本發(fā)明涉及一種在用于微米和納米壓印光刻技術(shù)的圖案轉(zhuǎn)移工藝中使用的裝置，其涉及將圖案從具有結(jié)構(gòu)化表面的模板轉(zhuǎn)移至基板的目標(biāo)表面。更具體地，本發(fā)明涉及一種用于將基板安裝在模板處，并在壓印之后將模板從基板上脫模的裝置。

背景技術(shù)：

納米壓印光刻技術(shù)(nil)已存在了超過(guò)十年之久。已對(duì)將微米和納米級(jí)結(jié)構(gòu)從印模或模板轉(zhuǎn)移至基板進(jìn)行了許多改進(jìn)。用于微米和納米級(jí)圖案轉(zhuǎn)移的大批量制造工具通過(guò)卷對(duì)卷工藝實(shí)現(xiàn)。已在許多工業(yè)應(yīng)用中部署了該項(xiàng)技術(shù)，包括醫(yī)學(xué)科學(xué)、微電子學(xué)、微觀力學(xué)等。

obducatab是九十年代后期使納米壓印光刻設(shè)備商業(yè)化的先驅(qū)之一，其在這種納米壓印光刻設(shè)備中利用自己的從模板轉(zhuǎn)移微米和納米級(jí)圖案的技術(shù)，通過(guò)兩步壓印工藝來(lái)生產(chǎn)最終產(chǎn)品基板。第一步，通過(guò)將模板壓印入聚合物箔中形成中間聚合物印模(ips)。壓印第二步，在將ips從模板脫模后，隨即利用ips將壓印圖案轉(zhuǎn)移至最終基板。

在壓印工藝中，對(duì)壓印箔表面(例如，ips)進(jìn)行保護(hù)是非常重要的。這與對(duì)最終基板進(jìn)行壓印的單步壓印以及在兩步工藝的第一步壓印之后(其中在第二步壓印之前壓印箔保持完好無(wú)損至關(guān)重要)均相關(guān)。

存在許多使模板(有時(shí)被稱為印?；蚰＞?與壓印基板分離的脫模裝置。

us2007/0092594al描述了一種在完成壓印工藝之后使模具和基板分離的脫模方法和裝置。在該工藝中，模具與基板之間插有刀片模塊，當(dāng)空氣被吸入間隙從而消除了真空效應(yīng)施加于模具與基板之間的附著力時(shí)，進(jìn)一步應(yīng)用刀片模塊使模具與基板完全分離。

us2012/029992al公開(kāi)了一種整片晶圓納米壓印光刻技術(shù)。在該文獻(xiàn)中，就對(duì)著模具與基板之間的接口施加來(lái)自脫模噴嘴的壓縮空氣時(shí)連接在模具最外側(cè)的真空通道，對(duì)脫模工藝進(jìn)行了描述。模具上的壓力逐漸從兩側(cè)朝模具中心轉(zhuǎn)變成真空，以連續(xù)剝離脫模。

us8550801公開(kāi)了一種在大基板上重復(fù)進(jìn)行步進(jìn)壓印的壓印器械，包括脫?？刂蒲b置。該脫?？刂蒲b置配置成基于靠近晶圓邊緣的壓射區(qū)域(shotregion)的位置控制脫模速度或模板角度。

us2013/0323347al示出了一種用于壓印裝置的脫模裝置。該脫模裝置使片狀模具與模壓產(chǎn)品分離。脫模裝置放置成遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)移裝置，即壓印工位。其工藝如下：在轉(zhuǎn)移裝置處將圖案轉(zhuǎn)移之后，將模壓產(chǎn)品粘附至片狀模具并移動(dòng)至分離裝置。將模壓產(chǎn)品放置在模壓產(chǎn)品保持器上，保持器設(shè)有通過(guò)吸力保持模壓產(chǎn)品的多個(gè)真空保持槽。為了使模壓產(chǎn)品與片狀模具分離，分離輥單元從保持器上水平移動(dòng)通過(guò)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在改進(jìn)本領(lǐng)域的壓印機(jī)和工藝。該目的一個(gè)方面是提供一種耗時(shí)少的脫模解決方案，以提高產(chǎn)量并降低生產(chǎn)成本。該目的的另一方面是提供確保對(duì)壓印表面進(jìn)行適當(dāng)處理并確保壓印表面的重復(fù)性的解決方案。

