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一種多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備的制造方法

文檔序號(hào):10222322閱讀:563來源:國知局
一種多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及晶棒切片輔助設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體講是一種多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前,在晶棒制成硅晶片之前需要對(duì)晶棒進(jìn)行預(yù)處理,即將切割好的晶棒粘結(jié)在粘棒工裝上,然后通過多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備將載有晶棒的粘棒工裝裝于切片機(jī)的夾頭上。在上料時(shí),需要通過多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備兩插架插入粘棒工裝上對(duì)應(yīng)的插孔中將晶棒工裝高度提升,然后運(yùn)動(dòng)至切片機(jī),以使晶棒工裝上的安裝孔與切片機(jī)上的夾頭配合完成上料工序。現(xiàn)有技術(shù)中,當(dāng)多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備將載有晶棒的粘棒工裝運(yùn)輸至切片機(jī)安裝位置時(shí),需要人員手動(dòng)將多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備進(jìn)行多次位置調(diào)整,才能夠使晶棒工裝上的安裝孔與切片機(jī)上的夾頭位置配合,導(dǎo)致工作效率較低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是,克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷,提供一種能夠使粘棒工裝上的安裝孔快速有效的和切片機(jī)上的安裝夾頭形成配合的多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備。
[0004]為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提出一種多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備,包括機(jī)架和可上下移動(dòng)設(shè)置在機(jī)架上的移動(dòng)架,所述移動(dòng)架上設(shè)有適于與粘棒工裝上插孔配合的插架,機(jī)架下端設(shè)有導(dǎo)向裝置,所述的導(dǎo)向裝置包括左右兩邊對(duì)稱設(shè)置的導(dǎo)向輪,兩邊的導(dǎo)向輪之間形成定位槽。
[0005]作為改進(jìn),機(jī)架背對(duì)移動(dòng)架的一側(cè)設(shè)有操作平臺(tái),所述機(jī)架的底端設(shè)有拉繩位移傳感器,所述拉繩位移傳感器的拉線頭連接移動(dòng)架,并通過信號(hào)線連接操作平臺(tái)上的顯示屏裝置,這樣,設(shè)備在工作時(shí),拉繩位移傳感器通過數(shù)據(jù)線將移動(dòng)架實(shí)時(shí)高度數(shù)據(jù)顯示于操作平臺(tái)的顯示屏裝置上,用戶可通過顯示屏裝置直觀查看準(zhǔn)確的高度,在顯示高度數(shù)值與預(yù)設(shè)高度數(shù)值有偏差時(shí)可通過操作平臺(tái)上的操縱桿進(jìn)行調(diào)節(jié),利于粘棒工裝上安裝孔與切片機(jī)上夾頭快速配合,從而節(jié)省在高度調(diào)節(jié)上所消耗的時(shí)間,有效提高工作效率。
[0006]作為改進(jìn),插架包括與所述移動(dòng)架固定連接的固定插架和與所述移動(dòng)架可移動(dòng)連接的活動(dòng)插架,所述活動(dòng)插架與固定插架同一高度設(shè)置,所述活動(dòng)插架可移動(dòng)的方向?yàn)樽笥曳较?,這樣,在應(yīng)對(duì)粘有晶棒不同孔距的粘棒工裝時(shí),可調(diào)節(jié)兩插架之間間距,調(diào)節(jié)簡單方便,有利于提升工作效率。
[0007]作為改進(jìn),所述活動(dòng)插架與所述移動(dòng)架通過螺栓連接,所述移動(dòng)架上穿設(shè)所述螺栓的孔為沿左右方向設(shè)置的適于所述螺栓移動(dòng)的條形孔,這樣,螺栓可以在條形孔中左右移動(dòng),從而使得活動(dòng)插架可以左右移動(dòng),起到可調(diào)節(jié)插架之間間距的作用。
