一種基板取放裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種基板取放裝置，涉及基板搬運(yùn)裝置技術(shù)領(lǐng)域，為解決將基板從基板盒內(nèi)取出時(shí)，因基板與基板盒之間發(fā)生碰撞或剮蹭而導(dǎo)致基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象的問題。所述基板取放裝置包括支撐臺(tái)、機(jī)械臂和機(jī)械手，其中，所述機(jī)械臂安裝在所述支撐臺(tái)上，所述機(jī)械臂可相對(duì)所述支撐臺(tái)升降移動(dòng)，且所述機(jī)械臂可伸長和縮短；所述機(jī)械手與所述機(jī)械臂可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述機(jī)械手轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)基板盒內(nèi)發(fā)生偏轉(zhuǎn)的待取出的基板轉(zhuǎn)動(dòng)，使待取出的基板回歸正常狀態(tài)后，所述機(jī)械手取出待取出的基板，所述正常狀態(tài)為待取出的基板未發(fā)生偏轉(zhuǎn)時(shí)的狀態(tài)。本實(shí)用新型提供的基板取放裝置用于取放基板。
【專利說明】
一種基板取放裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及基板搬運(yùn)裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板取放裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 基板通常水平放置在基板盒中，以方便將基板運(yùn)輸?shù)侥康牡?。將基板運(yùn)輸?shù)侥康?地之后，通常需要將基板從基板盒內(nèi)取出，以對(duì)基板進(jìn)行后處理工序。
[0003] 目前，通常利用基板取放裝置將基板從基板盒內(nèi)取出，基板取放裝置包括機(jī)械手， 當(dāng)將基板從基板盒內(nèi)取出時(shí)，先將機(jī)械手的基板叉齒伸到待取出的基板的下方，并使基板 叉齒承載待取出的基板，然后使機(jī)械手上升，基板叉齒帶動(dòng)待取出的基板上升，使待取出的 基板與基板盒內(nèi)的支撐塊分離，然后使基板叉齒移動(dòng)，帶動(dòng)待取出的基板退出基板盒，實(shí)現(xiàn) 將待取出的基板從基板盒內(nèi)取出。
[0004] 然而，將基板裝載在基板盒內(nèi)或者運(yùn)輸基板時(shí)，基板在基板盒內(nèi)可能會(huì)發(fā)生水平 偏轉(zhuǎn)，當(dāng)采用上述基板取放裝置將偏轉(zhuǎn)的基板從基板盒取出時(shí)，偏轉(zhuǎn)的基板與基板盒之間 會(huì)發(fā)生碰撞或剮蹭，導(dǎo)致基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005] 本實(shí)用新型的目的在于提供一種基板取放裝置，用于解決將基板從基板盒內(nèi)取出 時(shí)，因基板與基板盒之間發(fā)生碰撞或剮蹭而導(dǎo)致基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象的技術(shù)問題。
[0006] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：
[0007] -種基板取放裝置，包括支撐臺(tái)、機(jī)械臂和機(jī)械手，其中，所述機(jī)械臂安裝在所述 支撐臺(tái)上，所述機(jī)械臂可相對(duì)所述支撐臺(tái)升降移動(dòng)，且所述機(jī)械臂可伸長和縮短;所述機(jī)械 手與所述機(jī)械臂可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
[0008] 當(dāng)采用本實(shí)用新型提供的基板取放裝置從基板盒內(nèi)取出基板時(shí)，如果基板盒內(nèi)的 待取出的基板在發(fā)生偏轉(zhuǎn)，通過調(diào)整機(jī)械手，先使機(jī)械手朝向待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn) 動(dòng)，然后使機(jī)械手承載待取出的基板，然后使機(jī)械手逆向待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，帶 動(dòng)待取出的基板轉(zhuǎn)動(dòng)，使待取出的基板在基板盒內(nèi)回歸正常狀態(tài)，即，使待取出的基板在基 板盒內(nèi)回歸至未發(fā)生偏轉(zhuǎn)的狀態(tài)，然后將基板從基板盒內(nèi)取出，因此，可以防止將基板從基 板盒內(nèi)取出時(shí)基板與基板盒發(fā)生碰撞或剮蹭，從而防止基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0009] 此處所說明的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本實(shí)用新型的一部 分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的 不當(dāng)限定。在附圖中：
[0010] 圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板取放裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011] 圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板盒的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3為機(jī)械手與待取出的基板的位置關(guān)系圖一；
[0013] 圖4為機(jī)械手與待取出的基板的位置關(guān)系圖二；
[0014] 圖5為機(jī)械手與待取出的基板的位置關(guān)系圖三；
[0015] 圖6為機(jī)械手與待取出的基板的位置關(guān)系圖四。
[0016] 附圖標(biāo)記：
[0017] 100-基板取放裝置， 10-支撐臺(tái)，
[0018] 11-第一轉(zhuǎn)軸， 20-機(jī)械臂，
[0019] 21-第一機(jī)械臂， 22-第二機(jī)械臂，
[0020] 23-第二轉(zhuǎn)軸， 24-第三轉(zhuǎn)軸，
[0021] 30-機(jī)械手， 31-支撐梁，
