一種線切機上下料agv車的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種線切機上下料AGV車，包括車體，所述車體上端設置有沿所述車體長度方向延伸的平移導軌，所述平移導軌的軌道內(nèi)設置有平移滑塊，所述平移滑塊上端設置有垂直于所述平移導軌的提升導軌，所述提升導軌的軌道內(nèi)設置有提升滑塊，所述提升滑塊上連接有垂直于所述提升導軌且沿車體前進方向延伸的上料導軌，所述上料導軌的軌道內(nèi)設置有上料滑塊，所述上料滑塊上設置有料座。本實用新型所述的線切機上下料AGV車結構新穎，設計合理，可提升上料速度和線切機的稼動率，降低線切機上料的錯誤率，提升產(chǎn)品的良率，同時降低了人工作業(yè)強度和操作人員數(shù)量，增加了產(chǎn)值。
【專利說明】
一種線切機上下料AGV車
技術領域
[0001]本實用新型屬于半導體設備技術領域，尤其是涉及一種線切機上下料AGV車。【背景技術】
[0002]現(xiàn)有的半導體硅片線切機上料方式都是需要人工來操作的，由于硅單晶晶棒體積大，質(zhì)量重，人工搬運費時、費力、易損壞晶體，搬運速度低，搬運操作人員勞動強度大，安全保障性低，這就需要一種用于搬運晶棒的上下料裝置。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，本實用新型旨在提出一種線切機上下料AGV車，以解決現(xiàn)有人工搬運費時費力，搬運速度低，搬運操作人員勞動強度大的問題。
[0004]為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現(xiàn)的:
[0005]—種線切機上下料AGV車，包括車體，所述車體前端設置有激光傳感器，所述車體上端設置有沿所述車體長度方向延伸的平移導軌，所述平移導軌的軌道內(nèi)設置有平移滑塊，所述平移導軌一端設置有驅(qū)動所述平移滑塊沿平移導軌移動的平移電機，所述平移滑塊上端設置有垂直于所述平移導軌的提升導軌，所述提升導軌的軌道內(nèi)設置有提升滑塊， 所述提升導軌上端設置有驅(qū)動所述提升滑塊移動的提升電機，所述提升滑塊上連接有垂直于所述提升導軌且沿車體前進方向延伸的上料導軌，所述上料導軌的軌道內(nèi)設置有上料滑塊，所述上料導軌一端設置有驅(qū)動所述上料滑塊移動的上料電機，所述上料滑塊上設置有料座。
[0006]進一步的，所述提升導軌的兩相對側面分別設置有加強筋。
[0007]進一步的，所述上料導軌上與設置軌道的面相對的另一面上設置有加強板。
[0008]相對于現(xiàn)有技術，本實用新型所述的線切機上下料AGV車具有以下優(yōu)勢:結構新穎，設計合理，可提升上料速度和線切機的稼動率，降低線切機上料的錯誤率，提升產(chǎn)品的良率，同時降低了人工作業(yè)強度和操作人員數(shù)量，增加了產(chǎn)值?！靖綀D說明】
[0009]構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0010]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0011]附圖標記說明:
[0012]1-車體；2-平移導軌；3-平移電機;4-提升導軌；5-提升電機;6-加強筋；7-上料導軌;8-上料電機;9-加強板;10-料座;11 -硅棒?！揪唧w實施方式】
[0013]需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0014]在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、 “前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。
[0015]在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接;可以是機械連接，也可以是電連接;可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連， 可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以通過具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。
[0016]下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。
[0017]如圖1所示，一種線切機上下料AGV車，包括車體1，所述車體1前端設置有激光傳感器，所述車體1上端設置有沿所述車體1長度方向延伸的平移導軌2,所述平移導軌2的軌道內(nèi)設置有平移滑塊，所述平移導軌2—端設置有驅(qū)動所述平移滑塊沿平移導軌移動的平移電機3,所述平移滑塊上端設置有垂直于所述平移導軌2的提升導軌4,所述提升導軌4的軌道內(nèi)設置有提升滑塊，所述提升導軌4上端設置有驅(qū)動所述提升滑塊移動的提升電機5,所述提升滑塊上連接有垂直于所述提升導軌4且沿車體1前進方向延伸的上料導軌7,所述上料導軌7的軌道內(nèi)設置有上料滑塊，所述上料導軌7—端設置有驅(qū)動所述上料滑塊移動的上料電機8，所述上料滑塊上設置有料座10;
[0018]進一步的，所述提升導軌4的兩相對側面分別設置有加強筋6,所述上料導軌7上與設置軌道的面相對的另一面上設置有加強板9;
[0019]本實例的工作過程:首先AGV車由儲料區(qū)夾取硅棒11后運送到操作區(qū)，然后AGV車自動停止，然后通過車體1上安裝的激光傳感器尋找上料口的中心位置，通過平移電機3和提升電機5帶動傳動絲杜實現(xiàn)精確定位，再通過上料導軌7實現(xiàn)娃棒11的推送上料。
[0020]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種線切機上下料AGV車，其特征在于:包括車體(1)，所述車體(1)前端設置有激光 傳感器，所述車體(1)上端設置有沿所述車體(1)長度方向延伸的平移導軌(2)，所述平移導 軌(2)的軌道內(nèi)設置有平移滑塊，所述平移導軌(2)—端設置有驅(qū)動所述平移滑塊沿平移導 軌移動的平移電機(3)，所述平移滑塊上端設置有垂直于所述平移導軌(2)的提升導軌(4)， 所述提升導軌(4)的軌道內(nèi)設置有提升滑塊，所述提升導軌(4)上端設置有驅(qū)動所述提升滑 塊移動的提升電機(5)，所述提升滑塊上連接有垂直于所述提升導軌(4)且沿車體(1)前進 方向延伸的上料導軌(7)，所述上料導軌(7)的軌道內(nèi)設置有上料滑塊，所述上料導軌(7) — 端設置有驅(qū)動所述上料滑塊移動的上料電機(8)，所述上料滑塊上設置有料座(10)。2.根據(jù)權利要求1所述的線切機上下料AGV車，其特征在于:所述提升導軌(4)的兩相對 側面分別設置有加強筋(6)。3.根據(jù)權利要求1所述的線切機上下料AGV車，其特征在于:所述上料導軌(7)上與設置 軌道的面相對的另一面上設置有加強板(9)。
【文檔編號】B65G35/00GK205616127SQ201620325016
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2016年4月15日
【發(fā)明人】張學強, 靳立輝, 周曉英, 白聰軒, 尹擎, 趙曉光, 姚長娟
【申請人】天津中環(huán)半導體股份有限公司