專利名稱：：層疊片及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在對透鏡、反射鏡等光學材料、硅晶圓等半導體晶圓、玻璃基板、金屬基板以及磁盤等的表面進行研磨時為了將這些保持固定于研磨頭而使用的層疊片(保持片、底板(backingsheet))，在對半導體晶圓等半導體制品、光學系制品等進行精密加工的工序中為了保持或保護制品而使用的層疊片(粘合片)及其制造方法。
背景技術(shù)：
：制造半導體集成電路(IC、LSI)的被稱為硅晶圓的單晶硅的圓盤。硅晶圓在制造IC、LSI等的工序中為了形成用于形成電路的各種薄膜的可信賴的半導體接合，在層疊形成氧化物層、金屬層的各工序中，要求高精度平坦地加工表面。這樣的研磨加工工序中，通常研磨墊被固定于被稱為壓盤(platen)的可旋轉(zhuǎn)的支撐圓盤上，硅晶圓等被研磨材料被固定于研磨頭。一直以來，作為將硅晶圓和玻璃等被研磨材料固定于研磨頭的方法，采用了(1)通過蠟將研磨頭和被研磨材料固定的蠟-封固法；(2)通過吸引將被研磨材料固定于研磨頭的真空.夾緊法；或者(3)通過貼附于研磨頭的人工皮革、高分子發(fā)泡片固定被研磨材料的無蠟-封固法。蠟-封固法由于使用蠟，因而具有如下問題裝卸被研磨材料需要時間，需要在研磨后洗滌被研磨材料來除去蠟，操作工序煩雜。真空'夾緊法具有如下問題被研磨材料在吸引口部分變形，由此導致研磨后的被研磨材料的表面精度變差。無蠟'封固法盡管具有被研磨材料容易裝卸、生產(chǎn)效率優(yōu)異的優(yōu)點，但具有如下問題..在人工皮革、高分子發(fā)泡片的保持面的表面精度差時，研磨后的被研磨材料的表面平滑性也變差。作為解決上述無蠟'封固法的問題的方法，提出了使用一種在發(fā)泡層的表面設(shè)置有由樹脂形成的粘合性樹脂層的底板材料的方案(專利文獻l)。此外，提出了一種片狀彈性發(fā)泡體，其特征在于在發(fā)泡層中設(shè)置有細長形狀且直徑向發(fā)泡層表面變大的獨立氣泡(專利文獻2)。但是，專利文獻1的底板材料的制造方法中需要另外設(shè)置粘合性樹脂層，此外由于通過使彈性層濕法凝固來制造，因而操作工序煩雜。此外，由于必須使用溶劑，因而存在環(huán)境負荷大、萃取溶劑需要大量的水等制造上的問題。此外，專利文獻2中，形成如上述的氣泡是困難的，而且由于發(fā)泡層表面的孔隙率大，因而發(fā)泡層的變形變大，其結(jié)果認為研磨后的被研磨材料的表面平滑性變差。此外，有如下問題將被研磨材料貼附于發(fā)泡層時產(chǎn)生空氣包入，或者由于吸水性低而在發(fā)泡層與被研磨材料之間產(chǎn)生漿體的水膜，被研磨材料的吸附性降低。專利文獻l:日本特開2002-355754號公才艮專利文獻2:日本特開平6-23664號公才艮
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題第l發(fā)明的目的在于提供極其容易地制造保持面的表面精度高的層疊片的方法。第2發(fā)明的目的在于提供極其容易地制造保持面的表面精度高、被研磨材料的吸附性優(yōu)異的層疊片的方法。第3發(fā)明的目的在于提供保持面的表面精度高、被研磨材料的吸附性優(yōu)異的層疊片及其制造方法。第4發(fā)明的目的在于提供解決問題的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明人為解決前述問題而反復深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過以下所示的層疊片及其制造方法可實現(xiàn)上述目的，從而完成了本發(fā)明。第l發(fā)明涉及層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序；以及將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序。此外，另一第l發(fā)明涉及層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在氣泡分散尿烷組合物上層疊離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序；以及剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片的工序。如上述那樣，通過機械發(fā)泡法將空氣等氣體作為微細氣泡分散到原料中來調(diào)制氣泡分散尿烷組合物并使該氣泡分散尿烷組合物固化，從而可極其容易地形成具有氣泡徑極其小且球狀(包括大致球狀的氣泡)的氣泡的聚氨酯發(fā)泡層。此外，本發(fā)明的機械發(fā)泡法中，由于使空氣等氣體分散在原料中而不溶解于原料中，因而存在如下優(yōu)點可抑制在將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序之后產(chǎn)生新的氣泡(后發(fā)泡現(xiàn)象)，容易控制厚度精度和比重。此外，由于不需要使用溶劑，因而不僅在成本方面優(yōu)異，從環(huán)境方面也優(yōu)選。并且，該聚氨酯發(fā)泡層由于保持被研磨材料的保持面的表面精度極高，因而使用具有該發(fā)泡層的層疊片保持被研磨材料時，研磨后的被研磨材料的表面平滑性極其優(yōu)異。此外，上述聚氨酯發(fā)泡層因具有球狀的氣泡而耐久性優(yōu)異。因此，使用具有該發(fā)泡層的層疊片研磨被研磨材料時，研磨速度的穩(wěn)定性提高。第l發(fā)明的層疊片是通過前述制造方法得到的。前述聚氨酯發(fā)泡層優(yōu)選具有平均氣泡徑為20~30(Vm的球狀的微細氣泡。此外，聚氨酯發(fā)泡層優(yōu)選厚度方向的平均氣泡徑差(平均氣泡徑最大值-平均氣泡徑最小值)為50pm以下。聚氨酯發(fā)泡層的厚度方向的氣泡徑的偏差大時，樹脂密度低的區(qū)域的耐久性比其它區(qū)域還差，在該部分容易產(chǎn)生厚度變化(坍塌現(xiàn)象)。其結(jié)果，保持被研磨材料的保持面的表面精度降低，研磨后的被研磨材料的表面平滑性也有降低的傾向。此外，有研磨速度的穩(wěn)定性變差的傾向。只要厚度方向的平均氣泡徑差為50)im以下，則可有效抑制聚氨酯發(fā)泡層的厚度變化。此外，聚氨酯發(fā)泡層的比重優(yōu)選為0.2~0.5。此外，聚氨酯發(fā)泡層的ASKERC硬度優(yōu)選為1050度。進而，聚氨酯發(fā)泡層的壓縮率優(yōu)選為2~10%。第2發(fā)明涉及層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在涂布的氣泡分散尿烷組合物上層疊氮氣透過速度為lxl(T7[cm3/cm2's.cmHg]以下的離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成具有連續(xù)氣泡的聚氨酯發(fā)泡層的工序。如上述那樣，通過機械發(fā)泡法將空氣等氣體作為微細氣泡分散到原料中來調(diào)制氣泡分散尿烷組合物并使該氣泡分散尿烷組合物固化，從而可極其容易地形成具有氣泡徑極其小且球狀(包括橢圓球狀)的連續(xù)氣泡的聚氨酯發(fā)泡層。此外，本發(fā)明的機械發(fā)泡法中，由于使空氣等氣體分散在原料中而不溶解于原料中，因而存在如下優(yōu)點可抑制在將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序之后產(chǎn)生新的氣泡(后發(fā)泡現(xiàn)象)，容易控制厚度精度和比重。此外，由于不需要使用溶劑，因而不僅在成本方面優(yōu)異，乂人環(huán)境方面也優(yōu)選。進而，第2發(fā)明的制造方法中，通過在涂布的氣泡分散尿烷組合物上層疊氮氣透過速度為lxlO,cmVcm、s.cmHg]以下的離型片，氣泡分散尿烷組合物中的微細氣泡破裂而形成連續(xù)氣泡時，可將微細氣泡內(nèi)部的氣體保持在該組合物中，可防止微細氣泡內(nèi)部的氣體被排出到外部環(huán)境。由此，可抑制氣泡分散尿烷組合物的厚度在固化工序時變化，可提高固化后的聚氨酯發(fā)泡層的表面精度。第2發(fā)明中，前述基材片優(yōu)選氮氣透過速度為lxlO-7[cm3/cm2's.cmHg]以下。通過使用該基材片，進一步才是高上述效果。第2發(fā)明中，優(yōu)選前述基材片為聚對苯二曱酸乙二酯(PET)膜、前述離型片為實施了離型處理的聚對苯二曱酸乙二酯膜。PET膜由于氮氣透過速度尤其小，因而是適合的材料。第2發(fā)明的層疊片是通過前述制造方法得到的。本發(fā)明的層疊片的聚氨酯發(fā)泡層由于具有球狀(包括橢圓球狀)的連續(xù)氣泡，因而即便在將被研磨材料貼附于聚氨酯發(fā)泡層時包入空氣，也可通過連續(xù)氣泡而將空氣排出到外部。由此，可高平坦性地將被研磨材料貼附于聚氨酯發(fā)泡層。此外，即便漿體浸入到發(fā)泡層與被研磨材料之間時，也可通過連續(xù)氣泡將漿體吸收到聚氨酯發(fā)泡層內(nèi)部，因此，可防止在發(fā)泡層與被研磨材料之間產(chǎn)生漿體的水膜。因此，可有效防止被研磨材料的吸附性的降低。此外，該聚氨酯發(fā)泡層由于保持被研磨材料的保持面的表面精度極高，因而在使用具有該發(fā)泡層的層疊片來保持被研磨材料時，研磨后的被研磨材料的表面平滑性極其優(yōu)異。此外，上述聚氨酯發(fā)泡層因具有球狀的氣泡而耐久性優(yōu)異。因此，使用具有該發(fā)泡層的層疊片來研磨被研磨材料時，研磨速度的穩(wěn)定性提高。聚氨酯發(fā)泡層可同時含有連續(xù)氣泡和獨立氣泡，該聚氨酯發(fā)泡層的連續(xù)氣泡率為50%以上，優(yōu)選為65%以上。前述聚氨酯發(fā)泡層的連續(xù)氣泡的平均氣泡徑優(yōu)選為20~300fim。此外，聚氨酯發(fā)泡層的比重優(yōu)選為0.2~0.5。此外，聚氨酯發(fā)泡層的ASKERC硬度優(yōu)選為10~50度。進而，聚氨酯發(fā)泡層的壓縮率優(yōu)選為210%。[第3發(fā)明]第3發(fā)明的層疊片由基材片和聚氨酯發(fā)泡層形成，其特征在于，前述聚氨酯發(fā)泡層具有球狀的連續(xù)氣泡，在該連續(xù)氣泡的表面形成有圓形孔。第3發(fā)明的層疊片的聚氨酯發(fā)泡層由于具有在氣泡表面形成有圓形孔(包括大致圓形孔)的球狀(包括大致球狀)的連續(xù)氣泡，因而即便在將被研磨材料貼附于聚氨酯發(fā)泡層時包入空氣，也可通過連續(xù)氣泡而將空氣排出到外部。由此，可高平坦性地將被研磨材料貼附于聚氨酯發(fā)泡層。此外，即便漿體浸入到發(fā)泡層與被研磨材料之間時，可通過連續(xù)氣泡將漿體吸收到聚氨酯發(fā)泡層內(nèi)部，因此，可防止在發(fā)泡層與被研磨材料之間產(chǎn)生漿體的水膜。因此，可有效防止被研磨材料的吸附性的降低。前述連續(xù)氣泡的平均氣泡徑優(yōu)選為20~3OOjam,圓形孔平均直徑優(yōu)選為100(am以下。平均氣泡徑不足20iim時，存在如下傾向難以將漿體吸收到發(fā)泡層內(nèi)部，在發(fā)泡層與被研磨材料之間易產(chǎn)生漿體的水膜。另一方面，超過300pm時，發(fā)泡層表面的平滑性惡化，且容易產(chǎn)生局部的壓縮特性的偏差，因此，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性惡化的傾向。此外，圓形孔的平均直徑超過100nm時，容易產(chǎn)生發(fā)泡層的吸水導致的壓縮特性的變化，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性變差的傾向。聚氨酯發(fā)泡層可同時含有前述連續(xù)氣泡和獨立氣泡，該聚氨酯發(fā)泡層的連續(xù)氣泡率優(yōu)選為50%以上，更優(yōu)選為65%以上。前述聚氨酯發(fā)泡層含有異氰酸酯成分和含活性氫化合物作為原料成分，前述含活性氫化合物優(yōu)選含有60~85重量％的官能團數(shù)為2~4、羥基值為20~100mgKOH/g的高分子量多元醇。通過使用特定量的該高分子多元醇，可穩(wěn)定地形成目標的連續(xù)氣泡，且發(fā)泡層的機械特性變良好。