晶圓承盤的端蓋結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及晶圓承盤運送結(jié)構(gòu)有關(guān)，特別是指一種晶圓承盤的端蓋結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著高科技制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，晶圓在運送過程中大多依賴自動化輸送系統(tǒng)來運送，而在晶圓的制造流程或搬運過程中，通常是將晶圓容置于一晶圓承盤的容槽內(nèi)，透過該晶圓承盤的容槽避免晶圓在運送過程中受到外力撞擊而損傷。
[0003]然而目前晶圓運送為求講宄效率，都是將多個晶圓承盤先垂直重迭后再一起運送至后續(xù)的晶圓制程進(jìn)行加工，但因每一個重迭的晶圓承盤間都僅是利用晶圓承盤上用來保護晶圓的容槽以上下承接的方式相互結(jié)合，故此種結(jié)合方式保護性不足，僅可保護該晶圓承盤的橫向脫落，并無法防止縱向的脫落，因此在運送過程中如不慎使該晶圓承盤脫落，將導(dǎo)致整個晶圓制程及成本嚴(yán)重?fù)p耗。
[0004]因此，需要解決多個晶圓承盤在運送時容易脫落的冋題。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種晶圓承盤的端蓋結(jié)構(gòu)，其主要是于該晶圓承盤兩側(cè)蓋套接一端蓋，藉由該端蓋設(shè)置于該晶圓承盤上、下表面，俾使該晶圓承盤在運送過程中可受到緊密牢設(shè)，而不會有脫落之虞。
[0006]為解決上述問題，本實用新型提供一種晶圓承盤的端蓋結(jié)構(gòu)，包括:一端蓋，該端蓋是設(shè)一承接槽，該承接槽設(shè)有多個肋條，在運送過程是將多個晶圓承盤設(shè)置于該端蓋的承接槽內(nèi)，并利用該承接槽內(nèi)的肋條抵住于該晶圓承盤上、下表面，因此該晶圓承盤在運送至烘烤制程時，不僅可達(dá)到在運送過程中不會有脫落情況，亦可利用承接槽內(nèi)的多個肋條避免該端蓋及晶圓承盤因熱脹冷縮導(dǎo)致過緊現(xiàn)象，令該晶圓承盤難以取出。
[0007]較佳地，該端蓋是呈匚型。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型立體圖。
[0009]圖2是本實用新型使用示意圖。
[0010]圖3為圖2的3-3剖視圖。
[0011]附圖標(biāo)記說明
[0012]端蓋10
[0013]承接蓋11
[0014]肋條12
[0015]晶圓承盤20
【具體實施方式】
[0016]本實用新型如下所使用的圖示，其主旨僅為示意及輔助說明書之用，未必為本實用新型實施后的真實比例與精準(zhǔn)配置。
[0017]請一并參閱圖1至圖3所示，本實用新型為一種晶圓承盤的端蓋結(jié)構(gòu)，其包括:一概呈匚型的端蓋10，該端蓋10設(shè)有一承接槽11，該承接槽11是用以套設(shè)多個垂直重迭的晶圓晶盤20。
[0018]又該端蓋10的承接槽11上、下側(cè)設(shè)有多個肋條12，當(dāng)該端蓋10包覆住多個垂直重迭的晶圓承盤20時，是藉由該肋條12抵撐于該晶圓承盤20上、下表面。
[0019]請再參閱圖3所示，是先將該晶圓容置于該晶圓承盤20的容槽內(nèi)，再把多個晶圓承盤20相互垂直重迭(圖未式，茲因?qū)⒃摼A容置于容槽以及晶圓承盤相互重迭乃為一般公知技術(shù)，故請容本實用新型不再贅述)，而為避免運送時該晶圓承盤20因晃動或其它因素不慎造成脫落情況發(fā)生，故是利用本實用新型端蓋10的承接槽11設(shè)置于該晶圓承盤20的端部，使晶圓承盤20端部上、下表面同時受壓于該端蓋10的承接槽11內(nèi)部，進(jìn)而不論該晶圓承盤20在運送過程如何晃動都可穩(wěn)固地被端蓋10牢設(shè)住。
[0020]其中，值得一提的是，當(dāng)該晶圓承盤20的端部受到該端蓋10的承接槽11包覆時，主要是利用該承接槽11內(nèi)的肋條12抵住于該晶圓承盤20上、下表面，如此設(shè)計的原因是考量到當(dāng)該端蓋10包覆該晶圓承盤20后，在進(jìn)入烘烤制程時會因該端蓋10及晶圓承盤20均為塑膠材質(zhì)，而在受熱時有熱脹冷縮現(xiàn)象，因此利用該承接槽11的肋條12抵住該晶圓承盤20，一方面達(dá)到牢設(shè)該晶圓承盤20目的，另一方面利用相間隔的肋條12間具有空隙可避免該端蓋10及晶圓承盤20因熱脹冷縮導(dǎo)致過緊現(xiàn)象，令該晶圓承盤20難以取出。
[0021]再者，操作者可依實際需求選擇于晶圓承盤20單側(cè)端部套接該端蓋10，或者是同時于兩側(cè)端部都套接該端蓋10，俾提升該晶圓承盤20更佳的牢穩(wěn)固性。
[0022]據(jù)此，經(jīng)由上述說明本實用新型利用將端蓋10設(shè)置于該晶圓承盤20的端部，確實可達(dá)到避免該晶圓承盤20在運送過程中有脫落之虞。
[0023]綜上所述，上述各實施例及圖式僅為本實用新型的較佳實施例而已，當(dāng)不能以之限定本實用新型實施之范圍，即大凡依本實用新型申請專利范圍所作之均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本實用新型專利涵蓋之范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種晶圓承盤的端蓋結(jié)構(gòu)，其包括:一端蓋，該端蓋設(shè)有一承接槽，藉該承接槽套接于一晶圓承盤的端部。2.如權(quán)利要求1所述的晶圓承盤的端蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述端蓋是呈匚型。3.如權(quán)利要求1所述的晶圓承盤的端蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述承接槽設(shè)有多個肋條。
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶圓承盤的端蓋結(jié)構(gòu)，包括：一端蓋，該端蓋設(shè)一承接槽，該承接槽設(shè)有多個肋條，在運送過程是將多個晶圓承盤設(shè)置于該端蓋的承接槽內(nèi)，并利用該承接槽內(nèi)的肋條抵住于該晶圓承盤上、下表面，使該晶圓承盤在運送至烘烤制程時，不僅可具有在運送過程中不會有脫落之虞，亦可利用承接槽內(nèi)的多個肋條避免該端蓋及晶圓承盤因熱脹冷縮導(dǎo)致過緊現(xiàn)象，令該晶圓承盤難以取出。
【IPC分類】B65D85/30, B65D59/06
【公開號】CN204642587
【申請?zhí)枴緾N201520226477
【發(fā)明人】羅郁南
【申請人】晨州塑膠工業(yè)股份有限公司
【公開日】2015年9月16日
【申請日】2015年4月15日