本發(fā)明涉及用于將單片膜與模制樹(shù)脂一起向模制模具輸送的膜輸送裝置和膜輸送方法以及樹(shù)脂模制裝置。

另外，單片膜除了指預(yù)先形成為規(guī)定尺寸的單獨(dú)的膜之外，還包含從縱長(zhǎng)狀或者大尺寸的膜裁切為規(guī)定尺寸而形成的膜。

背景技術(shù)：

作為現(xiàn)在的半導(dǎo)體制造工廠中使用的樹(shù)脂模制裝置，在WLP(Wafer Level Package：晶圓級(jí)封裝)、PLP(Panel Level Package：面板級(jí)封裝)的成形過(guò)程中以如下方式進(jìn)行：使用例如尺寸為Φ8英寸或Φ12英寸的半導(dǎo)體晶圓作為工件進(jìn)行樹(shù)脂模制，或者使用□300mm～□600mm尺寸(各邊為300mm～600mm的尺寸)的矩形面板(基板、載體等)作為工件進(jìn)行樹(shù)脂模制。

此時(shí)，在為上模設(shè)有模腔凹部的模制模具的情況下，通常向工件上的中心位置一并供給粘度較高的樹(shù)脂并進(jìn)行成形。在該情況下，為了將供給到工件上的樹(shù)脂填充到模腔內(nèi)，需要使模制樹(shù)脂大幅度流動(dòng)，因此，還有時(shí)產(chǎn)生未填充有模制樹(shù)脂的區(qū)域。對(duì)此，還進(jìn)行如下操作：在下模設(shè)置模腔凹部，利用膜來(lái)覆蓋包括該下模模腔凹部的下模夾持面并以均等的厚度供給模制樹(shù)脂，使已保持于上模的工件浸漬于熔融了的模制樹(shù)脂中而進(jìn)行樹(shù)脂模制。

在上述這樣使用膜來(lái)進(jìn)行樹(shù)脂模制時(shí)，為了提高相對(duì)于模腔凹部的追隨性來(lái)防止產(chǎn)生褶皺以提升成形品的品質(zhì)，本申請(qǐng)人提出了一種通過(guò)在膜裝載機(jī)中交接其外周緣部被吸附保持著的膜來(lái)使膜被吸附保持于下模模腔凹部的樹(shù)脂模制裝置和方法(參照專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2014-231185號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的問(wèn)題

如上所述，為了減少模具維護(hù)、防止樹(shù)脂泄漏，使用膜進(jìn)行樹(shù)脂模制，但是，在將卷繞于一對(duì)輥之間的膜連續(xù)地供給到模制模具并進(jìn)行樹(shù)脂模制的情況下，比模具夾持面靠膜輸送方向上游側(cè)的膜和比模具夾持面靠膜輸送方向下游側(cè)的膜會(huì)受到來(lái)自模制模具的輻射熱而發(fā)生變形，因此，在1次樹(shù)脂模制動(dòng)作中膜使用量增加，存在運(yùn)行成本升高這樣的問(wèn)題。因此，為了減少膜使用量，考慮替代縱長(zhǎng)狀連續(xù)的膜而使用單片膜(預(yù)先形成為規(guī)定尺寸和規(guī)定形狀的膜)。

然而，尤其是為了對(duì)大尺寸的、矩形形狀的工件進(jìn)行模制，例如對(duì)各邊為600mm的矩形工件進(jìn)行模制，在適當(dāng)?shù)靥幚肀仍摴ぜ蟮某叽绲哪ざ乖撃げ划a(chǎn)生褶皺地追隨并吸附于下模模腔凹部時(shí)，需要對(duì)整個(gè)膜施加適度的張力。另外，在將模制樹(shù)脂以載置在單片膜上的狀態(tài)運(yùn)送到下模的情況下，若單片膜撓曲，則存在大量的模制樹(shù)脂以在膜上產(chǎn)生偏倚的狀態(tài)被運(yùn)送的隱患。

并且，由于實(shí)質(zhì)上使用比工件的外形尺寸大的膜，因此，膜輸送機(jī)構(gòu)也大型化，從而存在如下傾向：裝置的設(shè)置面積也大型化，潔凈室中的占地面積增加，裝置成本增加。

本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠解決所述以往技術(shù)的問(wèn)題的、以施加適度的張力的方式輸送單片膜并使單片膜不產(chǎn)生褶皺地追隨模腔凹部而交接單片膜的膜輸送裝置。

另外，本發(fā)明的目的還在于，提供一種包括所述膜輸送裝置的、能夠減少膜使用量而謀求降低運(yùn)行成本并能夠提升大尺寸的成形品的成形品質(zhì)且能夠抑制設(shè)置面積的樹(shù)脂模制裝置。

并且，本發(fā)明的目的還在于，提供一種即使將模制樹(shù)脂載置在單片膜上 也能夠不產(chǎn)生樹(shù)脂的偏倚地輸送單片膜的膜輸送方法。

用于解決問(wèn)題的方案

本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)所述目的而具有如下結(jié)構(gòu)。

提供一種膜輸送裝置，其用于在對(duì)模制成形中使用的單片膜施加張力的狀態(tài)下將該單片膜輸送到模制模具，該膜輸送裝置的特征在于，該膜輸送裝置包括：支點(diǎn)框體，該支點(diǎn)框體成為對(duì)所述單片膜施加張力的支點(diǎn)部，其中所述單片膜被保持于框體并覆蓋所述框體的開(kāi)口部，該框體具有與圍繞模腔凹部的模具夾持面相對(duì)應(yīng)的規(guī)定形狀；膜把持部，其在所述支點(diǎn)框體的外側(cè)對(duì)所述單片膜的外周緣部進(jìn)行把持；以及偏移機(jī)構(gòu)，其用于使所述膜把持部向遠(yuǎn)離所述支點(diǎn)部的方向偏移，在利用所述膜把持部把持著所述單片膜的外周緣部的狀態(tài)下使所述單片膜的外周緣部相對(duì)于所述支點(diǎn)部偏移，從而對(duì)所述單片膜施加了所需張力，在該施加了所需張力的狀態(tài)下，將所述單片膜與所述支點(diǎn)框體一起輸送到所述模制模具。

采用上述結(jié)構(gòu)，在利用膜把持部把持著單片膜的外周緣部的狀態(tài)下使單片膜的外周緣部相對(duì)于支點(diǎn)部偏移，從而對(duì)單片膜在整周上施加了所需張力，在該施加了所需張力的狀態(tài)下，將單片膜與支點(diǎn)框體一起輸送到模制模具，因此，能夠在單片膜上不產(chǎn)生褶皺地將單片膜輸送并交接到模制模具。因而，由此能夠使單片膜追隨模制模具的形成有模腔凹部的模具夾持面而使單片膜被吸附保持于模具夾持面。

也可以是，在被施加有所需張力的所述單片膜上搭載模制成形用的模制樹(shù)脂，并將該單片膜與所述支點(diǎn)框體一起輸送。

由此，即使將模制樹(shù)脂載置在單片膜上地進(jìn)行運(yùn)送，單片膜也不會(huì)撓曲，不會(huì)產(chǎn)生樹(shù)脂泄漏、樹(shù)脂的偏倚，也不會(huì)發(fā)生將空氣卷入模制樹(shù)脂的情況。

優(yōu)選的是，膜把持部分別對(duì)矩形形狀的單片膜的各邊進(jìn)行把持。

由此，能夠利用在矩形形狀的單片膜的相對(duì)的邊設(shè)置的膜把持部來(lái)分別 朝向兩側(cè)地對(duì)單片膜施加張力，從而能夠有效地防止產(chǎn)生褶皺。

也可以是，膜把持部以在單片膜的各邊被分割成多個(gè)把持部的方式設(shè)置。

由此，通過(guò)改變分割后的膜把持部的自支點(diǎn)部偏移的偏移量，根據(jù)在單片膜上產(chǎn)生的褶皺的方向、褶皺的大小以扭曲單片膜的方式對(duì)單片膜施加張力，由此能夠消除膜固有的褶皺。

優(yōu)選的是，膜把持部以能夠針對(duì)單片膜的每個(gè)邊來(lái)調(diào)整偏移量的方式設(shè)置。

由此，通過(guò)針對(duì)單片膜的每個(gè)邊來(lái)調(diào)節(jié)膜把持部的偏移量，能夠確切地抑制的褶皺的產(chǎn)生。

也可以是，所述偏移機(jī)構(gòu)通過(guò)使所述膜把持部以設(shè)于所述框體的旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)來(lái)使所述膜把持部遠(yuǎn)離所述支點(diǎn)部。

