一種干膜的局部uv光照射裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于聚合物的加工領(lǐng)域，提供一種干膜的局部UV光照射裝置，其包括機(jī)柜、操作機(jī)臺(tái)、UV照射光源、光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備；所述機(jī)柜設(shè)置有主門；所述操作機(jī)臺(tái)放置在機(jī)柜內(nèi)，操作機(jī)臺(tái)上有兩個(gè)間距可調(diào)的承載器件，所述承載器件的頂部為凹面；所述UV照射光源有兩個(gè)，分別置在機(jī)柜兩邊的內(nèi)壁上，均與所述光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備連接。本實(shí)用新型提出的裝置，實(shí)現(xiàn)了干膜端面的快速局部固化，降低聚脂薄膜在儲(chǔ)放過程中因膠液流動(dòng)而產(chǎn)生的客戶使用上缺陷，進(jìn)而提高成品卷于倉(cāng)庫(kù)儲(chǔ)放的時(shí)間局部照射處理，保護(hù)了整卷成品的品質(zhì)。
【專利說明】—種干膜的局部UV光照射裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于聚合物的加工領(lǐng)域，具體涉及一種通過光照加工聚合物的裝置?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]干膜在涂裝中是相對(duì)濕膜而言的，干膜是一種高分子的化合物，它通過紫外線的照射后能夠產(chǎn)生一種聚合反應(yīng)形成一種穩(wěn)定的物質(zhì)附著于板面，從而達(dá)到阻擋電鍍和蝕刻的功能。
[0003]干膜在儲(chǔ)存過程中可能由于溶劑的揮發(fā)而變脆，也可能由于環(huán)境溫度的影響而產(chǎn)生熱聚合，或因抗蝕劑產(chǎn)生局部流動(dòng)而造成厚度不均勻(即所謂冷流)，這些都嚴(yán)重影響干膜的使用。因此在良好的環(huán)境里儲(chǔ)存干膜是十分重要的。技術(shù)要求規(guī)定，干膜應(yīng)儲(chǔ)存在陰涼而潔凈的室內(nèi)，防止與化學(xué)藥品和放射性物質(zhì)一起存放。
[0004]本產(chǎn)品為娃芯片(晶圓)鍵合專用干膜(Microlithography Photopolymer Film)為高效能且多功能聚脂感光薄膜材料，是干膜的一種。主要適用于先進(jìn)半導(dǎo)體晶圓曝光，電鍍線路連結(jié)銅柱制程設(shè)計(jì)領(lǐng)域。與傳統(tǒng)干膜除了使用范圍不同，其適用領(lǐng)域在較為高端精密產(chǎn)品上，厚度需求范圍為50?120μπι，以達(dá)到有較佳的蓋孔及附著能力，產(chǎn)品主要由三層結(jié)構(gòu)組成(如附圖1所示)，分別為聚酯涂層I (polyester Layer)、微光刻光敏聚合物膜2 (Microlithography Photopolymer Film)和聚乙烯層 3 (Polyethylene layer)。
[0005]當(dāng)前市場(chǎng)上主流的干膜產(chǎn)品厚度為15?50 μ m，在生產(chǎn)工藝尾端的干燥處理后，聚酯涂層I (Polyethylene Layer)膠液流動(dòng)性正常,無需對(duì)干膜邊緣進(jìn)行特殊處理。娃芯片(晶圓)鍵合專用干膜的厚度為50?120 μ m，在其儲(chǔ)存環(huán)境(標(biāo)準(zhǔn)溫度5?21°C)下其聚脂涂層膠液于干燥后流動(dòng)性仍較正常干膜產(chǎn)品高，由于流動(dòng)性及卷繞張力等因素，造成成品卷儲(chǔ)放一天后端面就會(huì)產(chǎn)生膠液流動(dòng)的現(xiàn)象，在當(dāng)前的生產(chǎn)工藝中，生產(chǎn)流程結(jié)束后不對(duì)干膜做特殊處理，直接放置于倉(cāng)庫(kù)中等待發(fā)貨。
[0006]娃芯片(晶圓)鍵合專用干I旲的厚度為50?120 μ m,小卷成品切割完成后儲(chǔ)放于標(biāo)準(zhǔn)溫度5?21°C的特定儲(chǔ)存環(huán)境下。聚脂涂層膠液在經(jīng)過生產(chǎn)工藝尾端的干燥處理后流動(dòng)性仍較正常干膜產(chǎn)品高。由于流動(dòng)性及卷繞張力等因素，造成成品卷儲(chǔ)放一天后端面就會(huì)產(chǎn)生膠液流動(dòng)的現(xiàn)象，客戶在使用上會(huì)出現(xiàn)膜層間黏結(jié)無法分離的缺陷，報(bào)廢比例高。在行業(yè)的生產(chǎn)工藝流程中，鑒于產(chǎn)品對(duì)溫度及光的敏感度極高，產(chǎn)品經(jīng)過干燥后直接進(jìn)入特定的儲(chǔ)存?zhèn)}庫(kù)儲(chǔ)存，不對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行特殊處理。厚度為50?120 μ m干膜端面的膠液流動(dòng)現(xiàn)象一直無法解決，正常進(jìn)入市場(chǎng)后的產(chǎn)品良率降低，由于產(chǎn)品出口耽擱的時(shí)間較長(zhǎng)，銷往國(guó)外市場(chǎng)的產(chǎn)品良率又進(jìn)一步降低。相對(duì)的該產(chǎn)品國(guó)外客戶的產(chǎn)品購(gòu)買量下降，嚴(yán)重影響公司國(guó)外市場(chǎng)的銷量。
