專利名稱：片狀儀器的制造裝置、片狀儀器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種片狀儀器的制造裝置及片狀儀器的制造方法，該片狀儀器用于將形成于鑄型(模具)的圖案轉(zhuǎn)印到基材上的樹脂處。
背景技術(shù)：
作為用于形成具有微細(xì)的凹凸形狀(從微米級(jí)到納米級(jí)的凹凸形狀)圖案的片狀儀器的微細(xì)加工技術(shù)，存在一種壓印(日文4 7 U >卜)技術(shù)。壓印技術(shù)具有熱方式和光方式這兩種方式。光方式的壓印能廉價(jià)地制作出微細(xì)結(jié)構(gòu)。因此，光方式的壓印在多方面投入了實(shí)際使用。在壓印中，使用加工有微細(xì)圖案的鑄型(模具)。熱方式的壓印是以下技術(shù)在將形成于鑄型的微細(xì)圖案按壓到基材上的熱固性樹脂之后，通過對(duì)處于按壓有上述微細(xì)圖案的狀態(tài)下的熱固性樹脂施加熱以使該樹脂固化，從而將微細(xì)圖案轉(zhuǎn)印到樹脂。光方式的壓印是以下技術(shù)在將形成于鑄型的微細(xì)圖案按壓到基材上的光固化樹脂之后，通過對(duì)處于按壓有上述微細(xì)圖案的狀態(tài)下的光固化樹脂照射光以使該樹脂固化，從而將微細(xì)圖案轉(zhuǎn)印到樹脂。在光方式的壓印中，主要使用UV(紫外線)固化樹脂。通過利用這種壓印技術(shù)來將圖案轉(zhuǎn)印到基材上的樹脂，從而能制作出壓印有圖案的片狀儀器。然而，在壓印中，當(dāng)鑄型與基材上的樹脂緊貼時(shí)，氣體容易被封入鑄型與樹脂之間。若封入鑄型與樹脂之間的氣體殘留，則在樹脂中會(huì)發(fā)生圖案未轉(zhuǎn)印部或圖案形狀不佳部。圖案未轉(zhuǎn)印部是圖案沒有被轉(zhuǎn)印的部分。圖案形狀不佳部是圖案的形狀并非是期望的形狀的部分。以防止因這種氣體封入而引起的圖案的未轉(zhuǎn)印和圖案的形狀不佳為目的，例如在日本專利JP2007-194304A中提出了一種使用室的壓印方法。圖8是表示日本專利JP2007-194304A中公開的現(xiàn)有壓印裝置的圖。當(dāng)使用圖8所示的壓印裝置時(shí)，能在減壓后的壓印室101內(nèi)進(jìn)行壓印。藉此，圖8所示的壓印裝置能防止殘留氣泡產(chǎn)生以減少氣體封入。此外，根據(jù)圖8所示的壓印裝置，通過對(duì)設(shè)于模具106上側(cè)(模具106的未形成有圖案的背面?zhèn)?的輔助室108內(nèi)的壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而能控制模具106的形變(strain:應(yīng)變)。以下，對(duì)圖8所示的壓印裝置進(jìn)行說明。在圖8所示的壓印裝置中，在壓印室101的上部設(shè)有模具106。在該模具106的上側(cè)(模具106的未形成有圖案的背面?zhèn)?設(shè)有輔助室108。另外，壓印室101和輔助室108通過配管111而與真空泵115相連。在壓印室101與真空泵115之間設(shè)有閥113。在輔助室108與真空泵115之間設(shè)有閥114。此外，壓印室101與輔助室108通過配管111而相連。在壓印室101與輔助室108之間設(shè)有閥112。如上所述構(gòu)成的壓印裝置是按如下方式進(jìn)行動(dòng)作的。即，在將涂布有光固化性的被轉(zhuǎn)印體105的基板104導(dǎo)入壓印室101內(nèi)之后，壓印裝置首先打開閥112 114以對(duì)壓印室101和輔助室108進(jìn)行排氣。接著，壓印裝置利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)102使基板104朝模具106上升，以使被轉(zhuǎn)印體105與模具106的圖案接觸。然后，壓印裝置先關(guān)閉閥112和閥113，再使真空泵115停止以使輔助室108回到大氣壓。藉此，被轉(zhuǎn)印體105與模具106的圖案緊貼。然后，在壓印 裝置中，使光從設(shè)于輔助室108上側(cè)的光源110穿過設(shè)于輔助室108上部的透光部109和具有透光性的模具106而照射到被轉(zhuǎn)印體105。藉此，使被轉(zhuǎn)印體105固化。這樣，當(dāng)使用圖8所示的壓印裝置時(shí)，能在真空狀態(tài)下進(jìn)行壓印。由此，現(xiàn)有的壓印裝置能防止因氣體殘留而引起的圖案的未轉(zhuǎn)印及圖案的形狀不佳。此外，通過與壓印室101內(nèi)的壓力相適地對(duì)輔助室108內(nèi)的壓力進(jìn)行任意調(diào)節(jié)，就能避免模具106的變形。如上所述，提出了一種能在室內(nèi)進(jìn)行壓印且能進(jìn)行模具的形變控制的壓印裝置。然而，該壓印裝置是在鑄型(模具)的上側(cè)和下側(cè)分別設(shè)有室并使涂布在插入下側(cè)的室的基材上的樹脂與形成于鑄型的圖案緊貼的結(jié)構(gòu)。因此，在要求片狀儀器(用于轉(zhuǎn)印微細(xì)圖案的儀器)具有大面積的情況下，需要增大上述壓印裝置的鑄型，從而使裝置大型化。另夕卜，一旦鑄型變大，則對(duì)鑄型的形變進(jìn)行控制就變得困難。因此，容易因鑄型與基材的平面形狀的誤差而導(dǎo)致出現(xiàn)鑄型與樹脂處于未接觸或未緊貼的未接觸部(未緊貼部)。其結(jié)果是，容易發(fā)生因鑄型與樹脂的未接觸部(未緊貼部)而引起的圖案的未轉(zhuǎn)印或圖案的形狀不佳。圖案越是微細(xì)，上述圖案的未轉(zhuǎn)印和圖案的形狀不佳的問題就越顯著。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種不易發(fā)生圖案的未轉(zhuǎn)印、圖案的形狀不佳等不良情況的片狀儀器的制造裝置及片狀儀器的制造方法。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的片狀儀器的制造裝置包括鑄型，該鑄型具有形成有圖案的圖案形成面；彈性體，該彈性體與上述鑄型相對(duì)配置；加壓裝置，該加壓裝置使上述鑄型和上述彈性體夾住基材，以將上述圖案形成面按壓到上述基材上的樹脂；以及固化裝置，該固化裝置使上述基材上的上述樹脂固化，上述圖案形成面的投影區(qū)域中的上述彈性體的表面是朝上述鑄型側(cè)呈凸?fàn)畹那妗Ａ硗?