由此，通過(guò)使膜把持部以旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而使膜把持部遠(yuǎn)離支點(diǎn)部，能夠使單片膜的繞支點(diǎn)部卷繞的卷繞量變化而調(diào)整張力。尤其是，由于能夠通過(guò)膜把持部的以旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行的旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)整張力，因此能夠使膜輸送裝置小型化。

優(yōu)選的是，該膜輸送裝置包括棘輪機(jī)構(gòu)，該棘輪機(jī)構(gòu)容許對(duì)所述膜把持部進(jìn)行保持的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件以所述旋轉(zhuǎn)軸為中心僅向遠(yuǎn)離所述支點(diǎn)部的方向旋轉(zhuǎn)。

由此，通過(guò)使膜把持部在旋轉(zhuǎn)后的位置停止，能夠在維持施加于單片膜的張力的狀態(tài)下輸送單片膜。

提供一種樹(shù)脂模制裝置，其特征在于，該樹(shù)脂模制裝置包括以上任一膜輸送裝置和用于將膜輸送裝置輸送到模制模具的膜裝載機(jī)。

由此，能夠提供一種樹(shù)脂模制裝置，該樹(shù)脂模制裝置能夠通過(guò)使用輸送單片膜的膜輸送裝置來(lái)減少膜使用量而謀求降低運(yùn)行成本，并能夠謀求提升 大尺寸的成形品的成形品質(zhì)且能夠抑制設(shè)置面積。

優(yōu)選的是，該樹(shù)脂模制裝置包括張力追加機(jī)構(gòu)，在將單片膜與支點(diǎn)框體一起運(yùn)送到模制模具時(shí)，該張力追加機(jī)構(gòu)使膜把持部的偏移量增大而進(jìn)一步加強(qiáng)利用偏移機(jī)構(gòu)對(duì)單片膜施加的張力。

由此，雖然在將單片膜運(yùn)送到模制模具時(shí)有可能因輻射熱而導(dǎo)致單片膜伸長(zhǎng)，但通過(guò)利用張力追加機(jī)構(gòu)來(lái)再次加強(qiáng)單片膜的張力，能夠防止在向模制模具放置單片膜時(shí)在單片膜上產(chǎn)生褶皺。

另外，提供一種膜輸送方法，其用于在對(duì)模制成形中使用的單片膜施加張力的狀態(tài)下將單片膜輸送到模制模具，該膜輸送方法的特征在于，在成為支點(diǎn)部的支點(diǎn)框體的外側(cè)，利用膜把持部對(duì)所述單片膜的外周緣部進(jìn)行把持，其中所述單片膜被保持于框體并覆蓋所述框體的開(kāi)口部，該框體具有與圍繞模腔凹部的模具夾持面相對(duì)應(yīng)的規(guī)定形狀，在利用所述膜把持部來(lái)把持著所述單片膜的外周緣部的狀態(tài)下使所述單片膜的外周緣部向遠(yuǎn)離所述支點(diǎn)部的方向偏移，從而對(duì)所述單片膜施加了所需張力，在該施加了所需張力的狀態(tài)下，將所述單片膜與所述支點(diǎn)框體一起輸送到所述模制模具。

由此，在利用膜把持部把持著單片膜的外周緣部的狀態(tài)下使單片膜的外周緣部相對(duì)于支點(diǎn)部偏移，從而對(duì)單片膜在整周上施加了所需張力，在該施加了所需張力的狀態(tài)下，將單片膜輸送到模制模具，因此，能夠在單片膜上不產(chǎn)生褶皺地將單片膜輸送并交接到模制模具。因而，即使將模制樹(shù)脂載置在單片膜上，也能夠不產(chǎn)生樹(shù)脂的偏倚地輸送單片膜，能夠使單片膜追隨模制模具的形成有模腔凹部的模具夾持面地被吸附保持于模具夾持面。

發(fā)明的效果

采用所述膜輸送裝置，能夠使單片膜不產(chǎn)生褶皺地輸送單片膜并使單片膜追隨形成有模腔凹部的模具夾持面而交接單片膜，即使將模制樹(shù)脂載置在單片膜上，也能夠不產(chǎn)生樹(shù)脂的偏倚地輸送單片膜。

另外，在包括所述膜輸送裝置的樹(shù)脂模制裝置中，能夠減少膜使用量而 謀求降低運(yùn)行成本，并能夠提升大尺寸的成形品的成形品質(zhì)且能夠抑制設(shè)置面積。

附圖說(shuō)明

圖1是表示樹(shù)脂模制裝置的概略結(jié)構(gòu)的平面布局圖。

圖2是表示單片膜的輸送準(zhǔn)備和模制樹(shù)脂供給工序的說(shuō)明圖。

圖3是膜輸送裝置的俯視圖。

圖4是表示模制模具的結(jié)構(gòu)的剖面圖。

圖5是表示針對(duì)圖4的下模供給單片膜和模制樹(shù)脂的供給工序的說(shuō)明圖。

圖6是接著圖5的、表示單片膜和模制樹(shù)脂的供給工序的說(shuō)明圖。

圖7是接著圖6的、樹(shù)脂模制工序的說(shuō)明圖。

圖8是表示另一個(gè)例子的膜輸送裝置的單片膜和模制樹(shù)脂的供給工序的說(shuō)明圖。

圖9是圖8的膜輸送裝置的俯視圖。

圖10是又一個(gè)例子的膜輸送裝置的局部剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面，結(jié)合附圖來(lái)詳細(xì)敘述本發(fā)明的膜輸送裝置和包括該膜輸送裝置的樹(shù)脂模制裝置的優(yōu)選實(shí)施方式。下面，對(duì)使用例如各邊為600mm左右的矩形形狀的工件作為工件、使用為該工件大小以上的大小的單片膜作為膜而進(jìn)行樹(shù)脂模制的樹(shù)脂模制裝置進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)然，作為工件，不僅可以為上述那樣的尺寸較大的工件，也可以為300mm×100mm左右的較小的長(zhǎng)條狀的工件。另外，對(duì)于樹(shù)脂模制裝置，作為一個(gè)例子，將下模作為可動(dòng)模具、將上模作為固定模具來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。另外，樹(shù)脂模制裝置包括開(kāi)合模機(jī)構(gòu)，但省略開(kāi)合模機(jī)構(gòu)的圖示，以模制模具的結(jié)構(gòu)為中心進(jìn)行說(shuō)明。

首先，參照?qǐng)D1說(shuō)明樹(shù)脂模制裝置的概略結(jié)構(gòu)。在該樹(shù)脂模制裝置中，控制部(未圖示)控制后述的各部而進(jìn)行各種動(dòng)作。本實(shí)施例中的模制裝置為如下結(jié)構(gòu)：工件處理單元Uw、兩臺(tái)沖壓?jiǎn)卧猆p和分配單元Ud(供給單元)相連結(jié)，對(duì)裝置內(nèi)的工件W自動(dòng)地進(jìn)行樹(shù)脂模制。

工件處理單元Uw包括例如工件供給部1、成形品收納部2、固化爐3以及機(jī)器人輸送裝置4。在工件供給部1收納有作為工件W的例如各邊為600mm左右的大小的矩形面板(基板、載體等)。在成形品收納部2收納有在后述的沖壓部5中進(jìn)了樹(shù)脂模制后的成形品M。固化爐3通過(guò)將在后述的沖壓部5處進(jìn)行樹(shù)脂模制后的成形品M分別收納于被設(shè)置在爐內(nèi)的多層的擱板并進(jìn)行后固化而使樹(shù)脂封裝部加熱固化。機(jī)器人輸送裝置4用于在以包圍該機(jī)器人輸送裝置4的方式配置的各部之間進(jìn)行工件W和成形品M的交接、輸送。該機(jī)器人輸送裝置4例如自工件供給部1取出并供給工件W，將成形品M向固化爐3輸送，且依次將成形品M自固化爐3向成形品收納部2輸送并收納于成形品收納部2。機(jī)器人輸送裝置4使用如下類型的機(jī)器人：例如垂直多關(guān)節(jié)型機(jī)器人、水平多關(guān)節(jié)型機(jī)器人或者由垂直多關(guān)節(jié)型和水平多關(guān)節(jié)型復(fù)合而成的多關(guān)節(jié)型機(jī)器人，并利用吸附、把持而將工件W、成形品M保持于機(jī)械手4a地進(jìn)行輸送。另外，在工件處理單元Uw中，也可以在機(jī)器人輸送裝置4的周圍配置用于對(duì)成形品M進(jìn)行冷卻的冷卻部、用于對(duì)成形品進(jìn)行外觀檢查等的檢查部、用于讀取與各個(gè)工件W相關(guān)聯(lián)的成形條件的數(shù)據(jù)讀取部、用于使工件W或成形品M表背翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)部30。例如，在工件W的待樹(shù)脂模制成形的面(成形面)以朝上的方式供給至工件供給部1時(shí)，翻轉(zhuǎn)部30使成形面朝向下方。另外，在將樹(shù)脂模制成形結(jié)束后的成形品M收納于成形品收納部2之前，翻轉(zhuǎn)部30將成形品M的成形面翻轉(zhuǎn)以使成形面朝上。

