用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型是關(guān)于用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置。根據(jù)一實(shí)施例的進(jìn)料裝置包括傳送機(jī)構(gòu)、限位機(jī)構(gòu)、方向識(shí)別機(jī)構(gòu)，以及翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。其中，傳送機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以傳送半導(dǎo)體產(chǎn)品料管，限位機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以將半導(dǎo)體產(chǎn)品料管限定在檢測(cè)工位，方向識(shí)別機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以識(shí)別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管是否處于正確方向，而翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以在半導(dǎo)體產(chǎn)品料管為反向時(shí)將其翻轉(zhuǎn)至正確方向。此外，方向識(shí)別機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以包含設(shè)置有真空氣孔的氣缸，該真空氣孔經(jīng)配置以位于檢測(cè)工位下方且經(jīng)配置以吸附半導(dǎo)體產(chǎn)品料管。該方向識(shí)別機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以根據(jù)該真空氣孔吸附半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的真空值而判斷該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向。本實(shí)用新型具有識(shí)別準(zhǔn)確率高的優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)而可提高進(jìn)料效率。
【專利說(shuō)明】
用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。更具體地，本實(shí)用新型涉及用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體產(chǎn)品制造完成后，需要被置入半導(dǎo)體產(chǎn)品料管(也稱，“包裝管”或“封裝管”)中輸送至機(jī)臺(tái)儲(chǔ)料架以執(zhí)行后續(xù)環(huán)節(jié)。料管進(jìn)料的方式最初是人工，后改進(jìn)至通過(guò)自動(dòng)進(jìn)料設(shè)備實(shí)現(xiàn)，即由送料手臂將料管夾運(yùn)到機(jī)臺(tái)儲(chǔ)料架。然而，當(dāng)料管反向放置于機(jī)臺(tái)儲(chǔ)料架時(shí)，會(huì)造成機(jī)臺(tái)卡料異常。因此，在將半導(dǎo)體產(chǎn)品料管輸送至機(jī)臺(tái)儲(chǔ)料架之前，需要識(shí)別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向，將處于反向的半導(dǎo)體產(chǎn)品料管翻轉(zhuǎn)至正確方向再放入機(jī)臺(tái)儲(chǔ)料架。
[0003]目前，主流技術(shù)是通過(guò)電荷親合器件(CCD，charge_coupleddevice)鏡頭攝像來(lái)辨別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向。例如，如圖1所示，自動(dòng)進(jìn)料設(shè)備10主要包含翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)101、送料手臂103及CCD鏡頭105。自動(dòng)進(jìn)料設(shè)備10通過(guò)CCD鏡頭105來(lái)辨別待處理的半導(dǎo)體產(chǎn)品料管100的方向，如方向正確則由送料手臂103直接夾送至儲(chǔ)料架106;否則，則需要先由翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)101將半導(dǎo)體產(chǎn)品料管100翻轉(zhuǎn)至正確方向，而后再由送料手臂103夾送至儲(chǔ)料架106。然而，多種因素，如料管100反復(fù)使用導(dǎo)致其表面磨損嚴(yán)重或CCD鏡頭105位置偏移無(wú)法準(zhǔn)確照到料管100等，都會(huì)造成CXD鏡頭105無(wú)法得到清晰的料管圖像而判誤，進(jìn)而使料管100以錯(cuò)誤方向放入儲(chǔ)料架107，造成機(jī)臺(tái)卡料停機(jī)。
[0004]因而，現(xiàn)有的自動(dòng)進(jìn)料設(shè)備10常會(huì)發(fā)生機(jī)臺(tái)卡料問(wèn)題，嚴(yán)重影響機(jī)臺(tái)效率，而且有損壞料管100內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)品的風(fēng)險(xiǎn)。此外，由于生產(chǎn)不同半導(dǎo)體產(chǎn)品時(shí)需要相應(yīng)調(diào)試CCD鏡頭105的圖像參數(shù)，額外增加了操作人員的工作量和工作時(shí)間。
[0005]綜上所述，業(yè)內(nèi)仍需要提供能夠準(zhǔn)確識(shí)別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管方向的裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的之一在于提供一種用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置，其可準(zhǔn)確辨別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向，有效防止機(jī)臺(tái)卡料。
[0007]本實(shí)用新型的一實(shí)施例提供一用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置，該進(jìn)料裝置包括傳送機(jī)構(gòu)、限位機(jī)構(gòu)、方向識(shí)別機(jī)構(gòu)，以及翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。其中，該傳送機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以傳送該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管，該限位機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以將該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管限定在檢測(cè)工位，該方向識(shí)別機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以識(shí)別該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管是否處于正確方向，而該翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以在該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管為反向時(shí)將其翻轉(zhuǎn)至正確方向。此外，該方向識(shí)別機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以包含至少一氣缸，該氣缸設(shè)置有真空氣孔，該真空氣孔經(jīng)配置以位于該檢測(cè)工位下方且經(jīng)配置以吸附該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管。該方向識(shí)別機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以根據(jù)該真空氣孔吸附該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的真空值而判斷該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向。
