專利名稱：銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)一種應(yīng)用于制作銅箔基板內(nèi)層粘合片的含浸機(jī)，特別有關(guān)該含浸機(jī)的改良結(jié)構(gòu)。
按，一般銅箔基板內(nèi)層的粘合片是由玻璃纖維布經(jīng)含浸機(jī)含浸而成?，F(xiàn)行使用的含浸機(jī)大略可區(qū)分為兩種形式一為熱風(fēng)式含浸機(jī)，另一則為電熱輻射式含浸機(jī)；由于兩者在溫度與風(fēng)量控制上均相當(dāng)粗糙，常造成使用者操作上的困擾，以致于產(chǎn)品的品質(zhì)有不穩(wěn)定的現(xiàn)象，且對于能源的使用亦多所浪費(fèi)，造成成本增加等諸多缺點(diǎn)；以下即針對上述兩種現(xiàn)行使用的含浸機(jī)逐一說明如下如


圖1(A)所示，是習(xí)用熱風(fēng)式含浸機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。其烤箱分為兩區(qū)10A和10B，工作的原理是利用熱煤油加熱燃燒產(chǎn)生熱風(fēng)的方式，以較大的風(fēng)量由A及B分別吹送入烤箱10A及10B中，而含浸有溶劑與樹脂的玻璃纖維布由C進(jìn)入烤箱10A，經(jīng)上方頂部區(qū)20內(nèi)的滾輪(Scale Roller)連續(xù)輸送，再進(jìn)入烤箱10B中而由C′輸出，其中烤箱10A及10B的各區(qū)內(nèi)均有多個(gè)熱煤油的加熱盤11及熱風(fēng)的內(nèi)循環(huán)系統(tǒng)，由于熱煤油加熱的溫度精度較差，故必須采內(nèi)循環(huán)才能達(dá)到均溫，然后其排風(fēng)由A′及B′的方向排出。實(shí)際使用時(shí)具有下列的缺點(diǎn)一、由于其進(jìn)風(fēng)均由上往下吹，因此烤箱10B區(qū)內(nèi)玻璃纖維布的運(yùn)動(dòng)方向會(huì)與風(fēng)向相同，如此在驅(qū)趕溶劑與雜質(zhì)(樹脂內(nèi)雜質(zhì))的效率上就會(huì)大打折扣；又因其內(nèi)循環(huán)的關(guān)系，所以溶劑與雜質(zhì)(樹脂內(nèi)雜質(zhì))的濃度會(huì)越來越高，且雜質(zhì)亦會(huì)再次附著于玻璃纖維布上或附著上烤箱的箱壁上，容易造成積碳及粉屑，進(jìn)而影響到粘合片的品質(zhì)。
二、因其為內(nèi)循環(huán)，所以當(dāng)各區(qū)內(nèi)溶劑濃度大于25％LEL時(shí)，各區(qū)出口的排風(fēng)會(huì)自動(dòng)加大，A、B的進(jìn)風(fēng)量亦會(huì)增加，以沖淡溶劑濃度LEL值于25％以下，故會(huì)造成其必須反覆增加與減少風(fēng)量，使得整個(gè)烤箱內(nèi)部的制程參數(shù)不斷地改變，如此產(chǎn)出的粘合片品質(zhì)將極不穩(wěn)定。
三.因烤箱10A區(qū)所揮發(fā)的雜質(zhì)(樹脂內(nèi)雜質(zhì))濃度相較于烤箱10B區(qū)為高，所以A′的排出口很容易阻塞，而一旦產(chǎn)生阻塞就會(huì)影響到烤箱內(nèi)的溫度與流量，進(jìn)而造成整個(gè)制程條件的變化，且必須等到粘合片經(jīng)過檢驗(yàn)后，才能發(fā)現(xiàn)異常，然后再以人工調(diào)整A′出口風(fēng)車的轉(zhuǎn)速，或停機(jī)清除阻塞物后再行復(fù)工，如此已損失許多粘合片和浪費(fèi)許多檢查與調(diào)整的時(shí)間。
四、由于A，B入口的進(jìn)風(fēng)量很大，所以相較于頂部區(qū)20而言，烤箱10A及10B會(huì)產(chǎn)生一正壓，因此熱風(fēng)很容易回灌到頂部區(qū)20，而造成頂部區(qū)20因要維持一定的冷卻，必須不斷地增加冷氣量，進(jìn)而造成能源的損失。
另外，如
圖1(B)所示，是習(xí)用電熱輻射式含浸機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。與上述熱風(fēng)式含浸機(jī)不同之處在于，加熱盤11為利用電熱體的加熱方式，并以較小的風(fēng)量由下方的A及B入口徐徐吹入(因其單靠電熱盤加熱，若風(fēng)速過大，要達(dá)到攝氏200度左右的高溫則相當(dāng)困難)，然后再由上方A′及B′方向排出。其缺點(diǎn)在于一、由于其進(jìn)風(fēng)均由下往上吹，因此烤箱10A區(qū)內(nèi)玻璃纖維布的運(yùn)動(dòng)方向會(huì)與風(fēng)向相同，如此在驅(qū)趕溶劑與雜質(zhì)(樹脂內(nèi)雜質(zhì))的效率上就會(huì)大打折扣。