在沖壓?jiǎn)卧猆p中的沖壓部5具有用于壓縮成形的模制模具6(上模6A和下模6B)，利用用于使壓板相對(duì)于設(shè)于四角的柱部5a升降的公知的開(kāi)合模機(jī)構(gòu)進(jìn)行開(kāi)模和合模。在本實(shí)施例中，沖壓?jiǎn)卧猆p設(shè)于兩處，但既可以設(shè)于1處，也可以設(shè)于3處以上。

在分配單元Ud中自膜供給部8供給過(guò)來(lái)的單片膜F上由分配器9供給有模制樹(shù)脂(例如顆粒樹(shù)脂、粉末樹(shù)脂)的狀態(tài)下，膜輸送器13(膜輸送裝置)將該單片膜F輸送至沖壓部5的模制模具6內(nèi)。在膜供給部8設(shè)有將縱長(zhǎng)狀的膜卷成卷狀而成的膜卷8a。在自該膜卷8a引出膜端的狀態(tài)下，將其切斷(裁切)成任意的尺寸的矩形形狀，作為單片膜F備于載物臺(tái)17上。

在單片膜F被施加所需張力地支承于后述的膜輸送器13的狀態(tài)下，分配器9向單片膜F上供給1次樹(shù)脂模制所需的模制樹(shù)脂R(顆粒樹(shù)脂)。另外，也可以是，替代顆粒樹(shù)脂而使用粉末樹(shù)脂、液狀樹(shù)脂或片樹(shù)脂，或者它們的組合。

作為單片膜F，優(yōu)選使用具有耐熱性、容易自模具面剝離且具有柔軟性、伸展性的膜材料，例如以PTFE、ETFE、PET、FEP膜、含氟玻璃纖維布、聚丙烯膜、聚偏二氯乙烯等為主要成分的單層膜或多層膜。

面板裝載機(jī)10用于自機(jī)器人輸送裝置4的機(jī)械手4a接收工件W并將該工件W運(yùn)送到?jīng)_壓部5的模制模具6(上模6A)。另外，面板裝載機(jī)10自模制模具6接收成形品M并將向機(jī)器人輸送裝置4的機(jī)械手4a交接該成形品M。面板裝載機(jī)10在自模制模具6取出成形品M時(shí)，使用完成后的單片膜F以被吸附保持的狀態(tài)也被取出，取出后的單片膜F被回收至膜回收部12。

膜裝載機(jī)11用于接收被施加所需張力地保持于膜輸送器13的單片膜F和供給到該膜F上的模制樹(shù)脂R(顆粒樹(shù)脂)，并向模制模具6(下模6B)輸送該單片膜F和模制樹(shù)脂R。面板裝載機(jī)10和膜裝載機(jī)11設(shè)置為能沿著沿裝置的長(zhǎng)邊方向敷設(shè)的多個(gè)導(dǎo)軌14上往復(fù)移動(dòng)。另外，未圖示的裝載處理器(日文：ローダハンド)能自導(dǎo)軌14上的位置起以與導(dǎo)軌14正交的方式向各部(例如沖壓部5)移動(dòng)。

在此，參照?qǐng)D2和圖3說(shuō)明膜輸送器13的結(jié)構(gòu)。

如圖2的(B)所示，膜輸送器13具有與圍繞后述的下模模腔凹部6C的下模夾持面相對(duì)應(yīng)的規(guī)定形狀的框體(例如矩形框體13a)。

另外，在膜輸送器13中，成為支點(diǎn)部的、用于對(duì)單片膜F施加張力的支點(diǎn)框體13b沿著矩形框體13a設(shè)為矩形形狀(參照?qǐng)D3)。作為支點(diǎn)部，也可以不設(shè)置支點(diǎn)框體13b，而使用矩形框體13a的外側(cè)角部。

另外，在膜輸送器13的外側(cè)設(shè)有用于在整周上把持單片膜F的外周緣部的多個(gè)膜夾具13c(膜把持部)。具體而言，如圖2的(B)所示，為了把持著矩形形狀的單片膜F進(jìn)行輸送，在膜輸送器13的相對(duì)的邊上設(shè)有一對(duì)膜夾具13c(膜把持部)。作為一對(duì)膜夾具13c，使用開(kāi)閉式的夾具，在膜輸送器13的各邊夾持并保持矩形形狀的單片膜F的外周緣部。一對(duì)膜夾具13c的長(zhǎng)邊方向兩端分別支承于一對(duì)旋轉(zhuǎn)桿13d(旋轉(zhuǎn)構(gòu)件)。一對(duì)旋轉(zhuǎn)桿13d能夠以形成在比膜夾具13c靠?jī)?nèi)側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸13e為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)地設(shè)于矩形框體13a。因此，一對(duì)膜夾具13c設(shè)于旋轉(zhuǎn)桿13d的與旋轉(zhuǎn)軸13e所處一側(cè)相反的那一側(cè)。在旋轉(zhuǎn)桿13d上設(shè)有用于使膜夾具13c僅向相對(duì)于支點(diǎn)框體13b偏移的方向旋轉(zhuǎn)的偏移機(jī)構(gòu)。具體而言，如圖3所示，在膜夾具13c的旋轉(zhuǎn)軸13e上設(shè)有棘輪和棘爪相嚙合的棘輪機(jī)構(gòu)13f。棘輪機(jī)構(gòu)13f容許膜夾具13c以旋轉(zhuǎn)軸13e為中心向遠(yuǎn)離支點(diǎn)框體13b的方向(圖2的(C)的箭頭方向)旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度。由此，通過(guò)使膜夾具13c在向一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)后的規(guī)定旋轉(zhuǎn)位置處停止，能夠在維持施加于單片膜F的張力的狀態(tài)下輸送單片膜F。此外，也可以是，替代棘輪機(jī)構(gòu)13f，采用伺服馬達(dá)、扭矩馬達(dá)那樣的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)單片膜F施加任意的張力并維持該施加的張力的結(jié)構(gòu)。在該情況下，與設(shè)置棘輪機(jī)構(gòu)13f的結(jié)構(gòu)相比，膜輸送器13容易大型化，但在能夠?qū)κ┘佑趩纹的張力進(jìn)行隨時(shí)調(diào)整這點(diǎn)上較佳。

如圖2的(C)所示，在利用一對(duì)膜夾具13c把持單片膜F的外周緣部(4邊)的狀態(tài)下，利用通過(guò)未圖示的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(氣缸驅(qū)動(dòng)、螺線管驅(qū)動(dòng)、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)等)進(jìn)行升降的上推銷15來(lái)上推旋轉(zhuǎn)桿13d。此時(shí)，旋轉(zhuǎn)桿13d以旋轉(zhuǎn)軸13e為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而使膜夾具13c向相對(duì)于支點(diǎn)框體13b離開(kāi)的方向(箭頭方向)偏移。由此，使覆蓋膜輸送器13的框體開(kāi)口部的單片膜F的端 部彼此經(jīng)由支點(diǎn)框體13b被拉開(kāi)的量增加，且單片膜F在被施加有所需張力的狀態(tài)下整體地被保持。另外，在要使旋轉(zhuǎn)桿13d返回到原來(lái)的位置的情況下，當(dāng)再次利用上推銷15將旋轉(zhuǎn)桿13d上推規(guī)定的角度時(shí)，棘輪機(jī)構(gòu)13f(參照?qǐng)D3)的嚙合被解除而能夠使旋轉(zhuǎn)桿13d返回到原來(lái)的位置。