本發(fā)明涉及一種用于壓印機(jī)的脫模裝置，在該壓印機(jī)中，箔間歇性地在進(jìn)給方向上通過(guò)按壓區(qū)域，印模在按壓區(qū)域被抵靠箔按壓以將圖案壓印到箔表面上，該脫模裝置包括：載體和安裝在載體內(nèi)的壓輥，其中載體配置成與進(jìn)給方向相反地滑動(dòng)通過(guò)按壓區(qū)域，同時(shí)使箔在壓輥下方以及脫模輥上方滾動(dòng)，以在壓印圖案之后使箔與配合表面分離。

在一個(gè)實(shí)施方案中，脫模輥具有軸向外部部分，軸向外部部分具有第一直徑，配置成與箔接合；和中央槽，中央槽具有第二直徑，第二直徑小于第一直徑以避免槽面與箔上的壓印圖案接觸。

在一個(gè)實(shí)施方案中，所述槽的軸向?qū)挾葮?gòu)造成超過(guò)壓印圖案的寬度。

在一個(gè)實(shí)施方案中，所述載體配置成在進(jìn)給方向上向前滑動(dòng)通過(guò)按壓區(qū)域，以在按壓區(qū)域處將箔施加于配合表面上方。

在一個(gè)實(shí)施方案中，載體包括滑動(dòng)連接至兩個(gè)平行拖架的配件，拖架沿進(jìn)給方向在按壓區(qū)域的相對(duì)側(cè)延伸。

在一個(gè)實(shí)施方案中，脫模裝置包括馬達(dá)，馬達(dá)配置成沿拖架驅(qū)動(dòng)載體。

在一個(gè)實(shí)施方案中，脫模裝置包括接觸輥，接觸輥懸置于載體內(nèi)位于脫模輥上方，其中箔在接觸輥與脫模輥之間行進(jìn)。

在一個(gè)實(shí)施方案中，所述接觸輥配置成抵靠脫模輥的軸向外部部分夾持箔。

在一個(gè)實(shí)施方案中，載體可在位于按壓區(qū)域前面的第一張力壓機(jī)與位于按壓區(qū)域后面的第二張力壓機(jī)之間滑動(dòng)，所述第一張力壓機(jī)和所述第二張力壓機(jī)配置成在使載體滑動(dòng)的同時(shí)使聚合物箔上的預(yù)定張力保持恒定。

在一個(gè)實(shí)施方案中，箔在第一張力壓機(jī)內(nèi)的第一張力輥與第一張力塊之間通過(guò)，并在第二張力壓機(jī)內(nèi)的第二張力輥與第二張力塊之間通過(guò)。

在一個(gè)實(shí)施方案中，所述壓輥和所述接觸輥涂覆橡膠。

在一個(gè)實(shí)施方案中，所述脫模輥具有金屬表面。

在一個(gè)實(shí)施方案中，利用相當(dāng)于0.2-4.0kg的力向下偏壓壓輥。

在一個(gè)實(shí)施方案中，利用相當(dāng)于0-2.0kg的力朝壓輥偏壓脫模輥。

在一個(gè)實(shí)施方案中，利用相當(dāng)于0.2-2.0kg的力朝脫模輥偏壓接觸輥。

在一個(gè)實(shí)施方案中，所述配合表面為具有被壓印到所述箔層表面上的圖案的模板表面。

在一個(gè)實(shí)施方案中，所述箔層表面具有一連串具有圖案的印模表面，且所述配合表面為基板，由此所述圖案在按壓區(qū)域被轉(zhuǎn)移至所述基板。

附圖說(shuō)明

根據(jù)本發(fā)明的以下詳細(xì)描述，本發(fā)明的進(jìn)一步的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將顯現(xiàn)，以下將參考附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的實(shí)施方案，在附圖中：