二、因烤箱10A區(qū)為產(chǎn)生溶劑最多的區(qū)域，然其卻以微風(fēng)慢慢吹送，故其烤箱內(nèi)部的溶劑濃度LEL值必定會(huì)遠(yuǎn)超過25％的安全規(guī)范。
三、因其只有利用單點(diǎn)熱偶計(jì)(架設(shè)于電熱板上，并突出于電熱板)監(jiān)測電熱板邊的溫度，所以其所監(jiān)控的溫度與實(shí)際玻璃纖維布的溫度差異甚大，且各加熱板的加熱能量若不足或有所差異，則玻璃纖維布的左、中、右的溫度就會(huì)有不均的現(xiàn)象，造成粘合片的品質(zhì)也就無法有效掌握。
四、因烤箱10A區(qū)所揮發(fā)的雜質(zhì)濃度相較于烤箱10B區(qū)為高，所以A′的排出口很容易阻塞，而一旦阻塞就會(huì)影響到烤箱內(nèi)的溫度與流量，進(jìn)而造成整個(gè)制程條件的變化，同樣必須等到粘合片經(jīng)過檢驗(yàn)后，才能發(fā)現(xiàn)異常，然后再以人工調(diào)整A′風(fēng)車的轉(zhuǎn)速，或停機(jī)清除阻塞物后再行復(fù)工，如此亦會(huì)損失許多粘合片和浪費(fèi)許多檢查與調(diào)整的時(shí)間。
五、若因烤箱10A區(qū)發(fā)生阻塞，則熱風(fēng)很容易灌入到頂部區(qū)20，而造成頂部區(qū)20因要維持一定的冷卻，必須不斷地增加冷氣量，進(jìn)而造成能源的損失。
六、當(dāng)機(jī)器正常運(yùn)作時(shí)，因其以微風(fēng)慢慢吹送，而頂部區(qū)要保持一固定的冷卻效果，所以在冷氣的持續(xù)吹送下，頂部區(qū)20相較于烤箱10A及10B而言，會(huì)造成一正壓，頂部區(qū)20的冷空氣就會(huì)下灌到反應(yīng)區(qū)內(nèi)，而造成粘合片的品質(zhì)不穩(wěn)。
另外，習(xí)用用以攪拌含浸物質(zhì)的攪拌機(jī)結(jié)構(gòu)，如
圖1(C)所示，是具有一攪拌槽90，以容納所有必須的物質(zhì)于其內(nèi)，其上方具有一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)91，其旋轉(zhuǎn)軸末端連接有一攪拌裝置92，能于攪拌槽90的底部轉(zhuǎn)動(dòng)而將含浸物質(zhì)攪拌混合，并由下方經(jīng)一控制閥95排出至一靜置槽或其他處理裝置；然而此種攪拌機(jī)由下方排出口排出的設(shè)計(jì)，在攪拌Dicy、2MI等攪拌物時(shí)，經(jīng)常會(huì)使較大的顆粒沉積于下方排出口而無法完全溶解，使得攪拌物的組合比例不正確，導(dǎo)致后續(xù)制程在控制上產(chǎn)生不可預(yù)期的變數(shù)，大大影響生產(chǎn)的品質(zhì)控制。
因此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種具有改良結(jié)構(gòu)的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)，它兼具有熱風(fēng)式與電輻射式控溫的優(yōu)點(diǎn)，并能準(zhǔn)確控制其制程上的參數(shù)；同時(shí)能在壓力計(jì)、熱偶計(jì)、分區(qū)控制、分區(qū)流量及改良型攪拌槽的配合下，達(dá)到完全掌握與自動(dòng)化監(jiān)控產(chǎn)品之品質(zhì)。
根據(jù)本實(shí)用新型的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)，它包括一頂部區(qū)，內(nèi)有滾輪傳動(dòng)裝置，用以連續(xù)輸送粘合片材料，使含浸的粘合片材料通過烤箱反應(yīng)區(qū)；多數(shù)個(gè)風(fēng)車裝置，用以產(chǎn)生氣流；多數(shù)個(gè)烤箱反應(yīng)區(qū)，可令銅箔基板內(nèi)層粘合片材料通過以產(chǎn)生反應(yīng)；其中各烤箱反應(yīng)區(qū)均于其內(nèi)裝置有加熱裝置，并藉由風(fēng)車導(dǎo)入氣流，使氣流流向與粘合片材料通過的方向保持相反，并藉由一控制裝置，可調(diào)整風(fēng)車的轉(zhuǎn)速，進(jìn)而控制各烤箱反應(yīng)區(qū