，為?shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的片狀儀器的制造方法包括加壓工序，在該加壓工序中，使用具有形成有圖案的圖案形成面的鑄型和具有曲率的規(guī)定形狀的彈性體來夾住基材，其中，該基材的與上述圖案形成面相對(duì)的一個(gè)面上設(shè)有樹脂，從而將上述圖案形成面按壓到上述樹脂來對(duì)上述樹脂進(jìn)行加壓；以及固化工序，在該固化工序中，使上述基材上的樹脂發(fā)生固化，在加壓時(shí)，隨著上述鑄型和上述彈性體中的至少一方朝上述鑄型與上述彈性體靠近的方向移動(dòng)，上述圖案形成面與上述樹脂接觸的范圍從上述圖案形成面的內(nèi)側(cè)朝外側(cè)擴(kuò)大。根據(jù)本發(fā)明，不易發(fā)生圖案的未轉(zhuǎn)印、圖案的形狀不佳等不良情況。


圖I是表示本發(fā)明實(shí)施方式I的壓印裝置的側(cè)視圖。圖2是將本發(fā)明實(shí)施方式I的壓印裝置的主要部分放大后表示的側(cè)剖視圖。圖3(a) 圖3(d)是用于說明本發(fā)明實(shí)施方式I的加壓工序的圖。
圖4是用于說明本發(fā)明實(shí)施方式I的固化工序的圖。
圖5是用于說明本發(fā)明實(shí)施方式I的壓印裝置的動(dòng)作的立體圖。圖6(a) 圖6(d)是用于說明本發(fā)明實(shí)施方式2的加壓工序的圖。圖7是用于說明本發(fā)明實(shí)施方式2的固化工序的圖。圖8是表示現(xiàn)有的壓印裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。對(duì)于相同的構(gòu)成要素，有時(shí)會(huì)標(biāo)注相同的符號(hào)，并省略重復(fù)的說明。另外，為了容易理解附圖，在主體上示意地示出了各構(gòu)成要素。此外，圖示出的各構(gòu)成要素的厚度、長(zhǎng)度等考慮到制圖方便，與實(shí)際情況有所不同。(實(shí)施方式I)對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式I進(jìn)行說明。圖I是表示作為本發(fā)明實(shí)施方式I的片狀儀器的制造裝置的一例的壓印裝置整體的側(cè)視圖。在圖I中，示出了筐體3的內(nèi)部，其中，在上述筐體3底面上配置有壓印用的鑄型(模具)4。以下，將壓印用的鑄型簡(jiǎn)稱為“鑄型”。作為由片狀儀器的制造裝置制造出的片狀儀器，例如有防反射片。本實(shí)施方式I的壓印裝置首先使用鑄型4，將微細(xì)圖案5按壓到覆蓋基材8的一個(gè)面的未圖示的UV(紫外線)固化樹脂，以對(duì)UV固化樹脂進(jìn)行加壓。然后，該裝置使UV照射裝置6發(fā)出UV光。該UV光透過鑄型4而被照射至UV固化樹脂。照射到UV光的UV固化樹脂發(fā)生固化。藉此，可將微細(xì)圖案轉(zhuǎn)印至片狀基材8上的UV固化樹脂上。鑄型4具有形成有微細(xì)圖案5的圖案形成面?；?是片狀的無縫構(gòu)件。在該裝置中，當(dāng)加壓時(shí)，在片狀基材8的下側(cè)配置有彈性體9，利用鑄型4和彈性體9來夾住片狀基材8。彈性體9的表面在與鑄型4相對(duì)的部分具有朝基材8側(cè)呈凸?fàn)畹那?。根?jù)該裝置，在加壓時(shí)，利用彈性體9的形狀和彈力使鑄型4的圖案形成面與基材8上的UV固化樹脂接觸的范圍從圖案形成面的內(nèi)側(cè)朝外側(cè)逐漸擴(kuò)大。此外，通過這樣使鑄型4的圖案形成面與基材8上的UV固化樹脂接觸，從而可使因氣體殘留或因產(chǎn)生鑄型4與UV固化樹脂的未接觸部(未緊貼部)而引起的圖案的未轉(zhuǎn)印、圖案的形狀不佳等不良情況不易發(fā)生。以下，對(duì)本實(shí)施方式I的片狀儀器的制造裝置(壓印裝置)及片狀儀器的制造方法(壓印方法)進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖I所示，本實(shí)施方式I的壓印裝置包括能沿正交的方向相互移動(dòng)的X軸工作臺(tái)I和Y軸工作臺(tái)2。X軸工作臺(tái)I是沿與圖I的紙面垂直的方向直線移動(dòng)的前后直線移動(dòng)軸。Y軸工作臺(tái)2是沿圖I的紙面的上下方向直線移動(dòng)的上下直線移動(dòng)軸。Y軸工作臺(tái)2安裝于X軸工作臺(tái)I。在本實(shí)施方式I中，將X軸工作臺(tái)I所能移動(dòng)的方向設(shè)為X方向，將Y軸工作臺(tái)2所能移動(dòng)的方向設(shè)為Y方向，將與X方向和Y方向正交的方向設(shè)為Z方向。在Y軸臺(tái)2上安裝有筐體3。在該筐體3的底面上朝下配置有鑄型4，該鑄型4具有形成有微細(xì)圖案5的圖案形成面的。也就是說，鑄型4是以使使微細(xì)圖案5朝下的方式配置的。藉此，鑄型4的微細(xì)圖案5便被配置成朝向片狀的基材8。另外，鑄型4在調(diào)節(jié)過搖動(dòng)(傾斜)的狀態(tài)下被配置成使微細(xì)圖案5與XZ平面平行。在本實(shí)施方式I中，使用配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域在面方向上的形狀呈平面形狀、且該平面的尺寸(配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的尺寸)為20mm見方的鑄型來作為鑄型4。例如,在制造防反射片時(shí),該微細(xì)圖案5的凹凸的深度為200 300nm。在筐體30的內(nèi)部配置有用于使基材8上的未圖示的UV固化樹脂發(fā)生固化的UV照射裝置6。在本實(shí)施方式I中，由于UV照射裝置6配置在鑄型4的上側(cè)，因此，需使用可使UV光透過的材料作為鑄型4的材料。