此外，前述聚氨酯發(fā)泡層含有異氰酸酯成分和含高分子量多元醇的含活性氫化合物作為原料成分，前述高分子量多元醇優(yōu)選含有20~100重量％的聚合物多元醇，該聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物顆粒。通過該聚合物顆粒的填充效果，氣泡膜容易破，可容易地形成目標的連續(xù)氣泡。此外，前述含活性氫化合物優(yōu)選含有2~15重量％的羥基值為400~1830mgKOH/g的低分子量多元醇和/或胺值為400~1870mgKOH/g的低分子量多胺。通過使用特定量的該低分子量多元醇和/或低分子量多胺，可穩(wěn)定地形成目標的連續(xù)氣泡，且發(fā)泡層的機械特性變良好。另外，組合使用低分子量多元醇與低分子量多胺時，總計使用2~15重量％。第3發(fā)明的層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序，該氣泡分散尿烷組合物含有異氰酸酯成分和含活性氫化合物作為原料成分，該含活性氬化合物含有60~85重量％的官能團數(shù)為2~4、羥基值為20~100mgKOH/g的高分子量多元醇；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；通過使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序，該聚氨酯發(fā)泡層具有在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡；以及將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序。此外，另一第3發(fā)明的層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序，該氣泡分散尿烷組合物含有異氰酸酯成分和含活性氫化合物作為原料成分，該含活性氫化合物含有6085重量％的官能團數(shù)為2~4、羥基值為20~100mgKOH/g的高分子量多元醇；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在氣泡分散尿烷組合物上層疊離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序，該聚氨酯發(fā)泡層具有在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡；以及剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片的工序。此外，另一第3發(fā)明的層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序，該氣泡分散尿烷組合物含有異氰酸酯成分和含聚合物多元醇的含活性氬化合物作為原料成分，該聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物顆粒；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；通過使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序，該聚氨酯發(fā)泡層具有在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡；以及將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序。此外，另一第3發(fā)明的層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序，該氣泡分散尿烷組合物含有異氰酸酯成分和含聚合物多元醇的含活性氫化合物作為原料成分，該聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物顆粒；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在氣泡分散尿烷組合物上層疊離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序，該聚氨酯發(fā)泡層具有在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡；以及剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片的工序。如上述那樣，通過機械發(fā)泡法將空氣等氣體作為微細氣泡分散到特定的原料中來調(diào)制氣泡分散尿烷組合物并使該氣泡分散尿烷組合物固化，從而可容易地形成聚氨酯發(fā)泡層，該聚氨酯發(fā)泡層具有氣泡徑小且在氣泡表面形成有圓形孔(包括大致圓形孔)的球狀(包括大致球狀)的連續(xù)氣泡。此外，本發(fā)明的機械發(fā)泡法中，由于使空氣等氣體分散在原料中而不溶解于原料中，因而存在如下優(yōu)點'.可抑制在將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序之后產(chǎn)生新的氣泡(后發(fā)泡現(xiàn)象)，容易控制厚度精度和比重。此外，由于不需要使用溶劑，因而不僅在成本方面優(yōu)異，從環(huán)境方面也優(yōu)選。而且，該聚氨酯發(fā)泡層由于具有在氣泡表面形成有圓形孔(包括大致圓形孔)的球狀(包括大致球狀)的連續(xù)氣泡，因而即便在將被研磨材料貼附于聚氨酯發(fā)泡層時包入空氣，也可通過連續(xù)氣泡而將空氣排出到外部。由此，可高平坦性地將被研磨材料貼附于聚氨酯發(fā)泡層。此外，即便漿體浸入到發(fā)泡層與被研磨材料之間時，也可通過連續(xù)氣泡將漿體吸收到聚氨酯發(fā)泡層內(nèi)部，因此，可防止在發(fā)泡層與被研磨材料之間產(chǎn)生漿體的水膜。因此，可有效防止被研磨材料的吸附性的降低。此外，由于上述聚氨酯發(fā)泡層的連續(xù)氣泡是球狀，因而耐久性優(yōu)異。因此，使用具有該發(fā)泡層的層疊片研磨被研磨材料時，研磨速度的穩(wěn)定性提高。此外，第3發(fā)明涉及通過前述方法所制造的層疊片?；谂c上述同樣的理由，聚氨酯發(fā)泡層的連續(xù)氣泡的平均氣泡徑優(yōu)選為20~300(im,圓形孔的平均直徑優(yōu)選為100(im以下。[第4發(fā)明]第4發(fā)明涉及層疊片，該層疊片包括基材片和聚氨酯發(fā)泡層，其特征在于，前述聚氨酯發(fā)泡層具有長軸與聚氨酯發(fā)泡層的厚度方向平行的橢圓氣泡，前述聚氨酯發(fā)泡層的截面中的橢圓氣泡的平均長徑L與平均短徑S之比(L/S)為1.5~3。本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，通過將聚氨酯發(fā)泡層中的氣泡從如以往的氣泡變?yōu)闄E圓氣泡(為橢圓球狀的氣泡，但也可不是嚴密勻稱的橢圓球狀)，進一步將該橢圓氣泡的長軸配置成與發(fā)泡層的厚度方向平行(大致平行)，從而可使彈性模量與以往的聚氨酯發(fā)泡層相比變高，可抑制發(fā)泡層的變形。本發(fā)明的層疊片由于保持被研磨材料的保持面的表面精度高，因而在使用該層疊片保持被研磨材料時，研磨后的被研磨材料的表面平滑性優(yōu)異。此外，由于本發(fā)明的層疊片耐久性優(yōu)異，因而在使用該層疊片保持被研磨材料時，研磨時的研磨速度的穩(wěn)定性提高。聚氨酯發(fā)泡層中的氣泡可以包括球狀氣泡，但為了充分體現(xiàn)目標的效果，優(yōu)選橢圓氣泡的數(shù)量比例為全部氣泡的30%以上。前述橢圓氣泡優(yōu)選為連續(xù)氣泡。橢圓氣泡為連續(xù)氣泡時，即便在將被研磨材料貼附于聚氨酯發(fā)泡層時包入空氣，也可通過連續(xù)氣泡而將空氣排出到外部。由此，可高平坦性地將被研磨材料貼附于聚氨酯發(fā)泡層。此外，即便漿體浸入到發(fā)泡層與被研磨材料之間時，也可通過連續(xù)氣泡將漿體吸收到聚氨酯發(fā)泡層內(nèi)部，因此，可防止在發(fā)泡層與被研磨材料之間產(chǎn)生漿體的水膜。因此，可有效防止被研磨材料的吸附性的降低。圖l是實施例1的層疊片的聚氨酯發(fā)泡層的顯微鏡照片(SEM照片)。圖2是實施例2的層疊片的聚氨酯發(fā)泡層的顯微鏡照片(SEM照片)。圖3是實施例3的層疊片的聚氨酯發(fā)泡層的顯微鏡照片(SEM照片)。圖4是比較例1的層疊片的聚氨酯發(fā)泡層的顯微鏡照片(SEM照片)。具體實施方式第l發(fā)明的層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序；以及將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序。另一第l發(fā)明的層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在氣泡分散尿烷組合物上層疊離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序；以及剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片的工序。第2發(fā)明的層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在涂布的氣泡分散尿烷組合物上層疊氮氣透過速度為lxl(T7[cm3/cm2's'cmHg]"下的離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成具有連續(xù)氣泡的聚氨酯發(fā)泡層的工序。前述氣泡分散尿烷組合物通過機械發(fā)泡法(包括mechanicalfrothingmethod)來調(diào)制即可，其它沒有特別限制。例如，氣泡分散尿烷組合物通過以下方法來調(diào)制。(1)對于異氰酸酯成分以及高分子量多元醇等反應(yīng)得到異氰酸酯末端預(yù)聚物添加硅系表面活性劑得到第l成分，在非反應(yīng)性氣體的存在下機械攪拌該第1成分，使非反應(yīng)性氣體作為微細氣泡分散，制成氣泡分散液。然后，向該氣泡分散液中添加包含高分子量多元醇、低分子量多元醇等含活性氫化合物的第2成分并混合，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。可以向第2成分中適當添加催化劑、炭黑等填料。(2)向包含異氰酸酯成分(或異氰酸酯末端預(yù)聚物)的第l成分以及包含含活性氫化合物的第2成分的至少一個中添加硅系表面活性劑，在非反應(yīng)性氣體的存在下對添加有硅系表面活性劑的成分進行機械攪拌，使非反應(yīng)性氣體作為微細氣泡分散，制成氣泡分散液。然后，向該氣泡分散液中添加剩下的成分并混合，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。(3)向包含異氰酸酯成分(或異氰酸酯末端預(yù)聚物)的第1成分以及包含含活性氫化合物的第2成分的至少一個中添加硅系表面活性劑，在非反應(yīng)性氣體的存在下機械攪拌前述第l成分和第2成分，使非反應(yīng)性氣體作為微細氣泡分散，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。聚氨酯由于可通過機械發(fā)泡法容易地形成球狀的微細氣泡、連續(xù)氣泡，因而優(yōu)選作為層疊片的發(fā)泡層的形成材料。第3發(fā)明的層疊片由基材片和聚氨酯發(fā)泡層形成，前述聚氨酯發(fā)泡層具有球狀的連續(xù)氣泡，在該連續(xù)氣泡的表面形成有圓形孔。前述聚氨酯發(fā)泡層可通過例如使通過機械發(fā)泡法(包括mechanicalfrothingmethod)調(diào)制而成的氣泡分散尿烷組合物在基材片上固化而形成。具體地說，氣泡分散尿烷組合物通過前述方法調(diào)制而成。聚氨酯由于可通過機械發(fā)泡法容易地形成在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡，因而優(yōu)選作為層疊片的發(fā)泡層的形成材料。第4發(fā)明的層疊片包括基材片和聚氨酯發(fā)泡層。聚氨酯樹脂由于可通過機械發(fā)泡法容易地形成^Ti細的橢圓氣泡，因而優(yōu)選作為層疊片的發(fā)泡層的形成材料。聚氨酯樹脂由異氰酸酯成分、多元醇成分(高分子量多元醇、低分子量多元醇等)、以及鏈增長劑組成。作為異氰酸酯成分，可以沒有特別限制地使用聚氨酯領(lǐng)域中公知的化合物?？闪信e例如，2，4-曱苯二異氰酸酯、2，6-曱笨二異氰酸酯、2，2，-二苯基曱烷二異氰酸酯、2，4，-二苯基甲烷二異氰酸酯、4,4，-二苯基曱烷二異氰酸酯、聚合MDI(polymericMDI)、碳化二亞胺改性MDI(例如商品名MillionateMTL、日本聚氨酯工業(yè)株式會社制造)、1,5-萘二異氰酸酯、對苯二異氰酸酯、間苯二異氰酸酯、對苯二亞甲基二異氰酸酯、間苯二亞曱基二異氰酸酯等芳香族二異氰酸酯；亞乙基二異氰酸酯、2，2，4-三曱基六亞甲基二異氰酸酯、1,6-六亞甲基二異氰酸酯等脂肪族二異氰酸酯；1,4-環(huán)己烷二異氰酸酯、4,4，-二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、降莰烷二異氰酸酯等脂環(huán)式二異氰酸酯。這些可使用l種，也可組合使用2種以上。作為異氰酸酯成分，除上述二異氰酸酯化合物以外，還可使用3官能團以上的多官能團聚異氰酸酯化合物。作為多官能團的異氰酸酯化合物，市售有作為Dismodul-N(Bayer公司制造)、商品名duranate(旭化成工業(yè)公司制造)的一系列的二異氰酸酯加合物化合物。上述異氰酸酯成分當中，優(yōu)選使用4,4，-二苯基曱烷二異氰酸酯或碳化二亞胺改性MDI。含活性氫化合物是指具有與異氰酸酯成分反應(yīng)的活性氬的高分子量多元醇、低分子量多元醇以及低分子量多胺等。作為高分子量多元醇，可列舉在聚氨酯的