[0007]綜上，厚度為50?120 μ m干膜端面的膠液流動(dòng)無法解決，造成了產(chǎn)品報(bào)廢率的提升。一方面嚴(yán)重影響了干膜產(chǎn)品的質(zhì)量，另一方面降低了產(chǎn)品的市場(chǎng)銷量，降低了企業(yè)在行業(yè)內(nèi)的專業(yè)形象，嚴(yán)重影響了企業(yè)的發(fā)展。實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]針對(duì)本領(lǐng)域的不足之處，本實(shí)用新型的目的是提出一種針對(duì)硅芯片(晶圓)鍵合專用干膜的局部UV光照射裝置
[0009]實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的技術(shù)方案為:
[0010]一種干膜的局部UV光照射裝置，包括機(jī)柜、操作機(jī)臺(tái)、UV照射光源、光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備;
[0011]所述機(jī)柜設(shè)置有主門，主門上設(shè)置有控制按鈕；
[0012]所述操作機(jī)臺(tái)放置在機(jī)軌內(nèi)，操作機(jī)臺(tái)上有兩個(gè)間距可調(diào)的承載器件，所述承載器件的頂部為凹面；藉由可調(diào)整移動(dòng)式螺桿將成品卷平放于設(shè)備中央處，使兩側(cè)端面能均勻接受UV光照射，達(dá)到端面固化的效果。
[0013]操作機(jī)臺(tái)和承載器件可以有多種形式，例如有滑槽的平板形機(jī)臺(tái)、承載器件通過滑動(dòng)件調(diào)整其在機(jī)臺(tái)上的間距；或操作機(jī)臺(tái)上的承載器件設(shè)置有套筒，套裝在操作機(jī)臺(tái)上，套筒壁上開有螺孔，通過螺桿固定在所述操作機(jī)臺(tái)上；操作機(jī)臺(tái)為圓柱狀或長(zhǎng)方體形狀。所述套筒的形狀與操作機(jī)臺(tái)的形狀匹配。
[0014]所述UV照射光源有兩個(gè)，分別置在機(jī)柜兩邊的內(nèi)壁上，均與所述光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備連接。所述UV照射光源優(yōu)選高強(qiáng)度的5KW-UV光(波長(zhǎng)365± IOnm)燈管及變壓器，讓成品卷于短時(shí)間內(nèi)能接受到50?1，OOOmj的能量。
[0015]其中，所述機(jī)柜內(nèi)設(shè)置有散熱風(fēng)扇；機(jī)柜兩邊側(cè)壁上有散熱裝置，所述散熱裝置為散熱孔或百葉窗。
[0016]本實(shí)用新型優(yōu)選設(shè)置包括散熱風(fēng)扇和側(cè)壁上的百葉窗的排氣散熱體系，運(yùn)行時(shí)持續(xù)開啟，防止高溫對(duì)設(shè)備造成影響；
[0017]其中，所述UV照射光源出光方向設(shè)置有由空氣開關(guān)控制的閘門，所述空氣開關(guān)連接有時(shí)間控制器。該整套連動(dòng)設(shè)備，主要藉由時(shí)間控制器的動(dòng)作，來驅(qū)動(dòng)閘門的開闔，讓成品卷兩側(cè)端面能很均勻的接受到所需要的能量。
[0018]為了方便整個(gè)裝置移動(dòng)、就近生產(chǎn)使用，所述機(jī)柜底部安裝有萬向輪。
[0019]聚脂膜的主要組成成份包含下列數(shù)項(xiàng):黏結(jié)劑、光聚合單體、光起始劑、表面活性齊U、附著促進(jìn)劑、熱安定劑、色料等，當(dāng)其受到UV紫外線光照射(UV radiation)，對(duì)其中光起始劑(photoinitiator)進(jìn)行裂解產(chǎn)生游離自由基(Free Radical+R’ ),再由單體吸收自由基進(jìn)行聚合及交聯(lián)作用，產(chǎn)生聚合體(Polymer)，使聚脂膜固化及變色，達(dá)到線路顯像(Developing NaC03)或蓋孔等特殊要求。