圖1示出了連接至壓印機(jī)的脫模裝置的示意圖。

圖2示意性地示出了與脫模裝置間隔的多個(gè)輥。

圖3圖示了聚合物箔如何通過(guò)脫模裝置的輥。

圖4從另一個(gè)角度示出了圖3中的元件，且還包括用于向輥軸上施加壓力的構(gòu)件。

圖5示意性地圖示了放置在壓印機(jī)的安裝位置處的脫模裝置的側(cè)視圖。

圖6示意性地示出了壓印聚合物箔。

具體實(shí)施方式

以下將參考附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的實(shí)施方案。然而，本發(fā)明可以許多不同形式體現(xiàn)，而不應(yīng)理解為局限于本文闡述的實(shí)施方案。更確切地說(shuō)，提供這些實(shí)施方案是為了使本公開(kāi)全面且完整，并且向本領(lǐng)域的技術(shù)人員充分傳達(dá)本發(fā)明的范圍。除非另外指出，否則本文所用的所有術(shù)語(yǔ)(包括技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ))的意義與本發(fā)明所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的意義相同。將進(jìn)一步理解的是，本文使用的術(shù)語(yǔ)應(yīng)解釋為其意義與其在本說(shuō)明書(shū)和相關(guān)領(lǐng)域的上下文中的意義相一致，并且除非文中明確定義，否則不應(yīng)作理想化或過(guò)度形式化的意義來(lái)理解。本文使用的術(shù)語(yǔ)僅用于描述特定實(shí)施方案，而非意在限制本發(fā)明。除非上下文另有明確說(shuō)明，否則文中使用的單數(shù)形式“一”、“一個(gè)”和“該”還意在包括復(fù)數(shù)形式。將進(jìn)一步理解的是，本文使用的術(shù)語(yǔ)“包括”和/或“包含”(“comprises”,“comprising”,“includes”and/or“including”)是說(shuō)明存在所述特征、整體、步驟、操作、元件和/或組件，但不排除存在或增加一個(gè)或多個(gè)其它特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或其構(gòu)成的組。

將微米和納米級(jí)圖案從印模轉(zhuǎn)移至基板是一項(xiàng)眾所周知且成熟的技術(shù)。納米壓印光刻(nil)是這些技術(shù)之一，其在行業(yè)中的應(yīng)用廣泛。在卷對(duì)卷微米和納米壓印光刻工藝中，圖案轉(zhuǎn)移分兩個(gè)壓印步驟利用中間聚合物印模(ips)在兩個(gè)壓印工位進(jìn)行，在第一步壓印步驟中中間聚合物印模由聚合物箔形成。卷對(duì)卷壓印工藝中的問(wèn)題之一是在兩個(gè)壓印工位內(nèi)將聚合物箔施加于印模和基板上并將聚合物箔從印模和基板脫模。本發(fā)明公開(kāi)了一種以非常簡(jiǎn)單容易的方式解決該問(wèn)題的方案，稍后將對(duì)此進(jìn)行詳細(xì)描述。

圖案轉(zhuǎn)移過(guò)程中的重要特征是消除空氣混入、圖案變形并使壓印到目標(biāo)上的圖案保持清潔。這在兩步壓印工藝中特別重要，在該工藝中，聚合物箔通過(guò)第一步壓印步驟將圖案從模板轉(zhuǎn)移至聚合物箔，以形成中間聚合物印模(ips)，其中在隨后使壓印箔滾動(dòng)通過(guò)第二轉(zhuǎn)移工位之后，直接或稍后通過(guò)壓印且有可能借助紫外線和/或加熱進(jìn)行固化而將其圖案轉(zhuǎn)移到最終基板上。因此，在兩步工藝中防止ips的圖案受污染或變形特別重要，除非包含單獨(dú)的清洗步驟(但這會(huì)增加時(shí)間和成本)。本領(lǐng)域已充分描述了在固化聚合物箔中壓印以及注射模制壓印，因此本文不再詳細(xì)描述。此外，例如申請(qǐng)人的在先申請(qǐng)ep1795497al中描述了通過(guò)形成并使用ips進(jìn)行的兩步壓印。

