專利名稱：加熱型真空壓力加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及能夠通過壓力加工裝置的動作形成隔離腔室隔離室，通過在該隔離腔室隔離室內(nèi)形成高真空的方式，在真空加熱條件下實施壓力加工的裝置，特別涉及適合于能夠在高溫下和極低的加壓壓力下實施壓力加工的真空壓力加工裝置。
背景技術(shù)：
本申請人在此之前，曾經(jīng)就對諸如IC卡、印刷電路基板和偏振光透鏡等等實施粘貼作業(yè)用的、在能夠進(jìn)行脫氣的高真空條件下實施加熱壓接的真空壓力加工裝置提出過專利申請。比如說可以參見日本特開2002-96199號公報。然而，這種裝置需要使形成隔離腔室隔離室的滑動框體與具有加熱部的模具夾具直接接觸，而設(shè)置在該框體處的密封襯墊(O型環(huán))的耐熱溫度通常位于200℃左右的低溫區(qū)域，所以不能在比該溫度高的高溫條件下實施加熱加壓作業(yè)的場合里使用。
對于這種場合，在先前技術(shù)中不得必須在具有設(shè)置有諸如浸入耐熱油脂的密封襯墊的氣密開閉門的大型且固定設(shè)置的真空裝置內(nèi)，進(jìn)行這種高溫壓力加工作業(yè)，這必然要在裝置內(nèi)處于高溫的條件下，通過開閉門進(jìn)行制品的出入操作，所以不僅麻煩，甚至存在有危險。
另外，對于近年來向液晶面板粘貼偏振光薄膜、在觸壓型面板上粘貼偏振光薄膜的場合，需要避免對封裝在薄板玻璃間的液晶面板施加過大的附加壓力，而且在對于向比較薄的中空框體上粘貼薄膜的場合，或是粘貼陶瓷處于未硬化狀態(tài)的胚片(green sheet)的場合等等中，柔軟的粘貼材料在壓力下會產(chǎn)生形狀變化，所以進(jìn)一步增加了對能夠在極小的壓力下實施粘貼的需求。而且，隨著電子設(shè)備的進(jìn)一步發(fā)展，形成復(fù)數(shù)的薄膜狀的功能薄膜的疊層薄膜的需求也越來越高。對于為電容器用疊層薄膜的場合，如果在粘接劑和材料未被均勻加熱的狀態(tài)下通過比較大的壓力實施加壓作業(yè)，將會使內(nèi)部的蒸鍍膜產(chǎn)生龜裂，而且粘接劑的凸凹起伏也會使黏粘接對象的薄膜產(chǎn)生變形，所以需要在低壓力下實施加熱之后再在更高壓力下實施密封粘接。
而且，在先前技術(shù)中的加熱壓接型真空壓力加工裝置在將被加工制品放置在承載臺上或由承載臺上取下時，必須要在上、下模具夾具打開的狀態(tài)下進(jìn)行，然而由于上下模具夾具具有高熱的加熱器，即使能夠在加熱狀態(tài)下將其打開，由于間隔空間比較小，所以存在有會出現(xiàn)燙傷等等作業(yè)上的危險。
由此可見，上述現(xiàn)有的加熱型真空壓力加工裝置在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決加熱型真空壓力加工裝置存在的問題，相關(guān)廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設(shè)計被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切的結(jié)構(gòu)能夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。
有鑒于上述現(xiàn)有的加熱型真空壓力加工裝置存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計制造多年豐富的實務(wù)經(jīng)驗及專業(yè)知識，并配合學(xué)理的運用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的加熱型真空壓力加工裝置，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的加熱型真空壓力加工裝置，使其更具有實用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計，并經(jīng)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實用價值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是提供一種即使對于需要在諸如300～400℃或更高溫度下實施真空壓力加工的場合，也不需要使用通過開閉門的打開操作進(jìn)行制品的裝入和取出作業(yè)的大型真空設(shè)備，而是可以通過壓力加工裝置的動作在上下模具夾具內(nèi)部處內(nèi)部形成具有高真空的窄小空間的隔離腔室隔離室，從而可以在高溫下對被加工制品實施加熱加壓處理的加熱型真空壓力加工裝置，并通過這種裝置防止對作為形成隔離腔室隔離室的壁體的密封襯墊造成損壞。
而且，本發(fā)明的另一目的就是提供一種能夠在由極低壓力起的低加壓壓力下，實施加熱壓力加工的加熱型真空壓力加工裝置。
而且，本發(fā)明的又一目的就是提供一種能夠使將被加工制品放置在承載臺上或由承載臺上取下的作業(yè)，在不會產(chǎn)生燙傷等作業(yè)危險的狀態(tài)下進(jìn)行的加熱型真空壓力加工裝置。
本發(fā)明人通過進(jìn)一步的重點研究，還發(fā)現(xiàn)了可以實施進(jìn)一步改善的若干實施形式。
換句話說就是，對于使用形成真空隔離腔室真空隔離室的真空加熱裝置對被加工品實施加壓加工的場合，相對被加工品的壓力施加加工用推進(jìn)力，可以為隔壁形成部件、加熱器、擠壓板等在真空條件下的上部部件處施加比較大的重量，所以適用于需要對被加工品施加相當(dāng)?shù)闹亓?，采用高加壓壓力的場合?br> 然而，諸如對于向薄膜電容器、薄膜電池、觸摸型面板、液晶顯示板處實施薄膜粘貼，以及向液晶玻璃實施偏振光薄膜粘貼的場合等等，由于粘貼材料容易破裂或損傷，不希望產(chǎn)生加壓變形，并且不希望在粘接劑和硬化劑未充分熱熔融的狀態(tài)下實施高壓加壓作業(yè)。諸如對于處于陶瓷的半熟狀態(tài)的胚片等柔軟材料的粘貼，在高壓下實施加壓作業(yè)會出現(xiàn)由于所具有的黏粘度使其薄薄地延伸而不能形成均勻厚度等問題，所以需要在非常精細(xì)的極低加壓壓力下實施加熱加壓作業(yè)。
而且，采用不同的組件作為形成隔離腔室隔離室用的汽缸機(jī)構(gòu)和對被加工品實施加壓作業(yè)的加壓用汽缸機(jī)構(gòu)的真空壓力加工裝置，由于還通過上部加工部件和其安裝板、汽缸桿等的重量和通過真空吸氣在隔離腔室隔離室處施加外部氣壓等等施加著壓力，所以不適合使用在需要通過如上所述的低推力，在實施精細(xì)的加壓調(diào)整控制下對被加工品實施加熱加壓作業(yè)的場合。
本發(fā)明的另外一個目的就是，提供一種可以通過低推力實施所需要的精細(xì)加壓調(diào)整控制，對被加工品實施加熱加壓作業(yè)的加熱型真空壓力加工裝置。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種加熱型真空壓力加工裝置，其包括(1)基臺；(2)設(shè)置在基臺上的、具有加熱器的被加工品承載臺；(3)按照與該承載臺相距一定距離且包繞著該承載臺的方式，設(shè)置在該基臺上的下側(cè)固定框體；(4)與該承載臺相對設(shè)置的、具有加熱器的擠壓板；(5)垂下設(shè)置有該擠壓板的安裝板；(6)使該安裝板和擠壓板上下移動用的安裝板·擠壓板驅(qū)動機(jī)構(gòu)，為使該安裝板和擠壓板朝向下側(cè)方向移動以使該擠壓板對位于該承載臺上的被加工品實施壓力用的驅(qū)動裝置；(7)按照與該擠壓板相距一定距離且包繞著該擠壓板的方式，由該安裝板處垂下設(shè)置的上側(cè)移動框體，該上側(cè)移動框體和該下側(cè)固定框體上的開放端面彼此相對，且上側(cè)移動框體可以相對下側(cè)固定框體沿上下方向作接近、離開運動；(8)確保下側(cè)固定框體與上側(cè)移動框體之間的氣密性用的氣密滑動機(jī)構(gòu)，通過該氣密滑動機(jī)構(gòu)在由下側(cè)固定框體、上側(cè)移動框體、基臺和安裝板分割出的空間處形成為隔離腔室隔離室；(9)對氣密滑動機(jī)構(gòu)實施驅(qū)動用的滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該氣密氣密滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)通過滑動氣密滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)的滑動運動形成該隔離腔室隔離室；以及(10)與真空裝置相連接的吸氣孔，該吸氣孔是在該隔離腔室隔離室處形成開口以構(gòu)成，且通過該吸氣孔用于對該隔離腔室隔離室實施真空吸氣。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實現(xiàn)。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的氣密滑動機(jī)構(gòu)由設(shè)置在下側(cè)固定框體的上側(cè)端部處端部的氣密滑動部和設(shè)置在上側(cè)移動框體的對應(yīng)下側(cè)端部處端部的氣密滑動部構(gòu)成，通過在下側(cè)固定框體上側(cè)端部處端部的氣密滑動部和上側(cè)移動框體下側(cè)端部處端部的氣密滑動部間的氣密性滑動運動，確保下側(cè)固定框體與上側(cè)移動框體之間的氣密性，使用所述安裝板·擠壓板驅(qū)動機(jī)構(gòu)并用作為所述滑動機(jī)構(gòu)。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的氣密滑動機(jī)構(gòu)為以可上下自由滑動方式，嵌入安裝在下側(cè)固定框體或上側(cè)移動框體中一個的外側(cè)周面外周面的周部處的滑動框體，該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)為驅(qū)動該滑動框體上下滑動移動的滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)，通過使用該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)使滑動框體滑動移動的方式，確保下側(cè)固定框體、滑動框體和上側(cè)移動框體之間的氣密性，并且在由下側(cè)固定框體、滑動框體、上側(cè)移動框體、基臺、安裝板分割成的空間處形成隔離腔室隔離室。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的擠壓板與所述安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置相連接，當(dāng)該擠壓板朝向下側(cè)移動時，安裝板和上側(cè)移動框體將隨之朝向下側(cè)移動，在壓力加工位置處使上側(cè)移動框體與下側(cè)固定框體的開放端面彼此抵接，隨后通過該驅(qū)動裝置進(jìn)一步使該擠壓板朝向下側(cè)移動以實施壓力加工，反之當(dāng)通過該驅(qū)動裝置使該擠壓板朝向上側(cè)移動時，通過該擠壓板使上側(cè)移動框體組件和安裝板朝向上側(cè)移動。