[0008]根據(jù)本實(shí)用新型的另一實(shí)施例，氣缸經(jīng)配置以當(dāng)該翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)將該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管翻轉(zhuǎn)至正確方向后或當(dāng)該方向識(shí)別機(jī)構(gòu)識(shí)別該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管為正確方向后收縮以自該檢測(cè)工位釋放該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管。該進(jìn)料裝置進(jìn)一步包含送料機(jī)構(gòu)，經(jīng)配置以將處于正確位置的該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管送至儲(chǔ)料架。在一實(shí)施例中，該至少一氣缸為兩個(gè)。該傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包含進(jìn)料滑道，該進(jìn)料滑道經(jīng)配置以將該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管輸送至該檢測(cè)工位而被該限位機(jī)構(gòu)限位。
[0009]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置通過(guò)檢測(cè)不同方向半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的氣壓值而更準(zhǔn)確地辨別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向，且無(wú)需根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)品的類型進(jìn)行相應(yīng)參數(shù)調(diào)整。因而，本實(shí)用新型具有方向識(shí)別準(zhǔn)確、進(jìn)料效率高、成本低等諸多優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中通過(guò)CCD圖像辨別料管方向的進(jìn)料裝置的示意圖
[0011]圖2是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置的側(cè)視示意圖
[0012]圖3是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置在識(shí)別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向時(shí)的局部立體示意圖
[0013]圖4是圖3中的用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置在識(shí)別另一半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向時(shí)的局部的剖面示意圖
[0014]圖5是圖3中的用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置在識(shí)別完半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向后的工作立體示意圖
【具體實(shí)施方式】
[0015]為更好的理解本實(shí)用新型的精神，以下結(jié)合本實(shí)用新型的部分優(yōu)選實(shí)施例對(duì)其作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0016]圖2所示是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的進(jìn)料裝置20的側(cè)視示意圖。圖3所示是根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置20在識(shí)別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的方向時(shí)的局部立體示意圖。圖4是圖3中的用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置20在識(shí)別另一半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的方向時(shí)的局部的剖面示意圖。
[0017]參見(jiàn)圖2、圖3、圖4，該用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置20包括傳送機(jī)構(gòu)201、限位機(jī)構(gòu)203、方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205和翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)207。此外，該用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置20還進(jìn)一步包括一送料機(jī)構(gòu)208，由該送料機(jī)構(gòu)208將識(shí)別為處于正確方向或翻轉(zhuǎn)為正確方向的料管200送至儲(chǔ)料架206。
[0018]該用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置20在進(jìn)料時(shí)會(huì)由傳送機(jī)構(gòu)201逐一傳送半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200至檢測(cè)工位209，并由限位機(jī)構(gòu)203將半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200限定在檢測(cè)工位209，以保證半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200準(zhǔn)確地位于檢測(cè)工位209處接受方向識(shí)別。本實(shí)施例中，傳送機(jī)構(gòu)201進(jìn)一步包含進(jìn)料滑道221，料管200沿進(jìn)料滑道221下滑至檢測(cè)工位209而被限位機(jī)構(gòu)203限位。如本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的，通常，半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200具有平面211和凹面213，平面211朝上時(shí)為正向，即正確方向(如圖4、5所示)，反之平面211朝下時(shí)則為反向，即錯(cuò)誤方向(如圖3所示)。當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)201傳送半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200到達(dá)檢測(cè)工位209時(shí)，半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的方向有可能處于正向，也有可能處于反向。例如，圖3中所傳送的半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200下滑到達(dá)檢測(cè)工位209時(shí)處于反向，而圖4中所傳送的另一半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200下滑到達(dá)檢測(cè)工位209時(shí)處于正向。
[0019]方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205會(huì)對(duì)到達(dá)檢測(cè)工位209的半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200進(jìn)行方向識(shí)別，以判斷該半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200是否處于正確方向。方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205包含兩氣缸217，各氣缸217設(shè)置有真空氣孔219。在其它實(shí)施例中，氣缸217的數(shù)量可為一個(gè)或更多個(gè)，真空氣孔219也可僅設(shè)置在其中一個(gè)氣缸217上。本實(shí)施例中，真空氣孔219位于檢測(cè)工位209下方以吸附半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200。方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205根據(jù)真空氣孔219吸附半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的真空值而判斷半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的方向。當(dāng)真空氣孔219吸附半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的真空值大于或等于預(yù)定值時(shí)，則方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205判斷半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200處于正確方向；當(dāng)真空氣孔219吸附半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的真空值小于預(yù)定值時(shí)，則方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205判斷半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200處于反向。