技術(shù)領(lǐng)域：
中通常使用的物質(zhì)?？闪信e例如，以聚四亞曱基醚二醇、聚乙二醇等為代表的聚醚多元醇；以聚己二酸丁二酯為代表的聚酯多元醇；聚己內(nèi)酯多元醇、聚己內(nèi)酯這樣的聚酯二醇與碳酸烷二酯的反應(yīng)物等中例示的聚酯聚碳酸酯多元醇；使碳酸乙二酯與多元醇反應(yīng)，接著使所得反應(yīng)混合物與有機二羧酸反應(yīng)得到的聚酯聚碳酸酯多元醇；通過聚羥基化合物與芳基碳酸酯的酯交換反應(yīng)而得到的聚碳酸酯多元醇；分散聚合物顆粒而得到的作為聚醚多元醇的聚合物多元醇等。這些可單獨^吏用，也可組合使用2種以上。將聚氨酯發(fā)泡層制成獨立氣泡結(jié)構(gòu)時，優(yōu)選僅使用聚醚多元醇。另一方面，將聚氨酯發(fā)泡層制成連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)時，優(yōu)選使用聚合物多元醇，特別優(yōu)選使用分散有由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物顆粒的聚合物多元醇。優(yōu)選在所使用的全部高分子量多元醇中含有20~100重量％的該聚合物多元醇，更優(yōu)選含有30~60重量％的該聚合物多元醇。此外，上述高分子量多元醇中優(yōu)選使用官能團數(shù)為2~4、羥基值為20~100mgKOH/g的高分子量多元醇。羥基值更優(yōu)選為25~60mgKOH/g。官能團數(shù)為5以上時，存在聚氨酯發(fā)泡體的交聯(lián)度變得過高而導致被研磨材料的吸附性降低的傾向。羥基值不足20mgKOH/g時，存在聚氨酯的硬鏈段量變少而導致耐久性降低的傾向，羥基值超過100mgKOH/g時，存在聚氨酯發(fā)泡體的交聯(lián)度變得過高而導致被研磨材料的吸附性降低的傾向。優(yōu)選在含活性氫化合物中含有60~85重量％的這些特定的高分子量多元醇，更優(yōu)選含有70~80重量％的這些特定的高分子量多元醇。通過使用特定量的前述特定的高分子量多元醇，氣泡膜容易破裂，容易形成連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)。高分子量多元醇的數(shù)均分子量沒有特別限制，從所得的聚氨酯的彈性特性等觀點出發(fā)，優(yōu)選為1500~6000。數(shù)均分子量不足1500時，使用該高分子量多元醇的聚氨酯不具有充分的彈性特性，容易成為脆的聚合物。由此，由該聚氨酯形成的發(fā)泡層變得過硬，存在晶圓和玻璃的保持性變差的傾向。另一方面，數(shù)均分子量超過6000時，使用該高分子量多元醇的聚氨酯樹脂變得過軟，因此，由該聚氨酯形成的發(fā)泡層存在耐久性變差的傾向?？梢耘c高分子量多元醇一起使用乙二醇、1，2-丙二醇、1,3-丙二醇、1,4-丁二醇、1,6-己二醇、新戊二醇、1,4-環(huán)己烷二曱醇、3-曱基-1,5-戊二醇、二乙二醇、三乙二醇、1,4-雙(2-羥基乙氧基)苯等低分子量多元醇。此外，可以組合使用乙二胺、曱苯二胺、二苯基曱烷二胺、二亞乙基三胺等低分子量多胺。此外，可以組合使用在上述低分子量多元醇或低分子量多胺上加成環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷等環(huán)氧烷而得到的多元醇。在將聚氨酯發(fā)泡層制成連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)時，這些當中，優(yōu)選使用羥基值為400~1830mgKOH/g的低分子量多元醇和/或胺值為400~1870mgKOH/g的低分子量多胺。羥基值更優(yōu)選為7001250mgKOH/g,胺值更優(yōu)選為400~950mgKOH/g。羥基值不足400mgKOH/g或胺值不足400mgKOH/g時，存在無法充分得到提高連續(xù)氣泡化的效果的傾向。另一方面，羥基值超過1830mgKOH/g時或胺值超過1870mgKOH/g時，聚氨酯的硬鏈段之間的距離變短，存在無法充分得到提高被研磨材料的吸附性的效果的傾向。特別優(yōu)選使用二乙二醇、三乙二醇或l,4-丁二醇。高分子量多元醇與低分子量多元醇等之比根據(jù)由這些制造的聚氨酯發(fā)泡層所要求的特性來決定。在將聚氨酯發(fā)泡層制成連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)時，優(yōu)選在含活性氫化合物中含有2~15重量％的這些低分子量多元醇和/或低分子量多胺，更優(yōu)選為5~10重量％。通過使用特定量的上述低分子量多元醇和/或低分子量多胺，氣泡膜容易破裂，容易形成連續(xù)氣泡，不僅如此，聚氨酯發(fā)泡層的機械特性變良好。通過預(yù)聚物法制造聚氨酯時，在異氰酸酯末端預(yù)聚物的固化中使用鏈增長劑。鏈增長劑為具有至少2個以上活性氫基的有機化合物，作為活性氫基，可例示羥基、伯胺基或仲胺基、硫醇基(SH)等。具體地說，可列舉4,4，-亞曱基雙(鄰氯苯胺)(MOCA)、2，6-二氯-對苯二胺、4,4，-亞曱基雙(2，3-二氯苯胺)、3，5-雙(曱硫基)-2,4-甲苯二胺、3,5-雙(曱硫基)-2,6-甲苯二胺、3，5-二乙基甲苯-2，4-二胺、3,5-二乙基甲苯-2,6-二胺、丙二.醇-二-對氨基苯甲酸酯、1，2-雙(2-氨基苯基硫)乙烷、4，4，-二氨基-3,3，-二乙基-5,5，-二甲基二苯基甲烷、N，N，-二-仲丁基—4,4，-二氨基二笨基曱烷、3，3，-二乙基-4,4，-二氨基二苯基曱烷、間苯二曱撐二胺、N,N，-二-仲丁基-對苯二胺、間苯二胺以及對苯二曱撐二胺等中例示的多胺類、或者上述的低分子量多元醇、低分子量多胺。這些可使用l種，混合2種以上也無妨。第2發(fā)明和第3發(fā)明中，所使用的含活性氫化合物的平均羥基值(OHVav)優(yōu)選為下述式的范圍內(nèi)。(350—80Xfav—120/fav)<=SOHVav<=(350—80Xfav十120/fav)上述式中，OHVav和fav(平均官能團數(shù))通過下述式算出。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>上述式中，n為多元醇成分的數(shù)量，ai為羥基值，bi為官能團數(shù)，ci為添加重量份。例如，所使用的含活性氫化合物為第1~第n多元醇成分時，第l多元醇成分的幾基值為al、官能團數(shù)為bl以及添加重量份為cl.....第n多元醇成分的羥基值為an、官能團數(shù)為bn以及添加重量份為cn。其中，對于聚合物多元醇，由于分散有聚合物顆粒，因而任何種類都將官能團數(shù)作為3來計算。第2發(fā)明和第3發(fā)明中，通過預(yù)聚物法制造聚氨酯時，異氰酸酯末端預(yù)聚物在合成時和固化時所使用的含活性氫化合物的種類、配合比沒有特別限制，但優(yōu)選在異氰酸酯末端預(yù)聚物的合成時在含活性氫化合物中使用80重量％以上的高分子量多元醇、在異氰酸酯末端預(yù)聚物的固化時在含活性氫化合物中使用80重量％以上的低分子量多元醇和/或低分子量多胺。從所得聚氨酯的物理特性的穩(wěn)定性和生產(chǎn)率的觀點出發(fā)，這樣分開使用含活性氫化合物是優(yōu)選的方法。異氰酸酯成分、多元醇以及鏈增長劑之比可通過各自的分子量和聚氨酯發(fā)泡層的期望物性等而進行各種變化。為了得到具有期望特性的發(fā)泡層，異氰酸酯成分的異氰酸酯基數(shù)量相對于多元醇和鏈增長劑的總計活性氫基(羥基+氨基)數(shù)量優(yōu)選為O.80-1.20,進一步優(yōu)選為0.991.15。異氰酸酯基數(shù)為前述范圍之外時，產(chǎn)生固化不良，存在無法得到所要求的氣泡、比重、硬度以及壓縮率等的傾向。另外，異氰酸酯末端預(yù)聚物的分子量為1000~IOOOO左右、優(yōu)選為1000~5000的，加工性、物理特性等優(yōu)異，是適合的。此外，預(yù)聚物在常溫下為固體時，預(yù)熱到適當?shù)臏囟热廴趤硎褂?。作為硅系表面活性劑，可列舉例如含有聚烷基硅氧烷與聚醚的共聚物的物質(zhì)。作為該硅系表面活性劑，適合的化合物可例示SH-192和L5340(DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd.制造)等。另外，根據(jù)需要，可加入抗氧化劑等穩(wěn)定劑、潤滑劑、顏料、填充劑、防帶電劑、其它添加劑。作為前述為了形成微細氣泡而使用的非反應(yīng)性氣體，優(yōu)選為非可燃性氣體，具體地說，可例示氮氣、氧氣、二氧化碳氣體、氦氣、氬氣等稀有氣體、這些的混合氣體，從成本考慮，最優(yōu)選使用干燥而除去水分的空氣。作為將非反應(yīng)性氣體制成微細氣泡狀而使其分散的攪拌裝置，可以沒有特別限制地使用公知的攪拌裝置，具體地說，可例示均化器、溶解器、2軸行星式攪拌機(行星攪拌機、planetarymixer)、機械發(fā)泡發(fā)泡機等。攪拌裝置的攪拌葉片的形狀也沒有特別限制，通過使用槌棒型的攪拌葉片可得到微細氣泡，故優(yōu)選。為了得到目標的聚氨酯發(fā)泡層，攪拌葉片的轉(zhuǎn)速優(yōu)選為5002000rpm、更優(yōu)選為800~1500rpm。此外，攪拌時間才艮據(jù)目標密度來適當調(diào)整。另夕卜，發(fā)泡工序中調(diào)制氣泡分散液的攪拌與混合第l成分和第2成分的攪拌，優(yōu)選形態(tài)為使用不同的攪拌裝置。混合工序中的攪拌可以不是形成氣泡的攪拌，優(yōu)選使用不巻入大的氣泡的攪拌裝置。作為這樣的攪拌裝置，適合的是行星式攪拌機。調(diào)制氣泡分散液的發(fā)泡工序與混合各成分的混合工序的攪拌裝置即使使用同一攪拌裝置也無妨，還可根據(jù)需要進行調(diào)整攪拌葉片的旋轉(zhuǎn)速度等攪拌條件的調(diào)整來使用。而且，將通過上述方法調(diào)制的氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上并使該氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層?；钠男纬刹牧蠜]有特別限制，可列舉例如，聚對苯二甲酸乙二酯、聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚酰亞胺、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚氟乙烯等含氟樹脂、尼龍、纖維素等。