[0008]作為改進(jìn),條形孔的兩端設(shè)有長度方向與固定插架設(shè)置方向一致的限位凸條,這樣,活動(dòng)插架移動(dòng)到位時(shí)與限位凸條相抵,以使所述活動(dòng)插架移動(dòng)到位時(shí)與所述固定插架保持平行,定位更加準(zhǔn)確,提高了工作效率。
[0009]采用上述結(jié)構(gòu)后,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0010]1、在將粘有晶棒的粘棒工裝安裝于切片機(jī)時(shí),通過導(dǎo)向輪的導(dǎo)向使所述定位槽與切片機(jī)上對(duì)應(yīng)設(shè)置的定位件快速定位配合,進(jìn)而使粘棒工裝上的安裝孔快速有效的和切片機(jī)上的安裝夾頭形成配合,便于晶棒的安裝,可有效提高工作效率。
[0011]2、通過設(shè)置可左右移動(dòng)的活動(dòng)插架,在應(yīng)對(duì)粘有晶棒的粘棒工裝不同插孔孔距時(shí),可調(diào)節(jié)兩插架之間的間距,調(diào)節(jié)簡單更加方便,有利于提升工作效率。
[0012]3、通過設(shè)置與移動(dòng)架和操作平臺(tái)上顯示屏裝置連接的拉繩位移傳感器,可通過顯示屏裝置直觀查看準(zhǔn)確的高度位置信息,并且通過操作平臺(tái)進(jìn)行微調(diào),這樣,可以在查看控制面板信息后直接將移動(dòng)架到達(dá)需要的指定高度,與切片機(jī)上的安裝夾頭在同一高度,節(jié)省在高度調(diào)節(jié)上所消耗的時(shí)間,提高工作效率。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型一種多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為本實(shí)用新型一種多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備的左視圖。
[0015]圖中所示,1、機(jī)架,2、移動(dòng)架,3、固定插架,4、活動(dòng)插架,5、條形孔,6、螺栓,7、定位槽8、導(dǎo)向輪,9、限位凸條,10、拉繩位移傳感器,11、操作平臺(tái),12、顯示屏裝置,13、信號(hào)線。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明:
[0017]本實(shí)用新型一種多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備,如圖1所示,其包括機(jī)架1和可上下移動(dòng)設(shè)置在機(jī)架1上的移動(dòng)架2,所述移動(dòng)架2上設(shè)有適于與粘棒工裝上插孔配合的插架,其特征在于,機(jī)架1下端設(shè)有導(dǎo)向裝置,所述的導(dǎo)向裝置包括左右兩邊對(duì)稱設(shè)置的導(dǎo)向輪8,兩邊的導(dǎo)向輪8之間形成定位槽7。
[0018]在機(jī)架1下端設(shè)置導(dǎo)向裝置,該導(dǎo)向裝置包括左右兩邊對(duì)稱設(shè)置的導(dǎo)向輪8,兩邊的導(dǎo)向輪8之間形成定位槽7,在將粘有晶棒的粘棒工裝安裝于切片機(jī)時(shí),通過導(dǎo)向輪8的導(dǎo)向使所述定位槽7與切片機(jī)上對(duì)應(yīng)設(shè)置的定位件快速定位配合,進(jìn)而使粘棒工裝上的安裝孔快速有效的和切片機(jī)上的安裝夾頭形成配合,便于晶棒的安裝,這樣可有效提高工作效率。
[0019]進(jìn)一步,本實(shí)施例中,所述機(jī)架1背對(duì)移動(dòng)架2的一側(cè)設(shè)有操作平臺(tái)11,所述機(jī)架1的底端設(shè)有拉繩位移傳感器10,所述拉繩位移傳感器10的拉線頭連接移動(dòng)架2,通過信號(hào)線13連接操作平臺(tái)11上的顯示屏裝置12,具體參看圖2,設(shè)備在工作時(shí),拉繩位移傳感器10通過數(shù)據(jù)線將移動(dòng)架2實(shí)時(shí)高度數(shù)據(jù)顯示于操作平臺(tái)11的顯示屏裝置12上,用戶可通過顯示屏裝置12直觀查看準(zhǔn)確的高度,在顯示高度數(shù)值與預(yù)設(shè)高度數(shù)值有偏差時(shí)可通過操作平臺(tái)11上的操縱桿進(jìn)行調(diào)節(jié),利于粘棒工裝上安裝孔與切片機(jī)上夾頭快速配合,從而節(jié)省在高度調(diào)節(jié)上所消耗的時(shí)間,有效提高工作效率。