例如，能使用石英玻璃來作為既可在其表面上加工微細(xì)圖案又可使UV光透過的材料。在筐體3的頂板部配置有與Y軸工作臺(tái)2的底面抵接的壓力傳感器7。該壓力傳感器7是為了對(duì)成形壓力進(jìn)行測(cè)量而設(shè)置的。在鑄型4的下側(cè)配置有片狀的無縫基材8。由此，鑄型4的微細(xì)圖案5與基材8上的未圖示的UV固化樹脂相對(duì)。在本實(shí)施方式I中，使用以PET膜為材料的無縫基材來作為基材8。在基材8的下側(cè)以與鑄型4相對(duì)的方式配置有具有曲率的規(guī)定形狀的彈性體9。 在本實(shí)施方式I中，彈性體9是直徑為800_的圓筒形狀，并被配置成與X軸平行。作為上述彈性體9的材料，需要選擇至少比鑄型(模具)4柔軟的且具有在成形時(shí)不致于破壞鑄型4的微細(xì)圖案5這樣程度的硬度的材料。在本實(shí)施方式I中，選擇彈性率為3. 5MPa的硅橡膠來作為彈性體9的材料。在彈性體9中設(shè)置用于防止UV光在該彈性體9的表面上反射的防反射結(jié)構(gòu)是較為理想的。這是為了防止透過鑄型4、UV固化樹脂、基材8的UV光在彈性體9上發(fā)生反射從而使UV光照射到期望的部位以外的部位。作為防反射結(jié)構(gòu)的一例，也可將彈性體9的表面著色成能防止反射的顏色。在該壓印裝置中，在彈性體9的兩側(cè)配置有彎曲控制滾筒10和旋轉(zhuǎn)控制滾筒11。在本實(shí)施方式I中，彎曲控制滾筒10是直徑為60_的圓筒形狀，并被配置成與X軸平行。另外，旋轉(zhuǎn)控制滾筒11是直徑為60_的圓筒形狀，并被配置成與X軸平行。也就是說，彎曲控制滾筒10和旋轉(zhuǎn)控制滾筒11都被配置成與圓筒形狀的彈性體9平行。另外，基材8以架設(shè)在彈性體9、彎曲控制滾筒10及旋轉(zhuǎn)控制滾筒11上的方式卷繞，并以旋轉(zhuǎn)控制滾筒11作為驅(qū)動(dòng)源來進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，壓印裝置能利用彎曲控制滾筒10和旋轉(zhuǎn)控制滾筒11將基材8朝彈性體9上送出。在該壓印裝置中安裝有能使旋轉(zhuǎn)控制滾筒11沿Z方向移動(dòng)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)12。利用該張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)12將基材8設(shè)定為不發(fā)生撓曲(撓度)。為了吸收在加壓時(shí)可能發(fā)生的基材8的撓曲，上述張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)12在壓印中始終對(duì)片狀基材8持續(xù)施加Z方向上的張力。在本實(shí)施方式I中，將彈性體9配置成使彎曲控制滾筒10與彈性體9之間的基材8的角度和旋轉(zhuǎn)控制滾筒11與彈性體9之間的基材8的角度均是從XZ平面朝上方為5°。上述角度是為了以沿著彈性體9的曲面的方式使基材8卷繞而所需的角度。但是，也可根據(jù)旋轉(zhuǎn)控制滾筒11、彎曲控制滾筒10及彈性體9的配置來將該角度設(shè)定為5°以外的角度。圖2是將本發(fā)明實(shí)施方式I的壓印裝置的主要部分放大后表示的側(cè)剖視圖。如圖2所示，在與微細(xì)圖案5相對(duì)的基材8的一個(gè)面上以均勻的厚度涂布有規(guī)定量的UV固化樹脂13。在本實(shí)施方式I中，假定基材8的厚度為50 500 iim。另外，在鑄型4的圖案形成面的外周部(配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的外側(cè)區(qū)域)設(shè)有遮住UV光的遮光膜14作為遮光結(jié)構(gòu)的一例。此外，在配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的外周線的外側(cè)形成有斜面。
接著，對(duì)本實(shí)施方式I的壓印裝置的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖3(a) 圖3(d)及圖4是表示利用本實(shí)施方式I的壓印裝置對(duì)基材8上的UV固化樹脂13的一個(gè)部位進(jìn)行壓印成形的工序的圖。詳細(xì)而言，圖3(a) 圖3(d)是按時(shí)序表示使用鑄型4和彈性體9夾住基材8以將鑄型4的圖案形成面按壓到UV固化樹脂13的加壓工序的圖。另外，圖4是表示使UV固化樹脂13固化的固化工序的圖。該固化工序是圖3(a) 圖3(d)所示的加壓工序的后續(xù)工序。在圖3(a) 圖3(d)的各個(gè)圖中，上圖是表示鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13的接觸范圍的圖，下圖是工序另一側(cè)的剖視圖。另外，在圖4中，上圖是表示鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13的接觸范圍及UV固化樹脂13的固化范圍的圖，下圖是工序另一側(cè)的剖視圖。 首先，在正式成形之前，進(jìn)行臨時(shí)成形。進(jìn)行該臨時(shí)成形是為了使鑄型4與彈性體9的位置對(duì)齊。然后，轉(zhuǎn)移至正式成形。在正式成形中，首先，通過使Y軸工作臺(tái)2下降，從而使用鑄型4的圖案形成面與圓筒形狀的彈性體9的表面(曲面)來將基材8夾住，其中，上述基材8的與圖案形成面相對(duì)的一個(gè)面被UV固化樹脂13所覆蓋。然后，鑄型4的圖案形成面被按壓到UV固化樹脂13上。藉此，對(duì)UV固化樹脂13進(jìn)行加壓。在上述加壓工序中，Y軸工作臺(tái)2至少?gòu)奈⒓?xì)圖案5與UV固化樹脂13剛接觸之前開始，以足夠慢的勻速下降以使氣體不致于進(jìn)入微細(xì)圖案5與UV固化樹脂13之間，從而將鑄型4的圖案形成面按壓到UV固化樹脂13。在本實(shí)施方式I中，作為一例，使Y軸工作臺(tái)2以10mm/min的勻速下降。