[0022] 32-基板叉齒， 33-距離傳感器，
[0023] 34-真空吸附孔， 200-基板盒，
[0024] 210-基板隔腔， 220-支撐塊。
【具體實(shí)施方式】
[0025] 為了進(jìn)一步說明本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板取放裝置，下面結(jié)合說明書附圖進(jìn) 行詳細(xì)描述。
[0026]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板取放裝置100包括支撐臺(tái)10、機(jī)械臂20 和機(jī)械手30，其中，機(jī)械臂20安裝在支撐臺(tái)10上，機(jī)械臂20可相對(duì)支撐臺(tái)10升降移動(dòng)，且機(jī) 械臂20可伸長和縮短;機(jī)械手30與機(jī)械臂20可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，機(jī)械手30轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)基板盒200內(nèi) 發(fā)生偏轉(zhuǎn)的待取出的基板轉(zhuǎn)動(dòng)，使待取出的基板回歸正常狀態(tài)后，機(jī)械手30取出待取出的 基板，正常狀態(tài)為待取出的基板未發(fā)生偏轉(zhuǎn)時(shí)的狀態(tài)。
[0027] 具體實(shí)施時(shí)，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板取放裝置100包括支撐臺(tái)10、機(jī)械臂20 和機(jī)械手30，機(jī)械臂20安裝在支撐臺(tái)10上，機(jī)械手30安裝在機(jī)械臂20上;機(jī)械臂20可相對(duì)支 撐臺(tái)10升降移動(dòng)，即機(jī)械臂20可相對(duì)支撐臺(tái)10沿圖1中上下方向移動(dòng)，機(jī)械臂20相對(duì)支撐臺(tái) 10升降移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)機(jī)械手30相對(duì)支撐臺(tái)10升降移動(dòng);機(jī)械臂20可在水平面內(nèi)伸長和縮短， 例如機(jī)械臂20可在水平面內(nèi)沿圖1中左右方向伸長和縮短，機(jī)械臂20在水平面內(nèi)沿圖1中左 右方向伸長和縮短時(shí)，帶動(dòng)機(jī)械手30沿圖1中左右方向移動(dòng);機(jī)械手30與機(jī)械臂20可轉(zhuǎn)動(dòng)連 接，機(jī)械手30可相對(duì)機(jī)械臂20轉(zhuǎn)動(dòng)；如圖2所示，基板盒200內(nèi)具有貫通腔，貫通腔的相對(duì)的 兩個(gè)腔壁上分別設(shè)置有一一對(duì)應(yīng)的多對(duì)支撐塊220,多對(duì)支撐塊220將貫通腔分割為層疊設(shè) 置的多個(gè)基板隔腔210,每個(gè)基板隔腔210內(nèi)可放置一個(gè)基板，支撐塊220用于支撐基板，當(dāng) 采用上述基板取放裝置100從基板盒200內(nèi)取出待取出的基板時(shí)，機(jī)械手30承載待取出的基 板，并帶動(dòng)待取出的基板退出基板盒200的基板隔腔210。
[0028] 當(dāng)采用上述實(shí)施例提供的基板取放裝置從基板盒200內(nèi)取出待取出的基板時(shí)，可 以先調(diào)節(jié)機(jī)械臂20,使機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30相對(duì)支撐臺(tái)10上升或下降，機(jī)械手30移動(dòng)至 基板盒200與待取出的基板對(duì)應(yīng)的基板隔腔210處，機(jī)械手30與基板隔腔210的開口相對(duì)，即 機(jī)械手30與待取出的基板朝向基板隔腔210的側(cè)面相對(duì)，例如機(jī)械手30與圖2中待取出的基 板的右側(cè)面相對(duì);然后根據(jù)待取出的基板在對(duì)應(yīng)的基板隔腔210內(nèi)發(fā)生水平偏轉(zhuǎn)時(shí)的偏轉(zhuǎn) 角度和偏轉(zhuǎn)方向，調(diào)節(jié)機(jī)械手30,使機(jī)械手30相對(duì)機(jī)械臂20沿待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn) 動(dòng)，機(jī)械手30沿待取出的基板的偏振方向轉(zhuǎn)動(dòng)的角度與待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度相同；然 后調(diào)節(jié)機(jī)械臂20,使機(jī)械臂20在水平面內(nèi)伸長，使機(jī)械手30伸到待取出的基板的下方，并使 機(jī)械手30承載待取出的基板;然后調(diào)節(jié)機(jī)械臂20,使機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30相對(duì)支撐臺(tái)10 上升，待取出的基板被機(jī)械手30抬起，并與基板盒200內(nèi)的對(duì)應(yīng)的支撐塊220分離;然后調(diào)節(jié) 機(jī)械手30，使機(jī)械手30相對(duì)機(jī)械臂20沿待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向的反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)械手30 沿待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向的反方向轉(zhuǎn)動(dòng)的角度與待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度相同，機(jī)械手 30帶動(dòng)待取出的基板回歸正常狀態(tài)，即待取出的基板呈未發(fā)生水平偏轉(zhuǎn)的狀態(tài);然后調(diào)節(jié) 機(jī)械臂20,使機(jī)械臂20在水平面內(nèi)縮短，機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30退出基板盒200的基板隔腔 210,從而將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出。