[0020]例如圖3所示，當(dāng)方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205識(shí)別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200為反向時(shí)，可通知翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)207將半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200翻轉(zhuǎn)至正確方向。否則，如圖4所示，當(dāng)方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205識(shí)別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200為正向時(shí)，翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)207無(wú)需動(dòng)作。
[0021]圖5是圖3中的用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的進(jìn)料裝置20在識(shí)別完半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的方向后的工作立體示意圖。如前述，在方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205識(shí)別完半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200的方向之后，翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)207視識(shí)別的結(jié)果翻轉(zhuǎn)處于反向的半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200至正確方向或在半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200原本就處于正確方向時(shí)不動(dòng)作。當(dāng)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)207翻轉(zhuǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200至正確方向后或者當(dāng)該方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205識(shí)別半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200為正確方向后，送料結(jié)構(gòu)208會(huì)抓取料管200且氣缸217收縮以自該檢測(cè)工位209釋放半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200，以由送料機(jī)構(gòu)208將處于正確位置的半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200送至儲(chǔ)料架206。
[0022]綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的方向識(shí)別機(jī)構(gòu)205經(jīng)配置以包含設(shè)置真空孔219的氣缸217，通過(guò)真空吸附原理判斷半導(dǎo)體產(chǎn)品料管200是否處于正確方向，所識(shí)別的結(jié)果較現(xiàn)有的CCD識(shí)別準(zhǔn)確率高，且無(wú)需按料管200類型頻繁改變參數(shù)設(shè)置。
[0023]盡管已經(jīng)闡明和描述了本揭示的不同實(shí)施例，本揭示并不限于這些實(shí)施例。僅在某些權(quán)利要求或?qū)嵤├谐霈F(xiàn)的技術(shù)特征并不意味著不能與其他權(quán)利要求或?qū)嵤├械钠渌卣飨嘟Y(jié)合以實(shí)現(xiàn)有益的新的技術(shù)方案。在不背離如權(quán)利要求書所描述的本揭示的精神和范圍的情況下，許多修改、改變、變形、替代以及等同對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是明顯的。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的進(jìn)料裝置，所述進(jìn)料裝置包括: 傳送機(jī)構(gòu)，經(jīng)配置以傳送所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管； 限位機(jī)構(gòu)，經(jīng)配置以將所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管限定在檢測(cè)工位； 方向識(shí)別機(jī)構(gòu)，經(jīng)配置以識(shí)別所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管是否處于正確方向；以及 翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，經(jīng)配置以在所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管為反向時(shí)將其翻轉(zhuǎn)至正確方向； 其特征在于，所述方向識(shí)別機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以包含至少一氣缸，所述氣缸設(shè)置有真空氣孔，所述真空氣孔經(jīng)配置以位于所述檢測(cè)工位下方且經(jīng)配置以吸附所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管;所述方向識(shí)別機(jī)構(gòu)經(jīng)配置以根據(jù)所述真空氣孔吸附所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的真空值而判斷所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管的方向。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)料裝置，其特征在于，所述氣缸經(jīng)配置以當(dāng)所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)將所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管翻轉(zhuǎn)至正確方向后收縮以自所述檢測(cè)工位釋放所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)料裝置，其特征在于，所述氣缸經(jīng)配置以當(dāng)所述方向識(shí)別機(jī)構(gòu)識(shí)別所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管為正確方向后收縮以自所述檢測(cè)工位釋放所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)料裝置，其特征在于，所述進(jìn)料裝置進(jìn)一步包含送料機(jī)構(gòu)，經(jīng)配置以將處于正確位置的所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管送至儲(chǔ)料架。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)料裝置，其特征在于，所述至少一氣缸為兩個(gè)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)料裝置，其特征在于，所述傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包含進(jìn)料滑道，所述進(jìn)料滑道經(jīng)配置以將所述半導(dǎo)體產(chǎn)品料管輸送至所述檢測(cè)工位而被所述限位機(jī)構(gòu)限位。
【文檔編號(hào)】B65G47/248GK205441890SQ201620183523
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年3月10日
【發(fā)明人】姜迪
【申請(qǐng)人】蘇州日月新半導(dǎo)體有限公司