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置由高推力驅(qū)動裝置和低推力驅(qū)動裝置構(gòu)成，當(dāng)所述擠壓板朝向下側(cè)移動時，上側(cè)移動框體和安裝板將隨之朝向下側(cè)移動，在壓力加工位置處使上側(cè)移動框體與下側(cè)固定框體的開放端面彼此抵接，通過該低推力驅(qū)動裝置進(jìn)一步使該擠壓板朝向下側(cè)移動以實施壓力加工，反之當(dāng)隔離腔室隔離室的真空狀態(tài)被破壞之后，通過高推力驅(qū)動裝置使該擠壓板朝向上側(cè)移動時，通過該擠壓板使該上側(cè)移動框體和該安裝板朝向上側(cè)移動。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，施力組件施力裝置向上施力至所述擠壓板，當(dāng)該擠壓板與被加工品相抵接時，在該施力組件施力裝置的作用下，使真空狀態(tài)下的擠壓板和所述加熱器的重量不施加在被加工品上。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的施力組件施力裝置為平衡彈簧。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的高推力驅(qū)動裝置和所述低推力驅(qū)動裝置分別為高推力汽缸機(jī)構(gòu)和低推力汽缸機(jī)構(gòu)，所述施力組件施力裝置為背壓汽缸機(jī)構(gòu)，而且該高推力汽缸機(jī)構(gòu)、該低推力汽缸機(jī)構(gòu)和該背壓汽缸機(jī)構(gòu)配置在同一軸上。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的驅(qū)動裝置為伺服電動機(jī)機(jī)構(gòu)。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的下側(cè)固定框體的外面形狀與所述上側(cè)移動框體的外面形狀大體相同，所述滑動框體的內(nèi)側(cè)面內(nèi)面與所述下側(cè)固定框體的外側(cè)面外面和所述上側(cè)移動框體的外側(cè)面外面間可實施氣密性滑動運動。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的下側(cè)固定框體和所述上側(cè)移動框體中的一個開放端面開放端部的外方向部位處外方向部設(shè)置有臺階部，所述滑動框體的端部通過滑動與該臺階部處臺階部氣密性抵接。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)安裝在所述基臺處，所述滑動框體通過連接桿在該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)的作用下上下運動。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的承載臺和下側(cè)固定框體通過滑動工作臺置安裝在基臺上，所述滑動框體以可上下滑動的方式，嵌入安裝在下側(cè)固定框體的外側(cè)周面外周面的周部處，該滑動工作臺可通過滑動工作臺移動單元，將設(shè)置在該承載臺上的被加工品在被加工品設(shè)置位置和對該被加工品實施壓力加工的壓力加工待機(jī)位置間移動。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的承載臺、所述下側(cè)固定框體、所述滑動框體、所述滑動工作臺上的臺面板構(gòu)成為組合體，固定在滑動工作臺移動單元處，該組合體可通過該滑動工作臺移動單元，在所述被加工品設(shè)置位置與壓力加工待機(jī)位置之間移動。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，其中所述的連接桿通過所述臺面板保持在所述基板上，所述滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有位于基臺之下朝向上部突出的突起桿，所述組合體在處于壓力加工待機(jī)位置時，可利用該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)使該連接桿在該突起桿的作用下，使所述滑動框體朝向上方移動。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，具有加熱器的所述承載臺通過第一支撐桿，被支撐在與所述基臺離開的位置處，具有加熱器的所述擠壓板通過第二支撐桿，被支撐在與所述安裝板離開的位置處。
前述的加熱型真空壓力加工裝置，具有加熱器的所述承載臺通過第一支撐桿，被支撐在與所述臺面板離開的位置處，具有加熱器的所述擠壓板通過第二支撐桿，被支撐在與所述安裝板離開的位置處。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。由以上技術(shù)方案可知，為了達(dá)到前述發(fā)明目的，本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容如下如果采用根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置，可以通過該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)，由氣密滑動機(jī)構(gòu)確保下側(cè)固定框體與上側(cè)移動框體之間的氣密性，在由下側(cè)固定框體、上側(cè)移動框體、基臺、安裝板分割出的空間處形成隔離腔室隔離室，而且可以通過與真空裝置相連接的吸氣孔對該隔離腔室隔離室實施真空吸氣，通過安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置在加熱真空條件下，對放置在承載臺處的被加工品實施壓力加工作業(yè)。
根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置，可以使形成隔離腔室隔離室用的框體(下側(cè)固定框體、上側(cè)移動框體、氣密滑動機(jī)構(gòu))按照與具有加熱器的加熱部相距一定間隔的方式配置，所以不會直接受到處于高熱狀態(tài)的加熱部的影響。因此，根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置，可以在諸如300～400℃或更高溫度下實施真空壓力加工。作為本發(fā)明的一種更具體的實施形式，還可以使具有保持隔離腔室隔離室內(nèi)部氣密性用的0型環(huán)之類的密封襯墊的隔離腔室隔離室形成用的框體，設(shè)置在不與加熱部相接觸，與加熱部相分離的位置處，從而不會受到處于高熱狀態(tài)的加熱部的直接影響。
而且，可以相對于基臺對安裝板實施加工，從而可以利用基臺、安裝板、下側(cè)固定框體和上側(cè)移動框體形成真空隔離腔室真空隔離室，將形成隔離腔室隔離室的上下寬度和隔離腔室隔離室的平面形狀限制為最小，以形成非常窄小的真空用隔壁。因此，與在先前技術(shù)中的裝置相比較，可以使真空泵小型化，進(jìn)而可以形成主體裝置被大幅度小型化、輕型化的裝置。
如果舉例來說，本發(fā)明特別適用于以下述加工作業(yè)作為對象的場合。
①如同對于在粘貼在陶瓷板上的薄型銅板處或在不銹鋼板處形成腐蝕加工電路的表面處，對諸如聚酰亞胺等等的耐熱薄膜通過諸如耐熱粘接劑和聚酰亞胺等的同質(zhì)材料實施熔融粘接的場合，對耐熱溫度比較高的多功能薄膜疊層板實施的粘貼作業(yè)；②以在陶瓷板上形成多數(shù)個呈薄膜疊層狀的電容器和電阻器等等的芯片，以及在其上熔融包繞有熱硬化型粉體樹脂的封裝型模塊為目的的粉體成型作業(yè)；③對各種工程塑料在真空條件下實施的加熱壓力成型作業(yè)。
經(jīng)由上述可知，本發(fā)明是關(guān)于一種具有窄小真空隔離腔室真空隔離室的、不會對密封襯墊造成損傷且能夠在真空隔離腔室真空隔離室內(nèi)實施真空條件下的加熱加壓作業(yè)的加熱型真空壓力加工裝置。下側(cè)固定框體和上側(cè)移動框體形成為隔離腔室隔離室的側(cè)壁，氣密滑動機(jī)構(gòu)確保著下側(cè)固定框體與上側(cè)移動框體之間的氣密性，因此采用這種構(gòu)成方式，可以在由下側(cè)固定框體、上側(cè)移動框體、基臺和安裝板分割出的空間處形成為隔離腔室隔離室。包繞著被加工品用加熱承載臺的下側(cè)固定框體，按照與承載臺相距一定間隔的方式配置在基臺上，上側(cè)移動框體按照與擠壓板相距一定距離且包繞著擠壓板的方式，由該安裝板處垂下設(shè)置。通過對隔離腔室隔離室實施真空吸氣，使擠壓板下降的方式，可以在高溫真空條件下，使用低推力對位于承載臺上的被加工品實施加熱加壓作業(yè)。這種裝置適用于對耐熱溫度比較高的多功能薄膜疊層板實施粘貼等等的作業(yè)場合。
借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明特殊結(jié)構(gòu)的加熱型真空壓力加工裝置，其具有上述諸多的優(yōu)點及實用價值，并在同類產(chǎn)品中未見有類似的結(jié)構(gòu)設(shè)計公開發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在結(jié)構(gòu)上或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有較大的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實用的效果，且較現(xiàn)有的加熱型真空壓力加工裝置具有增進(jìn)的多項功效，從而更加適于實用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價值，誠為一新穎、進(jìn)步、實用的新設(shè)計。
上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，以下特舉多個較佳實施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。


圖1為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第一實施形式用的部分剖面的示意性整體正面圖。
圖2為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第二實施形式用的部分剖面的示意性整體正面圖。
圖3為說明如圖2所示裝置的運行動作用的示意性說明圖，表示的是真空腔室隔離室處于形成狀態(tài)時的示意圖。
圖4為說明如圖2所示裝置的運行動作用的示意性說明圖，表示的是被加工品處于加熱加壓狀態(tài)時的示意圖。
圖5為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第三實施形式用的部分剖面的示意性整體正面圖。