在微細(xì)圖案5與UV固化樹脂13接觸之前，彈性體9上的基材8的面方向的形狀呈沿著圓筒形狀的彈性體9的外周面(圓筒面)的一部分的形狀。因此，圖案形成面(微細(xì)圖案5)與UV固化樹脂13首先是線接觸的(參照?qǐng)D3(a))。也就是說，鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13的最初的接觸范圍呈線狀。然后，隨著Y軸工作臺(tái)2下降，從下方支承基材8的圓筒形狀的彈性體9在來自Y軸工作臺(tái)2的載荷下逐漸被壓塌。因此，如圖3(a) 圖3(d)所示，隨著Y軸工作臺(tái)2下降，使鑄型4與彈性體9朝彼此靠近的方向相對(duì)地移動(dòng)，從而使鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13的接觸范圍從圖案形成面的內(nèi)側(cè)朝外側(cè)逐漸擴(kuò)大。即，接觸范圍(接觸部位)隨著Y軸工作臺(tái)2下降而從線狀逐漸朝外側(cè)擴(kuò)大。根據(jù)以上的動(dòng)作，氣體很難被封入圖案形成面(微細(xì)圖案5)與UV固化樹脂13之間，且微細(xì)圖案5與UV固化樹脂13容易可靠地接觸(緊貼)。因此，使圖案的未轉(zhuǎn)印及圖案的形狀不佳不容易發(fā)生。通過壓力傳感器7對(duì)從Y軸工作臺(tái)2朝鑄型4施加的載荷進(jìn)行測(cè)定。因此，在本實(shí)施方式I中，能實(shí)現(xiàn)根據(jù)壓力傳感器7的測(cè)定值對(duì)Y軸工作臺(tái)2的下降動(dòng)作進(jìn)行控制。例如，在本實(shí)施方式I中，能實(shí)現(xiàn)如下控制當(dāng)壓力傳感器7的測(cè)定值處于規(guī)定值以上時(shí)，使Y軸工作臺(tái)2的下降動(dòng)作停止。通過如上所述根據(jù)壓力傳感器7的測(cè)定值對(duì)Y軸工作臺(tái)2的下降動(dòng)作進(jìn)行控制，就能使圖案的未轉(zhuǎn)印及圖案的形狀不佳更難發(fā)生。如圖3 (d)所示，當(dāng)微細(xì)圖案5埋入U(xiǎn)V固化樹脂13直到在UV固化樹脂13上形成有期望的圖案的深度為止時(shí)(緊貼時(shí))，因彈性體9的變形而使基材8與XZ平面水平或大致水平。另外，此時(shí)，如圖3(d)所示，即便在配置有微細(xì)圖案5的范圍(區(qū)域)外側(cè)，鑄型4的圖案形成面也會(huì)與UV固化樹脂13接觸(緊貼)。然后，如圖4所示，在微細(xì)圖案5與UV固化樹脂13緊貼的狀態(tài)下，UV光從UV照射裝置6穿過鑄型4朝UV固化樹脂13照射，以使UV固化樹脂13固化。藉此，將微細(xì)圖案轉(zhuǎn)印至UV固化樹脂13。在本實(shí)施方式I中，利用設(shè)于鑄型4的圖案形成面的外周部(配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的外側(cè)區(qū)域)的遮光結(jié)構(gòu)，使鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13接觸的范圍中的規(guī)定范圍發(fā)生固化。具體而言，由于在鑄型4的圖案形成面的外周部設(shè)有將UV光遮住的遮光膜14，因此，UV光難以到達(dá)微細(xì)圖案5的外偵彳。因此，根據(jù)本實(shí)施方式1，利用遮光結(jié)構(gòu)就能將UV固化樹脂13劃分為樹脂發(fā)生固化的固化范圍和樹脂未發(fā)生固化的非固化范圍。此外，在本實(shí)施方式I中，在形成(加工)有微細(xì)圖案5的區(qū)域的外周線的外側(cè)處形成有斜面。因此，在固化范圍和非固化范圍的邊界線附近具有UV固化樹脂13的抗氧化特性。因此，如圖4所示，固化范圍與非固化范圍的邊界并不是直線而是不規(guī)則的曲線。 在UV固化樹脂13固化后，通過使Y軸工作臺(tái)2上升，就可使鑄型4遠(yuǎn)離UV固化樹脂13。通過上述動(dòng)作，就能對(duì)基材8上的UV固化樹脂13的一個(gè)部位進(jìn)行壓印成形。通過設(shè)置對(duì)壓印裝置整體的動(dòng)作進(jìn)行控制的控制裝置，就能自動(dòng)地控制以上說明的動(dòng)作。接著，對(duì)以下工序進(jìn)行說明利用本實(shí)施方式I的壓印裝置來對(duì)大面積且無縫的基材8反復(fù)進(jìn)行上述壓印成形，從而將微細(xì)圖案5轉(zhuǎn)印到基材8上的UV固化樹脂13的多個(gè)部位。圖5是用于說明對(duì)大面積且無縫的基材8反復(fù)進(jìn)行壓印成形時(shí)的壓印裝置的動(dòng)作的立體圖。如上所述，本實(shí)施方式I的壓印裝置通過利用鑄型4的圖案形成面對(duì)UV固化樹脂13進(jìn)行加壓，并透過鑄型4照射UV光來使UV固化樹脂13固化，從而將微細(xì)圖案轉(zhuǎn)印至UV固化樹脂13。本實(shí)施方式I的壓印裝置反復(fù)進(jìn)行將上述微細(xì)圖案轉(zhuǎn)印到UV固化樹脂13的工序，從而將微細(xì)圖案5轉(zhuǎn)印到基材8上的UV固化樹脂13的多個(gè)部位。另外，本實(shí)施方式I的壓印裝置在反復(fù)進(jìn)行微細(xì)圖案5的轉(zhuǎn)印時(shí)，在與已成形的圖案相鄰的部位進(jìn)行圖案成形。通過上述動(dòng)作，就能獲得圖案相連的大面積的片狀儀器。以下，對(duì)該工序進(jìn)行具體說明。如圖5所示，本實(shí)施方式I的壓印裝置一邊操作X軸工作臺(tái)I使鑄型4朝X軸方向偏移，一邊對(duì)圓筒形狀的彈性體9上的基材8反復(fù)進(jìn)行多次上述壓印成形工序。藉此，便完成X軸方向上的一列的壓印成形。在完成一列的壓印成形之后，壓印裝置利用旋轉(zhuǎn)控制滾筒11傳送一列的基材8，并進(jìn)行下一列的壓印成形。通過這樣反復(fù)進(jìn)行一列的壓印成形的動(dòng)作，能形成將一個(gè)微細(xì)圖案相連的大面積的微細(xì)圖案轉(zhuǎn)印面。