如該圖所示，通過(guò)使膜夾具13c以旋轉(zhuǎn)軸13e為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)而使膜夾具13c遠(yuǎn)離支點(diǎn)框體13b，能夠使單片膜F的端部彼此經(jīng)由支點(diǎn)框體13b被拉開(kāi)的量增加而增強(qiáng)張力。尤其是，通過(guò)以配置在四邊的膜夾具13c的旋轉(zhuǎn)軸13e為中心的各個(gè)旋轉(zhuǎn)，能夠針對(duì)膜的每個(gè)邊來(lái)調(diào)整單片膜F的張力，因此可使能對(duì)單片膜F施加適當(dāng)?shù)膹埩Φ哪ぽ斔推?3構(gòu)成為小型且簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。

自分配器9(參照?qǐng)D1)經(jīng)由例如槽16(參照?qǐng)D2的(D))向上述的被施加有所需張力的單片膜F上供給1次樹(shù)脂模制所需的模制樹(shù)脂R(顆粒樹(shù)脂)，并將模制樹(shù)脂R在單片膜F上不產(chǎn)生偏倚的情況下均勻地供給到單片膜F上(參照?qǐng)D2的(E))。另外，在矩形框體13a的上部開(kāi)口形成有傾斜部13g，越靠近俯視矩形形狀的開(kāi)口端部，該傾斜部13g的開(kāi)口直徑越大。通過(guò)向該傾斜部13g的內(nèi)側(cè)供給模制樹(shù)脂R，從而將模制樹(shù)脂R以任意的形狀供給到單片膜F上。

在該情況下，利用傾斜部13g來(lái)防止供給到單片膜F上的模制樹(shù)脂R上升到矩形框體13a之上。此外，也可以是，包括傾斜部13g在內(nèi)使矩形框體13a的內(nèi)側(cè)為圓形形狀，從而向單片膜F上且是圓形區(qū)域內(nèi)供給模制樹(shù)脂R。由此，不管模腔的形狀如何，是外形為圓形或是外形為矩形，僅靠改變局部構(gòu)造，就能夠利用相同的用于輸送單片膜F的輸送構(gòu)造。

并且，如圖2的(F)所示，在單片膜F上供給有模制樹(shù)脂的狀態(tài)下，利用膜裝載機(jī)11夾住膜輸送器13(矩形框體13a)并將其向模制模具6輸送。

在此，在利用膜裝載機(jī)11將單片膜F自載物臺(tái)17抬起時(shí)，若張力不充分，則有時(shí)單片膜F在模制樹(shù)脂R的重量的作用下在中央等處下垂。因此，可在接近載物臺(tái)17的位置設(shè)置膜下垂檢測(cè)部20。膜下垂檢測(cè)部20能夠構(gòu)成為包括發(fā) 光部和光接收部以及用于對(duì)發(fā)光部與光接收部之間的遮蔽狀態(tài)、遮蔽位置進(jìn)行檢測(cè)的激光傳感器。作為一個(gè)例子，能夠構(gòu)成為在隔著膜輸送器13的位置設(shè)有發(fā)光部和光接收部。另外，作為膜下垂檢測(cè)部20，通過(guò)對(duì)載物臺(tái)17上的空間中的遮蔽物進(jìn)行檢測(cè)，能夠在抬起了膜輸送器13時(shí)單片膜F自適當(dāng)?shù)奈恢孟麓箷r(shí)檢測(cè)到遮蔽物。膜下垂檢測(cè)部20既可以以在一個(gè)方向上對(duì)下垂進(jìn)行檢測(cè)的方式而僅設(shè)有1組，也可以如圖3所示那樣以在交叉的兩個(gè)方向上進(jìn)行檢測(cè)的方式而設(shè)有兩組。此外，作為膜下垂檢測(cè)部20，只要能夠?qū)纹的下垂進(jìn)行檢測(cè)，則可以為任意的結(jié)構(gòu)。例如，膜下垂檢測(cè)部20也可以為接觸傳感器(開(kāi)關(guān))，能夠成為可檢測(cè)到在將膜輸送器13抬起到規(guī)定的高度時(shí)下垂了的膜與其接觸的情況的結(jié)構(gòu)。

另外，也可以使分別對(duì)圖3所示的矩形形狀的單片膜F的各邊進(jìn)行把持的膜夾具13c在各邊上推量均等或不同。在該情況下，例如，使利用設(shè)于單片膜F的每個(gè)邊的上推銷15的上推量均等，由此能夠施加與以旋轉(zhuǎn)軸13e為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)量相對(duì)應(yīng)的張力。另外，在位于相對(duì)的邊的一對(duì)膜夾具13c構(gòu)成一組時(shí)，也可以使膜夾具13c各組的上推量不同。在該情況下，通過(guò)根據(jù)單片膜F的各邊的長(zhǎng)度、膜在自膜卷8a引出的方向等上的伸長(zhǎng)難易度等而使膜夾具13c各組的上推量不同，也能夠使施加于單片膜F的各邊的張力均等。例如，若為圖3所示那樣的橫向較長(zhǎng)的膜，則只要使位于沿長(zhǎng)邊方向(該圖的左右方向)拉伸的兩個(gè)邊(右邊和左邊)上的一對(duì)膜夾具13c的上推量與位于沿短邊方向(該圖的上下方向)拉伸的兩個(gè)邊(上邊和下邊)上的一對(duì)膜夾具13c的上推量不同即可。即，只要使長(zhǎng)邊方向上的膜夾具13c的上推量大于短邊方向上的膜夾具13c的上推量即可。換言之，通過(guò)針對(duì)較長(zhǎng)的邊更多地進(jìn)行拉伸，無(wú)論邊的長(zhǎng)度如何均能夠成為被均勻地拉伸后的狀態(tài)。由此，能夠使在長(zhǎng)邊方向和短邊方向這兩個(gè)方向施加于單片膜F的張力均等。

另外，并不限于圖3所示那樣將單片膜F按照每個(gè)邊整體夾住的情況，也可以將膜夾具13c以在一邊上分割成多個(gè)的方式設(shè)置。在該情況下，根據(jù)在單片膜F上產(chǎn)生的褶皺的狀態(tài)(位置)來(lái)改變邊的位置上的膜夾具13c的旋轉(zhuǎn) 量，以使單片膜F扭曲的方式對(duì)單片膜F施加張力，由此能夠以將褶皺展開(kāi)了的狀態(tài)保持單片膜F。例如，當(dāng)單片膜F的張力局部變高時(shí)，會(huì)在該張力局部變高的位置以外的位置產(chǎn)生褶皺。因此，能夠構(gòu)成為：首先，均勻地上推膜夾具13c而對(duì)單片膜F施加張力，之后，在產(chǎn)生褶皺時(shí)，減弱張力局部變高的部分的張力或提高張力局部變高的部分以外的部分的張力。并且，膜夾具13c不僅可以構(gòu)成為，為了以與邊的延伸方向交叉的方式對(duì)單片膜F進(jìn)行拉伸而以規(guī)定的長(zhǎng)度在單片膜F的邊把持單片膜F，也可以構(gòu)成為，為了在單片膜F的角部向遠(yuǎn)離中心的方向?qū)纹拉長(zhǎng)而對(duì)單片膜F的角部進(jìn)行把持。

由此，通過(guò)改變分割了的膜夾具13c的自支點(diǎn)框體13b偏移的偏移量，根據(jù)在單片膜F上產(chǎn)生的褶皺的方向、褶皺的大小以使單片膜F扭曲的方式對(duì)單片膜F施加張力，能夠消除膜固有的褶皺。

接下來(lái)，參照?qǐng)D4說(shuō)明設(shè)于沖壓部5的模制模具6的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例例示了壓縮成形用的模制模具6。通過(guò)在該模制模具6的任意的位置設(shè)置加熱器(未圖示)，由此使模制樹(shù)脂R加熱固化而對(duì)工件W進(jìn)行樹(shù)脂模制，從而制造成形品M。在上模6A的上模夾持面6a，為了吸附保持工件W而形成有空氣吸附孔6b和與空氣吸附孔6b相連通的空氣吸引路徑6c。另外，在多處與矩形形狀的工件W的外緣部相對(duì)的位置上設(shè)有工件保持銷6d。工件保持銷6d用于對(duì)工件W的外周面進(jìn)行推壓和保持。工件保持銷6d可以是圓柱狀的銷，也可以是方柱狀的銷，優(yōu)選為隔著彈性體推壓工件W的結(jié)構(gòu)。另外，工件保持銷6d也可以作為在吸附保持工件W時(shí)用于對(duì)工件W進(jìn)行定心的引導(dǎo)件。采用這樣的結(jié)構(gòu)，與例如利用字母L形的爪狀的鉤來(lái)保持工件W的外周的結(jié)構(gòu)相比，能夠增大模腔的面積。