第1發(fā)明和第3發(fā)明中，基材片的厚度沒有特別限制，從強度、撓性等觀點出發(fā)，優(yōu)選為0.05~0.3mm左右。第2發(fā)明中所使用的基材片優(yōu)選氮氣透過速度為lxlO-7[cm3/cm2.s.cmHg>:^下，更優(yōu)選為1xl(T8[cm3/cm2.s.cmHg]以下。作為滿足該條件的形成材料，可列舉聚對苯二曱酸乙二酯、聚丙烯以及聚乙烯等。第2發(fā)明中，基材片的厚度沒有特別限制，從抑制聚氨酯發(fā)泡層中所包含的氣體的透過性、基材片的強度、撓性等觀點出發(fā)，優(yōu)選為0.025~0.3mm,更優(yōu)選為0.05~0.2mm。作為將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的方法，可采用例如凹版涂布、吻合涂布、逗號涂布等輥涂；縫隙涂布、供料(Fountain)等模涂；擠壓涂布、簾涂等涂布方法，只要可在基材片上形成均勻的涂膜，則任意方法均可。對于將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上反應(yīng)直至不流動的聚氨酯發(fā)泡體進行加熱并后固化，此舉有提高聚氨酯發(fā)泡體的物理特性的效果，極為適合。后固化優(yōu)選在40~7(TC下進行1060分鐘，此外，在常壓下進行時，由于氣泡形狀穩(wěn)定，故優(yōu)選。聚氨酯發(fā)泡層的制造中，可以使用叔胺系等公知的促進聚氨酯反應(yīng)的催化劑?？紤]各成分的混合工序后用于涂布到基材片上的流動時間來選擇催化劑的種類和添加量。聚氨酯發(fā)泡層的制造，可以是計量各成分后投入到容器中并機械攪拌的批量方式；此外也可以是向攪拌裝置中連續(xù)供給各成分和非反應(yīng)性氣體而機械攪拌，并送出氣泡分散尿烷組合物而制造成形品的連續(xù)生產(chǎn)方式。第l發(fā)明和第3發(fā)明的層疊片的制造方法中，需要在基材片上形成聚氨酯發(fā)泡層之后或者形成聚氨酯發(fā)泡層的同時，將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻。將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的方法沒有特別限制，可列舉例如用研磨材料施加拋光的方法、用加壓板加壓的方法等。施加拋光時，可得到在聚氨酯發(fā)泡層的表面不具有皮層(skinlayer)的層疊片，加壓時，可得到在聚氨酯發(fā)泡層表面具有皮層的層疊片。加壓時的條件沒有特別限制，優(yōu)選將溫度調(diào)節(jié)到玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上。此外，將通過上述方法調(diào)制的氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上，并在該氣泡分散尿烷組合物上層疊離型片。然后，可以通過擠壓單元使厚度均勾并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層。該方法由于可極其均勻地控制層疊片的厚度，因而為特別優(yōu)選的方法。離型片的形成材料沒有特別限制，可列舉與前述基材片同樣的樹脂或紙等。離型片優(yōu)選受熱影響的尺寸變化小的離型片。另外，離型片的表面可施加離型處理另一方面，第2發(fā)明的層疊片的制造方法中，將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上，然后在該氣泡分散尿烷組合物上層疊離型片。然后，通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層。通過使用離型片，可在聚氨酯發(fā)泡層的表面形成皮層。第2發(fā)明中使用的離型片需要氮氣透過速度為lxl(T7[cm3/cm2's'cmHg>V、下，優(yōu)選為1x10-8[cm3/cm2.s.cmHg]以下。作為滿足該條件的形成材料，可列舉聚對苯二曱酸乙二酯、聚丙烯以及聚乙烯等。離型片優(yōu)選受熱影響的尺寸變化小的離型片。另夕卜，離型片的表面可施加離型處理。此外，離型片可在制造層疊片之后不剝離而原樣作為保護片使用。第2發(fā)明中，離型片的厚度沒有特別限制，從抑制聚氨酯發(fā)泡層中所包含的氣體的透過性、強度、撓性等觀點出發(fā)，優(yōu)選為0.025~0.3mm,更伊二選為0.05~0.2mm。使由基材片、氣泡分散尿烷組合物(氣泡分散尿烷層)、以及離型片形成的夾層片的厚度變均勻的擠壓單元沒有特別限制，可列舉例如通過涂布輥、夾輥等壓縮成一定厚度的方法?？紤]到在壓縮后發(fā)泡層中的氣泡變大為1.2~2倍左右，優(yōu)選在壓縮時使得(涂布機或夾子的間隙)-(基材片和離型片的厚度)=(固化后的聚氨酯發(fā)泡層的厚度的5085%)。此外，為了得到比重為0.2~0.5的聚氨酯發(fā)泡層，優(yōu)選通過輥之前的氣泡分散尿烷組合物的比重為0.24~1。而且，在使前述夾層片的厚度均勻后，對反應(yīng)直至不流動的聚氨酯發(fā)泡體進行加熱，后固化而形成聚氨酯發(fā)泡層。后固化的條件與前述同樣。然后，剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片，得到層疊片。此時，在聚氨酯發(fā)泡層上形成有皮層。另外，可以在剝離離型片之后通過對聚氨酯發(fā)泡層施加拋光等來除去皮層。聚氨酯發(fā)泡層的厚度沒有特別限制，優(yōu)選為0.21.2mm，更4尤選為0.6~lmm。第l發(fā)明中，聚氨酯發(fā)泡層中的氣泡可為獨立氣泡，也可為連續(xù)氣泡。由第2發(fā)明的方法制造的聚氨酯發(fā)泡層主要具有連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)，其連續(xù)氣泡率為50%以上，優(yōu)選為65%以上。第3發(fā)明中，聚氨酯發(fā)泡層具有在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡。另外，該連續(xù)氣泡并非通過破碎形成。聚氨酯發(fā)泡層中的氣泡的平均氣泡徑優(yōu)選為20~300pm,更優(yōu)選為50~150)im。脫離該范圍時，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性變差的傾向。此外，第3發(fā)明中，氣泡表面的圓形孔的平均直徑^f尤選為100pm以下，更優(yōu)選為50jim以下。聚氨酯發(fā)泡層優(yōu)選厚度方向的平均氣泡徑差(平均氣泡徑最大值-平均氣泡徑最小值)為50(im以下，更優(yōu)選為30(im以下。平均氣泡徑差的計算方法具體參照實施例的記載。聚氨酯發(fā)泡層的比重優(yōu)選為0.20.5，更優(yōu)選為0.25~0.4。比重不足0.2時，存在氣泡率變得過高、耐久性變差的傾向。另一方面，比重超過0.5時，為了得到某一定的彈性模量而有必要使材料為低交聯(lián)密度。此時，存在永久變形增大且耐久性變差的傾向。聚氨酯發(fā)泡層的硬度優(yōu)選ASKERC硬度為10~50度，更優(yōu)選為1535度。ASKERC硬度不足10度時，存在耐久性降低、或者研磨后的被研磨材料的表面平滑性變差的傾向。另一方面，超過50度時，存在被研磨材料的保持性變差的傾向。聚氨酯發(fā)泡層的壓縮率優(yōu)選為2~10%,更優(yōu)選為4~8%。壓縮率不足2%時，被研磨材料的保持性變差，壓縮率超過10%時，存在耐久性、研磨后的被研磨材料的表面平滑性變差的傾向。聚氨酯發(fā)泡層的厚度偏差優(yōu)選為100fim以下，更優(yōu)選為60)im以下。厚度偏差超過100)im的聚氨酯發(fā)泡層，層疊片具有大的起伏。其結(jié)果，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性變差的傾向。通過第2發(fā)明的制造方法得到的層疊片由于保持面的表面精度極高，因而即便不另外用研磨材料對保持面施加拋光也可以使用，但也可根據(jù)需要施加拋光。第l發(fā)明~第3發(fā)明的聚氨酯發(fā)泡層上具有皮層的層疊片，其保持面的表面精度高，皮層自身具有粘合性，因此，可充分保持被研磨材料，但也可另外設(shè)置粘合層。第l發(fā)明~第3發(fā)明的聚氨酯發(fā)泡層上不具有皮層的層疊片，其保持面的表面精度高，通過用水等將保持面弄濕而可充分保持被研磨材料，但也可另外設(shè)置粘合層。可在層疊片的基材片表面設(shè)置用于貼附到研磨頭的雙面膠帶。雙面膠帶具有如下通常的結(jié)構(gòu)，即，在無紡布或膜等基材的兩面設(shè)置粘合層。作為粘合層的組成，可列舉例如橡膠系粘合劑、丙烯酸酯系粘合劑等。此外，下面說明第4的層疊片的制造方法。作為聚氨酯發(fā)泡層的形成材料的聚氨酯發(fā)泡體，可應(yīng)用熔融法、溶液法等公知的尿烷化技術(shù)來制造，但考慮成本、操作環(huán)境等時，優(yōu)選以熔融法制造。聚氨酯發(fā)泡體的制造可使用預(yù)聚物法、一步法(oneshotmethod)中的任意方法。前述聚氨酯發(fā)泡體的制造為將包含含異氰酸酯基化合物的第l成分、以及包含含活性氫基化合物的第2成分混合而使其固化。預(yù)聚物法中，異氰酸酯末端預(yù)聚物為含異氰酸酯基化合物，鏈增長劑為含活性氫基化合物。一步法中，異氰酸酯成分為含異氰酸酯基化合物，鏈增長劑和多元醇成分為含活性氫基化合前述聚氨酯發(fā)泡體可通過機械發(fā)泡法、化學發(fā)泡法等來制造。另外，根據(jù)需要還可組合使用添加空心珠的方法。特別優(yōu)選使用了作為聚烷基硅氧烷與聚醚的共聚物的硅系表面活性劑的機械發(fā)泡法。作為該硅系表面活性劑，可例示SH-192、SH-193以及L5340(DowComingToraySiliconeCo.,Ltd.公司制造)等作為適合的化合物。另外，根據(jù)需要，可添加抗氧化劑等穩(wěn)定劑、潤滑劑、顏料、填充劑、防帶電劑、其它添加劑。以下說明第4發(fā)明的制造具有橢圓氣泡的聚氨酯發(fā)泡層的方法的例子。該聚氨酯發(fā)泡層的制造方法具有以下工序。1)制造氣泡分散尿烷組合物的發(fā)泡工序和混合工序情況A.使異氰酸酯成分以及高分子量多元醇等反應(yīng)得到異氰酸酯末端預(yù)聚物，向該預(yù)聚物中添加硅系表面活性劑得到第l成分，在非反應(yīng)性氣體的存在下機械攪拌該第l成分，使非反應(yīng)性氣體作為微細氣泡分散，制成氣泡分散液。然后，向該氣泡分散液中添加包含高分子量多元醇、低分子量多元醇等含活性氫化合物的第2成分并混合，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物?？梢韵虻?成分中適當添加催化劑、炭黑等填料。情況B.向包含異氰酸酯成分(或異氰酸酯末端預(yù)聚物)的第l成分以及包含含活性氫化合物的第2成分的至少一個中添加硅系表面活性劑，在非反應(yīng)性氣體的存在下機械攪拌添加有硅系表面活性劑的成分，使非反應(yīng)性氣體作為微細氣泡分散，制成氣泡分散液。然后，向該氣泡分散液中添加另一成分并混合，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。情況C.向包含異氰酸酯成分(或異氰酸酯末端預(yù)聚物)的第1成分以及包含含活性氫化合物的第2成分的至少一個中添加硅系表面活性劑，在非反應(yīng)性氣體的存在下機械攪拌前述第1成分和第2成分，使非反應(yīng)性氣體作為微細氣泡分散，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。2)鑄型工序?qū)⑸鲜龅臍馀莘稚⒛蛲榻M合物流入模具，然后進行模具合模。3)固化工序?qū)α魅肽＞叩臍馀莘稚⒛蛲榻M合物進行加熱使其反應(yīng)固化并對模具內(nèi)部進行壓縮或減壓，保持該狀態(tài)直至不流動。作為為了形成前述微細氣泡所使用的非反應(yīng)性氣體，優(yōu)選為非可燃性氣體，具體地說，可例示氮氣、氧氣、二氧化碳氣體、氦氣、氬氣等稀有氣體、這些的混合氣體，從成本考慮，最優(yōu)選使用千燥而除去水分的空氣。