另外，如上所述，轉(zhuǎn)印到UV固化樹脂13的圖案的邊界(固化范圍的邊界)如圖4所示并不是直線而是不規(guī)則的曲線。由于不規(guī)則的曲線很難看到不規(guī)則，因此，能使圖案的接縫不顯眼。根據(jù)設(shè)于鑄型4的圖案形成面的外周部的斜面形狀(高度及寬度)和遮光膜14的范圍就能控制圖案邊界的曲線寬度(圖4所示的寬度h)。在本實(shí)施方式I中，寬度h為50iim左右。除此之外，如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式I的壓印裝置，還能將UV固化樹脂13劃分為樹脂發(fā)生固化的固化范圍和樹脂未發(fā)生固化的非固化范圍。因此，根據(jù)本實(shí)施方式I的壓印裝置，通過在與已成形的圖案相鄰的部位進(jìn)行圖案成形，即便圖案彼此相連，也能在樹脂未發(fā)生固化的非固化范圍進(jìn)行圖案成形。藉此，在本實(shí)施方式I中，能使相鄰的圖案之間的接縫的落差處于0. 5 i! m以下。因此，根據(jù)本實(shí)施方式1，能形成相鄰的圖案之間的接縫是不規(guī)則的曲線且在該接縫處具有0. 5 y m以下的落差的片狀儀器。本實(shí)施方式I的壓印裝置利用直線移動(dòng)軸的X軸工作臺(tái)I和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)控制滾筒11使進(jìn)行壓印成形的部位偏移。然而，使鑄型4和基材8相對(duì)移動(dòng)的結(jié)構(gòu)并不受特別限定，例如只要如下結(jié)構(gòu)即可具有一條以上的使鑄型4和基材8相對(duì)移動(dòng)的直線的移動(dòng)軸和/或旋轉(zhuǎn)的移動(dòng)軸等，能在基材8的多個(gè)部位進(jìn)行壓印成形。另外，在本實(shí)施方式I中，使用配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀呈平面形狀且該平面的尺寸為20mm見方的鑄型4，并使用由彈性模量為3. 5MPa的硅橡膠構(gòu)成的圓筒 形狀的彈性體9。根據(jù)上述配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀及尺寸和圓筒形狀的彈性體9的彈性模量，通過有限元模擬分析可知彈性體的圓筒直徑處于800mm以上是較為理想的，在本實(shí)施方式I中，設(shè)定為800mm。另外，在本實(shí)施方式I中，將彈性體9配置成彎曲控制滾筒10與彈性體9之間的基材8的角度及旋轉(zhuǎn)控制滾筒11與彈性體9之間的基材8的角度都是從XZ平面朝上方向呈5度。然而，在配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀為平面形狀的情況下，若彎曲控制滾筒10與彈性體9之間的基材8的角度和旋轉(zhuǎn)控制滾筒11與彈性體9之間的基材8的角度都不是為負(fù)數(shù)，則能使鑄型4的圖案形成面與基材8上的UV固化樹脂13線接觸。然而，需根據(jù)彎曲控制滾筒10與彈性體9之間的基材8的角度和旋轉(zhuǎn)控制滾筒11與彈性體9之間的基材8的角度來適當(dāng)調(diào)節(jié)加壓速度等成形條件。另外，在本實(shí)施方式I中，將具有遮光膜14的斜面設(shè)于鑄型4。然而，也可形成臺(tái)階形狀以代替斜面。在不是斜面而形成臺(tái)階形狀的情況下，能進(jìn)一步細(xì)致地控制遮光范圍。另外，在本實(shí)施方式I中，使用圓筒形狀的彈性體9。然而，也可使用在與鑄型4的圖案形成面相對(duì)的范圍(鑄型4的圖案形成面的投影區(qū)域)的表面構(gòu)成圓筒面的一部分的形狀的彈性體。(實(shí)施方式2)接著，對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式2進(jìn)行說明。本實(shí)施方式2在彈性體的形狀為球狀這點(diǎn)上與上述實(shí)施方式I不同。以下，以與實(shí)施方式I不同的點(diǎn)為中心，對(duì)本實(shí)施方式2進(jìn)行說明。圖6(a) 圖6(d)及圖7是表示利用本實(shí)施方式2的壓印裝置對(duì)基材8上的UV固化樹脂13的一個(gè)部位進(jìn)行壓印成形的工序的圖。詳細(xì)而言，圖6(a) 圖6(d)是按時(shí)序表示使用鑄型4和彈性體15夾住基材8以將鑄型4的圖案形成面按壓到UV固化樹脂13的加壓工序的圖。另外，圖7是表示使UV固化樹脂13發(fā)生固化的固化工序的圖。該固化工序是圖6(a) 圖6(d)所示的加壓工序的后工序。在圖6(a) 圖6(d)的各個(gè)圖中，上圖是表示鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13的接觸范圍的圖，下圖是工序另一側(cè)的剖視圖。另外，在圖7中，上圖是表示鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13的接觸范圍及UV固化樹脂13的固化范圍的圖，下圖是工序另一側(cè)的剖視圖。
首先，在通過進(jìn)行臨時(shí)成形使鑄型4與彈性體9的位置一致后，轉(zhuǎn)移至正式成形。在正式成形中，首先，通過使Y軸工作臺(tái)2下降，從而使用鑄型4的圖案形成面與球狀的彈性體15的表面(曲面)來夾住基材8，其中，該基材8的與圖案形成面相對(duì)的一個(gè)面被UV固化樹脂13覆蓋。然后，將鑄型4的圖案形成面按壓到UV固化樹脂13。藉此，對(duì)UV固化樹脂13進(jìn)行加壓。在本實(shí)施方式2中，使用由彈性模量3. 5MPa的硅橡膠構(gòu)成的直徑800mm的球狀彈性體15。另外，使用配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向上的形狀呈平面形狀且該平面的尺寸(配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的尺寸)為20mm見方的鑄型來作為鑄型4。在上述加壓工序中，Y軸工作臺(tái)2至少在微細(xì)圖案5與UV固化樹脂13剛接觸之前，以足夠慢的勻速下降以使氣體不致于進(jìn)入微細(xì)圖案5和UV固化樹脂13之間，從而將 鑄型4的圖案形成面按壓到UV固化樹脂13。