[0029] 舉例來說，當(dāng)采用上述實(shí)施例提供的基板取放裝置從基板盒200內(nèi)取出待取出的 基板時(shí)，機(jī)械手30移動(dòng)至基板盒200與待取出的基板對(duì)應(yīng)的基板隔腔210處后，如圖2所示， 建立三維直角坐標(biāo)系，三維直角坐標(biāo)系的X軸平行于圖2中基板盒200的貫通腔的貫通方向， 三維直角坐標(biāo)系的Y軸平行于圖2中基板盒200的基板隔腔210的開口的長度方向，三維直角 坐標(biāo)系的Z軸垂直于圖2中基板盒200的基板隔腔210的開口的長度方向，也就是說，三維直 角坐標(biāo)系的X軸和Y軸構(gòu)成的XY平面平行于水平面;如圖3所示，在三維直角坐標(biāo)系中，待取 出的基板在XY平面內(nèi)繞Z軸沿順時(shí)針方向偏轉(zhuǎn)，即待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向?yàn)閳D3中順時(shí)針 方向，待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度為a;根據(jù)待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向和偏轉(zhuǎn)角度，調(diào)節(jié)機(jī)械 手30，使機(jī)械手30相對(duì)機(jī)械臂20沿待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)械手30沿待取出的基 板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)動(dòng)的角度與待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度相同，即機(jī)械手30沿圖3中順時(shí)針方 向轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)械手30轉(zhuǎn)動(dòng)的角度為a，此時(shí)，機(jī)械手30與待取出的基板之間的位置關(guān)系如圖4所 不。
[0030] 機(jī)械手30沿待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)動(dòng)完成后，然后通過機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手 30,使機(jī)械手30伸到待取出的基板的下方，機(jī)械手30承載待取出的基板;然后通過機(jī)械臂20 帶動(dòng)機(jī)械手30,機(jī)械手30上移，使待取出的基板與對(duì)應(yīng)的支撐塊220分離，此時(shí)，機(jī)械手30與 待取出的基板之間的位置關(guān)系如圖5所示;然后調(diào)節(jié)機(jī)械手30,使機(jī)械手30相對(duì)機(jī)械臂20沿 待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向的反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)械手30沿待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向的反方向轉(zhuǎn) 動(dòng)的角度與待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度相同，即機(jī)械手30沿圖3中逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)械手30 轉(zhuǎn)動(dòng)的角度為a，此時(shí)，機(jī)械手30與待取出的基板之間的位置關(guān)系如圖6所示;然后通過機(jī)械 臂20帶動(dòng)機(jī)械手30退出基板盒200的基板隔腔210,待取出的基板隨機(jī)械手30退出基板盒 200的基板隔腔210,從而將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出。
[0031] 由上述可知，當(dāng)采用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板取放裝置100從基板盒200內(nèi)取 出基板時(shí)，可以先移動(dòng)機(jī)械臂20,通過機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30,機(jī)械手30與基板盒200內(nèi)的 待取出的基板相對(duì);然后根據(jù)待取出的基板發(fā)生水平偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)角度和偏轉(zhuǎn)方向，調(diào)節(jié)機(jī) 械手30，使機(jī)械手30相對(duì)機(jī)械臂20朝向待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)械手30朝向待取 出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)動(dòng)的角度與待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度相同；然后調(diào)節(jié)機(jī)械臂20,機(jī) 械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30水平移動(dòng)，機(jī)械手30伸到待取出的基板的下方，機(jī)械手30承載待取出 的基板;然后調(diào)節(jié)機(jī)械臂20，機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30上升，待取出的基板在機(jī)械手30的帶動(dòng) 下與基板盒200的支撐塊220分離;然后使機(jī)械手30相對(duì)機(jī)械臂20逆向待取出的基板的偏轉(zhuǎn) 方向轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)械手30逆向待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)動(dòng)的角度與待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度 相同；然后調(diào)節(jié)機(jī)械臂20,機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30水平移動(dòng)，機(jī)械手30帶動(dòng)待取出的基板退 出基板盒200，完成將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出。