圖6為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第四實施形式用的部分剖面的示意性整體正面圖。
圖7為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第五實施形式用的部分剖面的示意性整體正面圖。
圖8為說明如圖7所示裝置的運行動作用的示意性說明圖，其中圖8a和圖8b分別表示的是形成真空腔室隔離室用的工序和上側(cè)移動框體的下側(cè)端面與下側(cè)固定框體的上側(cè)端面相互抵接以實施真空吸氣用的工序。
圖9為說明如圖7所示裝置的運行動作用的示意性說明圖，其中圖9a和圖9b分別表示的是對被加工品實施加壓用的工序和將安裝板提起用的工序。
圖10為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第六實施形式用的部分剖面的示意性整體正面圖。
圖11為說明如圖10所示裝置的運行動作用的示意性說明圖，其中圖11a和圖11b分別表示的是形成真空腔室隔離室用的工序和上側(cè)移動框體的下側(cè)端面與下側(cè)固定框體的上側(cè)端面相互抵接以實施真空吸氣用的工序。
圖12為說明如圖10所示裝置的運行動作用的示意性說明圖，其中圖12a和圖12b分別表示的是對被加工品實施加壓用的工序和將安裝板提起用的工序。
圖13為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第七實施形式用的部分剖面的示意性整體正面圖。
具體實施例方式
為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效、以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的加熱型真空壓力加工裝置其具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
(1)基臺，被加工品承載臺被加工品承載臺由其上面包含有設(shè)置通常呈薄板狀的被加工品用的設(shè)置面的承載臺部，以及將該承載臺部支撐在基臺上的支撐桿構(gòu)成。在支撐桿和承載臺之間亦可以安裝有隔熱板。可以在承載臺部內(nèi)裝有加熱器，還可以使承載臺表面部與位于其內(nèi)側(cè)的加熱板粘貼形成為一體。
而且，可以將支撐桿固定在支撐板處，由支撐板與支撐桿和承載臺構(gòu)成為一體的組合體，從而可以通過支撐板將該組合體固定在基臺處。采用這種構(gòu)成方式，可以使將承載臺固定至基臺的作業(yè)簡單化。
(2)擠壓板，安裝板，安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置，上側(cè)移動框體安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置可以固定在真空壓力加工裝置上諸如框體等等的機(jī)體處，并通過該驅(qū)動裝置使安裝板和擠壓板上下運動。擠壓板由安裝板處垂下設(shè)置，上側(cè)移動框體按照與擠壓板相距一定距離且包繞著擠壓板的方式由該安裝板處垂下設(shè)置?！鞍惭b板·擠壓板驅(qū)動裝置”、“垂下設(shè)置”、“垂下”包括下述實施形式。
①使安裝板直接與安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置相連接，并將擠壓板和上側(cè)移動框體直接固定在安裝板處。
②將安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置動作連接在擠壓板處，當(dāng)擠壓板朝向下側(cè)移動時，使安裝板隨之朝向下側(cè)移動，當(dāng)擠壓板通過該驅(qū)動裝置朝向上側(cè)移動時，使安裝板隨之朝向上側(cè)移動。對于這種場合，固定在安裝板處的上側(cè)移動框體可以隨安裝板一并移動，也可以隨擠壓板一并移動。
擠壓板可以通過支撐桿由安裝板處垂下設(shè)置。在支撐桿與安裝板之間，或是在支撐桿與擠壓板之間還可以安裝有放熱板。對于為前者的場合，可以將安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置與該放熱板相連接。擠壓板可以內(nèi)裝有加熱器，也可以使擠壓板部與位于其內(nèi)側(cè)的加熱板粘合為一體。
(3)吸氣孔，真空裝置吸氣孔可以通過真空裝置對隔離腔室隔離室內(nèi)部實施真空吸氣的話，舉例來說，可以設(shè)置在構(gòu)成隔離腔室隔離室的安裝板、基臺、上側(cè)移動框體、下側(cè)固定框體、滑動框體的任意一處。
下面，以舉例形式給出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的若干最佳實施形式。對這些構(gòu)成形式根據(jù)需要進(jìn)行組合獲得的實施形式不會產(chǎn)生特別的矛盾，它們也是本發(fā)明的最佳實施形式。
(1)使所述氣密滑動機(jī)構(gòu)由設(shè)置在下側(cè)固定框體的上側(cè)端部處端部的氣密滑動部和設(shè)置在上側(cè)移動框體的對應(yīng)下側(cè)端部處端部的氣密滑動部構(gòu)成，可以通過在下側(cè)固定框體上側(cè)端部處端部的氣密滑動部和上側(cè)移動框體下側(cè)端部處端部的氣密滑動部間的氣密性滑動運動，確保下側(cè)固定框體與上側(cè)移動框體之間的氣密性，所述安裝板·擠壓板驅(qū)動機(jī)構(gòu)并用作為所述滑動機(jī)構(gòu)。氣密滑動部的形狀只要能夠確保在下側(cè)固定框體上側(cè)端部處端部的氣密滑動部和上側(cè)移動框體下側(cè)端部處端部的氣密滑動部間的氣密性滑動運動即可，本發(fā)明并未限制為特定的形狀。如果舉例來說，可以呈凹部和凸部的組合構(gòu)成形式。對于這種場合，可以利用形成隔壁的下側(cè)固定框體和上側(cè)移動框體構(gòu)成氣密滑動機(jī)構(gòu)，所以還可以使裝置的構(gòu)造簡單化。
(2)還可以使氣密滑動機(jī)構(gòu)為以可上下自由滑動方式，嵌入安裝在下側(cè)固定框體或上側(cè)移動框體中一個的外側(cè)周面外周面的周部處的滑動框體，該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)為驅(qū)動該滑動框體上下滑動移動的滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)，通過使用該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)使滑動框體滑動移動的方式，可以確保下側(cè)固定框體、滑動框體和上側(cè)移動框體之間的氣密性，并且可以在由下側(cè)固定框體、滑動框體、上側(cè)移動框體、基臺、安裝板分割成的空間處形成隔離腔室隔離室。
僅僅使滑動框體以可上下自由滑動的方式，嵌入安裝在下側(cè)固定框體或上側(cè)移動框體中一個的外側(cè)周面外周面的周部處，在這種狀態(tài)下不能形成真空吸氣的隔離腔室隔離室。可以通過使用滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)使該滑動框體向上或向下滑動移動的方式，確保下側(cè)固定框體、滑動框體和上側(cè)移動框體之間的氣密性，從而可以在由下側(cè)固定框體、滑動框體、上側(cè)移動框體、基臺、安裝板分割成的空間處形成隔離腔室隔離室。
如果采用作為本實施形式的加熱型真空壓力加工裝置，可以通過該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動該滑動框體滑動移動的方式，確保下側(cè)固定框體、滑動框體和上側(cè)移動框體之間的氣密性，并且在由下側(cè)固定框體、滑動框體、上側(cè)移動框體、基臺、安裝板分割成的最小空間處形成隔離腔室隔離室，從而可以通過與真空裝置相連接的吸氣孔對該隔離腔室隔離室實施真空吸氣，在真空加熱狀態(tài)下，通過安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置對放置在承載臺處的被加工品實施壓力加工。
可以至少使位于滑動框體的開放端部處端部的內(nèi)周面，呈可以相對相應(yīng)的上側(cè)移動框體或下側(cè)固定框體的外周面緊密滑動的構(gòu)成形狀。對于這種場合，可以在相對應(yīng)的上側(cè)移動框體或下側(cè)固定框體的外周面的開放端部處端部設(shè)置有臺階部，并且使滑動框體的內(nèi)周面呈可以相對該臺階部的外周面緊密滑動的構(gòu)成形狀。如果舉例來說，可以在上述上側(cè)移動框體的下端部處端部形成臺階部，滑動框體上升時不與上側(cè)移動框體的外周面滑動連接，而是使滑動框體的上端部與該臺階部滑動凸凹連接。還可以在滑動框體側(cè)設(shè)置臺階部，以與上側(cè)移動框體或下側(cè)固定框體的開放端部氣密性滑動。
滑動框體驅(qū)動裝置可以安裝在諸如基臺或基臺上方處的框體處，并且由與滑動框體相連接或通過動作連接的連接桿，以及為使連接桿上下運動而壓上或壓下的汽缸等等驅(qū)動源構(gòu)成。
(3)還可以使擠壓板與安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置相連接，當(dāng)該擠壓板朝向下側(cè)移動時，使上側(cè)移動框體和安裝板隨之朝向下側(cè)移動，在壓力加工位置處使上側(cè)移動框體與下側(cè)固定框體的開放端面彼此抵接，隨后通過該驅(qū)動裝置進(jìn)一步使該擠壓板朝向下側(cè)移動以實施壓力加工，當(dāng)通過該驅(qū)動裝置使該擠壓板朝向上側(cè)移動時，上側(cè)移動框體和安裝板將在擠壓板的作用下朝向上側(cè)移動。
如果采用本實施形式，安裝板、上側(cè)移動框體的重量和對隔離腔室隔離室實施真空吸氣所形成的外壓施加的重量，將通過下側(cè)固定框體施加在基臺處。對于這種場合，還可以通過使安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置預(yù)先產(chǎn)生一定負(fù)壓(背壓)的方式，對安裝板、擠壓板、上側(cè)移動框體的重量和對隔離腔室隔離室實施真空吸氣所形成的外壓施加重量實施支撐，從而不需要可以通過與該負(fù)壓間形成的壓差，對被加工品實施真空壓力加工。因此，可以通過安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置，在低加壓條件下對擠壓板相對被加工品的推進(jìn)力實施微小調(diào)整。
(4)所述安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置可以由高推力驅(qū)動裝置和低推力驅(qū)動裝置構(gòu)成，當(dāng)所述擠壓板朝向下側(cè)移動時，上側(cè)移動框體和安裝板將隨之朝向下側(cè)移動，在壓力加工位置處使上側(cè)移動框體與下側(cè)固定框體的開放端面彼此抵接，通過該低推力驅(qū)動裝置進(jìn)一步使該擠壓板朝向下側(cè)移動以實施壓力加工，反之當(dāng)隔離腔室隔離室的真空狀態(tài)被破壞之后，通過高推力驅(qū)動裝置使該擠壓板朝向上側(cè)移動，且通過該擠壓板使該上側(cè)移動框體和該安裝板朝向上側(cè)移動。