在本實(shí)施方式2中，在微細(xì)圖案5與UV固化樹脂13接觸之前，彈性體15上的基材8的面方向的形狀呈沿著球狀的彈性體15的外周面(球面)的一部分的形狀。因此，圖案形成面(微細(xì)圖案5)和UV固化樹脂13首先點(diǎn)接觸(參照?qǐng)D6(a))。然后，隨著Y軸工作臺(tái)2下降，從下方支承基材8的球狀的彈性體15在來自Y軸工作臺(tái)2的載荷下逐漸被壓塌。其結(jié)果是，如圖6(a) 圖6(d)所示，隨著Y軸工作臺(tái)2下降，使鑄型4與彈性體15朝彼此靠近的方向相對(duì)地移動(dòng)，鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13的接觸范圍從圖案形成面的內(nèi)側(cè)朝外側(cè)逐漸擴(kuò)大。即，接觸范圍(接觸部位)隨著Y軸工作臺(tái)2下降而從點(diǎn)朝外側(cè)逐漸擴(kuò)大。根據(jù)該實(shí)施方式2的壓印裝置，由于鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13的接觸范圍從點(diǎn)開始擴(kuò)大，因此，與圖案形成面與UV固化樹脂的接觸范圍從線開始擴(kuò)大的上述實(shí)施方式I的壓印裝置相比，能進(jìn)一步降低氣體被封入的可能性。根據(jù)以上的動(dòng)作，氣體很難被封入圖案形成面(微細(xì)圖案5)與UV固化樹脂13之間，且微細(xì)圖案5與UV固化樹脂13容易可靠地接觸(緊貼)。因此，不易發(fā)生圖案的未轉(zhuǎn)印及圖案的形狀不佳。如圖6 (d)所示，當(dāng)微細(xì)圖案5埋入U(xiǎn)V固化樹脂13直至在UV固化樹脂13中具有期望的圖案的深度為止時(shí)(緊貼時(shí))，因彈性體15的變形而使基材8處于與XZ平面水平或大致水平。另外，此時(shí)，如圖6(d)所示，即便在配置有微細(xì)圖案5的范圍(區(qū)域)的外側(cè)，鑄型4的圖案形成面也與UV固化樹脂13接觸(緊貼)。然后，如圖7所示，在微細(xì)圖案5與UV固化樹脂13緊貼的狀態(tài)下，UV照射裝置6發(fā)出UV光。該UV光透過鑄型4而被照射至UV固化樹脂13。照射到UV光的UV固化樹脂13發(fā)生固化。藉此，微細(xì)圖案被轉(zhuǎn)印至UV固化樹脂13。在本實(shí)施方式2中，也與上述實(shí)施方式I相同，能利用設(shè)于鑄型4的圖案形成面的外周部的遮光結(jié)構(gòu)(遮光膜14)將UV固化樹脂13劃分為固化范圍和非固化范圍。此外，還能利用設(shè)于形成有微細(xì)圖案5的區(qū)域的外周線外側(cè)的斜面來將固化范圍與非固化范圍的邊界設(shè)為不規(guī)則的曲線而不是直線。在UV固化樹脂13發(fā)生固化后，通過使Y軸工作臺(tái)2上升來使鑄型4遠(yuǎn)離UV固化樹脂13。通過以上的動(dòng)作，能對(duì)基材8上的UV固化樹脂13的一個(gè)部位進(jìn)行壓印成形。接著，對(duì)利用本實(shí)施方式2的壓印裝置對(duì)大面積且無縫的基材8反復(fù)進(jìn)行上述壓印成形，從而將微細(xì)圖案5轉(zhuǎn)印到基材8上的UV固化樹脂13的多個(gè)部位的工序進(jìn)行說明。本實(shí)施方式2的壓印裝置與上述實(shí)施方式I 一樣，通過反復(fù)進(jìn)行將微細(xì)圖案轉(zhuǎn)印到UV固化樹脂13的工序，從而將微細(xì)圖案5轉(zhuǎn)印到基材8上的UV固化樹脂13的多個(gè)部位。另外，本實(shí)施方式2的壓印裝置與上述實(shí)施方式I 一樣，在反復(fù)進(jìn)行微細(xì)圖案5的轉(zhuǎn)印時(shí)，在與已成形的圖案相鄰的部位進(jìn)行圖案成形。在本實(shí)施方式2中，通過上述圖案成形的動(dòng)作，就能形成圖案相連的大面積的片狀儀器。然而，在本實(shí)施方式2的壓印裝置中，使用球狀的彈性體15。因此，在本實(shí)施方式2的壓印裝置中安裝有用于在進(jìn)行X軸方向上的一列的壓印成形時(shí)使彈性體15與鑄型4 一起在X軸方向上偏移的機(jī)構(gòu)(未圖示)。另外，在本實(shí)施方式2中，轉(zhuǎn)印至UV固化樹脂13的圖案的邊界(固化范圍的邊界)與上述實(shí)施方式I 一樣，是不規(guī)則的曲線而不是直線。由此，能使圖案的接縫不顯眼。 此外，在本實(shí)施方式2中，還能將UV固化樹脂13劃分為固化范圍和非固化范圍。由此，能使相鄰的圖案之間的接縫的落差處于0. 5 以下。因此，在本實(shí)施方式2中，也能形成相鄰的圖案之間的接縫是不規(guī)則的曲線并在該接縫處具有0. 5以下的落差的片狀儀器。在本實(shí)施方式2中，使用配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀呈平面形狀且該平面的尺寸為20mm見方的鑄型4，并使用由彈性模量為3. 5MPa的硅橡膠構(gòu)成的球狀的彈性體15。根據(jù)上述配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀及尺寸和球狀的彈性體15的彈性模量，通過有限元模擬分析可知彈性體的球的直徑處于800mm以上是較為理想的，在本實(shí)施方式2中，設(shè)定為800mm。另外，在本實(shí)施方式2中，使用球狀的彈性體。然而，也可使用表面為球面形狀的彈性體或在與鑄型4的圖案形成面相對(duì)的范圍(鑄型4的圖案形成面的投影區(qū)域)的表面構(gòu)成球面的一部分的形狀的彈性體。在以上說明的實(shí)施方式I及實(shí)施方式2中，使用由硅橡膠構(gòu)成的彈性體9、15。然而，只要彈性模量滿足規(guī)定的條件，則彈性體的材料并不受到特別限定。例如，能使用硅橡膠、氟橡膠、聚氨酯橡膠、氯丁橡膠、丁腈橡膠、乙烯丙烯橡膠、丁基橡膠、氯磺化聚乙烯橡膠等合成橡膠和天然橡膠中的至少一種橡膠以作為彈性體的材料。