由上述可知，當(dāng)采用本實(shí)用新型實(shí) 施例提供的基板取放裝置100從基板盒200內(nèi)取出基板時(shí)，通過調(diào)整機(jī)械手30,使機(jī)械手30 朝向待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)動(dòng)和逆向待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，使待取出的基板 在基板盒200內(nèi)恢復(fù)至正常狀態(tài)，即待取出的基板在基板盒200內(nèi)處于不發(fā)生水平偏轉(zhuǎn)的狀 態(tài)，然后將基板從基板盒200內(nèi)取出，因此，可以防止將基板從基板盒200內(nèi)取出時(shí)基板與基 板盒200發(fā)生碰撞或剮蹭，從而防止基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象。
[0032]值得一提的是，上述實(shí)施例提供的基板取放裝置100可以取放水平放置在基板盒 200內(nèi)的基板，在實(shí)際應(yīng)用中，上述實(shí)施例提供的基板取放裝置100也可以取放豎直放置在 基板盒200內(nèi)的基板，此時(shí)，機(jī)械臂20朝向支撐臺(tái)10水平移動(dòng)和遠(yuǎn)離支撐臺(tái)10水平移動(dòng)，機(jī) 械臂20可以在豎直平面內(nèi)伸長和縮短，機(jī)械手30與機(jī)械臂20可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，取放豎直放置在 基板盒200內(nèi)的基板的過程與上述取放水平放置在基板盒200內(nèi)的基板的過程類似，在此不 再贅述。需要說明的是，上述實(shí)施例中，基板可以為襯底基板、液晶顯示基板、光學(xué)基板等。 [0033]值得指出的是，上述實(shí)施例提供的基板取放裝置100還可以用于將基板裝載在基 板盒200內(nèi)，當(dāng)采用上述基板取放裝置100將基板裝載在基板盒200內(nèi)時(shí)，可以先通過機(jī)械手 30承載基板;然后調(diào)節(jié)機(jī)械臂20,通過機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30上升或下降，使機(jī)械手30帶動(dòng) 基板移動(dòng)至基板盒200內(nèi)對(duì)應(yīng)的基板隔腔210的開口處;然后調(diào)節(jié)機(jī)械手30,使機(jī)械手30相 對(duì)機(jī)械臂20轉(zhuǎn)動(dòng)，以調(diào)芐基板的擺放方位，使基板處于相對(duì)基板盒200未發(fā)生水平偏轉(zhuǎn)的狀 態(tài);然后調(diào)節(jié)機(jī)械臂20,通過機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30,使機(jī)械手30伸到基板隔腔210內(nèi)；然后 調(diào)節(jié)機(jī)械臂20,通過機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30下降，基板與基板盒200內(nèi)的支撐塊220接觸，支 撐塊220承載基板，基板與機(jī)械手30分離;然后調(diào)節(jié)機(jī)械臂20,通過機(jī)械臂20帶動(dòng)機(jī)械手30， 使機(jī)械手30退出基板隔腔210,實(shí)現(xiàn)將基板裝載在基板盒200內(nèi)。
[0034]因此，當(dāng)采用上述基板取放裝置100將基板裝載在基板盒200內(nèi)時(shí)，機(jī)械手30帶動(dòng) 基板移動(dòng)至基板盒200內(nèi)對(duì)應(yīng)的基板隔腔210的開口處之后，可以通過調(diào)節(jié)機(jī)械手30,使機(jī) 械手30相對(duì)機(jī)械臂20轉(zhuǎn)動(dòng)，以調(diào)芐基板的擺放方位，使基板處于相對(duì)基板盒200未發(fā)生水平 偏轉(zhuǎn)的狀態(tài)，然后將基板裝載在對(duì)應(yīng)的基板隔腔210內(nèi)，以防止基板在裝載時(shí)與基板盒200 發(fā)生碰撞或剮蹭，從而防止基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象。
[0035] 請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板取放裝置中，機(jī)械手30包括支撐 梁31和平行設(shè)置在支撐梁31上的多個(gè)基板叉齒32,支撐梁31與機(jī)械臂20可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，多個(gè) 基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端部平齊;多個(gè)基板叉齒32中，至少兩個(gè)基板叉齒32上分別設(shè) 置有距離傳感器33,基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端部與基板盒200內(nèi)待取出的基板相對(duì)時(shí)， 距離傳感器33檢測對(duì)應(yīng)的基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端部與待取出的基板朝向機(jī)械手30 的側(cè)面之間的距離。