[0020]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0021]實(shí)現(xiàn)干膜端面的快速局部固化，降低聚脂薄膜在儲(chǔ)放過程中因膠液流動(dòng)而產(chǎn)生的客戶使用上缺陷，進(jìn)而提高成品卷于倉(cāng)庫(kù)儲(chǔ)放的時(shí)間局部照射處理，保護(hù)了整卷成品的品質(zhì)。
[0022]降低聚脂薄膜在儲(chǔ)放過程中因膠液流動(dòng)而產(chǎn)生的客戶使用上缺陷，進(jìn)而提高成品卷于倉(cāng)庫(kù)儲(chǔ)放的時(shí)間；
[0023]產(chǎn)品易于長(zhǎng)途運(yùn)輸，可達(dá)到銷售國(guó)外的距離及時(shí)間要求，便于企業(yè)進(jìn)駐國(guó)外市場(chǎng)；
[0024]產(chǎn)品報(bào)廢比例降低，客戶滿意度提升，企業(yè)品牌形象得以樹立?！緦＠綀D】
【附圖說明】
[0025]圖1為硅芯片鍵合專用干膜的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖2為制備硅芯片鍵合專用干膜的反應(yīng)原理圖。
[0027]圖3為機(jī)柜立體圖。
[0028]圖4為操作機(jī)臺(tái)及承載器件結(jié)構(gòu)圖。
[0029]圖5為機(jī)柜內(nèi)光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備和散熱設(shè)備設(shè)置簡(jiǎn)圖。
[0030]圖6為UV照射光源設(shè)置簡(jiǎn)圖。
[0031 ] 圖中，I為聚酷涂層、2為微光刻光敏聚合物I旲，3為聚乙纟布層，4為聚本乙纟布軸，5為機(jī)柜，6為操作機(jī)臺(tái)，7為主門，8為承載器件，801為套筒，802為螺孔，9為UV照射光源，10為閘門，11為光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備，12為散熱風(fēng)扇，13為時(shí)間控制器，14為控制按鈕，15為萬向輪。
【具體實(shí)施方式】
[0032]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。
[0033]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“設(shè)置”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過管道間接相連。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0034]實(shí)施例1
[0035]如圖3，硅芯片鍵合專用干膜的局部UV光照射裝置，包括矩形的機(jī)柜5、機(jī)柜上設(shè)置有主門7 ;機(jī)柜內(nèi)放置有操作機(jī)臺(tái)6、機(jī)柜兩邊側(cè)壁安裝有UV照射光源9，通過電線連接光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備11 ;該UV照射光源為高強(qiáng)度的5KW-UV光(波長(zhǎng)365±10nm)燈管及相應(yīng)的變壓器。
[0036]參見圖4，操作機(jī)臺(tái)6放置在機(jī)柜5內(nèi)，操作機(jī)臺(tái)上有兩個(gè)間距可調(diào)的承載器件8，承載器件的頂部為凹面；藉由可調(diào)整移動(dòng)式螺桿將成品卷(參見圖1，干膜卷在聚苯乙烯軸4 (HIPS core)上形成成品卷)平放于凹面中央處，使兩側(cè)端面能均勻接受UV光照射，達(dá)到端面固化的效果。本實(shí)施例采用矩形截面的操作機(jī)臺(tái)，承載器件設(shè)置有套筒801，套裝在操作機(jī)臺(tái)上，套筒壁上開有螺孔802，通過螺桿固定在操作機(jī)臺(tái)6上，擰松螺桿則可以移動(dòng)承載器件、擰緊螺桿則固定承載器件。套筒的截面形狀與操作機(jī)臺(tái)的截面形狀匹配。
[0037]機(jī)柜5內(nèi)設(shè)置有散熱風(fēng)扇12，機(jī)柜側(cè)壁上設(shè)置百葉窗(圖中未示出)，運(yùn)行時(shí)持續(xù)開啟，防止高溫對(duì)設(shè)備造成影響；機(jī)柜主門上設(shè)置的控制按鈕14用于啟動(dòng)電源開關(guān)、光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備、散熱風(fēng)扇、設(shè)置時(shí)間控制器等。機(jī)柜底部裝有四組萬向輪15，便于移動(dòng)。