還可以使安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置采用分別具有使擠壓板、上側(cè)移動框體和安裝板朝向上側(cè)移動的高推力驅(qū)動裝置，和實施壓力加工的低推力驅(qū)動裝置這兩種功能的推進(jìn)力驅(qū)動裝置，所以可以在上述實施形式(3)所具有的技術(shù)效果之上，還具有使裝置整體的作業(yè)平滑，并且能夠在低壓下對擠壓板相對被加工品的推進(jìn)力實施微小調(diào)整的效果。
(5)還可以使擠壓板在施力組件施力裝置的作用下承受向上的施力，當(dāng)該擠壓板與被加工品相抵接時，在該施力組件施力裝置的作用下，使真空狀態(tài)下的擠壓板和所述加熱器的重量不施加被加工品上。
當(dāng)該擠壓板與被加工品抵接時，在該施力組件施力裝置的作用下，不會將擠壓板和所述加熱器的重量施加在被加工品上，所以可以通過低推力驅(qū)動裝置在低壓力施加的條件下，對擠壓板相對被加工品的推進(jìn)力實施精度更加良好的微小調(diào)整。
(6)施力組件施力裝置可以為平衡彈簧。對于這種場合，具有加熱器的擠壓板可以由平衡彈簧提起，平衡彈簧實施與下降距離相吻合的初始調(diào)整，進(jìn)而可以使當(dāng)該擠壓板與被加工品預(yù)先抵接時，在該施力組件施力裝置作用下不使真空條件下的擠壓板和所述加熱器的重量施加在被加工品處。
(7)高推力驅(qū)動裝置和低推力驅(qū)動裝置可以分別為高推力汽缸機(jī)構(gòu)和低推力汽缸機(jī)構(gòu)，而且可以將高推力汽缸機(jī)構(gòu)和低推力汽缸機(jī)構(gòu)配置在同一軸上。采用使用該高推力汽缸機(jī)構(gòu)和低推力汽缸機(jī)構(gòu)，且使它們配置在同一軸上的方式，可以使真空壓力加工裝置的構(gòu)成簡單化。
(8)施力組件施力裝置可以為背壓汽缸機(jī)構(gòu)，而且高推力驅(qū)動裝置和低推力驅(qū)動裝置分別為高推力汽缸機(jī)構(gòu)和低推力汽缸機(jī)構(gòu)，高推力汽缸機(jī)構(gòu)、低推力汽缸機(jī)構(gòu)和背壓汽缸機(jī)構(gòu)配置在同一軸上。采用這種構(gòu)成方式，可以使能夠在施加低壓力的條件下，對擠壓板相對被加工品的推進(jìn)力實施精度更加良好的微小調(diào)整的真空壓力加工裝置的構(gòu)成要素簡單化。
(9)還可以使驅(qū)動裝置為伺服電動機(jī)機(jī)構(gòu)?？梢詢H僅通過對伺服電動機(jī)機(jī)構(gòu)的設(shè)定，使高推力驅(qū)動裝置和低推力驅(qū)動裝置統(tǒng)一運動，所以可以獲得上述實施形式(4)～(6)的技術(shù)效果。
(10)可以使下側(cè)固定框體的外面形狀與所述上側(cè)移動框體的外面形狀大體相同，使所述滑動框體的內(nèi)側(cè)面內(nèi)面與所述下側(cè)固定框體的外側(cè)面外面和所述上側(cè)移動框體的外側(cè)面外面間可實施氣密性滑動運動。采用這種構(gòu)成方式，滑動框體可以在下側(cè)固定框體和上側(cè)移動框體間平滑地滑動。下側(cè)固定框體的外面形狀與上側(cè)移動框體的外面形狀可以呈大體相同的圓筒形狀，而且所述滑動框體的內(nèi)側(cè)面內(nèi)面與所述下側(cè)固定框體的外側(cè)面外面可以呈能夠與所述上側(cè)移動框體的外側(cè)面外面間實施氣密性滑動的圓筒形狀。
(11)還可以在下側(cè)固定框體和上側(cè)移動框體中的一個開放端面開放端部的外方向部位處外方向部設(shè)置有臺階部，所述滑動框體的端部通過滑動與該臺階部處臺階部氣密性抵接。采用這種構(gòu)成方式，可以僅僅對臺階部按照能夠與滑動框體間實現(xiàn)氣密性滑動的方式實施加工，所以可以通過更簡單的方式形成氣密構(gòu)成。
(12)滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)可以安裝在基臺處，使滑動框體通過連接桿在該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)的作用下上下運動。對于這種場合，隔離腔室隔離室形成前的滑動框體位于下側(cè)固定框體側(cè)或上側(cè)移動框體側(cè)中的一個位置處，在隔離腔室隔離室形成時使滑動框體朝向上側(cè)方向或下側(cè)方向移動。
(13)還可以使承載臺和下側(cè)固定框體通過滑動工作臺置安裝在基臺上，所述滑動框體以可上下滑動的方式，嵌入安裝在下側(cè)固定框體的外側(cè)周面外周面的周部處，該滑動工作臺可以通過滑動工作臺移動單元，將設(shè)置在該承載臺上的被加工品在被加工品設(shè)置位置和對該被加工品實施壓力加工的壓力加工待機(jī)位置間移動。如果采用這種構(gòu)成方式，可以在位于壓力加工待機(jī)位置外側(cè)的被加工品設(shè)置位置處，實施被加工品相對承載臺的供給和取出作業(yè)，所以可以在更廣闊和安全的場所，迅速且容易地實施對被加工品的供給和取出。
(14)還可以使承載臺、下側(cè)固定框體、滑動框體、滑動工作臺上的臺面板構(gòu)成為組合體，固定在滑動工作臺移動單元處，該組合體可以通過該滑動工作臺移動單元，在被加工品設(shè)置位置與壓力加工待機(jī)位置之間移動。利用具有這種構(gòu)成形式的組合體，可以通過簡單的方式使被加工品在被加工品設(shè)置位置與壓力加工待機(jī)位置之間移動。
(15)還可以使所述連接桿通過所述臺面板保持在所述基板上方，所述滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有位于基臺之下朝向上部突出的突起桿，所述組合體在處于壓力加工待機(jī)位置時，可利用該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)使該連接桿在該突起桿的作用下，使所述滑動框體朝向上方移動。
(16)還可以使具有加熱器的所述承載臺通過第一支撐桿，被支撐在與所述基臺離開的位置處，使具有加熱器的所述擠壓板通過第二支撐桿，被支撐在與所述安裝板離開的位置處。
(17)還可以使具有加熱器的所述承載臺通過第一支撐桿，被支撐在與所述臺面板離開的位置處，使具有加熱器的所述擠壓板通過第二支撐桿，被支撐在與所述安裝板離開的位置處。
(18)還可以使第一支撐桿通過隔熱板支撐在所述基臺處，使該第二支撐桿通過隔熱板支撐在所述安裝板處。
下面參考附圖，對根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的裝置的實施形式進(jìn)行說明。
請參閱圖1所示，為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的一種實施形式的整體用的部分剖面的示意性正面圖。如圖所示，在基臺1的上側(cè)方向處，通過支撐柱2固定著機(jī)架部3，在機(jī)架部3的上側(cè)處固定著汽缸機(jī)構(gòu)4。汽缸機(jī)構(gòu)4由汽缸4-1，以可滑動方式收裝在汽缸4-1內(nèi)的活塞4-2，以及與活塞4-2相連接的桿型部件4-3構(gòu)成，桿型部件4-3的下側(cè)端部還通過機(jī)架部3，固定在處于水平狀態(tài)的安裝板5的中心部處。通過垂直固定著的若干個支撐桿6，在該安裝板5的下側(cè)處還依次固定有隔熱板7、上側(cè)加熱板8和擠壓板9。采用這種構(gòu)成方式，可以通過上述汽缸機(jī)構(gòu)4的運行，使處于水平狀態(tài)的擠壓板9上下運動。
在基臺1的上方處，還如圖所示，通過支撐桿6安裝有作為下側(cè)模具夾具的承載臺10、下側(cè)加熱板11和隔熱板12，承載臺10與作為位于正上方的上側(cè)模具夾具的擠壓板9相對設(shè)置。承載臺10的上側(cè)面沿前后左右比擠壓板9的下側(cè)面更為寬大。
下側(cè)固定框體(下側(cè)框體)13呈構(gòu)成平面方形(或圓形)的筒形形狀，按照由外側(cè)包繞著上述承載臺10的方式，在與該承載臺10相距一定距離的位置處直立固定設(shè)置在基臺1上。下側(cè)固定框體13構(gòu)成為如后所述的真空隔離腔室真空隔離室25的下側(cè)壁部。
上側(cè)移動框體(上側(cè)框體)14按照由外側(cè)包繞著擠壓板9的方式，在與擠壓板9相距一定距離的位置處垂直固定在安裝板5的下側(cè)面處。上側(cè)移動框體可以在汽缸機(jī)構(gòu)4的驅(qū)動作用下，與擠壓板9共同進(jìn)行上下運動。上側(cè)移動框體14呈與上述下側(cè)固定框體13大體吻合的形狀和大小的筒形形狀，并且使上側(cè)移動框體14的下側(cè)端面與下側(cè)固定框體13的上側(cè)端面彼此相對。上側(cè)移動框體14構(gòu)成為如后所述的真空隔離腔室真空隔離室25的上側(cè)壁部。
確保下側(cè)固定框體與上側(cè)移動框體間的氣密性用的氣密滑動機(jī)構(gòu)，由設(shè)置在下側(cè)固定框體13的上側(cè)端部面處的氣密滑動部13a，和設(shè)置在上側(cè)移動框體14的相對下側(cè)端部面處的氣密滑動部14a構(gòu)成，通過下側(cè)固定框體上側(cè)端部面處的氣密滑動部13a和上側(cè)移動框體下側(cè)端部面處的氣密滑動部14a間的氣密滑動，可以確保下側(cè)固定框體和上側(cè)移動框體間的氣密性。對于采用本實施形式的場合，是采用汽缸機(jī)構(gòu)4，一并作為驅(qū)動氣密滑動機(jī)構(gòu)用的滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)的。
在本實施形式中，空氣吸氣孔22為在位于上方的安裝板5的一部分處形成的開口，該吸氣孔22與諸如油泵等等的真空泵(圖中未示出)相連接，當(dāng)形成如后所述的隔離腔室隔離室25時，可以對該隔離腔室隔離室25內(nèi)的空氣實施吸引以形成高真空。
為了能夠提高隔離腔室隔離室25的氣密性，在下側(cè)固定框體13和上側(cè)移動框體14的需要部位處，還設(shè)置有諸如浸入有油脂的0型環(huán)24等等的密封襯墊，在下側(cè)固定框體13和上側(cè)移動框體14的內(nèi)面處配置有諸如陶瓷板等等的隔熱板26。對于本實施形式，在基臺1和安裝板5間還配置有支撐板27。
采用具有上述構(gòu)成形式的加熱型真空壓力加工裝置，對于諸如在電路基板上使用耐熱型粘接劑對耐熱薄膜實施粘貼的場合等等的，在承載臺10上通過高溫加熱加壓，在高真空狀態(tài)下對被加工品23實施壓力加工的場合，可以首先對汽缸機(jī)構(gòu)4實施驅(qū)動使安裝板下降，通過使設(shè)置在下側(cè)固定框體上側(cè)端部面處的氣密滑動部13a的一部分，與設(shè)置在上側(cè)移動框體下側(cè)端部面處的氣密滑動部14a的一部分間氣密性滑動的方式，確保下側(cè)固定框體和上側(cè)移動框體間的氣密性，并且形成由基臺1、安裝板5、下側(cè)固定框體13和上側(cè)移動框體14包繞著的隔離腔室隔離室25。對于這種狀態(tài)，擠壓板9還未與被加工品23相接觸。而且在實施壓力加工之前，可通過汽缸機(jī)構(gòu)形成的負(fù)壓，對包含安裝板的上部部件的重量實施支撐。