[0036] 具體實(shí)施時(shí)，機(jī)械手30包括支撐梁31和多個(gè)基板叉齒32,其中，支撐梁31與機(jī)械臂 20可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，多個(gè)基板叉齒32平行設(shè)置在支撐梁31上，基板叉齒32的數(shù)量為多個(gè)，在實(shí)際 應(yīng)用中，基板叉齒32的數(shù)量可以為兩個(gè)或兩個(gè)以上;支撐梁31相對(duì)機(jī)械臂20轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，多個(gè)基 板叉齒32也相對(duì)機(jī)械臂20轉(zhuǎn)動(dòng)；多個(gè)基板叉齒32中，至少兩個(gè)基板叉齒32上分別設(shè)置有距 離傳感器33，例如，基板叉齒32的數(shù)量為兩個(gè)時(shí)，在兩個(gè)基板叉齒32上分別設(shè)置距離傳感器 33,基板叉齒32的數(shù)量為三個(gè)時(shí)，可以選取其中兩個(gè)基板叉齒32,并在選取的兩個(gè)基板叉齒 32上分別設(shè)置距離傳感器33,也可以在三個(gè)基板叉齒32上分別設(shè)置距離傳感器33,基板叉 齒32的數(shù)量為三個(gè)以上時(shí)，可以選取其中兩個(gè)基板叉齒32,并在選取的兩個(gè)基板叉齒32上 分別設(shè)置距離傳感器33,也可以選取兩個(gè)以上的基板叉齒32,并在選取的兩個(gè)以上基板叉 齒32上分別設(shè)置距離傳感器33，也可以在每個(gè)基板叉齒32上分別設(shè)置距離傳感器33;當(dāng)將 機(jī)械手30移動(dòng)至基板盒200與待取出的基板對(duì)應(yīng)的基板隔腔210處，基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁 31的端部與基板盒200內(nèi)待取出的基板相對(duì)時(shí)，距離傳感器33檢測對(duì)應(yīng)的基板叉齒32遠(yuǎn)離 支撐梁31的端部與待取出的基板朝向機(jī)械手30的側(cè)面之間的距離。
[0037]下面以在支撐梁31上平行設(shè)置兩個(gè)基板叉齒32為例進(jìn)行說明，請(qǐng)參閱圖1，機(jī)械手 30包括支撐梁31和平行設(shè)置在支撐梁31上的兩個(gè)基板叉齒32,兩個(gè)基板叉齒32上分別設(shè)置 有距離傳感器33。如圖2所示，當(dāng)將機(jī)械手30移動(dòng)至基板盒200與待取出的基板對(duì)應(yīng)的基板 隔腔210處，基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端部與基板盒200內(nèi)待取出的基板相對(duì)時(shí)，距離傳 感器33檢測對(duì)應(yīng)的基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端部與待取出的基板朝向機(jī)械手30的側(cè)面 之間的距離，如圖3所示，根據(jù)圖3中左側(cè)的基板叉齒32上的距離傳感器33的檢測結(jié)構(gòu)和右 側(cè)的基板叉齒32上的距離傳感器33的檢測結(jié)果，獲取圖3中左側(cè)的基板叉齒32的上端部與 待取出的基板的下側(cè)面之間的距離為匕，圖3中右側(cè)的基板叉齒32的上端部與待取出的基 板的下側(cè)面之間的距離為h 2,圖3中左側(cè)的基板叉齒32與右側(cè)的基板叉齒32之間的距離為 1，假設(shè)待取出的基板的下表面與三維直角坐標(biāo)系的Y軸之間的夾角為a，即待取出的基板發(fā) 生水平偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)角度為a，則可以得到偏轉(zhuǎn)角度a與距離hi、距離h 2之間的關(guān)系：
(1 )
[0039] 對(duì)式（1)進(jìn)行處理后，即可獲得：
(2)
[0041]根據(jù)式(2)，并利用距離傳感器33檢測到的對(duì)應(yīng)的基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端 部與待取出的基板朝向機(jī)械手30的側(cè)面之間的距離，即可獲取待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度， 待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向則可以根據(jù)距離hi和距離h 2的大小確定，例如，如圖3所示，距離lu 大于距離112時(shí)，則待取出的基板沿圖3中順時(shí)針方向偏轉(zhuǎn)，即大取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向?yàn)閳D 3中順時(shí)針方向，距離匕小于距離^時(shí)，則待取出的基板沿圖3中逆時(shí)針方向偏轉(zhuǎn)，即大取出 的基板的偏轉(zhuǎn)方向?yàn)閳D3中逆時(shí)針方向；根據(jù)取待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度和偏轉(zhuǎn)方向，調(diào)節(jié) 機(jī)械手30,使機(jī)械手30的支撐梁31沿待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向相對(duì)機(jī)械臂20轉(zhuǎn)動(dòng);機(jī)械手 30的基板叉齒32將待取出的基板抬起后，調(diào)節(jié)機(jī)械手30，使機(jī)械手30的支撐梁31沿待取出 的基板的偏轉(zhuǎn)方向的反方向相對(duì)機(jī)械臂20轉(zhuǎn)動(dòng);然后使機(jī)械手30帶動(dòng)待取出的基板退出基 板盒200，實(shí)現(xiàn)將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出。
[0042]通過距離傳感器33檢測對(duì)應(yīng)的基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端部與待取出的基板 朝向機(jī)械手30的側(cè)面之間的距離，進(jìn)而獲取待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度和偏轉(zhuǎn)方向，控制機(jī) 械手30的支撐梁31，使支撐梁31帶動(dòng)基板叉齒32沿待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向相對(duì)機(jī)械臂20 轉(zhuǎn)動(dòng)相應(yīng)的角度，并使支撐梁31帶動(dòng)基板叉齒32沿待取出的基板的偏轉(zhuǎn)方向的反方向相對(duì) 機(jī)械臂20轉(zhuǎn)動(dòng)相應(yīng)的角度，從而方便將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出，防止基板發(fā)生破 損、劃傷等現(xiàn)象。
[0043]值得指出的是，基板叉齒32的數(shù)量為多個(gè)，并在三個(gè)或三個(gè)以上基板叉齒32上分 別設(shè)置距離傳感器33時(shí)，可以分別根據(jù)其中兩個(gè)基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端部與待取出 的基板朝向機(jī)械手30的側(cè)面之間的距離，獲取多個(gè)試驗(yàn)角度，然后對(duì)多個(gè)試驗(yàn)角度取平均 值，多個(gè)試驗(yàn)角度的平均值為待取出的基板的偏轉(zhuǎn)角度。如此設(shè)計(jì)，可以提高待取出的基板 的偏轉(zhuǎn)角度的精確度。