在下模6B中，形成下模模腔底部的下模模腔擋塊6f與下模塊6e一體地支承于該下模塊6e。在下模模腔擋塊6f的周圍形成下模模腔側(cè)部的下?？蓜?dòng)夾緊件6g借助螺旋彈簧6h浮動(dòng)支承在下模塊6e上。由下模模腔擋塊6f和下模可動(dòng)夾緊件6g形成下模模腔凹部6C。對(duì)下?？蓜?dòng)夾緊件6g與下模模腔擋塊6f 之間的間隙設(shè)置密封環(huán)6i(O形密封圈)而將該間隙密封。另外，在下模可動(dòng)夾緊件6g分別設(shè)有空氣吸引路徑6g1、6g2，該空氣吸引路徑6g1、6g2用于將單片膜F吸附保持于包含下模模腔凹部6C的下模面?？諝馕窂?g1自下模模腔擋塊6f與下?？蓜?dòng)夾緊件6g之間的間隙對(duì)膜內(nèi)周側(cè)進(jìn)行吸附，空氣吸引路徑6g2在下?？蓜?dòng)夾緊件6g的夾持面對(duì)膜外周側(cè)進(jìn)行吸附。由此，將單片膜F沿著下模模腔凹部6C的凹形狀吸附。另外，也可以在上模6A與下模6B之間設(shè)置上下一對(duì)夾持塊(未圖示)，該一對(duì)夾持塊用于在開(kāi)始模具夾持動(dòng)作時(shí)使模具內(nèi)形成減壓空間。

另外，在下模6B的下模可動(dòng)夾緊件6g的外側(cè)設(shè)有推桿6j(張力追加機(jī)構(gòu))。該推桿6j是為了進(jìn)一步加強(qiáng)作用于單片膜F的張力而設(shè)置的。例如，在利用膜裝載機(jī)11將單片膜F與膜輸送器13一起運(yùn)送到下模6B時(shí)，在來(lái)自下模6B的輻射熱的作用下，單片膜F伸長(zhǎng)而導(dǎo)致張力降低。在該情況下，當(dāng)單片膜F的張力降低而產(chǎn)生松弛時(shí)，在單片膜F的自重或所供給的模制樹(shù)脂R的重量的作用下，會(huì)使單片膜F的中央部下垂。在該情況下，在將單片膜F載置于下模6B時(shí)，單片膜F的松弛有時(shí)成為褶皺。另外，能夠想到，當(dāng)單片膜F的中央部的下垂變大時(shí)，模制樹(shù)脂R會(huì)集中于中央，從而難以向模腔內(nèi)均勻地供給模制樹(shù)脂R。因此，將推桿6j設(shè)于下模6B的與旋轉(zhuǎn)桿13d相對(duì)應(yīng)的位置，利用例如升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(例如氣缸驅(qū)動(dòng)、螺線管驅(qū)動(dòng)、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)等驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu))使推桿6j升降，從而能夠使旋轉(zhuǎn)桿13d旋轉(zhuǎn)。該推桿6j是為了增加一對(duì)膜夾具13c的偏移量以進(jìn)一步加強(qiáng)作用于單片膜F的張力而設(shè)置的。另外，該推桿6j也能夠用于解除棘輪機(jī)構(gòu)13f的嚙合。

在利用膜裝載機(jī)11將單片膜F與膜輸送器13一起載置于下模6B(下?？蓜?dòng)夾緊件6g)之后，使配置于旋轉(zhuǎn)桿13d的正下方的推桿6j工作而使旋轉(zhuǎn)桿13d向增加膜夾具13c的偏移量的方向旋轉(zhuǎn)。由此，能夠防止單片膜F的張力在模具夾持前降低。當(dāng)然，也可以是，在單片膜F接近下模6B時(shí)使旋轉(zhuǎn)桿13d向增加膜夾具13c的偏移量的方向旋轉(zhuǎn)。

接下來(lái)，參照?qǐng)D2說(shuō)明利用膜輸送器13對(duì)模制模具6輸送單片膜F的輸送 準(zhǔn)備動(dòng)作的一個(gè)例子。

在圖2的(A)中，對(duì)在膜供給部8(參照?qǐng)D1)中自膜卷8a將膜端引出到載物臺(tái)17上的縱長(zhǎng)狀的膜F，利用裁切器18切斷為規(guī)定尺寸。在本實(shí)施例中，將縱長(zhǎng)狀的膜F切斷為比下模可動(dòng)夾緊件6g的外形大的尺寸。

接著，在圖2的(B)中，使膜輸送器13疊合于切下來(lái)的單片膜F并利用膜夾具13c來(lái)夾持單片膜F的各邊外周緣部。

接下來(lái)，在圖2的(C)中，使未圖示的驅(qū)動(dòng)源工作而將上推銷15上推，從而使旋轉(zhuǎn)桿13d以旋轉(zhuǎn)軸13e為中心旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)方向是使膜夾具13c自支點(diǎn)框體13b偏移(遠(yuǎn)離支點(diǎn)框體13b)的方向。由此，利用膜夾具13c自兩側(cè)拉伸單片膜F，因此，使單片膜F的端部經(jīng)由支點(diǎn)框體13b被拉開(kāi)的量增加，即使單片膜F被卷起的角度增加，從而使支點(diǎn)框體13b之間的膜張力增加。另外，此時(shí)，圖3所示的棘輪機(jī)構(gòu)13f工作而使旋轉(zhuǎn)桿13d保持在旋轉(zhuǎn)后的位置，因此能夠維持將矩形框體13a的框體開(kāi)口部覆蓋的膜的張力得到加強(qiáng)后的狀態(tài)。

這樣，通過(guò)設(shè)成使膜夾具13c相對(duì)于支點(diǎn)框體13b(支點(diǎn)部)沿上下方向移動(dòng)來(lái)拉緊單片膜F那樣的結(jié)構(gòu)，與例如在沿橫向拉伸膜夾具13c而施加張力的結(jié)構(gòu)相比，能夠?qū)纹有效地施加張力。另外，能夠使對(duì)單片膜F施加張力的裝置結(jié)構(gòu)在俯視視角小型化。即，為了施加同等的張力，單片膜F越大尺寸化，拉伸量變得越大，在沿橫向拉伸膜夾具13c的情況下，不得不在裝置內(nèi)確保與該拉伸量相對(duì)應(yīng)的面積，從而無(wú)法避免裝置的大型化。與此相對(duì)，采用所述本實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)，即使為了提高作用于單片膜F的張力而增大了拉伸量，也能夠不使裝置面積變大，從而能夠有效地抑制裝置的大型化。此外，由于能夠使膜夾具13c以旋轉(zhuǎn)軸13e為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并利用上推銷15將旋轉(zhuǎn)桿13d的靠膜夾具13c的一側(cè)上推而使旋轉(zhuǎn)桿13d旋轉(zhuǎn)，因此能夠利用較小的力對(duì)單片膜F施加張力。

在圖2的(D)中，自分配器9(參照?qǐng)D1)經(jīng)由槽16向?qū)⒕匦慰蝮w13a的 開(kāi)口封閉的單片膜F上均勻地供給顆粒樹(shù)脂R。所供給的顆粒樹(shù)脂R為1次樹(shù)脂模制動(dòng)作所需的量。將顆粒樹(shù)脂R供給到了單片膜F上的狀態(tài)表示在圖2的(E)中。

接著，使膜裝載機(jī)11移動(dòng)到膜輸送器13的上部，如圖2的(F)所示，膜裝載機(jī)11夾住矩形框體13a而抬起已供給有顆粒樹(shù)脂R的膜輸送器13。此時(shí)，在例如所供給的模制樹(shù)脂R的重量過(guò)大而無(wú)法靠施加于單片膜F的張力來(lái)適當(dāng)?shù)剌斔湍Ｖ茦?shù)脂R時(shí)，有時(shí)單片膜F在中央等處下垂。因此，在將膜輸送器13抬起到任意的檢測(cè)位置的狀態(tài)下使動(dòng)作停止，能夠利用膜下垂檢測(cè)部20對(duì)載物臺(tái)17上的空間中的遮蔽狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)。即，在單片膜F的張力不充分而導(dǎo)致單片膜F在中央等處下垂時(shí)，使膜輸送器13下降并以再次對(duì)單片膜F施加張力的方式使上推銷15工作。