以下將通過(guò)對(duì)脫模裝置及其作用進(jìn)行詳細(xì)描述來(lái)描述本發(fā)明，脫模裝置的作用是在將聚合物箔脫模的同時(shí)滿足上述特征，聚合物箔脫模是在第一壓印工位對(duì)圖案進(jìn)行第一步壓印之后、但在第二壓印工位使用之前通過(guò)防止聚合物箔的圖案面在該過(guò)程期間與任何表面或輥接觸來(lái)進(jìn)行。此外，將概述與作為第二壓印步驟(其中壓印聚合物箔用作中間聚合物印模)的脫模有關(guān)的實(shí)施方案。

圖1示出了本發(fā)明的實(shí)施方案的示意圖。金屬底座平臺(tái)1設(shè)有開(kāi)口7，其構(gòu)成按壓區(qū)域7操作時(shí)，聚合物箔(未示出)從附圖的右下方通過(guò)按壓區(qū)域朝右上方移動(dòng)。間歇地，停止供給箔，并在按壓區(qū)域7進(jìn)行壓印步驟。在該工藝中，通過(guò)按壓區(qū)域7上的開(kāi)口向上按壓具有圖案化表面的主印模使之與聚合物箔的底面接觸，同時(shí)從上方朝箔的頂面提供反壓力。為了簡(jiǎn)單起見(jiàn)，印模和用于提供壓力的構(gòu)件未示出，這是因?yàn)槠涮囟ㄐ再|(zhì)和功能并非本發(fā)明的一部分。底座平臺(tái)1可形成壓印機(jī)的一部分，或作為脫模裝置的一部分安裝至壓印機(jī)。按壓區(qū)域7的相對(duì)側(cè)設(shè)有兩個(gè)拖架2，例如附接至底座平臺(tái)1并在箔進(jìn)給方向上延伸。脫模模塊3包括載體12，載體可通過(guò)連接至平行拖架2的配件相對(duì)于底座平臺(tái)1滑動(dòng)地附接。在所示的實(shí)施方案中，兩個(gè)配件示為與最左邊的拖架2接合，而相應(yīng)的配件優(yōu)選地布置成與最右邊的拖架2接合。脫模模塊可從底座平臺(tái)1上拆卸下來(lái)。圖1還示出了帶槽脫模輥8，按壓涂覆橡膠輥9和接觸涂覆橡膠輥10。另外兩個(gè)輥5和13為張力輥。載體12由馬達(dá)4驅(qū)動(dòng)，馬達(dá)4可以是例如電動(dòng)、氣動(dòng)或液壓。馬達(dá)4可安裝在位于底座平臺(tái)1一側(cè)的拖架2的一側(cè)。

圖2示出了脫模裝置的脫模模塊的輥設(shè)置。脫模模塊3包括安裝在滑動(dòng)載體12上的一組輥，該一組輥包括壓輥9、脫模輥8和接觸輥10。在優(yōu)選實(shí)施方案中，脫模輥8具有槽18。更具體地，如從圖2中的實(shí)施方案最佳可見(jiàn)，脫模輥具有軸向外部部分28和中央槽18，軸向外部部分28具有第一直徑，中央槽18具有第二直徑，第二直徑小于第一直徑。在本實(shí)施方案中，脫模輥8配置成與處于外部部分28而非帶槽內(nèi)部部分18的箔接合。如此，避免了槽18的面與箔上的壓印圖案接觸。因此，槽18構(gòu)造成其軸向?qū)挾瘸^(guò)壓印圖案的寬度，壓印圖案的寬度取決于壓印機(jī)中使用的模板。

圖3示意性地圖示了聚合物箔31如何穿過(guò)脫模模塊3的輥。更具體地，聚合物箔從壓輥9下方以及脫模輥8上方通過(guò)，且其進(jìn)給方向在脫模模塊3的前面和后面基本相同。接觸輥10在脫模輥13的軸向外部部分處朝脫模輥8夾持聚合物箔31，但脫模輥8與槽18處的聚合物箔之間無(wú)接觸。