作為將非反應(yīng)性氣體制成微細氣泡狀并將其分散到包含硅系表面活性劑的第l成分等中的攪拌裝置，可以沒有特別限制地使用公知的攪拌裝置，具體地說，可例示均化器、溶解器、2軸行星式攪拌機(行星攪拌機、planetarymixer)等。攪拌裝置的攪拌葉片的形狀也沒有特別限制，由于使用槌棒型的攪拌葉片可得到微細氣泡，故優(yōu)選。另外，發(fā)泡工序中制成氣泡分散液的攪拌與其后的混合工序中添加含活性氫化合物而混合的攪拌，優(yōu)選形態(tài)為使用不同的攪拌裝置。特別是混合工序中的攪拌可以不是形成氣泡的攪拌，優(yōu)選使用不巻入大的氣泡的攪拌裝置。作為這樣的攪拌裝置，適合的是行星式攪拌機。發(fā)泡工序與混合工序的攪拌裝置即使使用同一攪拌裝置也無妨，還可根據(jù)需要對調(diào)整攪拌葉片的旋轉(zhuǎn)速度等攪拌條件進行調(diào)整來使用。如上述那樣，為了制造包含橢圓氣泡的聚氨酯發(fā)泡體，需要在鑄型工序和固化工序中進行與現(xiàn)有的機械發(fā)泡法不同的操作。具體進行以下操作。1)情形l前述4壽型工序中，向l個側(cè)面或相對的側(cè)面為可動式的才莫具中流入50體積％左右的量的氣泡分散尿烷組合物，然后在模具頂面蓋頂蓋，進行合模。優(yōu)選在模具的頂蓋上設(shè)有用于排出壓縮模具時多余的氣泡分散尿烷組合物的通氣孔。然后，在固化工序中，加熱氣泡分散尿烷組合物以使其反應(yīng)固化，并移動模具的側(cè)面來壓縮模具，保持該狀態(tài)直至不流動。壓縮的程度優(yōu)選為原來^黃寬的5095%,更優(yōu)選為80~90%。此外，優(yōu)選以從通氣孔充分排出多余的氣泡分散尿烷組合物的程度進行壓縮。此時，橢圓氣泡的長軸與模具側(cè)面移動方向幾乎垂直。2)情形2前述鑄型工序中，向模具中流入50體積％左右的量的氣泡分散尿烷組合物，然后在模具頂面蓋頂蓋，進行合模。優(yōu)選在模具的至少l個側(cè)面上設(shè)有用于排出壓縮模具時多余的氣泡分散尿烷組合物的通氣孔。然后，在固化工序中，加熱氣泡分散尿烷組合物而使其反應(yīng)固化，并移動模具的頂蓋和/或底面來壓縮模具，保持該狀態(tài)直至不流動。壓縮的程度優(yōu)選為原來高度的50~98%，更優(yōu)選為85~95%。此夕卜，4尤選以/人通氣孔充分排出多余的氣泡分散尿烷組合物的程度進行壓縮。此時，橢圓氣泡的長軸與模具的頂蓋或底面的移動方向幾乎垂直。3)情形3前述鑄型工序中，向模具中流入空間允許的程度的量的氣泡分散尿烷組合物，然后在模具頂面蓋頂蓋，進行合模。在該頂蓋上設(shè)有用于對模具內(nèi)部減壓的孔。然后，在固化工序中，加熱氣泡分散尿烷組合物而使其反應(yīng)固化，并對模具內(nèi)部減壓，保持減壓狀態(tài)直至不流動。減壓的程度優(yōu)選為9030kPa,更優(yōu)選為9070kPa。此時，橢圓氣泡的長軸與才莫具的高度方向幾乎垂直。前述聚氨酯發(fā)泡體的制造方法中，對反應(yīng)直至不流動的發(fā)泡體塊進行加熱、后固化，這具有提高發(fā)泡體的物理特性的效果，故極其適合。聚氨酯發(fā)泡體中，可以使用叔胺系等公知的促進聚氨酯反應(yīng)的催化劑?？紤]混合工序后流入規(guī)定形狀的模具中的流動時間等而選擇催化劑的種類和添加量。然后，使用刨子狀或帶鋸狀的切片機對所得聚氨酯發(fā)泡體塊進行切片而制作聚氨酯發(fā)泡層。此時，切片成橢圓氣泡的長軸與發(fā)泡層的厚度方向平行。通過前述制造方法制得的聚氨酯發(fā)泡層，具有長軸與發(fā)泡層的厚度方向平行的橢圓氣泡，該發(fā)泡層的截面中的前述橢圓氣泡的平均長徑L與平均短徑S之比(L/S)為1.5~3，優(yōu)選為1.5~2。L/S不足1.5時，無法使發(fā)泡層高彈性模量化，因此，無法有效抑制發(fā)泡層的變形。其結(jié)果，保持被研磨材料的保持面的表面精度變差，使用該層疊片保持被研磨材料時，研磨后的被研磨材料的表面平滑性降低。此外，層疊片的耐久性也降低，因此，在使用該層疊片保持被研磨材料時，研磨時的研磨速度的穩(wěn)定性降低。另一方面，L/S超過3時，漿料容易浸透到發(fā)泡層中，由此導致發(fā)泡層膨潤，研磨速度的穩(wěn)定性變差。此外，橢圓氣泡的平均長徑優(yōu)選為50150(am,平均短徑優(yōu)選為10~100(im。脫離該范圍時，存在研磨速度的穩(wěn)定性變差的傾向。此外，聚氨酯發(fā)泡層中的氣泡可以包含球狀氣泡，為了充分體現(xiàn)目標的效果，橢圓氣泡的數(shù)量比例優(yōu)選為全部氣泡的30%以上，更優(yōu)選為40%以上。橢圓氣泡的數(shù)量比例可通過調(diào)整模具的壓縮或模具內(nèi)部的減壓的程度來調(diào)整至目標的范圍。聚氨酯發(fā)泡層的厚度沒有特別限制，優(yōu)選為0.2~1.2mm,更優(yōu)選為0.6~lmm。聚氨酯發(fā)泡層的比重優(yōu)選為0.20.5，更優(yōu)選為0.25~0.4。比重不足0,2時，存在氣泡率變得過高、耐久性變差的傾向。另一方面，比重超過0.5時，為了得到某一定的彈性模量而有必要使材料為低交聯(lián)密度。此時，存在永久形變增大且耐久性變差的傾向。聚氨酯發(fā)泡層的硬度優(yōu)選ASKERC硬度為10~50度，更優(yōu)選為1535度。ASKERC硬度不足10度時，存在耐久性降低、或者研磨后的被研磨材料的表面平滑性變差的傾向。另一方面，超過50度時，存在被研磨材料的保持性變差的傾向。聚氨酯發(fā)泡層的壓縮率優(yōu)選為210%,更優(yōu)選為4~8%。壓縮率不足2%時，被研磨材料的保持性變差，壓縮率超過10%時，存在耐久性、研磨后的被研磨材料的表面平滑性變差的傾向。聚氨酯發(fā)泡層的厚度偏差優(yōu)選為100pm以下，更優(yōu)選為60[im以下。厚度偏差超過100pm的聚氨酯發(fā)泡層，層疊片具有大的起伏。其結(jié)果，存在研磨后的被研磨材料的表面平滑性變差的傾向。作為抑制發(fā)泡層的厚度偏差的方法，可列舉對切片成規(guī)定厚度的發(fā)泡層表面進4亍拋光的方法。此外，在拋光時，優(yōu)選以粒度等不同的研磨材料階段性地進行拋光。基材片的形成材料沒有特別限制，可列舉例如，聚對笨二曱酸乙二酯、聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚酰亞胺、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚氟乙烯等含氟樹脂、尼龍、纖維素等?；钠暮穸葲]有特別限制，從強度、撓性等觀點出發(fā)，優(yōu)選為0.05~0.3mm左右。第4發(fā)明的層疊片可通過貼合前述基材片與聚氨酯發(fā)泡層來制造。作為貼合基材片與聚氨酯發(fā)泡層的方法，可列舉例如通過粘合劑將其貼合的方法、將基材片與聚氨酯發(fā)泡層夾著雙面膠帶加壓的方法等。雙面膠帶具有如下通常的結(jié)構(gòu)，即，在無紡布或膜等基材的兩面設(shè)置粘合層。作為粘合層的組成，可列舉例如橡膠系粘合劑、丙烯酸酯系粘合劑等?？稍趯盈B片的基材片表面設(shè)置用于貼附研磨頭的雙面膠帶。實施例以下，舉出實施例說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不限于這些實施例。[測定、評^介方法](平均氣泡徑的測定)用刮刀刃將所制作的聚氨酯發(fā)泡層盡量薄薄地平行切出厚為lmm以下，以此作為試樣。將試樣固定到載玻片上，使用SEM(S-3500N、HitachiScienceSystemsLtd.)在100倍下觀察。使用圖像分析軟件(WinRoof、三谷商事林式會社)對所得的圖像測定任意范圍的全部氣泡徑，由該值算出平均氣泡徑。(平均氣泡徑差的測定)使用SEM在65倍下觀察所制作的聚氨酯發(fā)泡層的截面。在所得的圖像上畫出沿厚度方向?qū)⒕郯滨グl(fā)泡層分成4等份的3根直線。求出在該直線的任意2mm之間與氣泡相交的直線的線段長度的平均值，將該值作為平均氣泡徑。分別求出3根直線的平均氣泡徑，由所得的平均氣泡徑的最大值和最小值求出厚度方向的平均氣泡徑差(最大值-最小值)。(連續(xù)氣泡率的測定)連續(xù)氣泡率基于ASTM-2856-94-C法測定。其中，重疊IO張沖裁成圓形的聚氨酯發(fā)泡層，將此作為試樣。測定器使用空氣比較式比重計930型(Beckman抹式會社制)。連續(xù)氣泡率通過下式算出。連續(xù)氣泡率(％)=[(V-VI)/V]x100V:由試樣尺寸算出的表觀體積(cm3)VI:使用空氣比較式比重計測定的試樣的體積(cm3)(連續(xù)氣泡的平均氣泡徑以及圓形孔的平均直徑的測定)用刮刀刃將所制作的聚氨酯發(fā)泡層盡量薄薄地平行切出厚為lmm以下，以此作為試樣。將試樣固定到載玻片上，使用SEM(S-3500N、HitachiScienceSystemsLtd.)在100倍下觀察。使用圖像分析軟件(WinRoof、三谷商事林式會社)對所得的圖像測定任意范圍的全部連續(xù)氣泡的氣泡徑，由該值算出平均氣泡徑。此外，測定任意范圍的全部連續(xù)氣泡的圓形孔的直徑，由該值算出平均直徑。(橢圓氣泡的平均長徑和平均短徑、橢圓氣泡的比例的測定)用超薄切片刀沿厚度方向?qū)⒅谱鞯木郯滨グl(fā)泡體片切斷，將所得的物質(zhì)作為測定用試樣。用掃描型電子顯微鏡(HitachiScienceSystemsLtd.制造、S-3500N)在100倍下對測定用試樣的截面拍照。然后，使用圖像分析軟件(MITANICorporation制造、WIN-ROOF),測定任意范圍的全部橢圓氣泡的長徑和短徑，由該測定值算出平均長徑L、平均短徑S以及L/S。此外，算出橢圓氣泡相對于全部氣泡的數(shù)量比例(％)。(氮氣透過速度的測定)基于ASTM-D-1434測定基材片和離型片的氮氣透過速度[cm3/cm2tcmHg]。具體通過下述方法測定。將基材片和離型片切成12cm4)的大小，以此制作試樣。用2張具有10cmcf)的氣體透過面積的^反夾入前述試樣，對該試樣的兩面施加壓力差，由25°C時的氮氣透過體積對時間變化的傾斜度算出氮氣透過速度。其中，試樣為樹脂時壓力差為0.5MPa,試樣為紙時壓力差為0.3MPa。(比重的測定)基于JISZ8807-1976來進行。將制作的聚氨酯發(fā)泡層切成4cmx8.5cm的長方形(厚度任意)，以此作為試樣，在溫度23。C士2。C、濕度50%士5%的環(huán)境下靜置16小時。測定中使用比重計(SARTORIUSK.K.制造)測定比重。(硬度的測定)基于JISK-7312來進行。將制作的聚氨酯發(fā)泡層切成5cmx5cm(厚度任意)的大小，以此作為試樣，在溫度23。C±2。C、濕度50%±5%的環(huán)境下靜置16小時。測定時，將試樣重疊，使厚度成為10mm以上。使用硬度計(高分子計器公司制造、ASKERC型硬度計、加壓面高度3mm),測定與加壓面接觸起30秒后的》更度。(壓縮率的測定)將切成直徑7mm的圓(厚度任意)的聚氨酯發(fā)泡層作為試樣，在溫度23。C土2。C、濕度50%±5%的環(huán)境下靜置40小時。測定使用熱分析測定器TMA(SEIKOINSTRUMENTS制造、SS6000)測定壓縮率。壓縮率的計算式如下所示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>Tl:對聚氨酯發(fā)泡層從無負荷狀態(tài)負荷4.9KPa(50g/cm2)的應(yīng)力并保持60秒時的聚氨酯發(fā)泡層的厚度。T2:從T1的狀態(tài)負荷29.4KPa(300g/cm2)的應(yīng)力并保持60秒時的聚氨酯發(fā)泡層的厚度。(研磨速度穩(wěn)定性的評價)作為研磨裝置使用SPP600S(岡本工作機械公司制造)。對所制作的層疊片貼合玻璃板，進行研磨速度穩(wěn)定性的評價。研磨條件如下。玻璃板6英寸cj)、厚l.lmm(光學玻璃、BK7)漿料二氧化鈰漿料(Ce02、5wt%)漿料量250ml/min研磨墊MHC14B(NittaHaasIncorporated.制造)研磨力口工壓力20kPa研磨平臺轉(zhuǎn)速45rpm玻璃板轉(zhuǎn)速術(shù)pm石開磨時間10min/張經(jīng)研磨的玻璃板張數(shù)500張首先，算出經(jīng)研磨的每1張玻璃板的平均研磨速度(人/min)。算出方法如下。