[0044]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，距離傳感器33可以為反射式光電傳感器，反射式光電傳 感器設(shè)置在對(duì)應(yīng)的基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端部。舉例來說，如圖3所示，反射式光電傳 感器設(shè)置在基板叉齒32的上端部。當(dāng)通過反射式光電傳感器檢測對(duì)應(yīng)的基板叉齒32遠(yuǎn)離支 撐梁31的端部與待取出的基板朝向機(jī)械手30的側(cè)面之間的距離時(shí)，先使反射式光電傳感器 的發(fā)射端朝向待取出的基板發(fā)出光信號(hào)，光信號(hào)移動(dòng)至待取出的基板時(shí)，被待取出的基板 反射，光信號(hào)則返回至反射式光電傳感器，反射式光電傳感器的接收端接收光信號(hào)，根據(jù)光 信號(hào)的傳播速度以及接收端接收光信號(hào)和發(fā)射端發(fā)射光信號(hào)之間的時(shí)間差，可以獲取對(duì)應(yīng) 的基板叉齒32遠(yuǎn)離支撐梁31的端部與待取出的基板朝向機(jī)械手30的側(cè)面之間的距離。
[0045] 上述實(shí)施例中，基板叉齒32的長度方向可以與支撐梁31的長度方向平行，例如多 個(gè)基板叉齒32設(shè)置在支撐梁31遠(yuǎn)離機(jī)械臂20的端部，或者，基板叉齒32的長度方向可以與 支撐梁31的長度方向呈一定夾角，或者，基板叉齒32的長度方向可以與支撐梁31的長度方 向垂直。
[0046] 在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板取放裝置中，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，基板叉齒32的長度 方向與支撐梁31的長度方向垂直，多個(gè)基板叉齒32沿支撐梁31的長度方向均勻間隔設(shè)置。 基板叉齒32的長度方向與支撐梁31的長度方向垂直，與基板叉齒32的長度方向與支撐梁31 的長度方向平行或呈一定夾角相比，可以改善支撐梁31的各個(gè)區(qū)域的受力均勻性，提高基 板叉齒32承載基板時(shí)的穩(wěn)定性。多個(gè)基板叉齒32沿支撐梁31的長度方向均勻間隔設(shè)置，可 以進(jìn)一步改善支撐梁31的各個(gè)區(qū)域的受力均勻性，提高基板叉齒32承載基板時(shí)的穩(wěn)定性。 [0047]在上述實(shí)施例中，機(jī)械臂20的結(jié)構(gòu)可以為多種，例如，機(jī)械臂20可以為包括多個(gè)伸 縮桿節(jié)的伸縮桿，或者，機(jī)械臂20可以為絲桿。在本實(shí)用新型實(shí)施例中，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，機(jī) 械臂20包括第一機(jī)械臂21和第二機(jī)械臂22,第一機(jī)械臂21的一端與支撐臺(tái)10可轉(zhuǎn)動(dòng)連接， 第二機(jī)械臂22的一端與第一機(jī)械臂21遠(yuǎn)離支撐臺(tái)10的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一機(jī)械臂21和第 二機(jī)械臂22均在同一平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng);機(jī)械手30與第二機(jī)械臂22遠(yuǎn)離第一機(jī)械臂21的一端可轉(zhuǎn) 動(dòng)連接。具體實(shí)施時(shí)，圖1中第一機(jī)械臂21的右端與支撐臺(tái)10可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第二機(jī)械臂22的 右端與第一機(jī)械臂21的左端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，機(jī)械手30的支撐梁31與第二機(jī)械臂22的左端可轉(zhuǎn) 動(dòng)連接，第一機(jī)械臂21相對(duì)支撐臺(tái)10轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)平面與第二機(jī)械臂22相對(duì)第一機(jī)械臂21 轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)平面位于同一平面內(nèi)，當(dāng)?shù)谝粰C(jī)械臂21相對(duì)支撐臺(tái)10轉(zhuǎn)動(dòng)、第二機(jī)械臂22相 對(duì)第一機(jī)械臂21轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械臂20伸長和縮短，從而帶動(dòng)機(jī)械手30移動(dòng)。
[0048]另外，第一機(jī)械臂21與支撐臺(tái)10可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，當(dāng)?shù)谝粰C(jī)械臂21相對(duì)支撐臺(tái)10轉(zhuǎn)動(dòng) 時(shí)，機(jī)械臂20相對(duì)支撐臺(tái)10轉(zhuǎn)動(dòng)，因此，當(dāng)采用上述實(shí)施例提供的基板取放裝置100從基板 盒200內(nèi)取出基板時(shí)，調(diào)整第一機(jī)械臂21，使第一機(jī)械臂21相對(duì)支撐臺(tái)10轉(zhuǎn)動(dòng)，不用移動(dòng)基 板盒200的位置或者支撐臺(tái)10的位置，即可從放置在基板取放裝置100的任何方位的基板盒 200內(nèi)取出基板，從而提高基板取放裝置100的適用性。