[0038]機(jī)柜內(nèi)兩邊側(cè)壁的UV照射光源9出光方向設(shè)置有由空氣開關(guān)控制的閘門10 (見圖6，圖6為機(jī)柜內(nèi)一邊側(cè)壁的局部)，其空氣開關(guān)連接有時(shí)間控制器13。該整套連動(dòng)設(shè)備設(shè)置位于UV照射光源9下方，見圖5，設(shè)置在機(jī)柜內(nèi)一面的側(cè)壁上，主要藉由時(shí)間控制器13的動(dòng)作，來驅(qū)動(dòng)閘門10的開闔，讓成品卷兩側(cè)端面能很均勻的接受到所需要的能量。
[0039]本身實(shí)施例裝置主要操作流程如下:
[0040]1.啟動(dòng)電源開關(guān)，啟動(dòng)光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備11、散熱風(fēng)扇12 ；[0041]2.調(diào)整操作機(jī)臺(tái)6的位置，將欲曝光之成品卷放置于機(jī)臺(tái)中央，讓兩側(cè)接受到的UV光強(qiáng)度一致；
[0042]3.關(guān)閉主門7，防止操作人員接受到UV光照射，對(duì)人體眼部造成危害；
[0043]4.用時(shí)間控制器13設(shè)定欲曝光的時(shí)間，空氣開關(guān)控制閘門10開啟，UV照射光源9發(fā)射UV光，對(duì)成品卷進(jìn)行曝光，讓兩側(cè)的光源對(duì)成品卷兩側(cè)進(jìn)行照射；
[0044]5.干膜曝光完成:當(dāng)設(shè)定時(shí)間到達(dá)時(shí)，閘門10自動(dòng)關(guān)閉，阻隔UV光照射；
[0045]6.開啟主門7，將成品卷由操作機(jī)臺(tái)6上取出，準(zhǔn)備進(jìn)行下批次照射作業(yè)。
[0046]聚脂膜的主要組成成份包含下列數(shù)項(xiàng):黏結(jié)劑、光聚合單體、光起始劑、表面活性齊U、附著促進(jìn)劑、熱安定劑、色料等，本實(shí)用新型通過UV紫外線光照射，對(duì)其中光起始劑進(jìn)行裂解產(chǎn)生游離自由基，再由單體吸收自由基進(jìn)行聚合及交聯(lián)作用，產(chǎn)生聚合體(反應(yīng)原理見圖2)，使聚脂膜固化及變色，達(dá)到線路顯像或蓋孔等特殊要求。
[0047]通過以上操作，實(shí)現(xiàn)干膜端面的快速局部固化，降低聚脂薄膜在儲(chǔ)放過程中因膠液流動(dòng)而產(chǎn)生的客戶使用上缺陷，進(jìn)而提高成品卷于倉(cāng)庫(kù)儲(chǔ)放的時(shí)間局部照射處理，保護(hù)了整卷成品的品質(zhì)，使產(chǎn)品報(bào)廢比例降低，客戶滿意度提升.[0048]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種干膜的局部UV光照射裝置，其特征在于，包括機(jī)柜、操作機(jī)臺(tái)、UV照射光源、光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備； 所述機(jī)柜設(shè)置有主門，主門上設(shè)置有控制按鈕； 所述操作機(jī)臺(tái)放置在機(jī)柜內(nèi)，操作機(jī)臺(tái)上有兩個(gè)間距可調(diào)的承載器件，所述承載器件的頂部為凹面； 所述UV照射光源有兩個(gè)，分別置于機(jī)柜兩邊的內(nèi)壁上，均與所述光源驅(qū)動(dòng)設(shè)備連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的局部UV光照射裝置，其特征在于，所述機(jī)柜內(nèi)設(shè)置有散熱風(fēng)扇；機(jī)柜兩邊側(cè)壁上有散熱裝置，所述散熱裝置為散熱孔或百葉窗。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的局部UV光照射裝置，其特征在于，所述操作機(jī)臺(tái)上的承載器件設(shè)置有套筒，套裝在操作機(jī)臺(tái)上，套筒壁上開有螺孔，通過螺桿固定在所述操作機(jī)臺(tái)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的局部UV光照射裝置，其特征在于，所述UV照射光源出光方向設(shè)置有由空氣開關(guān)控制的閘門，所述空氣開關(guān)連接有時(shí)間控制器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的局部UV光照射裝置，其特征在于，所述機(jī)柜底部安裝有萬向輪。
【文檔編號(hào)】B29C71/04GK203611476SQ201320822727
【公開日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2013年12月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月12日
【發(fā)明者】舒華忠 申請(qǐng)人:大東科技材料（昆山）有限公司