構(gòu)成至少一平面，所述限位肋的高度高于所述承載平面的高度；以及 所述承載平面的周圍具有至少二限位部，各限位部面對(duì)所述承載平面一側(cè)的形狀與所述承載平面周緣的形狀相互對(duì)應(yīng)，各限位部設(shè)置于所述承載平面的周圍。
2.如權(quán)利要求1所述的具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)，其特征在于，所述承載平面的形狀為一側(cè)具有平面的圓形，二擋止部及限位肋設(shè)置于所述承載平面具有平面的一側(cè)，所述限位部的數(shù)量為三，各限位部設(shè)置于所述承載平面周圍。
3.如權(quán)利要求1所述的具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)之晶圓承盤(pán)，其特征在于，二擋止部與限位肋之間形成一對(duì)應(yīng)槽，所述承盤(pán)本體開(kāi)設(shè)有承載平面的另一面具有多個(gè)支撐柱，各支撐柱成形于與所述對(duì)應(yīng)槽相對(duì)應(yīng)的位置，在多個(gè)承盤(pán)本體相互堆疊時(shí)，上層的承盤(pán)本體的支撐柱置于下層的承盤(pán)本體的對(duì)應(yīng)槽內(nèi)。
4.如權(quán)利要求1所述的具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)，其特征在于，所述承載平面的形狀為方形，所述承載平面具有依序接鄰的一第一側(cè)、一第二側(cè)、一第三側(cè)及一第四偵牝二擋止部分別設(shè)置于所述承載平面的第一側(cè)及第二側(cè)，所述限位部的數(shù)量為二，二限位部分別設(shè)置于所述承載平面的第三側(cè)及第四側(cè)，所述限位肋設(shè)置于二擋止部之間形成相互垂直接鄰的二平面，另二個(gè)擋止部與二限位部之間分別設(shè)置一限位肋，二限位部之間也設(shè)置一限位肋。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有晶圓移位限止結(jié)構(gòu)的晶圓承盤(pán)，主要是通過(guò)設(shè)置一限位肋在二擋止部之間，藉此使限位肋及擋止部的組合構(gòu)成一平面，克服已知晶圓承盤(pán)限止效果不佳的問(wèn)題、提升晶圓承盤(pán)整體的限止能力，解決晶圓在晶圓承盤(pán)內(nèi)大幅度的旋轉(zhuǎn)及位移的問(wèn)題。
【IPC分類】B65D1-36
【公開(kāi)號(hào)】CN204507511
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520055354
【發(fā)明人】羅郁南
【申請(qǐng)人】晨州塑膠工業(yè)股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年7月29日
【申請(qǐng)日】2015年1月27日