或者，也可使用能彈性變 形的金屬以作為彈性體的材料。另外，在上述實(shí)施方式I及實(shí)施方式2中，使用由PET膜構(gòu)成的無縫的基材8。然而，也可使用能用作滾筒傳送帶的鏡面較薄的其它樹脂或金屬。另外，在上述實(shí)施方式I及實(shí)施方式2中，使用Y軸工作臺(tái)2，以作為使鑄型4和彈性體9、15夾住基材8并將鑄型4的圖案形成面按壓到該基材8上的UV固化樹脂13的加壓裝置。然而，Y軸工作臺(tái)是一例，加壓裝置的結(jié)構(gòu)并不受特別限定。另外，在上述實(shí)施方式I及實(shí)施方式2中，在設(shè)于基材8上的樹脂中使用了 UV固化樹脂13。然而，只要可使因氣體殘留或產(chǎn)生鑄型4與基材8上的樹脂的未接觸部(未緊貼部)而導(dǎo)致的圖案未轉(zhuǎn)印、圖案的形狀不佳等不良情況不易發(fā)生，則設(shè)于基材8上的樹脂不受特別限定。例如，只要是可使因氣體殘留或產(chǎn)生鑄型4與基材8上的樹脂的未接觸部(未緊貼部)而導(dǎo)致的圖案未轉(zhuǎn)印、圖案的形狀不佳等不良情況不易發(fā)生的樹脂，也可使用因UV光以外的光而固化的樹脂、因電子束而固化的樹脂、因熱而固化的樹脂等。另外，為了實(shí)現(xiàn)能使相鄰的圖案之間的接縫在片狀儀器(微細(xì)圖案被轉(zhuǎn)印的面)的大面積上看來不顯目艮、且能基本消除接縫的落差的壓印，需使用能在一個(gè)部位的壓印成形中劃分為固化范圍和非固化范圍、且能使固化范圍的邊界為不規(guī)則的曲線而不是直線的樹脂。在上述實(shí)施方式I及實(shí)施方式2中，使用了 UV固化樹脂13以作為上述樹脂的一例。然而，只要能使相鄰的圖案之間的接縫不顯眼且能基本消除接縫的落差，則設(shè)于基材8上的樹脂并不受特別限定。例如，只要是能使相鄰的圖案之間的接縫不顯眼且能基本消除接縫的臺(tái)階，則也可使用因UV光以外的光而固化的樹脂、因電子束而固化的樹脂、因熱而固化的樹脂等。另外，在上述實(shí)施方式I及實(shí)施方式2中，使用了 UV固化樹脂13。因此，使用UV照射裝置6以作為使與鑄型4的圖案形成面接觸的樹脂發(fā)生固化的固化裝置。然而，使樹脂發(fā)生固化的裝置并不限定于UV照射裝置，只要根據(jù)樹脂的種類加以選定即可。
另外，在上述實(shí)施方式I及實(shí)施方式2中，采用了使UV光透過鑄型4照射到UV固化樹脂13的結(jié)構(gòu)。因此，選定可使UV光透過的材料以作為鑄型4的材料。然而，鑄型4的材料并不限定于可使UV光透過的材料，也能根據(jù)樹脂的種類、固化裝置的設(shè)置位置等加以選定。另外，在上述實(shí)施方式I和實(shí)施方式2中，采用了利用彎曲控制滾筒10和旋轉(zhuǎn)控制滾筒11將基材8朝彈性體9、15上送出的結(jié)構(gòu)。然而，將基材朝彈性體上送出的機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)并不受特別限定。此外，在上述實(shí)施方式I和實(shí)施方式2中，使用了圓筒形狀的彈性體9或球狀的彈性體15。然而，彈性體的形狀并不限定于圓筒形狀或球狀。只要彈性體具有在與鑄型4的圖案形成面相對(duì)的范圍(鑄型4的圖案形成面的投影區(qū)域)中從該范圍的內(nèi)側(cè)朝外側(cè)遠(yuǎn)離鑄型4的圖案形成面的形狀的曲面(表面)即可。也就是說，只要與鑄型4的圖案形成面相對(duì)的范圍(鑄型4的圖案形成面的投影區(qū)域)的彈性體的表面是朝鑄型側(cè)呈凸?fàn)畹那婕纯?。利用這種彈性體的表面形狀，能在加壓時(shí)使鑄型4的圖案形成面與UV固化樹脂13的接觸范圍從圖案形成面的內(nèi)側(cè)朝外側(cè)擴(kuò)大。另外，在上述實(shí)施方式I及實(shí)施方式2中，使用配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向上的形狀呈平面形狀且該平面的尺寸(配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的尺寸)為20mm見方的鑄型來作為鑄型。然而，配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀、尺寸并不受特別限定。但是，根據(jù)配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀來調(diào)節(jié)彈性體的表面(曲面)的曲率是較為理想的。詳細(xì)而言，在配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀呈平面形狀或朝彈性體側(cè)呈凸?fàn)畹那嫘螤畹那闆r下，將與鑄型4的圖案形成面相對(duì)的范圍(鑄型4的圖案形成面的投影區(qū)域)的彈性體的曲面(表面)的曲率設(shè)定得比配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀的曲率小是較為理想的。另外，在配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀朝與彈性體的相反一側(cè)呈凸?fàn)畹那嫘螤?凹狀的曲面形狀)的情況下，將與鑄型4的圖案形成面相對(duì)的范圍(鑄型4的圖案形成面的投影區(qū)域)的彈性體的曲面(表面)的曲率設(shè)定得比配置有微細(xì)圖案5的區(qū)域的面方向的形狀的曲率大是較為理想的。若是這樣，則能使鑄型4的圖案形成面與基材8上的UV固化樹脂13的接觸范圍從圖案形成面的內(nèi)側(cè)朝外側(cè)逐漸擴(kuò)大。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，能使圖案的未轉(zhuǎn)印部及圖案的形狀不佳部不易產(chǎn)生。此外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，能基本消除相鄰的圖案之間的接縫的落差。另外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，能利用簡(jiǎn)易且廉價(jià)的設(shè)備來獲得轉(zhuǎn)印有微細(xì)圖案的大面積的片狀 儀器。