在形成隔離腔室隔離室25的同時，真空泵(圖中未示出)通過安裝板5處的空氣吸氣孔22實施真空吸氣，以在隔離腔室隔離室25內(nèi)形成高真空，并且通過汽缸機(jī)構(gòu)的進(jìn)一步動作，使設(shè)置在上側(cè)移動框體下側(cè)端部面處的氣密滑動部14a在設(shè)置在下側(cè)固定框體上側(cè)端部面處的氣密滑動部13a處滑動，同時使擠壓板9下降。最后，擠壓板9在高真空狀態(tài)下對位于承載臺10上的被加工品23實施加壓處理。采用這種方式，可以通過加熱至高溫(比如說300～400℃)的上側(cè)、下側(cè)加熱板8、11實施的熱傳導(dǎo)，在加熱狀態(tài)下實施加壓處理，從而可以按照諸如完全不含有氣泡的方式將耐熱薄膜熱壓接在電路基板上，對被加工品23實施預(yù)定的壓力加工作業(yè)。
如果采用本實施形式，可以在隔離腔室隔離室處于高真空的狀態(tài)下對熱傳導(dǎo)實施真空阻斷，使下側(cè)固定框體13和上側(cè)移動框體14處的各密封襯墊24與加熱板8、11處分開，并且使用有隔熱板26，所以密封襯墊不會到達(dá)高溫。即使加熱部達(dá)到諸如300～400℃，密封襯墊部24也會處于200℃以下，所以可以充分的利用采用諸如氟化橡膠等等的常規(guī)耐熱橡膠襯墊時所可以發(fā)揮出的技術(shù)效果。
在真空加熱壓力加工處理結(jié)束后，將真空吸氣孔朝向外部大氣打開，隨后通過驅(qū)動裝置4向上側(cè)提起包含安裝板5的上部移動部件，打開隔離腔室隔離室25，取出實施壓力加工后的制品，再放置入需要加工的被加工品，重復(fù)上述操作。
請參閱圖2、圖3和圖4所示。圖2為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第二實施形式的整體用的部分剖面的示意性正面圖。圖3和圖4為說明其動作用的示意性說明圖。與圖1中的部件為相同或類似的部件，附加有相同的參考標(biāo)號，并省略了對其進(jìn)行的詳細(xì)說明。
在本實施形式中，氣密滑動機(jī)構(gòu)是以可以沿上下方向自由滑動的方式，嵌入安裝在下側(cè)固定框體13的外側(cè)周面外周面的周部處的滑動框體15，滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)是可以使該滑動框體上下滑動移動的滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)16，通過該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)16對滑動框體15實施的滑動驅(qū)動，可以確保在下側(cè)固定框體13、滑動框體15和上側(cè)移動框體14間的氣密性，并且可以利用由下側(cè)固定框體13、滑動框體15、上側(cè)移動框體14、基臺1、安裝板5包繞成的空間形成隔離腔室隔離室25。采用本實施形式，在下側(cè)固定框體的上側(cè)端部面和上側(cè)移動框體的相對下側(cè)端部面處，將不再需要如圖1所示的氣密滑動機(jī)構(gòu)。
如果更具體的說就是，向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16配置在基臺1的下側(cè)方向處，并且由汽缸16-1，可以在汽缸16-1內(nèi)滑動的活塞16-2，以及按照由其上側(cè)端部固定在基臺1的下側(cè)面處、下側(cè)端部呈平面方形的擠壓板19處貫穿通過的方式固定在活塞16-2處的桿型部件16-3構(gòu)成，而且，向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16與位于上側(cè)的壓力加工用汽缸機(jī)構(gòu)4的軸心同軸設(shè)置。
四根連接桿20貫穿通過基臺1，對形成在滑動框體15的下側(cè)外邊緣周部處的外向邊緣21的四個角部和位于下側(cè)方向處的擠壓板19的四個角部實施連接。位于下側(cè)方向處的向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16按照使驅(qū)動桿型部件16-3通過活塞16-2出入運行的方式，使擠壓板19上下移動，并通過連接桿20，使滑動框體15沿下側(cè)固定框體上下滑動。
采用具有上述構(gòu)成形式的加熱型真空壓力加工裝置，對于諸如在電路基板上使用耐熱型粘接劑對耐熱薄膜實施粘貼的場合等等的，在承載臺10上通過高溫加熱加壓，在高真空狀態(tài)下對被加工品23實施壓力加工的場合，可以首先使向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16動作，牽引桿型部件16-3，通過擠壓板19、連接桿20，使滑動框體15沿下側(cè)固定框體13的外側(cè)周部滑動上升，在與上側(cè)移動框體14的外側(cè)周面外周面抵接之后，通過滑動上升的滑動框體15對下側(cè)固定框體13和上側(cè)移動框體間實施完全閉塞。采用這種方式，可以形成由基臺1、安裝板5、下側(cè)固定框體13、上側(cè)移動框體14和滑動框體15包繞著的隔離腔室隔離室25(參見圖3)。正如圖3所示，安裝板5在朝上側(cè)承受施力的狀態(tài)下，沿垂直方向保持在一定位置處。
在形成隔離腔室隔離室的同時，真空泵(圖中未示出)通過安裝板5處的空氣吸氣孔22實施真空吸氣(參見圖3)，以在隔離腔室隔離室25內(nèi)形成高真空，并且這一次是通過位于上方的汽缸機(jī)構(gòu)動作，使擠壓板9下降。當(dāng)擠壓板9下降時，上側(cè)移動框體14沿著滑動框體15的內(nèi)面密封滑動下降，最終在高真空狀態(tài)下，由擠壓板9對位于承載臺10上的被加工品23實施加壓處理。采用這種方式，可以通過由加熱至高溫(比如說300～400℃)的上側(cè)、下側(cè)加熱板8、11實施的熱傳導(dǎo)進(jìn)行加熱狀態(tài)下，實施加壓處理，從而可以按照諸如完全不含有氣泡的方式將耐熱薄膜熱壓接在電路基板上，對被加工品23實施預(yù)定的壓力加工作業(yè)(參見圖4)。包含上側(cè)移動框體和加熱擠壓板的上側(cè)移動部的重量，是由在汽缸機(jī)構(gòu)4實施壓力切換時排氣側(cè)(活塞側(cè))的空氣產(chǎn)生阻滯作用，使其緩緩排氣和下降，或是在其下降的過程中實施支撐(實施排氣阻塞)，也可以使活塞下側(cè)處的油脂保持微速進(jìn)入，或是在中途停止其進(jìn)入(實施液體阻塞)。
如果采用本實施形式，可以使下側(cè)固定框體13、上側(cè)移動框體14和滑動框體15處的各密封襯墊24由加熱板8、11處離開，并且使用有隔熱板7、12和放熱板26，所以密封襯墊不會到達(dá)高溫。即使加熱部達(dá)到諸如300～400℃，密封襯墊24也會處于200℃以下，所以可以充分的利用采用諸如氟化橡膠等等的常規(guī)耐熱橡膠襯墊時所可以發(fā)揮出的技術(shù)效果。
請參閱圖5所示，為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第三實施形式用的示意圖。當(dāng)滑動框體在向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16的驅(qū)動下上升時，不與位于上側(cè)的上側(cè)移動框體14的外側(cè)周面外周面相抵接，而是使相對形成在該上側(cè)移動框體14的下側(cè)端部的外周部處的臺階部14a與滑動框體15的上側(cè)端部密封滑動抵接，并通過這種方式形成隔離腔室隔離室25。
當(dāng)采用這種方式形成隔離腔室隔離室25時，由直立設(shè)置著的安裝板5處的吸氣孔22實施真空吸氣的同時，在汽缸機(jī)構(gòu)4的作用下使擠壓板9下降。在這時，汽缸機(jī)構(gòu)4也可以處于開放狀態(tài)(off)。由于隔離腔室隔離室25的內(nèi)部處內(nèi)部于高真空狀態(tài)，所以可以減小滑動框體15在自重的作用下下降的可能性，但是由于向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16持續(xù)的朝向滑動框體15上升的方向驅(qū)動，因此亦可以緩緩進(jìn)行排氣作業(yè)。由于汽缸機(jī)構(gòu)4的壓力遠(yuǎn)大于向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16，所以上側(cè)移動框體14可以抑制向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16的作用，壓下滑動框體15。
采用這種方式，可以在隔離腔室隔離室25的內(nèi)部保持高真空的狀態(tài)下，由擠壓板9在高溫加熱狀態(tài)下對放置在承載臺10上的被加工品23實施加壓處理，以對被加工品23實施諸如熱壓接等等的預(yù)定壓力加工作業(yè)。
請參閱圖6所示，為表示本發(fā)明第四實施形式用的示意圖。第一實施形式至第三實施形式在由作為下側(cè)模具夾具的承載臺10上，對被加工品23實施供給和取出時，需要在擠壓板朝向上側(cè)回避開的狀態(tài)下，在處于加熱狀態(tài)的擠壓板和承載臺之間進(jìn)行。雖然其處于開放狀態(tài)，然而該間隔空間相當(dāng)小，仍有產(chǎn)生燙傷等等作業(yè)上的危險。如果采用本第四實施形式，設(shè)置在基臺1上的承載臺10和下側(cè)加熱板11、下側(cè)固定框體13、滑動框體15等的下方組合體，可以被水平移動至位于壓力加工待機(jī)位置A的外側(cè)處的被加工品設(shè)置位置B處。因此，可以在更廣闊和安全的被加工品設(shè)置位置處，迅速且容易地實現(xiàn)對被加工品23的供給和取出作業(yè)。
正如圖6所示，滑動工作臺31配置在位于基臺1上的導(dǎo)向臺32上，在上述導(dǎo)向臺32的側(cè)端部處端部安裝有水平移動用汽缸33，而且水平移動用汽缸33的桿型部件前端固定在滑動工作臺31的沿移動方向相反側(cè)的端部處端部。通過對水平移動用汽缸33實施驅(qū)動的方式，可以使滑動工作臺31在導(dǎo)向臺32上，沿水平方向在位于汽缸機(jī)構(gòu)4下側(cè)方向處的壓力加工待機(jī)位置A和被加工品設(shè)置位置B之間移動。
工作臺面板34按照比滑動工作臺31沿紙面前后左右方向延伸出的方式，固定在該滑動工作臺31上，在工作臺面板34上還與如圖2所示的實施形式相類似，設(shè)置有具有下側(cè)加熱板11的承載臺10和位于其外側(cè)處的下側(cè)固定框體13、滑動框體15。垂直固定在滑動框體15的外向邊緣21處的連接桿20，由工作臺面板34的前后延伸部處貫穿通過，其下端部通過壓縮彈簧35施力于基臺上側(cè)面處，使得滑動框體保持朝向下側(cè)方向施力。