[0020]再進(jìn)一步,插架包括與所述移動(dòng)架2固定連接的固定插架3和與所述移動(dòng)架2可移動(dòng)連接的活動(dòng)插架4,所述活動(dòng)插架4與固定插架3同一高度設(shè)置,所述活動(dòng)插架4可移動(dòng)的方向?yàn)樽笥曳较?,通過活動(dòng)插架4,在應(yīng)對(duì)粘有晶棒不同孔距的粘棒工裝時(shí),通過調(diào)節(jié)螺栓6在條形孔5中的左右位置,從而起到兩插架之間間距調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)簡單方便,有利于提升工作效率,活動(dòng)插架4與所述移動(dòng)架2通過螺栓6連接,所述移動(dòng)架2上穿設(shè)所述螺栓6的孔為沿左右方向設(shè)置的適于所述螺栓6移動(dòng)的條形孔5,使得螺栓6可以在條形孔5中左右移動(dòng),從而使得活動(dòng)插架4可以左右移動(dòng),起到可調(diào)節(jié)兩插架之間間距的作用,同時(shí),條形孔5的兩端設(shè)有長度方向與固定插架3設(shè)置方向一致的限位凸條9,這樣,當(dāng)螺栓6在條形孔5中移動(dòng)時(shí),限位凸條9可以輔助條形孔5進(jìn)行定位(活動(dòng)插架4移動(dòng)到位時(shí)與限位凸條9相抵),以使所述活動(dòng)插架4移動(dòng)到位時(shí)與所述固定插架3保持平行,定位更加準(zhǔn)確,提高了工作效率。
[0021]以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式,故凡依本專利申請(qǐng)范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾,均包括于本實(shí)用新型專利申請(qǐng)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備,包括機(jī)架(1)和可上下移動(dòng)設(shè)置在機(jī)架(1)上的移動(dòng)架(2),所述移動(dòng)架(2)上設(shè)有適于與粘棒工裝上插孔配合的插架,其特征在于,機(jī)架(1)下端設(shè)有導(dǎo)向裝置,所述的導(dǎo)向裝置包括左右兩邊對(duì)稱設(shè)置的導(dǎo)向輪(8),兩邊的導(dǎo)向輪(8)之間形成定位槽(7)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備,其特征在于,所述機(jī)架(1)背對(duì)移動(dòng)架(2)的一側(cè)設(shè)有操作平臺(tái)(11),所述機(jī)架(1)的底端設(shè)有拉繩位移傳感器(10),所述拉繩位移傳感器(10)的拉線頭連接移動(dòng)架(2),并通過信號(hào)線(13)連接操作平臺(tái)(11)上的顯示屏裝置(12)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備,其特征在于,所述插架包括與所述移動(dòng)架(2)固定連接的固定插架(3)和與所述移動(dòng)架(2)可移動(dòng)連接的活動(dòng)插架(4),所述活動(dòng)插架(4)與固定插架(3)同一高度設(shè)置,所述活動(dòng)插架(4)可移動(dòng)的方向?yàn)樽笥曳较颉?.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備,其特征在于,所述活動(dòng)插架(4)與所述移動(dòng)架(2)通過螺栓(6)連接,所述移動(dòng)架(2)上穿設(shè)所述螺栓(6)的孔為沿左右方向設(shè)置的適于所述螺栓(6)移動(dòng)的條形孔(5)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備,其特征在于,所述條形孔(5)的兩端設(shè)有長度方向與固定插架(3)設(shè)置方向一致的限位凸條(9)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種多晶硅片生產(chǎn)車間用上料設(shè)備,能夠與切片機(jī)準(zhǔn)確快速配合定位,包括機(jī)架和可上下移動(dòng)設(shè)置在機(jī)架上的移動(dòng)架,所述移動(dòng)架上設(shè)有適于與粘棒工裝上插孔配合的插架,機(jī)架下端設(shè)有導(dǎo)向裝置,所述的導(dǎo)向裝置包括左右兩邊對(duì)稱設(shè)置的導(dǎo)向輪,兩邊的導(dǎo)向輪之間形成定位槽。本實(shí)用新型上料設(shè)備在將粘有晶棒的粘棒工裝安裝于切片機(jī)時(shí),通過導(dǎo)向輪的導(dǎo)向使所述定位槽與切片機(jī)上對(duì)應(yīng)設(shè)置的定位件快速定位配合,進(jìn)而使粘棒工裝上的安裝孔快速有效的和切片機(jī)上的安裝夾頭形成配合,便于晶棒的安裝,可有效提高工作效率。
【IPC分類】B66F9/14, B66F9/08, B66F9/06, B28D5/00, B28D7/00
【公開號(hào)】CN205133050
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520976129
【發(fā)明人】沈羽佳
【申請(qǐng)人】海寧光泰太陽能工業(yè)有限公司
【公開日】2016年4月6日
【申請(qǐng)日】2015年11月30日
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