根據(jù)需要適當(dāng)重復(fù)這樣的動(dòng)作，能夠在對(duì)單片膜F施加適當(dāng)?shù)膹埩Φ幕A(chǔ)上輸送單片膜F。

此外，根據(jù)工件W上的芯片的搭載狀態(tài)等的不同，能夠想到將模制樹(shù)脂R偏倚地供給到單片膜F上的情況。在該情況下，能夠想到單片膜F上的非中央的部分(偏倚后的位置)下垂的情形。因此，如圖3所示，交叉的兩個(gè)方向上設(shè)置了兩組膜下垂檢測(cè)部20，此時(shí)，即使單片膜F上的非中央的部分下垂，也能夠檢測(cè)出單片膜F在該位置下垂了的狀態(tài)。由此，能夠適當(dāng)?shù)貦z測(cè)出單片膜F的下垂了的狀態(tài)，從而能夠在對(duì)單片膜F施加適當(dāng)?shù)膹埩χ筝斔蛦纹。

接著，膜裝載機(jī)11領(lǐng)取膜輸送器13并沿著圖1的導(dǎo)軌14輸送膜輸送器13，將膜輸送器13運(yùn)送到規(guī)定的沖壓部5的模制模具6(下模6B)。在此，將膜輸送器13經(jīng)由沖壓部5中的柱部5a的間隙供給到模制模具6內(nèi)。在該情況下，在膜輸送器13中，沒(méi)有沿橫向拉伸膜夾具13c，使膜夾具13c相對(duì)于支點(diǎn)框體13b(支點(diǎn)部)沿上下方向移動(dòng)而對(duì)單片膜F施加張力，膜輸送器13能夠構(gòu)成為小型，因此能夠?qū)⒛ぽ斔推?3經(jīng)由柱部5a的有限的間隙運(yùn)送到模制模具6。 此外，即使為不使用柱部5a的、在沖壓部5利用框板來(lái)對(duì)壓板的側(cè)面進(jìn)行保持那樣的沖壓構(gòu)造，也能夠發(fā)揮相同的效果。

通過(guò)使用所述膜輸送器13，能夠一邊保持規(guī)定張力一邊進(jìn)行輸送，因此能夠在單片膜F上不產(chǎn)生褶皺的情況下將單片膜F交接到模制模具6。

接下來(lái)，參照?qǐng)D5和圖6說(shuō)明利用膜輸送器13向模制模具6供給單片膜F和模制樹(shù)脂R的動(dòng)作。在圖5和圖6中僅圖示下模6B并進(jìn)行說(shuō)明。

在圖5的(A)中，保持著膜輸送器13的膜裝載機(jī)11進(jìn)入到開(kāi)模后的模制模具6的下模6B的上方并進(jìn)行對(duì)位。進(jìn)行對(duì)位而使單片膜F的顆粒樹(shù)脂R的搭載面與下模模腔擋塊6f的上表面重合且使矩形框體13a與下?？蓜?dòng)夾緊件6g重合。

接下來(lái)，如圖5的(B)所示，使膜裝載機(jī)11下降，直到下降至使矩形框體13a抵接于下?？蓜?dòng)夾緊件6g為止。此時(shí)，設(shè)于下模6的推桿6j配置于與旋轉(zhuǎn)桿13d相對(duì)應(yīng)的位置。

當(dāng)單片膜F接近下模6B時(shí)，在來(lái)自下模6B的輻射熱的作用下，單片膜F伸長(zhǎng)而有可能如所述那樣產(chǎn)生膜的下垂這樣的問(wèn)題。因此，如圖5的(C)所示，使未圖示的驅(qū)動(dòng)源工作而將推桿6j上推，從而使旋轉(zhuǎn)桿13d以旋轉(zhuǎn)軸13e為中心旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)方向是使膜夾具13c自支點(diǎn)框體13b偏移(遠(yuǎn)離支點(diǎn)框體13b)的方向。由此，利用膜夾具13c將單片膜F自兩側(cè)進(jìn)一步拉伸，因此，使膜F相對(duì)于支點(diǎn)框體13b卷取的角度進(jìn)一步增加，換言之，通過(guò)使被膜夾具13c夾持的單片膜F的端部自支點(diǎn)框體13b(支點(diǎn)部)偏移(遠(yuǎn)離支點(diǎn)框體13b)，從而在支點(diǎn)框體13b的內(nèi)側(cè)將單片膜F拉伸，使支點(diǎn)框體13b之間的膜張力增加。另外，此時(shí)，圖3所示的棘輪機(jī)構(gòu)13f工作而使旋轉(zhuǎn)桿13d保持在旋轉(zhuǎn)后的位置，因此能夠維持將矩形框體13a的開(kāi)口封閉的膜的張力得到加強(qiáng)后的狀態(tài)。

在圖6的(D)中，自設(shè)于下?？蓜?dòng)夾緊件6g的空氣吸引路徑6g1、6g2開(kāi)始空氣吸引動(dòng)作，以單片膜F的內(nèi)外周沿著下模模腔凹部6C的方式吸附保 持單片膜F。由于單片膜F以膜張力得到加強(qiáng)后的狀態(tài)被吸附保持，因此能夠有效地防止產(chǎn)生褶皺。

接下來(lái)，在圖6的(E)中，在使未圖示的驅(qū)動(dòng)源工作而將推桿6j暫時(shí)上推之后，使推桿6j向下方退避，從而解除棘輪機(jī)構(gòu)13f的嚙合(參照?qǐng)D3)，因此，旋轉(zhuǎn)桿13d向靠近支點(diǎn)框體13b的方向(箭頭方向)旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，膜夾具13c返回到與下?？蓜?dòng)夾緊件6g的夾持面平行的水平姿勢(shì)。在該狀態(tài)下，將夾住單片膜F的外周緣部的膜夾具13c的夾持解除。由此，能夠?qū)纹與顆粒樹(shù)脂R一起以被吸附保持于下模6B的狀態(tài)交接。此外，在進(jìn)行所述動(dòng)作時(shí)，單片膜F處于還被下模可動(dòng)夾緊件6g吸附地被吸附保持于下模模腔凹部6C的狀態(tài)，因此，即使解除夾持，也不會(huì)損害單片膜F的吸附保持狀態(tài)。

接著，如圖6的(F)所示，膜裝載機(jī)11在夾著膜輸送器13(矩形框體13a)的狀態(tài)下向上方移動(dòng)并自沖壓部5退避。通過(guò)以上方式，完成了向下模6B供給單片膜F和顆粒樹(shù)脂R的供給工序。

采用以上向模制模具6供給單片膜F的供給動(dòng)作，能夠?qū)纹在不產(chǎn)生褶皺的情況下供給到模制模具6。另外，在將單片膜F運(yùn)送到模制模具6時(shí)在輻射熱的作用下，單片膜F有可能伸長(zhǎng)，但通過(guò)利用推桿6j(張力追加機(jī)構(gòu))來(lái)再次加強(qiáng)張力，也能夠防止在將單片膜F向模制模具6放置時(shí)產(chǎn)生褶皺。

接下來(lái)，參照?qǐng)D7說(shuō)明接著圖5和圖6的、樹(shù)脂模制動(dòng)作的一個(gè)例子。

在圖7的(A)中，在下模6B上，如前文所述，通過(guò)膜裝載機(jī)11運(yùn)送了單片膜F和顆粒樹(shù)脂R。

在圖7的(A)中，在上模6A上，通過(guò)面板裝載機(jī)10(參照?qǐng)D1)運(yùn)送了例如各邊為600mm的大尺寸的工件W(矩形面板、矩形基板等)，工件W被設(shè)于上模夾持面6a的空氣吸附孔6b和空氣吸引路徑6c吸附保持。此時(shí)，通過(guò)利用在多處與矩形形狀的工件W的外周面相對(duì)的位置上設(shè)置的工件保持銷6d來(lái)對(duì)工件W的外周面進(jìn)行推壓保持，從而將工件W交接到上模6A。另外，通過(guò)利用工件保持銷6d對(duì)工件W的外周面均等地進(jìn)行推壓，從而利用工件保 持銷6d將矩形形狀的工件W定心。此外，既可以同時(shí)進(jìn)行單片膜F和顆粒樹(shù)脂R的運(yùn)送和工件W的運(yùn)送，也可以在運(yùn)送工件W之后運(yùn)送單片膜F和顆粒樹(shù)脂R。