權(quán)利要求
1.一種片狀儀器的制造裝置，其特征在于，包括 鑄型，該鑄型具有形成有圖案的圖案形成面； 彈性體，該彈性體與所述鑄型相對(duì)配置； 加壓裝置，該加壓裝置使所述鑄型和所述彈性體夾住基材，以將所述圖案形成面按壓到所述基材上的樹脂；以及 固化裝置，該固化裝置使所述基材上的所述樹脂固化， 所述圖案形成面的投影區(qū)域中的所述彈性體的表面是朝所述鑄型側(cè)呈凸?fàn)畹那妗?br> 2.如權(quán)利要求I所述的片狀儀器的制造裝置，其特征在于， 所述圖案形成面的投影區(qū)域中的所述彈性體的表面構(gòu)成圓筒面的一部分。
3.如權(quán)利要求I所述的片狀儀器的制造裝置，其特征在于， 所述圖案形成面的投影區(qū)域中的所述彈性體的表面構(gòu)成球面的一部分。
4.如權(quán)利要求I所述的片狀儀器的制造裝置，其特征在于， 配置有所述圖案的區(qū)域的面方向的形狀是呈平面形狀或朝所述彈性體側(cè)呈凸?fàn)畹那嫘螤睿?所述圖案形成面的投影區(qū)域中的所述彈性體的表面具有比配置有所述圖案的區(qū)域的面方向的形狀的曲率小的曲率。
5.如權(quán)利要求I所述的片狀儀器的制造裝置，其特征在于， 配置有所述圖案的區(qū)域的面方向的形狀是朝與所述彈性體的相反一側(cè)呈凸?fàn)畹那嫘螤睿?所述圖案形成面的投影區(qū)域中的所述彈性體的表面具有比配置有所述圖案的區(qū)域的面方向的形狀的曲率大的曲率。
6.如權(quán)利要求I所述的片狀儀器的制造裝置，其特征在于， 所述彈性體具有防反射結(jié)構(gòu)，該防反射結(jié)構(gòu)用于使所述基材上的所述樹脂發(fā)生固化的光不會(huì)從所述彈性體的表面反射。
7.如權(quán)利要求I所述的片狀儀器的制造裝置，其特征在于， 使用合成橡膠、天然橡膠中的至少一種橡膠以作為所述彈性體的材料。
8.如權(quán)利要求I所述的片狀儀器的制造裝置，其特征在于， 包括一條以上的使所述鑄型和所述基材相對(duì)移動(dòng)的直線的移動(dòng)軸和/或旋轉(zhuǎn)的移動(dòng)軸， 能在所述基材上的所述樹脂的多個(gè)部位進(jìn)行壓印成形。
9.如權(quán)利要求I所述的片狀儀器的制造裝置，其特征在于， 所述鑄型在所述圖案形成面的外周部具有用于使所述圖案形成面與所述樹脂接觸的范圍中的規(guī)定范圍發(fā)生固化的遮光結(jié)構(gòu)。
10.如權(quán)利要求I所述的片狀儀器的制造裝置，其特征在于， 包括對(duì)所述基材的張力進(jìn)行調(diào)節(jié)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
11.一種片狀儀器的制造方法，其特征在于，包括 加壓工序，在該加壓工序中，使用具有形成有圖案的圖案形成面的鑄型和具有曲率的規(guī)定形狀的彈性體來夾住基材，其中，在該基材的與所述圖案形成面相對(duì)的一個(gè)面上設(shè)有樹脂，從而將所述圖案形成面按壓到所述樹脂來對(duì)所述樹脂進(jìn)行加壓；以及固化工序，在該固化工序中，使所述基材上的樹脂發(fā)生固化， 在加壓時(shí)，隨著所述鑄型和所述彈性體中的至少一方朝所述鑄型與所述彈性體靠近的方向移動(dòng)，所述圖案形成面與所述樹脂接觸的范圍從所述圖案形成面的內(nèi)側(cè)朝外側(cè)擴(kuò)大。
12.如權(quán)利要求11所述的片狀儀器的制造方法，其特征在于， 所述鑄型的圖案形成面的投影區(qū)域中的所述彈性體的表面是從該投影區(qū)域的內(nèi)側(cè)朝外側(cè)遠(yuǎn)離所述圖案形成面的形狀的曲面。
13.如權(quán)利要求11所述的片狀儀器的制造方法，其特征在于， 所述鑄型的圖案形成面的投影區(qū)域中的所述彈性體的表面構(gòu)成圓筒面的一部分， 在加壓時(shí)，隨著所述鑄型和所述彈性體中的至少一方朝所述鑄型與所述彈性體靠近的 方向移動(dòng)，所述圖案形成面與所述樹脂接觸的范圍從線段朝外側(cè)擴(kuò)大。
14.如權(quán)利要求11所述的片狀儀器的制造方法，其特征在于， 所述鑄型的圖案形成面的投影區(qū)域中的所述彈性體的表面構(gòu)成球面的一部分， 在加壓時(shí)，隨著所述鑄型和所述彈性體中的至少一方朝所述鑄型與所述彈性體靠近的方向移動(dòng)，所述圖案形成面與所述樹脂接觸的范圍從點(diǎn)朝外側(cè)擴(kuò)大。
15.如權(quán)利要求11所述的片狀儀器的制造方法，其特征在于， 反復(fù)進(jìn)行在利用所述圖案形成面對(duì)所述樹脂進(jìn)行加壓后通過使所述樹脂固化來將所述圖案轉(zhuǎn)印到所述樹脂的工序，從而將所述圖案轉(zhuǎn)印至所述基材上的所述樹脂的多個(gè)部位。
全文摘要
一種片狀儀器的制造裝置及制造方法，其可使因氣體殘留或產(chǎn)生鑄型與基材上的樹脂的未接觸部(未緊貼部)而導(dǎo)致的圖案的未轉(zhuǎn)印、圖案的形狀不佳等不良情況不易發(fā)生。本發(fā)明的片狀儀器的制造裝置包括鑄型，該鑄型具有形成有圖案的圖案形成面；彈性體，該彈性體與所述鑄型相對(duì)配置；加壓裝置，該加壓裝置使所述鑄型和所述彈性體夾住基材，以將所述圖案形成面按壓到所述基材上的樹脂；以及固化裝置，該固化裝置使所述基材上的所述樹脂發(fā)生固化，所述圖案形成面的投影區(qū)域中的所述彈性體的表面是朝所述鑄型側(cè)呈凸?fàn)畹那妗?br> 文檔編號(hào)B29C59/02GK102744877SQ20121011574
公開日2012年10月24日 申請(qǐng)日期2012年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月19日
發(fā)明者和田紀(jì)彥, 山田晃久, 高見文宣, 鷹巢良史 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社