四根突起桿36由擠壓板19的四個角部直立設(shè)置，其前端部插入在位于基臺1處的貫穿孔處，與連接桿20的下側(cè)端面相抵接。通過位于下方的向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16實施的驅(qū)動，按照使汽缸活塞16-2由汽缸16-1處出入的方式，可以通過桿型部件16-3使擠壓板19上下移動，使突起桿上下移動，進(jìn)而通過連接桿20使滑動框體15沿下側(cè)固定框體上下滑動。
如果采用如圖6所示的真空壓力加工裝置，可以首先使位于側(cè)方向處的水平移動用汽缸33的活塞伸出，將滑動工作臺31由位于汽缸機(jī)構(gòu)4之下的壓力加工待機(jī)位置A，平滑移動至位于外側(cè)的被加工品設(shè)置位置B處(朝向圖6中的左側(cè))，在這里將被加工品23設(shè)置在承載臺10上。隨后，通過上述水平移動用汽缸機(jī)構(gòu)33使汽缸機(jī)構(gòu)4朝向正下方返回，通過各連接桿20和突起桿36間的抵接位置使向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16作用下的突起桿36，以及通過連接桿20使位于下側(cè)固定框體13的外側(cè)周部處的滑動框體15滑動上升，進(jìn)而使滑動框體15的上部與上側(cè)移動框體14的外側(cè)周部抵接滑動，在其內(nèi)側(cè)形成隔離腔室隔離室25。隨后，通過真空吸氣方式在隔離腔室隔離室25的內(nèi)部形成高真空，同時在汽缸機(jī)構(gòu)4的驅(qū)動作用下使擠壓板9下降，對位于承載臺10上的被加工品23實施預(yù)定的加熱加壓處理作業(yè)。
而且，對于如圖6所示的裝置，還可以不采用通過滑動框體15的上升與上側(cè)移動框體14的外周面滑動連接的方式，而是象如圖5所示的裝置那樣，當(dāng)然可以采用在上側(cè)移動框體14的下周邊緣處形成臺階部，使滑動框體15的上側(cè)端部在該臺階部處臺階部形成凸凹?xì)饷芑瑒拥臉?gòu)成形式。
當(dāng)預(yù)定的壓力加工作業(yè)結(jié)束時，將大氣壓力導(dǎo)入至隔離腔室隔離室25的內(nèi)部，通過向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16沿相反方向的動作(活塞伸長)，利用壓縮彈簧35的彈性力使滑動框體15一直下降至下降端部處端部，隨后再使水平移動用汽缸機(jī)構(gòu)33動作，將滑動工作臺31由壓力加工待機(jī)位置A移動至位于側(cè)方向(左側(cè)方向)處的被加工品設(shè)置位置B處，在這里對在承載臺10上實施過壓力加工的加工后的被加工品23實施取出，并放置入新的被加工品。
作為本發(fā)明的裝置由于具有上述構(gòu)成形式，所以可以在上下側(cè)加熱部彼此離開的位置處，通過可以上下移動的滑動框體簡單地形成高真空的隔離腔室隔離室，而且即使上下側(cè)加熱部處于高溫狀態(tài)，也可以在滑動框體下降后的開放狀態(tài)下，簡單且安全地對制品實施供給和取出作業(yè)。
如圖6所示的裝置，在下側(cè)模具夾具側(cè)還搭載有滑動工作臺，從而可以在壓力加工裝置的外側(cè)位置處自動地將制品供給至承載臺上或由承載臺處取出，所以還可以全自動地進(jìn)行作業(yè)。
請參閱圖7、圖8和圖9所示，圖7為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第五實施形式用的部分剖面的示意性正面圖，圖8a、圖8b和圖9a、圖9b為說明其動作用的示意性說明圖。在本實施形式中，擠壓板通過專用的平衡用汽缸機(jī)構(gòu)向上側(cè)方向施力，所以當(dāng)該擠壓板與被加工品相抵接時，在該平衡用汽缸機(jī)構(gòu)的作用下，并不會將擠壓板和前述加熱部的重量施加在被加工品上。下面，僅對本實施形式的特征部分進(jìn)行說明，并省略了對重復(fù)部分的詳細(xì)說明。
在本實施形式中，配置在支撐機(jī)架部3上的驅(qū)動裝置104，由大口徑的高壓向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1、中口徑的中壓平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2和小口徑的低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3構(gòu)成，這些汽缸機(jī)構(gòu)依次串聯(lián)疊層設(shè)置。各汽缸機(jī)構(gòu)由汽缸、活塞和活塞桿構(gòu)成，而且各活塞桿通過活塞串聯(lián)連接。在本實施形式中，高壓汽缸機(jī)構(gòu)、中壓汽缸機(jī)構(gòu)和低壓汽缸機(jī)構(gòu)是由下至上依次疊層設(shè)置的，然而該順序可以根據(jù)需要任意變更。而且在本實施形式中，各活塞桿是連接固定且呈同軸配置的，然而也可以呈彼此分離的構(gòu)成形式。
安裝板5可以通過支撐板105，在向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1的作用下被提起。如圖所示，在向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1的下端部與支撐板105之間，還通過軸柄(連接部件)107連接，從而使軸柄107可以在安裝板處的貫穿孔中氣密性地自由滑動。在圖中，參考標(biāo)號108表示的是位于支撐機(jī)架部3和安裝板5之間且安裝在導(dǎo)向柱處的壓縮彈簧。
下面，對向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1、中壓汽缸機(jī)構(gòu)104-2和低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3進(jìn)行說明。
由于在真空隔離腔室真空隔離室內(nèi)進(jìn)行預(yù)定的加熱加壓處理，而通過滑動框體的滑動動作破壞了真空狀態(tài)之后，可以通過向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1，對包含安裝板5、上側(cè)移動框體14、支撐板105、支撐桿6、隔熱板7、上側(cè)加熱板8和擠壓板9的全部上側(cè)移動部件實施提起。
中壓平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2可以控制施加背壓(back pressure)，對位于安裝板5的下側(cè)方向處的可移動的移動部，即支撐板105和對其實施支持的支撐桿6、隔熱板7、加熱板8、擠壓板9(以及桿型部件104-1a、軸柄107)等等在真空下的全部重量實施支撐。對于這種場合，平衡用汽缸機(jī)構(gòu)提供的背壓需要比該全部重量大一些，并能夠施加朝向吊起方向的支撐力。中壓平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2可以對上述全部重量實現(xiàn)平衡。
低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3是在真空加熱狀態(tài)下，對位于承載臺10上的被加工品23實施加壓用的組件，由于中壓平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2對諸如擠壓板9等等的全部重量實施著平衡，所以能夠僅僅將低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)提供的加壓力施加在擠壓板9處。
本實施形式特別適用于對于對諸如插卡型IC卡、薄膜蒸鍍型電容器薄膜、薄玻璃型液晶顯示部件、柔軟型陶瓷胚片實施疊層粘貼作業(yè)的場合中，對于不希望出現(xiàn)龜裂破損、性能障礙、厚度尺寸不一、粘接劑溢出等等問題的被加工品進(jìn)行真空壓力加工作業(yè)。
下面，對本實施形式的動作方式進(jìn)行說明。
在首先將被加工品23搭載在承載臺10上之后，對位于下方的向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16實施驅(qū)動，使桿型部件16-3朝向汽缸16-1的方向引導(dǎo)前進(jìn)，通過連接桿20使滑動框體15沿下側(cè)固定框體13的外側(cè)周面外周面滑動上升。滑動框體15在其上側(cè)端部與上側(cè)移動框體14的下側(cè)端部抵接并進(jìn)一步滑動上升，以使下側(cè)固定框體13與上側(cè)移動框體14間完全閉塞。采用這種方式，可以通過基臺1、下側(cè)固定框體13、滑動框體15、上側(cè)移動框體14和安裝板5形成隔離腔室隔離室25。這些內(nèi)容可參見圖8a。
在這種狀態(tài)下，通過平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2提供的背壓，可以使前述上方移動部件浮起，并對向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1和低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3實施打開，通過真空泵(圖中未示出)由安裝板5處的空氣吸氣孔22，對隔離腔室隔離室25的內(nèi)部實施真空吸氣。這樣，上側(cè)移動框體14和安裝板5將由于自身的重量和真空吸引力而下降，使上側(cè)移動框體14的下側(cè)端面與下側(cè)固定框體13的上側(cè)端面相互壓接。這些內(nèi)容可參見圖8b。由于平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2由下方吹入空氣，使得在該平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2處僅賦予較上側(cè)移動框體14更內(nèi)側(cè)處的加熱擠壓板9和支撐板105等等的，使安裝板5和上側(cè)移動框體14單獨上下移動的移動部實施支撐的輸出，所以也不對安裝板5和上側(cè)移動框體14的自重實施支撐，因此位于上方的整個移動部件將在真空吸引力和自重的作用下下降。
即使上側(cè)移動框體14的下側(cè)端面壓接至下側(cè)固定框體13的上側(cè)端面，擠壓板9此時也不與被加工品23相接觸。這些內(nèi)容可參見圖8b。在這種狀態(tài)下，被實施真空吸氣的隔離腔室隔離室25的內(nèi)部處內(nèi)部于高真空狀態(tài)，所以如果在被加工品23中存在有氣泡時，將可以對其實施脫氣處理。
隨后，使向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1保持開放狀態(tài)，對位于上方的小口徑低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3實施驅(qū)動，以對位于安裝板5下側(cè)處的支撐板105朝向下側(cè)方向?qū)嵤毫?，使擠壓板9與被加工品23相接觸，在真空狀態(tài)下實施加熱和低加壓處理。這些內(nèi)容可參見圖9a。在這時，由于擠壓板9和支撐板105等等的重量由平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2實施著保持，所以這些部件在真空下的重量完全不會施加在被加工品23處，所施加的僅僅是低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)的推進(jìn)力。因此，通過對低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)實施適當(dāng)選擇的方式，可以在非常低的壓力狀態(tài)下對被加工品23實施加壓處理。