接著，如圖7的(B)所示，使模制模具6合模。例如，使下模6B上升而在下模6B與上模6A之間夾持工件W。另外，優(yōu)選的是，在上模6A和下模6B夾持工件W之前，將上模6A與下模6B之間的模具空間封閉而形成減壓空間，在減壓氣氛下進(jìn)行模制成形。

接著，通過(guò)將模制模具6進(jìn)一步合模，從而將螺旋彈簧6h壓縮，下?？蓜?dòng)夾緊件6g移動(dòng)而接近下模塊6e。由此，使下模模腔凹部6C的模腔的高度(深度)變低(變淺)，而使工件W浸漬于在下模模腔凹部6C內(nèi)熔融了的顆粒樹(shù)脂R并施加樹(shù)脂壓力，從而進(jìn)行加熱加壓。圖7的(C)示出了如下?tīng)顟B(tài)：完成模制模具6的合模動(dòng)作從而使工件W浸漬于在下模模腔凹部6C內(nèi)熔融了的顆粒樹(shù)脂R并進(jìn)行加熱加壓，使顆粒樹(shù)脂R固化了(壓縮成形)的狀態(tài)。

在模制模具6的加熱固化結(jié)束后，將模制模具6開(kāi)模。在此，在維持將成形品M吸附保持于上模6A的上模夾持面6a和將單片膜F吸附保持于包括下模模腔凹部6C的下模夾持面的狀態(tài)下進(jìn)行開(kāi)模。由此，如圖7的(D)所示，在開(kāi)模后的狀態(tài)下，成形品M成為被吸附保持于上模6A的上模夾持面6a的狀態(tài)，單片膜F成為被吸附保持于包含下模模腔凹部6C的下模夾持面的狀態(tài)。這樣，通過(guò)設(shè)成將成形品M和使用后的單片膜F保持于彼此獨(dú)立的模具的狀態(tài)，能夠在將所述成形品M和單片膜F自沖壓部5取出并向各自的收納目的地、容納目的地輸送時(shí)簡(jiǎn)化工序。

接著，在圖1中，解除上模6A對(duì)成形品M的吸附并將該成形品M交接到面板裝載機(jī)10(上表面?zhèn)?。另外，將使用過(guò)的單片膜F自下模6B交接到面板裝載機(jī)10(下表面?zhèn)?。此時(shí)，為了將成形品M自上模夾持面6a交接到面板裝載機(jī)10，優(yōu)選自空氣吸附孔6b噴出壓縮空氣，并且，為了將單片膜F自下模面交接到面板裝載機(jī)10，優(yōu)選自空氣吸引路徑6g1、6g2噴出壓縮空氣。將 成形品M自面板裝載機(jī)10交接到機(jī)器人輸送裝置4的機(jī)械手4a。將使用過(guò)的單片膜F自面板裝載機(jī)10向膜回收部12排出而將其回收。機(jī)械手4a保持著成形品M將其運(yùn)送到規(guī)定的固化爐3。在固化爐3中進(jìn)行成形品M的后固化。接著，機(jī)械手4a自固化爐3取出成形品M，由此完成針對(duì)工件W進(jìn)行的所有工序而完成成形品M的制造工序。接著，將成形品M運(yùn)送到成形品收納部2而將成形品M收納起來(lái)。

這樣，采用本實(shí)施例，通過(guò)使用所述的用于輸送單片膜F的膜輸送器13，能夠減少膜使用量而謀求降低運(yùn)行成本并能夠提升大尺寸的成形品的成形品質(zhì)且能夠抑制設(shè)置面積。

接下來(lái)，參照?qǐng)D8和圖9說(shuō)明膜輸送裝置的另一個(gè)例子。

在上述實(shí)施方式中，說(shuō)明了使用矩形形狀的單片膜F對(duì)矩形形狀的工件W進(jìn)行樹(shù)脂模制的情況，在本例中，對(duì)為了對(duì)圓形形狀的工件W(例如半導(dǎo)體晶圓、圓狀或環(huán)狀載體等)進(jìn)行樹(shù)脂模制而將供給成圓形狀的模制樹(shù)脂R與矩形形狀的單片膜F一起輸送的情況進(jìn)行說(shuō)明。

在圖9中，膜輸送器19包括一對(duì)圓環(huán)狀的膜夾具19a、用于保持該膜夾具19a的夾具保持部19b、與該夾具保持部19b組裝成一體的滑動(dòng)件19c以及框體開(kāi)口部被矩形形狀的單片膜F覆蓋的環(huán)狀的支點(diǎn)框體19d。

在支點(diǎn)框體19d的上端部形成有外形比單片膜F的外形大的凸緣部19e。支點(diǎn)框體19d的下端外側(cè)角部成為外形為圓形形狀的支點(diǎn)部19f，該支點(diǎn)部19f在對(duì)單片膜F施加張力時(shí)成為支點(diǎn)。在支點(diǎn)框體19d的上部開(kāi)口形成有傾斜部19g，越靠近俯視為圓形形狀的開(kāi)口端部，該傾斜部19g的開(kāi)口直徑越大(參照?qǐng)D9)。另外，也可以是，在支點(diǎn)框體19d的下端部，替代支點(diǎn)部19f，而另行設(shè)置環(huán)狀的支點(diǎn)框體。另外，滑動(dòng)件19c貫穿凸緣部19e并以能夠滑動(dòng)的方式與凸緣部19e相連。在滑動(dòng)件19c上設(shè)有棘輪機(jī)構(gòu)。棘輪機(jī)構(gòu)容許滑動(dòng)件19c僅沿相對(duì)于凸緣部19e上推的方向移動(dòng)到規(guī)定高度。由此，能夠維持單片膜F的張力。該滑動(dòng)件19c和夾具保持部19b設(shè)置在支點(diǎn)框體19d的周圍的相對(duì)的 位置，例如設(shè)置有4處。另外，滑動(dòng)件19c和夾具保持部19b也可以設(shè)置在多于4處的位置。另外，滑動(dòng)件19c也可以構(gòu)成為，通過(guò)使以貫穿夾具保持部19b和凸緣部19e的方式鉛垂地設(shè)置的絲杠旋轉(zhuǎn)來(lái)使夾具保持部19b(換言之為膜夾具19)升降。

參照?qǐng)D8說(shuō)明向膜輸送器19上供給模制樹(shù)脂R和單片膜F的供給動(dòng)作的一個(gè)例子。

與圖2的(A)同樣地，對(duì)在膜供給部8(參照?qǐng)D1)中自膜卷8a將膜端引出到載物臺(tái)17上的縱長(zhǎng)狀的膜F，利用裁切器18切斷為規(guī)定尺寸(例如各邊為800mm)，從而準(zhǔn)備單片膜F。接著，設(shè)成使一對(duì)環(huán)狀膜夾具19a自單片膜F的上下進(jìn)行疊合而將單片膜F夾持的狀態(tài)。在該情況下，例如，在載物臺(tái)17的外側(cè)準(zhǔn)備好下側(cè)的環(huán)狀膜夾具19a的狀態(tài)下，供給膜F并使上側(cè)的環(huán)狀膜夾具19a疊合。接著，如圖8的(A)所示，使膜輸送器19的支點(diǎn)框體19d疊合于切下來(lái)的單片膜F，并且，在徑向上相對(duì)的位置處，利用夾具保持部19b使膜夾具19a在合計(jì)4處夾持單片膜F的外周緣部(參照?qǐng)D9)。

接下來(lái)，在圖8的(B)中，使未圖示的驅(qū)動(dòng)源工作而將上推銷15上推，從而使滑動(dòng)件19c和夾具保持部19b相對(duì)于支點(diǎn)框體19d上升。由此，利用圓環(huán)狀的膜夾具19a拉伸單片膜F的整周，單片膜F相對(duì)于圓形的支點(diǎn)部19f被拉開(kāi)。換言之，圓環(huán)狀的膜夾具19a相對(duì)于圓形的支點(diǎn)部19f偏移。由此，使形成于圓形的支點(diǎn)部19f的圓形的區(qū)域的膜張力增加。在該情況下，與上述實(shí)施例不同之處在于，在圓形的支點(diǎn)部19f的內(nèi)側(cè)對(duì)整周施加相同的張力。另外，此時(shí)，棘輪機(jī)構(gòu)(未圖示)在滑動(dòng)件19c與凸緣部19e之間工作而將膜夾具19a保持在上升后的位置。因此，能夠維持將支點(diǎn)框體19d的框體開(kāi)口部覆蓋的單片膜F被施加有所需的張力的狀態(tài)。