通過(guò)馬達(dá)4的作用，脫模模塊配置成向前滑動(dòng)，即在箔31的進(jìn)給方向上滑動(dòng)，以放置聚合物箔31進(jìn)行壓印以便將模板圖案轉(zhuǎn)移到箔31上。此時(shí)，脫模模塊放置在按壓區(qū)域7的“下游”，如圖1所示，由此聚合物箔借助壓輥9被引導(dǎo)至非?？拷鬃脚_(tái)1或與之接觸。箔31的待壓印部分定位在按壓區(qū)域7的開(kāi)口處，然而因此不與底座平臺(tái)1接觸。在壓印之后，脫模模塊3向后滑動(dòng)通過(guò)并超過(guò)按壓區(qū)域7，由此通過(guò)使脫模輥8滾動(dòng)向上提升現(xiàn)已壓印的聚合物箔31。然后，將脫模模塊定位在按壓區(qū)域7的“上游”?，F(xiàn)在，可向前進(jìn)給聚合物箔31，以將聚合物箔31的新部分放置在按壓區(qū)域7之上。之后，可使脫模模塊3再次通過(guò)按壓區(qū)域7到達(dá)圖1中的位置。一旦脫模模塊3返回圖1所示的位置，便可重復(fù)概述的過(guò)程步驟以為聚合物箔31提供一排壓印圖案，每一個(gè)壓印圖案均可用作ips。

在一個(gè)實(shí)施方案中，聚合物箔31受驅(qū)動(dòng)通過(guò)放置在按壓區(qū)域前面的第一張力壓機(jī)和放置在按壓區(qū)域7后面的第二張力壓機(jī)。在第一張力壓機(jī)中，箔在第一張力輥5與第一張力塊6之間受引導(dǎo)。箔繼續(xù)前進(jìn)至覆蓋底座平臺(tái)上的按壓區(qū)域7的壓印開(kāi)口，然后前進(jìn)至壓輥9下方，該壓輥優(yōu)選涂覆橡膠，并從脫模輥8上方通過(guò)。在圖示的實(shí)施方案中，脫模輥8懸置在壓輥9前面，即二者的軸在載體的滑動(dòng)方向上移位。在替代實(shí)施方案中，脫模輥8可放置在壓輥9上方，甚至放置在壓輥9后面。脫模輥8優(yōu)選帶槽，如上所述，以便其借助其軸向外部部分在聚合物箔31的邊緣處朝接觸輥10夾持箔31。這使得壓印圖案面面對(duì)帶槽脫模輥8上的槽18。此外，接觸輥10優(yōu)選涂覆橡膠。隨后，箔通過(guò)第二張力壓機(jī)的第二張力輥13及輥13的張力塊11。兩個(gè)張力輥5和13及其各自的張力塊6和11將確保聚合物箔上的圖案在其行程期間，或當(dāng)張力壓機(jī)配置成夾持并使箔31保持受張力時(shí)載體12在張力壓機(jī)之間滑動(dòng)期間，不會(huì)與輥或任何其它表面接觸。隨后，圖案化箔可繼續(xù)行進(jìn)至第二壓印工位。

在一個(gè)實(shí)施方案中，脫模裝置可結(jié)合第一步壓印步驟如下工作。在第一壓印工位的按壓區(qū)域7進(jìn)行壓印之后，安裝在載體12上的脫模模塊3向后滑動(dòng)，而第一張力壓機(jī)和第二張力壓機(jī)的至少其中之一使聚合物箔的張力保持恒定，以使聚合物箔從模板上脫模?？衫镁酆衔锊c印模之間的預(yù)定角度啟動(dòng)脫模，以實(shí)現(xiàn)剝離效果，預(yù)定角度將由脫模期間模板在按壓區(qū)域7的升高以及壓輥9的升高位置限定。進(jìn)行脫模時(shí)不與聚合物箔的圖案面接觸。張力壓機(jī)釋放聚合物箔使其移動(dòng)至能夠應(yīng)用的下一個(gè)壓印工位，并在按壓區(qū)域7放置新的箔部分。將脫模模塊3向前驅(qū)動(dòng)至其初始位置。通過(guò)根據(jù)需要多次重復(fù)相同步驟來(lái)繼續(xù)該工藝。