平均研磨速度=[研磨前后的玻璃板的重量變化量[g]/(玻璃板密度[g/cm3]x玻璃板的研磨面積[cm2]x研磨時間[min])]x108研磨速度穩(wěn)定性(％)通過如下算出求出從第l張玻璃板至處理張數(shù)(100張、300張或500張)的最大平均研磨速度、最小平均研磨速度以及總平均研磨速度(從第l張至處理張數(shù)的各平均研磨速度的平均值)，將該值代入下式算出。研磨速度穩(wěn)定性(％)的數(shù)值越低，則表示即便研磨很多玻璃板，其研磨速度也不易變化。本發(fā)明中，優(yōu)選處理500張后的研磨速度穩(wěn)定性為10%以內(nèi)。研磨速度穩(wěn)定性(％)={(最大平均研磨速度-最小平均研磨速度)/總平均研磨速度)x100(吸附性的評價)通過萬向接頭將具有光滑面的玻璃壽反(50mmcl)xiOmm厚)懸掛在負載傳感器上，在該狀態(tài)下，以150g/cm2的壓力在貼附于支撐板的層疊片(口80mm)上吸附10秒鐘。然后，以一定速度將玻璃板向上方拉伸(拉伸速度200mm/min),測定玻璃板從層疊片剝離時的剝離強度(kPa)。(表面精度的評價)使用KLA-Tencor公司制造的表面粗糙度測定裝置P-15以下述條件測定所制作的聚氨酯發(fā)泡層的表面精度(十點平均粗糙度Rz)。測定長度800jim測定速度20,/s測定負載2mg[第l發(fā)明]實施例1在容器中加入90重量份EP330N(三井武田化學林式會社制造)、IO重量份二乙二醇、5重量份硅系表面活性劑(SH-192、DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd乂^司制造)、以及0.2重量^分催化劑(No.25,花王制造)，混合。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，添加38.5重量份MillionateMTL(日本聚氨酯工業(yè)制造)，攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。將所調(diào)制的氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片(聚對苯二曱酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成氣泡分散尿烷層。然后，在該氣泡分散尿烷層上覆蓋經(jīng)離型處理的離型片(聚對苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)。通過夾輥使氣泡分散尿烷層變?yōu)楹駆.Omm,然后在7(TC下固化40分鐘，形成聚氨酯發(fā)泡層。然后，剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片。接著，使用拋光機(AMITEC公司制造)對聚氨酯發(fā)泡層的表面進行拋光處理，使厚度為0.8mm，調(diào)整厚度精度。然后，在聚氨酯發(fā)泡層的拋光面上貼附模板，進而使用層壓機在基材片表面貼合雙面膠帶(夕':/^夕、7夕亍一"/、積水化學工業(yè)制造)，制作層疊片。圖l是顯示該聚氨酯發(fā)泡層的截面的顯微鏡照片?？芍诰郯滨グl(fā)泡層中形成有球狀氣泡。實施例2將實施例1中調(diào)制的氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片(聚對苯二曱酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成氣泡分散尿烷層。然后70。C下固化40分鐘，形成聚氨酯發(fā)泡層。接著，使用拋光機(AMITEC公司制造)對聚氨酯發(fā)泡層的表面進行拋光處理，使厚度為0.8mm,調(diào)整厚度精度。然后，在聚氨酯發(fā)泡層的拋光面上貼附模板，進而使用層壓機在基材片表面貼合雙面膠帶(夕'7'^夕？夕f一7°、積水化學工業(yè)制造)，制作層疊片。圖2是顯示該聚氨酯發(fā)泡層的截面的顯微鏡照片。可知在聚氨酯發(fā)泡層中形成有球狀氣泡。實施例3將實施例1所調(diào)制的氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片(聚對苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成氣泡分散尿烷層。然后，在該氣泡分散尿烷層上覆蓋經(jīng)離型處理的離型片(聚對苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)。通過夾輥使氣泡分散尿烷層變?yōu)楹?.8mm,然后在70。C下固化40分鐘，形成聚氨酯發(fā)泡層。然后，剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片。在該聚氨酯發(fā)泡層上形成有皮層。然后，在該皮層上貼附模板，進而使用層壓機在基材片表面貼合雙面膠帶(夕、、7Vk夕'7夕尹一/、積水化學工業(yè)制造)，制作層疊片。圖3是顯示該聚氨酯發(fā)泡層的截面的顯微鏡照片?？芍诰郯滨グl(fā)泡層中形成有球狀氣泡。比4交例1將10重量份熱塑性尿烷(RESAMINE7285、大日精化制造)溶解于90重量份二曱基曱酰胺，調(diào)制尿烷溶液，并將該尿烷溶液涂布到基材片(聚對苯二曱酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成尿烷膜。然后，將尿烷膜-基材片浸漬到DMF-水混合液(DMF/水=30/70)中30分鐘，進而在水中浸漬24小時從而用水置換二甲基甲酰胺，形成聚氨酯發(fā)泡層。然后，在發(fā)泡層的表面貼附模板，進而使用層壓機在基材片表面貼合雙面膠帶(夕'7'、^夕7夕r一/、積水化學工業(yè)制造)，制作層疊片。圖4是顯示該聚氨酯發(fā)泡層的截面的顯微鏡照片?？芍诰郯滨グl(fā)泡層中形成有細長水滴狀氣泡。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage41</column></row><table>由表1可知，通過使用由本發(fā)明的制造方法制作的層疊片，即便研磨許多晶圓，研磨速度也難以變化。[第2發(fā)明]實施例1向容器中添加60重量份高分子量多元醇EX-5030(旭硝子抹式會社制造、OHV:33、官能團數(shù)3)、40重量份聚己內(nèi)酯三元醇(DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制造、PLACCEL305、OHV:305、官能團數(shù)3)、5重量份硅系表面活性劑(SH-192、DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd乂/^司制造)、以及0.18重量份催化劑(No.25花王制造)，混合，調(diào)制第2成分(25°C)。另夕卜，平均羥基值(OHVav)為141.8mgKOH/g(計算值)，平均官能團數(shù)(fav)為3(計算值)。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將40.3重量份作為第l成分的碳化二亞胺改性MDI(日本聚氨酯工業(yè)才朱式會社制造、MillionateMTL、NCOwt%:29wt%、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1)，攪拌約1分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。將調(diào)制的氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片(聚對笨二曱酸乙二酯、東洋紡織抹式會社制造、東洋紡酯E5001、厚度0.188mm、氮氣透過速度3.72x1(r"[cm3/cm2's'cmHg])上，形成氣泡分散尿烷層。然后，在該氣泡分散尿烷層上覆蓋經(jīng)離型處理的離型片(聚對苯二甲酸乙二酯、東洋紡織株式會社制造、東洋紡酯E7002、厚度0.05mm、氮氣透過速度1.15xl(r1()[cm3/cm2's'cmHg])。通過夾壽昆(間隙0.75mm)4吏氣泡分散尿烷層變?yōu)楹?.8mm,然后在40。C下固化60分鐘，形成聚氨酯發(fā)泡層。然后，剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片。在聚氨酯發(fā)泡層上形成有皮層。然后，使用層壓機在基材片表面貼合雙面膠帶(夕'7、、^夕夕T—7°、積水化學工業(yè)制造)，制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果主要形成了在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡。實施例2使用離型片(聚丙烯、東洋紡織林式會社制造、Toy叩al-SSP4256、厚度0.05mm、氮氣透過速度2.33xl0-9[cm3/cm2.s.cmHg])代替實施例1記載的離型片，除此以外，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果主要形成了在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡。比l交例1使用離型片(王子制紙制造、七^一夕一70GS、厚度0.058mm、氮氣透過速度1.06x1(T6[cm3/cm2's'cmHg])代替實施例l記載的離型片，除此以外，通過與實施例1同樣的方法制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果主要形成了在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table>可知實施例的層疊片由于表面精度非常高，因而吸附性優(yōu)異。另一方面，可知比較例的層疊片的表面精度低、吸附性差。[第3發(fā)明]向容器中添加60重量份高分子量多元醇EX-5030(旭硝子抹式會社制造、OHV:33、官能團數(shù)3)、40重量份聚己內(nèi)酯三元醇(DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制造、PLACCEL305、OHV:305、官能團數(shù)3)、5重量份硅系表面活性劑(SH-192、DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd乂〉司制造)、以及0.18重量份催化劑(No.25，花王制造)，混合，調(diào)制第2成分(25°C)。另外，平均羥基值(OHVav)為141.8mgKOH/g(計算值)，平均官能團數(shù)(fav)為3(計算值)。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將40.3重量份作為第l成分的碳化二亞胺改性MDI(日本聚氨酯工業(yè)4朱式會社制造、MillionateMTL、NCOwt%:29wt%、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1),攪拌約1分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。將調(diào)制的氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片(聚對苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)上，形成氣泡分散尿烷層。然后，在該氣泡分散尿烷層上覆蓋經(jīng)離型處理的離型片(聚對苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)。通過夾輥(間隙0.75mm)使氣泡分散尿烷層變?yōu)楹?.8mm,然后在40。C下固化60分鐘，形成聚氨酯發(fā)泡層。然后，剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片。