在圖8的(B)中，自分配器9(參照?qǐng)D1)經(jīng)由槽16向?qū)⒅c(diǎn)框體19d的框體開(kāi)口部覆蓋的單片膜F上均勻地供給模制樹(shù)脂R(顆粒樹(shù)脂)。在該情況下，例如，重復(fù)進(jìn)行通過(guò)使自槽16投下模制樹(shù)脂R的動(dòng)作沿規(guī)定方向移動(dòng)規(guī) 定距離而呈帶狀供給模制樹(shù)脂R的動(dòng)作，由此使多個(gè)帶狀的樹(shù)脂供給區(qū)域排列組合起來(lái)，從而形成覆蓋圓形的區(qū)域那樣的樹(shù)脂供給區(qū)域。此外，如圖9所示，由于在支點(diǎn)框體19d的上部開(kāi)口形成有越靠近俯視為圓形形狀的開(kāi)口端部開(kāi)口直徑越大的傾斜部19g，因此能夠?qū)⒛Ｖ茦?shù)脂R無(wú)間隙地供給到整個(gè)面。

對(duì)于在單片膜F上被供給有顆粒樹(shù)脂R的膜輸送器19，如圖8的(C)所示，利用膜裝載機(jī)11夾住支點(diǎn)框體19d并將膜輸送器19向沖壓部5的模制模具6輸送。在該情況下，由于單片膜F以被施加有所需張力的狀態(tài)保持在支點(diǎn)部19f之間，因此能夠有效地防止單片膜F的撓曲。另外，由于為了對(duì)圓形形狀的工件W進(jìn)行樹(shù)脂模制，而能夠以供給成圓形形狀的方式將模制樹(shù)脂R供給到矩形形狀的單片膜F上并進(jìn)行輸送，因此，即使在對(duì)圓形形狀的工件W進(jìn)行樹(shù)脂模制的情況下，僅靠將膜以所需的尺寸切斷成矩形形狀，就能夠簡(jiǎn)單地準(zhǔn)備單片膜F。

接下來(lái)，參照?qǐng)D10說(shuō)明膜輸送器13的又一個(gè)例子。對(duì)于與圖2的(B)相同的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并引用說(shuō)明。對(duì)于該圖所示的膜輸送器13，通過(guò)將膜輸送器13的構(gòu)成引導(dǎo)構(gòu)件13h1的內(nèi)側(cè)部分較輕地推壓于單片膜F側(cè)，能夠防止模制樹(shù)脂R進(jìn)入膜輸送器13與單片膜F之間的間隙。

具體而言，如圖10所示，在矩形框體13a的內(nèi)周面?zhèn)?，以組合起來(lái)的方式組裝有設(shè)于內(nèi)側(cè)的可動(dòng)構(gòu)件13h2和設(shè)于外側(cè)的引導(dǎo)構(gòu)件13h1。

在引導(dǎo)構(gòu)件13h1上，以向徑向內(nèi)側(cè)突出的方式設(shè)有支承構(gòu)件13i。在可動(dòng)構(gòu)件13h2的與引導(dǎo)構(gòu)件13h1重疊的重疊面上形成有被挖成中空而成的容納部13j。支承構(gòu)件13i容納在容納部13j內(nèi)。在支承構(gòu)件13i與設(shè)于可動(dòng)構(gòu)件13h2的下端部的膜推壓部13k之間設(shè)有壓緊彈簧13m。通過(guò)安裝有該壓緊彈簧13m，能夠始終對(duì)可動(dòng)構(gòu)件13h2相對(duì)于引導(dǎo)構(gòu)件13h1向下方突出的方向施力。

由此，在將顆粒樹(shù)脂R載置在將矩形框體13a的框體開(kāi)口部(下端開(kāi)口)覆蓋的單片膜F上時(shí)，即使施加于單片膜F的張力弱于樹(shù)脂的重量而導(dǎo)致單片 膜F下垂并在單片膜F上出現(xiàn)微小的間隙，由于可動(dòng)構(gòu)件13h2以相對(duì)于引導(dǎo)構(gòu)件13h1突出的方式移動(dòng)而發(fā)揮將單片膜F上的間隙填埋的作用，因此能夠有效地防止例如顆粒狀那樣的模制樹(shù)脂R進(jìn)入間隙的情況。

另外，在上述實(shí)施方式中，說(shuō)明了輸送單片膜F并將其交接到模制模具6的形成有下模模腔凹部6C的下模夾持面的情況，但也可以輸送單片膜F并將其交接到形成有上模模腔凹部的上模夾持面。在該情況下，也能夠削減單片膜F的使用量并降低運(yùn)行成本。同樣地，也可以僅輸送單片膜F并將其交接到形成有下模模腔凹部的下模夾持面。并且，也可以向上模和下模這兩者同樣地供給單片膜F。

另外，說(shuō)明了作為模制模具6而使用壓縮成形用的模具，但模制模具6也可以為傳遞成形用的模具。

另外，上述膜輸送器13、19能夠適當(dāng)?shù)貞?yīng)用于對(duì)外形為圓形形狀、外形為矩形形狀那樣任意形狀的工件W進(jìn)行樹(shù)脂模制。例如，也可以是，為了使用膜輸送器19的結(jié)構(gòu)對(duì)外形為矩形形狀的工件W進(jìn)行樹(shù)脂模制，通過(guò)使膜輸送器19的所述結(jié)構(gòu)中的、構(gòu)成為圓形或環(huán)狀的各部成為矩形形狀，能夠?qū)⒛Ｖ茦?shù)脂R供給成矩形形狀，從而能夠在矩形形狀的模腔內(nèi)對(duì)矩形形狀的工件W進(jìn)行模制成形。

另外，采用上述那樣的膜輸送器13、19，除了為以追加的方式對(duì)因模制模具6的輻射熱而伸長(zhǎng)了的單片膜F施加張力的結(jié)構(gòu)之外，還能夠?yàn)樵谙蚰Ｖ颇＞?供給單片膜F之前以追加的方式對(duì)單片膜F施加張力的結(jié)構(gòu)。在該情況下，例如，即使在需要預(yù)先對(duì)有可能因輸送時(shí)的空氣的流動(dòng)而使粉末狀的樹(shù)脂揚(yáng)起并飛散的粉末樹(shù)脂那樣不易輸送的樹(shù)脂進(jìn)行加熱后進(jìn)行輸送時(shí)，若能夠在供給模制樹(shù)脂R并將模制樹(shù)脂R預(yù)熱之后對(duì)單片膜F施加張力，則也能夠在消除該預(yù)熱所引起的單片膜F的松弛之后進(jìn)行輸送。

另外，分配單元Ud能夠如上所述那樣安裝于樹(shù)脂模制裝置并使用，但也能夠作為獨(dú)立裝置而使用。在該情況下，能夠想到，在分配單元Ud中準(zhǔn)備對(duì) 被施加有規(guī)定張力的單片膜F進(jìn)行保持的膜輸送器13，將單片膜F和膜輸送器一起向另行設(shè)置的沖壓?jiǎn)卧猆p供給的工序。即使在這樣的情況下，也能夠起到在使用了上述那樣的分配單元Ud和膜輸送器13的效果。

另外，例如，也可以是，使用用于使工件W或成形品M表背翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)部30，對(duì)工件W的兩個(gè)面進(jìn)行樹(shù)脂模制成形。在該情況下，也可以是，在對(duì)工件W的一個(gè)面進(jìn)行樹(shù)脂模制成形之后使其返回到工件處理單元Uw，在利用翻轉(zhuǎn)部30使成形品M翻轉(zhuǎn)之后對(duì)工件W(成形品M)的另一個(gè)面進(jìn)行樹(shù)脂模制成形。另外，也可以是，替代翻轉(zhuǎn)部30而設(shè)置能夠使機(jī)械手4a翻轉(zhuǎn)的機(jī)器人輸送裝置4。