[0049] 第一機(jī)械臂21與支撐臺(tái)10可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，可以是在支撐臺(tái)10上設(shè)置可相對(duì)支撐臺(tái)10 轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，第一機(jī)械臂21與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接，或者，可以在支撐臺(tái)10上固定設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng) 軸，第一機(jī)械臂21與轉(zhuǎn)動(dòng)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)連接;第二機(jī)械臂22與第一機(jī)械臂21可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，可以是 在第一機(jī)械臂21上設(shè)置可相對(duì)第一機(jī)械臂21轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，第二機(jī)械臂22與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連 接，或者，可以在第一機(jī)械臂21上固定設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸，第二機(jī)械臂22與轉(zhuǎn)動(dòng)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)連接;機(jī) 械手30與第二機(jī)械臂22可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，可以是在第二機(jī)械臂22上設(shè)置可相對(duì)第二機(jī)械臂22轉(zhuǎn) 動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，機(jī)械手30與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接，或者，可以在第二機(jī)械臂22上固定設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸， 機(jī)械手30與轉(zhuǎn)動(dòng)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
[0050] 在本實(shí)用新型實(shí)施例中，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，支撐臺(tái)10上設(shè)置有第一轉(zhuǎn)軸11，第一轉(zhuǎn) 軸11可相對(duì)支撐臺(tái)10轉(zhuǎn)動(dòng)，且第一轉(zhuǎn)軸11可相對(duì)支撐臺(tái)10升降移動(dòng)，第一機(jī)械臂21與第一 轉(zhuǎn)軸11固定連接;第一機(jī)械臂21上設(shè)置有第二轉(zhuǎn)軸23，第二轉(zhuǎn)軸23可相對(duì)第一機(jī)械臂21轉(zhuǎn) 動(dòng)，第二機(jī)械臂22與第二轉(zhuǎn)軸23固定連接;第二機(jī)械臂22上設(shè)置有第三轉(zhuǎn)軸24，第三轉(zhuǎn)軸24 可相對(duì)第二機(jī)械臂22轉(zhuǎn)動(dòng)，機(jī)械手30與第三轉(zhuǎn)軸24固定連接;第一轉(zhuǎn)軸11、第二轉(zhuǎn)軸23和第 三轉(zhuǎn)軸24分別與電機(jī)連接。
[00511在本實(shí)用新型實(shí)施例中，通過電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)第一轉(zhuǎn)軸11、第二轉(zhuǎn)軸23和第三轉(zhuǎn)軸 24,通過第一轉(zhuǎn)軸11帶動(dòng)第一機(jī)械臂21相對(duì)支撐臺(tái)10轉(zhuǎn)動(dòng)，通過第二轉(zhuǎn)軸23帶動(dòng)第二機(jī)械 臂22相對(duì)第一機(jī)械臂21轉(zhuǎn)動(dòng)，通過第三轉(zhuǎn)軸24帶動(dòng)機(jī)械手30相對(duì)第二機(jī)械臂22轉(zhuǎn)動(dòng)，可以 分別改善第一機(jī)械臂21相對(duì)支撐臺(tái)10轉(zhuǎn)動(dòng)、第二機(jī)械臂22相對(duì)第一機(jī)械臂21轉(zhuǎn)動(dòng)、機(jī)械手 30相對(duì)第二機(jī)械臂22轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性。
[0052]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板取放裝置100中，機(jī)械手30設(shè)置 有對(duì)待取出的基板進(jìn)行吸附的真空吸附孔34。具體實(shí)施時(shí)，機(jī)械手30包括支撐梁31和設(shè)置 在支撐梁31上的多個(gè)基板叉齒32,支撐梁31固定安裝在第二機(jī)械臂22上的第三轉(zhuǎn)軸24上， 基板叉齒32設(shè)置有真空吸附孔34,例如，基板叉齒32的數(shù)量為兩個(gè)，每個(gè)基板叉齒32設(shè)置有 真空吸附孔34,每個(gè)基板叉齒32上的真空吸附孔34的數(shù)量可以是一個(gè)，也可以是兩個(gè)或兩 個(gè)以上。當(dāng)基板叉齒32移動(dòng)至待取出的基板的下方時(shí)，通過真空吸附孔34將待取出的基板 吸附在基板叉齒32上，待取出的基板與基板叉齒32緊貼，基板叉齒32帶動(dòng)待取出的基板移 動(dòng)時(shí)，可以防止待取出的基板相對(duì)基板叉齒32滑動(dòng)，從而進(jìn)一步防止待取出的基板發(fā)生破 損、劃傷等現(xiàn)象。
[0053]為了進(jìn)一步防止待取出的基板發(fā)生破損、劃傷等現(xiàn)象，真空吸附孔34的開口處設(shè) 置有吸盤，吸盤與真空吸附孔34連通。舉例來說，請(qǐng)參閱圖1，機(jī)械手30的基板叉齒32的數(shù)量 為兩個(gè)，每個(gè)基板叉齒32上設(shè)置有兩個(gè)真空吸附孔34,每個(gè)真空吸附孔34的開口處還設(shè)置 有吸盤，吸盤與對(duì)應(yīng)的真空吸附孔34連通。當(dāng)吸附待取出的基板時(shí)，通過吸盤吸附待取出的 基板，與待取出的基板直接接觸的是吸盤，可以防止待取出的基板直接與真空吸附孔34接 觸時(shí)真空吸附孔34的孔壁劃傷待取出的基板，從而進(jìn)一步防止待取出的基板發(fā)生破損、劃 傷等現(xiàn)象。
[0054]在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板取放裝置100中，機(jī)械手30上還設(shè)置有靜電去除 裝置。具體實(shí)施時(shí)，靜電去除裝置可以設(shè)置在機(jī)械手30的基板叉齒32上。靜電去除裝置的設(shè) 置，將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出時(shí)，可以去除待取出的基板上的靜電，從而防止灰 塵、異物等粘連在待取出的基板上。