然后，積水化學工業(yè)制造)，制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果主要形成了在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的實施例1夕、'7、、》夕'y，r一7、實施例2向容器中添力口EX-5030(85重量4分)、PLACCEL305(13重量份)、2重量份二乙二醇(OHV:1057、官能團數(shù)2)、SH-192(5重量份)、以及0.34重量份催化劑(No.25)，混合，調(diào)制第2成分(25°C)。另夕卜，平均羥基值(OHVav)為88.84mgKOH/g(計算值)，平均官能團數(shù)(fav)為2.9S(計算值)。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將作為第l成分的MillionateMTL(25.2重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH-1.1),攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果主要形成了在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡。實施例3向容器中添加45重量份分散有由笨乙烯-丙埽腈共聚物形成的聚合物顆粒的聚合物多元醇EX-940(旭硝子抹式會社制造、OHV:28、官能團數(shù)換算成3)、35重量份聚四亞甲基醚二醇(三菱化學工業(yè)抹式會社制造、PTMG2000、OHV:56、官能團數(shù)2)、PLACCEL305(10重量4分)、二乙二醇(10重量份)、SH-192(5重量份)、以及0.25重量份催化劑(No.25),混合，調(diào)制第2成分(25°C)。另外，平均鞋基值(OHVav)為137.4mgKOH/g(計算值)，平均官能團數(shù)(fav)為2.55(計算值)。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將作為第l成分的MillionateMTL(39重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1),攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果主要形成了在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡。實施例4向容器中添力口PTMG2000(700重量份)、150重量份聚四亞甲基醚二醇(三菱化學工業(yè)林式會社制造、PTMG650、OHV:173、官能團數(shù)2)，邊攪拌邊進行約l小時減壓脫水。然后，將反應(yīng)容器內(nèi)置換為氮氣。然后，向反應(yīng)容器內(nèi)添加436重量份M川ionateMT(日本聚氨酯工業(yè)抹式會社制造、PureMDI)。然后，將反應(yīng)體系內(nèi)的溫度保持為約80。C并使其反應(yīng)約4小時，合成異氰酸酯末端預(yù)聚物A(NCOwt%:7.53wt%)。向容器中添加異氰酸酯末端預(yù)聚物A(128重量份)、以及SH-192(5重量份)并混合，調(diào)整為40。C并減壓脫泡，調(diào)制第l成分。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將溫度調(diào)節(jié)為25。C的混合15重量份三乙二醇(OHV:747、官能團數(shù)2)以及0.12重量份催化劑(No.25)得到的第2成分添加到前述第1成分中(NCO/OH=1.15),攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。另外，平均羥基值(OHVav)為177.2mgKOH/g(計算值)，平均官能團數(shù)(fav)為2(計算值)。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果主要形成了在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡。比專交例1向容器中添加EX-5030(90重量份)、PLACCEL305(8重量份)、二乙二醇(2重量份)、SH-192(5重量份)、以及0.36重量份催化劑(No.25)，混合，調(diào)制第2成分(25°C)。另外，平均鞋基值(OHVav)為75.24mgKOH/g(計算值)，平均官能團數(shù)(fav)為2.98(計算值)。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將作為第l成分的MillionateMTL(21.4重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1),攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果幾乎為獨立氣泡。比豐交例2向容器中添加PTMG650(850重量份)，邊攪拌邊進行約1小時減壓脫水。然后，將反應(yīng)容器內(nèi)置換為氮氣。然后，向反應(yīng)容器內(nèi)添加MillionateMT(635重量份)。然后，將反應(yīng)體系內(nèi)的溫度保持為約80。C并使其反應(yīng)約4小時，合成異氰酸酯末端預(yù)聚物B(NCOwt。/。6.99wt%)。向容器中添加異氰酸酯末端預(yù)聚物B(150重量份)、以及SH-192(5重量份)并混合，調(diào)整為40。C并減壓脫泡，調(diào)制第l成分。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將溫度調(diào)節(jié)為25。C的混合三乙二醇(15重量份)以及0.1重量份催化劑(No.25)得到的第2成分添加到前述第l成分中(NCO/OH=1.25),攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。另外，平均羥基值(OHVav)為259.1mgKOH/g(計算值)，平均官能團數(shù)(fav)為2(計算值)。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果幾乎為獨立氣泡。比專交例3向容器中添加PTMG2000(550重量份)以及PTMG650(200重量份)，邊攪拌邊進行約l小時減壓脫水。然后，將反應(yīng)容器內(nèi)置換為氮氣。然后，向反應(yīng)容器內(nèi)添加MillionateMT(620重量份)。然后，將反應(yīng)體系內(nèi)的溫度保持為約80。C并使其反應(yīng)約4小時，合成異氰酸酯末端預(yù)聚物C(NCOwt%:11.73wt%)。向容器中添加異氰酸酯末端預(yù)聚物C(]37重量份)、以及SH-192(5重量份)并混合，調(diào)整為40。C并減壓脫泡，調(diào)制第l成分。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將溫度調(diào)節(jié)為25。C的混合三乙二醇(25重量份)以及0.08重量份催化劑(No.25)得到的第2成分添加到前述第l成分中(NCO/OH=1.15),攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。另外，平均羥基值(OHVav)為252.15mgKOH/g(計算值)，平均官能團數(shù)(fav)為2(計算值)。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。在顯微鏡下觀察聚氨酯發(fā)泡層的截面，結(jié)果幾乎為獨立氣泡。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>實施例14的層疊片由于具有連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)，因而表面精度高，且吸附性也優(yōu)異。比較例l的層疊片具有獨立氣泡結(jié)構(gòu)、吸附性優(yōu)異，但表面精度差。因此，研磨時的被研磨材料的研磨均勻性降低。比較例2和比較例3的層疊片具有獨立氣泡結(jié)構(gòu)，吸附性和表面精度均差。[第4發(fā)明]實施例1向容器中添加60重量份高分子量多元醇EX-5030(旭硝子抹式會社制造、OHV:33、官能團數(shù)3)、40重量份聚己內(nèi)酯三元醇(DAICELCHEMICALINDUSTRIES,LTD.制造、PLACCEL305、OHV:305、官能團數(shù)3)、5重量份硅系表面活性劑(SH-192、DowCorningToraySiliconeCo.,Ltd乂〉司制造)、以及0.18重量份催化劑(No.25,花王制造)，混合，調(diào)制第2成分(25。C)。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將40.3重量份作為第l成分的碳化二亞胺改性MDI(日本聚氨酯工業(yè)抹式會社制造、MillionateMTL、NCOwt%:29wt%、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=1.1),攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。將前述氣泡分散尿烷組合物流入才莫具(寬800mm、長1300mm、高35mm)中直至液面高度成為31mm(88體積％)。然后在該模具頂面覆蓋以3mm間隔設(shè)置巾3mm的通氣孔的頂蓋，進行合模。然后在7(TC加熱該組合物使其反應(yīng)固化，并移動模具的側(cè)面將才莫具的寬度乂人8OOmm壓縮至700mm,保持該狀態(tài)直至混合液不流動。另外，多余的組合物從通氣孔排出。然后，在70。C后固化1小時，得到聚氨酯發(fā)泡體塊。使用帶鋸型切片機(Fecken公司制造)將該聚氨酯發(fā)泡體塊切片，使得橢圓氣泡的長軸與厚度方向平行，得到聚氨酯發(fā)泡體片。接著，4吏用拋光機(AMITEC公司制造)對該片的表面進行拋光處理，直到厚度為0.8mm,調(diào)整厚度精度。然后，以直徑17cm的大小沖裁該經(jīng)拋光處理的片，得到聚氨酯發(fā)泡層。然后，使用雙面膠帶(積水化學工業(yè)制造、夕、、7Vk夕少夕r一y)貼合聚氨酯發(fā)泡層和基材片(聚對苯二甲酸乙二酯、厚度0.2mm)。然后在聚氨酯發(fā)泡層的拋光面上貼附模板，進而使用層壓機在基材片表面貼合雙面膠帶(夕、、7V"夕？夕r一7°、積水化學工業(yè)制造)，制作層疊片。實施例2向容器中添加45重量份分散有由苯乙雄-丙烯腈共聚物形成的聚合物顆粒的聚合物多元醇EX-940(旭硝子抹式會社制造、OHV:28、官能團數(shù)換算成3)、35重量份聚四亞曱基醚二醇(三菱化學工業(yè)株式會社制造、PTMG2000、OHV:56、官能團數(shù)2)、PLACCEL305(10重量4分)、二乙二醇(10重量份)、SH-192(5重量份)、以及0.25重量份催化劑(No.25),混合，調(diào)制第2成分(25°C)。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將作為第l成分的MillionateMTL(39重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH=l.])，攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。實施例3通過與實施例1同樣的方法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。將前述氣泡分散尿烷組合物流入模具(寬800mm、長1300mm、高35mm)中直至液面高度成為31mm(88體積％)。然后在該模具頂面覆蓋以3mm間隔設(shè)置小3mm的通氣孔的頂蓋，進行合才莫。然后，將該模具放入真空爐中，在70。C加熱該組合物使其反應(yīng)固化，并減壓至80kPa,保持該狀態(tài)直至混合液不流動。