當(dāng)按照上述方式，對被加工品23實施在低加壓下的薄膜粘貼等等的加熱加壓處理結(jié)束后，可以停止通過空氣吸氣孔22進(jìn)行的真空吸氣作業(yè)，使隔離腔室隔離室25直接與大氣壓力導(dǎo)通，并且通過使向上擠壓用汽缸機(jī)構(gòu)16反向動作，使其桿型部件16-3朝向外部延伸的方式，使滑動框體15滑動下降，返回至初始位置處。與此同時，使位于上方的低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3反向動作，將擠壓板9提起以將支撐板105提起，與安裝板5的下側(cè)面相抵接，進(jìn)而進(jìn)一步對向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1實施驅(qū)動，使安裝板5上升(參見圖9b)，返回至如圖7所示的初始位置處。
向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1主要用于使整個上側(cè)移動部件上升，對于被加工品在使用低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)實施加熱和低加壓處理之后，還需要使用更大的推力實施加壓加工的場合，也可以在這種場合下按照朝向向下擠壓的方式對向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1實施驅(qū)動。
如果采用本實施形式，位于支撐框體上側(cè)的汽缸機(jī)構(gòu)，是能夠?qū)φ麄€上側(cè)移動部件實施朝向上方提起操作的向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1、平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2和低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3沿上下方向串聯(lián)設(shè)置的汽缸機(jī)構(gòu)；上側(cè)移動框體14的內(nèi)側(cè)實施單獨驅(qū)動的加熱擠壓板9和支撐板105等的加壓用加壓部件，通常由平衡用汽缸機(jī)構(gòu)104-2實施著支撐，所以在使用低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3實施加壓時，能夠在真空加熱條件下，相對被加工品23通過極低的加壓壓力實施加壓作業(yè)。
請參閱圖10、圖11和圖12所述，圖10為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第六實施形式用的部分剖面的示意性正面圖，圖11a、圖11b和圖12a、圖12b為說明其動作用的示意性說明圖。采用上述的第五實施形式，是通過平衡用汽缸機(jī)構(gòu)對位于安裝板下方的上側(cè)移動框體內(nèi)的移動部的重量實施支撐的，第六實施形式不采用平衡用汽缸機(jī)構(gòu)，使用的是平衡用彈簧機(jī)構(gòu)。其它的構(gòu)成形式相對第五和第六實施形式是相同的。下面，僅對第六實施形式中與第五實施形式不同的構(gòu)成部分進(jìn)行詳細(xì)說明。
在第六實施形式中，驅(qū)動裝置104由向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1和低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3構(gòu)成。而且，設(shè)置有氣密性貫穿插入在安裝板5和支撐板105的四個角部處的四個平衡用彈簧機(jī)構(gòu)130。各彈簧機(jī)構(gòu)130由在兩端處具有防止脫落端部(比如說螺栓頭部130a和位于其上側(cè)位置處的調(diào)節(jié)螺母130b)的、氣密性貫穿插入在安裝板5和支撐板105處的導(dǎo)向桿130c，以及位于安裝板5與導(dǎo)向桿130c的端部處端部的調(diào)節(jié)螺母130b之間的、包繞著導(dǎo)向桿的壓縮彈簧130d構(gòu)成。
如果采用本實施形式，利用平衡用彈簧機(jī)構(gòu)130，可以通過安裝板5對位于安裝板5下側(cè)方向處的上側(cè)移動框體內(nèi)側(cè)的移動部件(支撐板105、支撐桿6、隔熱板7、上側(cè)加熱板8和擠壓板9)在真空下的全部重量實施保持，使支撐板105在朝向上側(cè)方向的施力下與安裝板5的下側(cè)面相抵接。而且，可以通過導(dǎo)向桿130c處的調(diào)節(jié)螺母130b，對保持力實施調(diào)節(jié)。
而且在本實施形式中，是將壓縮彈簧130d卷繞安裝在位于安裝板5和螺栓頭部130a的調(diào)節(jié)螺母130b之間的導(dǎo)向桿處的，然而也可以將其卷繞安裝在安裝板5的下側(cè)面與桿130的螺栓頭部130a之間。
下面，對第六實施形式的動作方式進(jìn)行說明。
在將被加工品23搭載在承載臺10上之后，使滑動框體15沿下側(cè)固定框體13的外側(cè)周面外周面滑動上升，對下側(cè)固定框體13與上側(cè)移動框體14之間實施完全閉塞，以通過基臺1、下側(cè)固定框體13、滑動框體15、上側(cè)移動框體14和安裝板5形成隔離腔室隔離室25。這些內(nèi)容可參見圖11a。
在這種狀態(tài)下，可以通過平衡用彈簧機(jī)構(gòu)130將位于安裝板5的下側(cè)方向處的、包含位于上側(cè)移動框體內(nèi)側(cè)的擠壓板9等的移動部件保持在安裝板處，并通過向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1對由該移動部件和安裝板5等構(gòu)成的整個上側(cè)移動部，通過朝向上側(cè)方向施力的方式實施保持。這些內(nèi)容可參見圖11a。
隨后如圖11b所示，打開向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1和低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3，同時利用真空泵(圖中未示出)通過安裝板5處的空氣吸氣孔22，對隔離腔室隔離室25的內(nèi)部實施真空吸氣。這樣，上側(cè)移動框體14和安裝板5將由于自身的重量和真空吸引力而下降，使上側(cè)移動框體14的下側(cè)端面與下側(cè)固定框體13的上側(cè)端面相互壓接。這些內(nèi)容可參見圖11b。
即使上側(cè)移動框體14的下側(cè)端面與下側(cè)固定框體13的上側(cè)端面相互壓接，擠壓板9此時也不與被加工品23相接觸。在這種狀態(tài)下，被實施真空吸氣的隔離腔室隔離室25的內(nèi)部處內(nèi)部于高真空狀態(tài)，所以如果在被加工品23中存在有氣泡時，將可以對其實施脫氣處理。
隨后如圖12b所示，使向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1保持開放狀態(tài)，對位于上方的小口徑低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3實施驅(qū)動，以對位于安裝板5下側(cè)處的支撐板105朝向下側(cè)方向?qū)嵤毫?，使擠壓板9與被加工品23相接觸，通過低加壓壓力在真空加熱狀態(tài)下實施加壓處理。這些內(nèi)容可參見圖12a。在這時，由于擠壓板9和支撐板105等等的重量通過平衡用彈簧機(jī)構(gòu)130保持在安裝板5處，所以它們的重量完全不會施加在被加工品23處，所施加的僅僅是低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)的推進(jìn)力。
當(dāng)對被加工品23實施在低加壓下的薄膜粘貼等等的加熱加壓處理結(jié)束后，停止通過吸氣孔22進(jìn)行的真空吸氣作業(yè)，使隔離腔室隔離室25直接與大氣壓力導(dǎo)通，使滑動框體15滑動下降，返回至初始位置處。利用平衡用彈簧機(jī)構(gòu)130使提起擠壓板9用的支撐板105，與安裝板5的下側(cè)面相抵接，進(jìn)而進(jìn)一步對向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1實施驅(qū)動，使安裝板5上升(參見圖12b)，返回至如圖10所示的初始位置處。
如果采用這種實施形式，位于支撐框體上側(cè)的汽缸機(jī)構(gòu)，是對能夠?qū)φ麄€上側(cè)移動部件實施朝向上方提起操作的向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1和低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3沿上下方向串聯(lián)設(shè)置的汽缸機(jī)構(gòu)，且可以通過上側(cè)移動框體14的內(nèi)側(cè)，使位于安裝板5的下方處的移動部能夠通過彈簧機(jī)構(gòu)通常保持在上側(cè)位置處，所以在使用低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3實施加壓時，能夠在真空加熱條件下相對被加工品23通過極低的加壓壓力實施加壓作業(yè)。
請參閱圖13所示，為表示作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的加熱型真空壓力加工裝置的第七實施形式用的部分剖面的示意性正面圖。本實施形式除了將如圖10所示的第六實施形式中的驅(qū)動裝置104，更換為伺服電動機(jī)機(jī)構(gòu)200之外，均與第六實施形式相同。因此，下面僅對與伺服電動機(jī)機(jī)構(gòu)相關(guān)的部分進(jìn)行詳細(xì)說明。伺服電動機(jī)機(jī)構(gòu)200支撐在機(jī)架部3的上方處，包含有伺服電動機(jī)201、由該伺服電動機(jī)部分朝向下方外側(cè)延伸的主軸202和活塞部203，而且設(shè)置在主軸202的外側(cè)周部處的陽螺紋部可以與設(shè)置在活塞部203處的陰螺紋部間相互螺紋連接?；钊?03以可通過按鍵205上下自由滑動的方式，安裝在位于機(jī)架部3的中央孔處的緩沖部204處?；钊?03的下端部與軸柄107相連接。