[0055] 在上述實(shí)施方式的描述中，具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多 個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0056] 以上所述，僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限 于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化 或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán) 利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種基板取放裝置，其特征在于，包括支撐臺(tái)、機(jī)械臂和機(jī)械手，其中，所述機(jī)械臂安 裝在所述支撐臺(tái)上，所述機(jī)械臂可相對(duì)所述支撐臺(tái)升降移動(dòng)，且所述機(jī)械臂可伸長和縮短； 所述機(jī)械手與所述機(jī)械臂可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述機(jī)械手轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)基板盒內(nèi)發(fā)生偏轉(zhuǎn)的待取出 的基板轉(zhuǎn)動(dòng)，使待取出的基板回歸正常狀態(tài)后，所述機(jī)械手取出待取出的基板，所述正常狀 態(tài)為待取出的基板未發(fā)生偏轉(zhuǎn)時(shí)的狀態(tài)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板取放裝置，其特征在于，所述機(jī)械手包括支撐梁和平行設(shè) 置在所述支撐梁上的多個(gè)基板叉齒，所述支撐梁與所述機(jī)械臂可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，多個(gè)所述基板 叉齒遠(yuǎn)離所述支撐梁的端部平齊； 多個(gè)所述基板叉齒中，至少兩個(gè)所述基板叉齒上分別設(shè)置有距離傳感器，所述基板叉 齒遠(yuǎn)離所述支撐梁的端部與基板盒內(nèi)的基板相對(duì)時(shí)，所述距離傳感器檢測對(duì)應(yīng)的所述基板 叉齒遠(yuǎn)離所述支撐梁的端部與基板朝向所述機(jī)械手的側(cè)面之間的距離。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板取放裝置，其特征在于，所述距離傳感器為反射式光電傳 感器，所述反射式光電傳感器設(shè)置在對(duì)應(yīng)的所述基板叉齒遠(yuǎn)離所述支撐梁的端部。4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板取放裝置，其特征在于，所述基板叉齒的長度方向與所述 支撐梁的長度方向垂直，多個(gè)所述基板叉齒沿所述支撐梁的長度方向均勻間隔設(shè)置。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板取放裝置，其特征在于，所述機(jī)械臂包括第一機(jī)械臂和第 二機(jī)械臂，所述第一機(jī)械臂的一端與所述支撐臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第二機(jī)械臂的一端與所 述第一機(jī)械臂遠(yuǎn)離所述支撐臺(tái)的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第一機(jī)械臂和所述第二機(jī)械臂均在 同一平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng);所述機(jī)械手與所述第二機(jī)械臂遠(yuǎn)離所述第一機(jī)械臂的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板取放裝置，其特征在于，所述支撐臺(tái)上設(shè)置有第一轉(zhuǎn)軸， 所述第一轉(zhuǎn)軸可相對(duì)所述支撐臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一轉(zhuǎn)軸可相對(duì)所述支撐臺(tái)升降移動(dòng)，所述第 一機(jī)械臂與所述第一轉(zhuǎn)軸固定連接； 所述第一機(jī)械臂上設(shè)置有第二轉(zhuǎn)軸，所述第二轉(zhuǎn)軸可相對(duì)所述第一機(jī)械臂轉(zhuǎn)動(dòng)，所述 第二機(jī)械臂與所述第二轉(zhuǎn)軸固定連接； 所述第二機(jī)械臂上設(shè)置有第三轉(zhuǎn)軸，所述第三轉(zhuǎn)軸可相對(duì)所述第二機(jī)械臂轉(zhuǎn)動(dòng)，所述 機(jī)械手與所述第三轉(zhuǎn)軸固定連接； 所述第一轉(zhuǎn)軸、所述第二轉(zhuǎn)軸和所述第三轉(zhuǎn)軸分別與電機(jī)連接。7. 根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的基板取放裝置，其特征在于，所述機(jī)械手設(shè)置有對(duì)待取 出的基板進(jìn)行吸附的真空吸附孔。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板取放裝置，其特征在于，所述真空吸附孔的開口處設(shè)置有 吸盤，所述吸盤與所述真空吸附孔連通。9. 根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的基板取放裝置，其特征在于，所述機(jī)械手上還設(shè)置有靜 電去除裝置。
【文檔編號(hào)】B65G47/90GK205634157SQ201620504639
【公開日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年5月27日
【發(fā)明人】張玉兵, 李朝壘, 裴新華, 劉國鵬, 王鵬, 高建強(qiáng), 閆宇, 張斌, 梁團(tuán), 趙雙會(huì)
【申請(qǐng)人】鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司