另夕卜，多余的組合物從通氣孔排出。然后，在70。C后固化1小時，得到聚氨酯發(fā)泡體塊。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。實施例4向容器中添加EX-5030(90重量份)、PLACCEL305(8重量份)、二乙二醇(2重量份)、SH-192(5重量^f分)、以及0.36重量份催化劑(No.25)，混合，調(diào)制第2成分(25°C)。然后，使用攪拌葉片以轉(zhuǎn)速900rpm進行約4分鐘激烈攪拌以使氣泡進入反應(yīng)體系內(nèi)。然后，將作為第l成分的MillionateMTL(21重量份、25°C)添加到前述第2成分中(NCO/OH-1.1),攪拌約l分鐘，調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。比4交例1通過與實施例1同樣的方法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物。將前述氣泡分散尿烷組合物流入模具(寬800mm、長1300mm、尚35mm)中。然后，在70。C加熱該組合物使反應(yīng)固化。然后，在7(TC后固化1小時，得到聚氨酯發(fā)泡體塊。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。比專交例2通過與實施例1同樣的方法得到聚氨酯發(fā)泡體塊。使用帶鋸型切片機(Fecken公司制造)將該聚氨酯發(fā)泡體塊切片，使得橢圓氣泡的長軸與厚度方向垂直，得到聚氨酯發(fā)泡體片。然后，通過與實施例l同樣的方法制作層疊片。<table>tableseeoriginaldocumentpage54</column></row><table>由表4可知，本發(fā)明的層疊片由于被研磨材料的吸附性優(yōu)異且耐久性優(yōu)異，因而，長時間研磨速度的穩(wěn)定性優(yōu)異。權(quán)利要求1.層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序；以及將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序。2.層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在氣泡分散尿烷組合物上層疊離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序；以及剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片的工序。3.層疊片，其通過權(quán)利要求1或2所述的方法制造而成。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層疊片，其中，聚氨酯發(fā)泡層具有平均氣泡徑為20300pm的球狀的微細氣泡。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的層疊片，其中，聚氨酯發(fā)泡層的厚度方向的平均氣泡徑差(平均氣泡徑最大值-平均氣泡徑最小值)為50jim以下。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層疊片，其中，聚氨酯發(fā)泡層的比重為0.2~0.5。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層疊片，其中，聚氨酯發(fā)泡層的ASKERC硬度為10~50度。8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層疊片，其中，聚氨酯發(fā)泡層的壓縮率為2~10%。9.層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在涂布的氣泡分散尿烷組合物上層疊氮氣透過速度為lxl(r7[cm3/cm2's.cmHgpV、下的離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成具有連續(xù)氣泡的聚氨酯發(fā)泡層的工序。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的層疊片的制造方法，其中，前述基材片的氮氣透過速度為lxl(T7[cm3/cm2.s.cmHg]以下。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的層疊片的制造方法，其中，前述基材片為聚對苯二甲酸乙二酯膜，前述離型片為實施了離型處理的聚對苯二曱酸乙二酯膜。12.層疊片，其通過權(quán)利要求9所述的方法制造而成。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊片，其中，連續(xù)氣泡的平均氣泡徑為20300jim。14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊片，其中，聚氨酯發(fā)泡層的比重為0.2~0.5。15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊片，其中，聚氨酯發(fā)泡層的ASKERC硬度為10~50度。16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊片，其中，聚氨酯發(fā)泡層的壓縮率為2~10%。17.層疊片，該層疊片由基材片和聚氨酯發(fā)泡層形成，其特征在于，前述聚氨酯發(fā)泡層具有球狀的連續(xù)氣泡，在該連續(xù)氣泡的表面形成有圓形孔。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的層疊片，其中，連續(xù)氣泡的平均氣泡徑為20300(im,圓形孔的平均直徑為100pm以下。19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的層疊片，其中，前述聚氨酯發(fā)泡層含有異氰酸酯成分和含活性氫化合物作為原料成分，前述含活性氫化合物含有60~85重量％的官能團數(shù)為2~4、羥基值為20~100mgKOH/g的高分子量多元醇。20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的層疊片，其中，前述聚氨酯發(fā)泡層含有異氰酸酯成分和含高分子量多元醇的含活性氫化合物作為原料成分，前述高分子量多元醇含有20~100重量％的聚合物多元醇，該聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物顆粒。21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的層疊片，其中，前述聚合物多元醇的官能團數(shù)為24、羥基值為20100mgKOH/g。22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的層疊片，其中，前述含活性氫化合物含有215重量％的羥基值為400~1830mgKOH/g的低分子量多元醇和/或胺值為400~1870mgKOH/g的低分子量多胺。23.層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序，該氣泡分散尿烷組合物含有異氰酸酯成分和含活性氳化合物作為原料成分，該含活性氫化合物含有60~85重量％的官能團數(shù)為2~4、羥基值為20~100mgKOH/g的高分子量多元醇；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；通過使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序，該聚氨酯發(fā)泡層具有在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡；以及將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序。24.層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序，該氣泡分散尿烷組合物含有異氰酸酯成分和含活性氳化合物作為原料成分，該含活性氫化合物含有60~85重量％的官能團lt為2~4、羥基值為20~100mgKOH/g的高分子量多元醇；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在氣泡分散尿烷組合物上層疊離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序，該聚氨酯發(fā)泡層具有在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡；以及剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片的工序。25.層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序，該氣泡分散尿烷組合物含有異氰酸酯成分和含聚合物多元醇的含活性氫化合物作為原料成分，該聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物顆粒；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；通過使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序，該聚氨酯發(fā)泡層具有在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡；以及將聚氨酯發(fā)泡層的厚度調(diào)整均勻的工序。26.層疊片的制造方法，包括通過機械發(fā)泡法調(diào)制氣泡分散尿烷組合物的工序，該氣泡分散尿烷組合物含有異氰酸酯成分和含聚合物多元醇的含活性氫化合物作為原料成分，該聚合物多元醇包含由丙烯腈和/或苯乙烯-丙烯腈共聚物形成的聚合物顆粒；將氣泡分散尿烷組合物涂布到基材片上的工序；在氣泡分散尿烷組合物上層疊離型片的工序；通過擠壓單元使厚度均勻并使氣泡分散尿烷組合物固化而形成聚氨酯發(fā)泡層的工序，該聚氨酯發(fā)泡層具有在氣泡表面形成有圓形孔的球狀的連續(xù)氣泡；以及剝離聚氨酯發(fā)泡層上的離型片的工序。27.層疊片，其通過權(quán)利要求23~26任一項所述的方法制造而成。28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的層疊片，其中，連續(xù)氣泡的平均氣泡徑為20~300pm,圓形孔的平均直徑為100(im以下。29.層疊片，該層疊片包括基材片和聚氨酯發(fā)泡層，其特征在于，前述聚氨酯發(fā)泡層具有長軸與聚氨酯發(fā)泡層的厚度方向平行的橢圓氣泡，前述聚氨酯發(fā)泡層的截面中的橢圓氣泡的平均長徑L與平均短徑S之比(L/S)為1.5~3。30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的層疊片，其中，前述橢圓氣泡的數(shù)量比例為全部氣泡的30%以上。31.根據(jù)權(quán)利要求29所述的層疊片，其中，前述橢圓氣泡為連續(xù)氣泡。全文摘要第1發(fā)明的目的在于提供極其容易地制造保持面的表面精度高的層疊片的方法。第2發(fā)明的目的在于提供極其容易地制造保持面的表面精度高、被研磨材料的吸附性優(yōu)異的層疊片的方法。第3發(fā)明的目的在于提供保持面的表面精度高、被研磨材料的吸附性優(yōu)異的層疊片及其制造方法。第4發(fā)明的目的在于提供被研磨材料的吸附性優(yōu)異且耐久性優(yōu)異的層疊片。本發(fā)明的層疊片包括基材片和聚氨酯發(fā)泡層。文檔編號B29C39/12GK101223016SQ20068002594公開日2008年7月16日申請日期2006年7月7日優(yōu)先權(quán)日2005年7月15日發(fā)明者廣瀨純司,福田武司申請人:東洋橡膠工業(yè)株式會社