伺服電動機(jī)的構(gòu)成形式是眾所周知的，所以在圖中沒有詳細(xì)示出，通常可以由電動機(jī)、編碼器和驅(qū)動輪這三部分構(gòu)成。通過主軸202和活塞部間的螺紋連接，可以將伺服電動機(jī)的轉(zhuǎn)動運動變換成上下直線運動。在本實施形式中的伺服電動機(jī)機(jī)構(gòu)200，可以按照具有如第六實施形式中的向上提起用汽缸機(jī)構(gòu)104-1和低壓加壓用汽缸機(jī)構(gòu)104-3相同的功能的方式實施設(shè)置控制。對該功能的詳細(xì)說明可以參考對第六實施形式的功能說明。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其包括(1)基臺；(2)設(shè)置在基臺上的、具有加熱器的被加工品承載臺；(3)按照與該承載臺相距一定距離且包繞著該承載臺的方式，設(shè)置在該基臺上的下側(cè)固定框體；(4)與該承載臺相對設(shè)置的、具有加熱器的擠壓板；(5)垂下設(shè)置有該擠壓板的安裝板；(6)使該安裝板和擠壓板上下移動用的安裝板·擠壓板驅(qū)動機(jī)構(gòu)，為使該安裝板和擠壓板朝向下側(cè)方向移動以使該擠壓板對位于該承載臺上的被加工品實施壓力用的驅(qū)動裝置；(7)按照與該擠壓板相距一定距離且包繞著該擠壓板的方式，由該安裝板處垂下設(shè)置的上側(cè)移動框體，該上側(cè)移動框體和該下側(cè)固定框體上的開放端面彼此相對，且上側(cè)移動框體可以相對下側(cè)固定框體沿上下方向作接近、離開運動；(8)確保下側(cè)固定框體與上側(cè)移動框體之間的氣密性用的氣密滑動機(jī)構(gòu)，通過該氣密滑動機(jī)構(gòu)在由下側(cè)固定框體、上側(cè)移動框體、基臺和安裝板分割出的空間處形成為隔離腔室隔離室；(9)對氣密滑動機(jī)構(gòu)實施驅(qū)動用的滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該氣密氣密滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)通過滑動氣密滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)的滑動運動形成該隔離腔室隔離室；以及(10)與真空裝置相連接的吸氣孔，該吸氣孔是在該隔離腔室隔離室處形成開口以構(gòu)成，且通過該吸氣孔用于對該隔離腔室隔離室實施真空吸氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的氣密滑動機(jī)構(gòu)由設(shè)置在下側(cè)固定框體的上側(cè)端部處端部的氣密滑動部和設(shè)置在上側(cè)移動框體的對應(yīng)下側(cè)端部處端部的氣密滑動部構(gòu)成，通過在下側(cè)固定框體上側(cè)端部處端部的氣密滑動部和上側(cè)移動框體下側(cè)端部處端部的氣密滑動部間的氣密性滑動運動，確保下側(cè)固定框體與上側(cè)移動框體之間的氣密性，使用所述安裝板·擠壓板驅(qū)動機(jī)構(gòu)并用作為所述滑動機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的氣密滑動機(jī)構(gòu)為以可上下自由滑動方式，嵌入安裝在下側(cè)固定框體或上側(cè)移動框體中一個的外側(cè)周面外周面的周部處的滑動框體，該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)為驅(qū)動該滑動框體上下滑動移動的滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)，通過使用該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)使滑動框體滑動移動的方式，確保下側(cè)固定框體、滑動框體和上側(cè)移動框體之間的氣密性，并且在由下側(cè)固定框體、滑動框體、上側(cè)移動框體、基臺、安裝板分割成的空間處形成隔離腔室隔離室。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的擠壓板與所述安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置相連接，當(dāng)該擠壓板朝向下側(cè)移動時，安裝板和上側(cè)移動框體將隨之朝向下側(cè)移動，在壓力加工位置處使上側(cè)移動框體與下側(cè)固定框體的開放端面彼此抵接，隨后通過該驅(qū)動裝置進(jìn)一步使該擠壓板朝向下側(cè)移動以實施壓力加工，反之當(dāng)通過該驅(qū)動裝置使該擠壓板朝向上側(cè)移動時，通過該擠壓板使上側(cè)移動框體組件和安裝板朝向上側(cè)移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的安裝板·擠壓板驅(qū)動裝置由高推力驅(qū)動裝置和低推力驅(qū)動裝置構(gòu)成，當(dāng)所述擠壓板朝向下側(cè)移動時，上側(cè)移動框體和安裝板將隨之朝向下側(cè)移動，在壓力加工位置處使上側(cè)移動框體與下側(cè)固定框體的開放端面彼此抵接，通過該低推力驅(qū)動裝置進(jìn)一步使該擠壓板朝向下側(cè)移動以實施壓力加工，反之當(dāng)隔離腔室隔離室的真空狀態(tài)被破壞之后，通過高推力驅(qū)動裝置使該擠壓板朝向上側(cè)移動時，通過該擠壓板使該上側(cè)移動框體和該安裝板朝向上側(cè)移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于施力組件施力裝置向上施力至所述擠壓板，當(dāng)該擠壓板與被加工品相抵接時，在該施力組件施力裝置的作用下，使真空狀態(tài)下的擠壓板和所述加熱器的重量不施加在被加工品上。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的施力組件施力裝置為平衡彈簧。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的高推力驅(qū)動裝置和所述低推力驅(qū)動裝置分別為高推力汽缸機(jī)構(gòu)和低推力汽缸機(jī)構(gòu)，所述施力組件施力裝置為背壓汽缸機(jī)構(gòu)，而且該高推力汽缸機(jī)構(gòu)、該低推力汽缸機(jī)構(gòu)和該背壓汽缸機(jī)構(gòu)配置在同一軸上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的驅(qū)動裝置為伺服電動機(jī)機(jī)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的下側(cè)固定框體的外面形狀與所述上側(cè)移動框體的外面形狀大體相同，所述滑動框體的內(nèi)側(cè)面內(nèi)面與所述下側(cè)固定框體的外側(cè)面外面和所述上側(cè)移動框體的外側(cè)面外面間可實施氣密性滑動運動。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的下側(cè)固定框體和所述上側(cè)移動框體中的一個開放端面開放端部的外方向部位處外方向部設(shè)置有臺階部，所述滑動框體的端部通過滑動與該臺階部處臺階部氣密性抵接。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)安裝在所述基臺處，所述滑動框體通過連接桿在該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)的作用下上下運動。
13.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的承載臺和下側(cè)固定框體通過滑動工作臺置安裝在基臺上，所述滑動框體以可上下滑動的方式，嵌入安裝在下側(cè)固定框體的外側(cè)周面外周面的周部處，該滑動工作臺可通過滑動工作臺移動單元，將設(shè)置在該承載臺上的被加工品在被加工品設(shè)置位置和對該被加工品實施壓力加工的壓力加工待機(jī)位置間移動。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的承載臺、所述下側(cè)固定框體、所述滑動框體、所述滑動工作臺上的臺面板構(gòu)成為組合體，固定在滑動工作臺移動單元處，該組合體可通過該滑動工作臺移動單元，在所述被加工品設(shè)置位置與壓力加工待機(jī)位置之間移動。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于其中所述的連接桿通過所述臺面板保持在所述基板上，所述滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有位于基臺之下朝向上部突出的突起桿，所述組合體在處于壓力加工待機(jī)位置時，可利用該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)使該連接桿在該突起桿的作用下，使所述滑動框體朝向上方移動。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于具有加熱器的所述承載臺通過第一支撐桿，被支撐在與所述基臺離開的位置處，具有加熱器的所述擠壓板通過第二支撐桿，被支撐在與所述安裝板離開的位置處。
17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的加熱型真空壓力加工裝置，其特征在于具有加熱器的所述承載臺通過第一支撐桿，被支撐在與所述臺面板離開的位置處，具有加熱器的所述擠壓板通過第二支撐桿，被支撐在與所述安裝板離開的位置處。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種具有窄小真空隔離腔室真空隔離室的、不會對密封襯墊造成損傷且能夠在真空隔離腔室真空隔離室內(nèi)實施真空條件下的加熱加壓作業(yè)的加熱型真空壓力加工裝置。下側(cè)固定框體和上側(cè)移動框體形成為隔離腔室隔離室的側(cè)壁，氣密滑動機(jī)構(gòu)確保著下側(cè)固定框體與上側(cè)移動框體之間的氣密性，因此采用這種構(gòu)成方式，可以在由下側(cè)固定框體、上側(cè)移動框體、基臺和安裝板分割出的空間處形成為隔離腔室隔離室。包繞著被加工品用加熱承載臺的下側(cè)固定框體，按照與承載臺相距一定間隔的方式配置在基臺上，上側(cè)移動框體按照與擠壓板相距一定距離且包繞著擠壓板的方式，由該安裝板處垂下設(shè)置。通過對隔離腔室隔離室實施真空吸氣，使擠壓板下降的方式，可以在高溫真空條件下，使用低推力對位于承載臺上的被加工品實施加熱加壓作業(yè)。這種裝置適用于對耐熱溫度比較高的多功能薄膜疊層板實施粘貼等等的作業(yè)場合。
文檔編號B29C43/52GK1655924SQ0381207
公開日2005年8月17日 申請日期2003年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月30日
發(fā)明者伊藤英敏 申請人:米卡多科技株式會社