因此當(dāng)箔離開(kāi)脫模模塊3時(shí)，形成了具有一連串具有圖案的中間印模表面的聚合物箔33，為簡(jiǎn)化起見(jiàn)，如圖3所指示。然而，技術(shù)人員將理解，壓印并非在脫模模塊3中進(jìn)行，而是由壓印機(jī)在按壓區(qū)域7進(jìn)行。在一個(gè)實(shí)施方案中，壓印箔33繼續(xù)行進(jìn)至第二壓印步驟，其中聚合物箔表面上的壓印圖案用作輔助印模，也稱作ips，如上文已描述。在該第二壓印步驟中，可使用與用于第一步壓印步驟相同類型的脫模裝置，且因此本實(shí)施方案將使用相同附圖標(biāo)記，所述脫模裝置可工作如下：

間歇性地將其面向下的表面上具有一連串中間聚合物印模的壓印聚合物箔33供給通過(guò)壓印機(jī)的第二按壓區(qū)域7。第二按壓區(qū)域7可構(gòu)成第一壓印步驟中的同一壓印機(jī)的第二壓印工位，或構(gòu)成例如與第一壓印機(jī)串聯(lián)連接的第二壓印機(jī)的按壓區(qū)域7。壓印箔33間歇性地在進(jìn)給方向上通過(guò)第二按壓區(qū)域7，在此處箔33的壓印表面被按壓抵靠基板的待壓印配合表面?；蹇赏ㄟ^(guò)壓印裝置中的任何已知構(gòu)件懸置，例如通過(guò)真空吸引器。在第二按壓區(qū)域7，朝涂覆有可變形材料的基板表面按壓壓印箔33的中間聚合物印模，以將中間聚合物印模的圖案壓印到箔的基板表面上。脫模裝置可另外包括相應(yīng)的特征件，即載體12、安裝在載體內(nèi)的壓輥9，和安裝成與載體內(nèi)的壓輥平行的脫模輥8。脫模裝置可進(jìn)一步配置成以針對(duì)第一步壓印步驟描述的相應(yīng)方式操作。如此，載體優(yōu)選配置成與壓印聚合物箔33的進(jìn)給方向相反地滑動(dòng)通過(guò)按壓區(qū)域，同時(shí)使箔在壓輥下方以及脫模輥上方滾動(dòng)以在將圖案從中間印模壓印到基板上之后使箔與基板分離。

在優(yōu)選實(shí)施方案中，在第二按壓區(qū)域7進(jìn)行壓印之后，安裝在載體12上的脫模模塊3向后滑動(dòng)，而第一張力壓機(jī)和第二張力壓機(jī)的至少其中之一使聚合物箔的張力保持恒定，以使聚合物箔從模板上脫模?？衫镁酆衔锊c基板之間的預(yù)定角度啟動(dòng)脫模，以提供剝離效果，該預(yù)定角度將由脫模期間基板在按壓區(qū)域7的升高以及壓輥9的升高位置限定。進(jìn)行脫模時(shí)優(yōu)選不與聚合物箔的圖案面接觸。張力壓機(jī)釋放聚合物箔使其移動(dòng)遠(yuǎn)離第二壓印工位，且在第二按壓區(qū)域7處放置具有另一中間聚合物印模的新的箔部分。將脫模模塊3向前驅(qū)動(dòng)至其初始位置。通過(guò)根據(jù)需要多次重復(fù)相同步驟來(lái)繼續(xù)該工藝?；鍍?yōu)選要經(jīng)過(guò)后處理，包括uv輻射、加熱或輻射和加熱，還有可能經(jīng)過(guò)金屬化等。然而，對(duì)基板進(jìn)行處理并非本發(fā)明的一部分。

在一個(gè)實(shí)施方案中，可對(duì)接觸輥10涂覆橡膠，并將其配置成以相當(dāng)于0.2-2.0kg的力向下按壓。壓輥9也可涂覆橡膠，配置成以相當(dāng)于0.2-4.0kg的力向下按壓。脫模輥8優(yōu)選為具有槽18的金屬輥，并配置成以相當(dāng)于0-2.0kg的力朝壓輥9按壓。

從圖3可理解，聚合物箔31通過(guò)脫模模塊3的輥8、9、10，使得圖案化表面向下，面向脫模輥8上的槽18。聚合物箔31上的圖案表面僅在箔的外邊緣32處與脫模輥8接觸，從而在每一側(cè)的例如2-100mm處與脫模輥8的軸向外部部分28接觸。優(yōu)選地，箔31被接觸輥35夾持至外部部分28以幫助保持聚合物箔的張力恒定。槽18的大小取決于圖案大小，且輥的長(zhǎng)度取決于聚合物箔的寬度。優(yōu)選地，可使用不同輥組，可基于壓印情況切換輥。使聚合物箔31的張力保持恒定有助于防止聚合物箔31與例如底座平臺(tái)1接觸。這借助脫模模塊3的三個(gè)輥8、9和10，結(jié)合輥5、13和相應(yīng)的張力塊6、11實(shí)現(xiàn)。

圖4示出了脫模模塊3的一部分(確切地說(shuō)是輥8、9、10)的另一視圖。在優(yōu)選實(shí)施方案中，壓輥9和接觸輥10均為涂覆橡膠輥。二者優(yōu)選還可拆卸。在優(yōu)選實(shí)施方案中，脫模輥8具有金屬表面，金屬表面的益處是更穩(wěn)定，從而朝向箔31的圖案化下表面提供更好的接合面。脫模輥8優(yōu)選可旋轉(zhuǎn)地固定至載體3。所有三個(gè)輥8、9、10的軸向兩端均優(yōu)選裝配在彈簧41上，以便能夠調(diào)節(jié)壓力使聚合物箔31的張力保持恒定，并調(diào)節(jié)應(yīng)用和脫模工藝中的壓力。

圖5示意性地圖示了在壓印機(jī)處的脫模裝置的側(cè)視圖。在該圖中，脫模模塊3及其輥8、9、10放置在按壓區(qū)域7的輸出側(cè)，聚合物箔31從右側(cè)進(jìn)給。當(dāng)如圖中所示那樣放置脫模模塊時(shí)，聚合物箔31在按壓區(qū)域7保持接近下部配合表面51。在第一壓印步驟的實(shí)施方案中，配合表面51通常是懸置在保持器52內(nèi)的模板的結(jié)構(gòu)化表面。保持器52與反作用件53結(jié)合使用以將聚合物箔31壓靠在配合表面51上，以便將模板的圖案壓印到聚合物薄膜31的下表面上。

在另一個(gè)實(shí)施方案中，圖5可表示第二壓印工位的按壓區(qū)域7。在這種實(shí)施方案中，從右側(cè)進(jìn)給的聚合物箔33已進(jìn)行了壓印，以便在其上形成一連串中間聚合物印模(參見(jiàn)圖3中的箔33)。配合表面51可以是懸置在保持器52內(nèi)的基板的涂覆表面。在本實(shí)施方案中，在按壓區(qū)域7進(jìn)行的壓印步驟用于將聚合物箔33上的中間印模的圖案壓印在基板的涂覆表面上。

圖6通過(guò)實(shí)例圖示了在其內(nèi)部部分的一個(gè)表面上具有壓印部分61的聚合物箔33，然而箔33的外部部分32存在用于在輥8與10之間夾持的空間，如圖3所示。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解，這種聚合物箔33可能是如上所述的第一步壓印步驟的結(jié)果，且還用作如所描述的第二壓印步驟中的中間聚合物印模61。

本文提出的解決方案提供的優(yōu)點(diǎn)是脫模工藝高效，其可直接用于壓印位置，而不必在不同地方進(jìn)行這些步驟。在優(yōu)選實(shí)施方案中，提出的脫模裝置進(jìn)一步提供了用于在脫模和運(yùn)輸時(shí)保持壓印圖案的完整性以便進(jìn)一步處理(例如第二壓印步驟)的解決方案。如此，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方案的脫模裝置保證了聚合物箔上的圖案化表面從第一壓印工位至工藝結(jié)束始終保持清潔和完好無(wú)損。

以上描述了本發(fā)明的原理、優(yōu)選實(shí)施方案和操作模式。然而本發(fā)明應(yīng)視為說(shuō)明性而非限制性的，且并不局限于以上討論的特定實(shí)施方案。本發(fā)明的各種實(shí)施方案的不同特征可以以不同于明確描述的組合方式的其他組合方式組合。因此應(yīng)理解，在不脫離由所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的范圍的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可對(duì)這些實(shí)施方案進(jìn)行變型。