)的氣流流量、壓力，而能依溶劑的濃度調(diào)適至最佳的粘合片品質(zhì)；多數(shù)個(gè)單點(diǎn)式熱偶計(jì)，可量測反應(yīng)區(qū)靠近區(qū)壁的溫度以控制烤箱反應(yīng)區(qū)加熱裝置的溫度；多數(shù)個(gè)溶劑濃度LEL值偵測器，裝置于烤箱反應(yīng)區(qū)內(nèi)，用以檢測溶劑濃度，并將訊號傳送至該控制裝置；一攪拌槽結(jié)構(gòu)，其上方具有一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其旋轉(zhuǎn)軸末端連接有一攪拌裝置，能于攪拌槽的底部轉(zhuǎn)動(dòng)而將含浸物質(zhì)攪拌混合，其中設(shè)有一泵及所需管路，使攪拌槽內(nèi)的攪拌物產(chǎn)生循環(huán)作用，并利用一過濾器濾除雜質(zhì)，以達(dá)到攪拌物質(zhì)完全溶解，并經(jīng)由一控制閥而排出。
在本實(shí)用新型的的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)中，控制裝置是由一壓力計(jì)、一PID控制器、一PLC控制器及一電腦所組成；其壓力計(jì)用以檢測烤箱各反應(yīng)區(qū)的壓力值，并產(chǎn)生一電子訊號傳送至PID控制器，當(dāng)壓力超出設(shè)定值的范圍時(shí)，PID控制器則將產(chǎn)生一控制訊號以調(diào)整出風(fēng)口的風(fēng)車轉(zhuǎn)速，以保持烤箱反應(yīng)區(qū)均在設(shè)定的壓力范圍內(nèi)；而PID控制器亦會(huì)通知PLC控制器做必要的其他控制，并將此訊息儲(chǔ)存于電腦中。
在本實(shí)用新型的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)中，頂部區(qū)使用一壓力計(jì)、一PID控制器、一PLC控制器及一電腦所組成的控制裝置，以保持固定之氣壓，以減少冷空氣回流到烤箱反應(yīng)區(qū)中。
在本實(shí)用新型的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)中，吹入烤箱反應(yīng)區(qū)的熱風(fēng)能源取自熱能氧化器的廢熱氣經(jīng)熱交換而來，可節(jié)約能源，熱風(fēng)溫度亦可控制在所需的反應(yīng)溫度范圍內(nèi)。
在本實(shí)用新型的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸中，各烤箱反應(yīng)區(qū)使用數(shù)個(gè)多點(diǎn)式熱偶計(jì)，用以校正及量測粘合片材料通過烤箱反應(yīng)區(qū)中央的實(shí)際溫度；其中多點(diǎn)式熱偶計(jì)的架設(shè)是與粘合片材料平行，可量測出粘合片材料及其含浸物的左、左中、中、中右、右的實(shí)際料溫，再由多點(diǎn)式熱偶計(jì)的各個(gè)熱點(diǎn)去控制各烤箱反應(yīng)區(qū)加熱裝置的加熱與降熱或直接輸入電腦加以記錄。
為了對本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)與特色有更進(jìn)一步的了解，
以下結(jié)合附圖作一詳細(xì)解說。
附圖的簡要說明
圖1(A)習(xí)用熱風(fēng)式含浸機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖1(B)習(xí)用電熱輻射式含浸機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖1(C)習(xí)用攪拌槽結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本實(shí)用新型多點(diǎn)式熱偶計(jì)的架設(shè)方式示意圖。
圖4是本實(shí)用新型改良型攪拌槽結(jié)構(gòu)示意圖。
請參考圖2所示，是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。主要將烤箱部分區(qū)分為多個(gè)區(qū)域(圖上以四區(qū)為例，分別為烤箱10A、10B、10C、10D)，而制程控制上，烤箱10A、10B、10C、10D各區(qū)的制程溫度均不同，因此由烤箱10A、10B、10C、10D的入風(fēng)處A、B、C、D分別送入不同制程溫度的熱風(fēng)，然后再由電熱盤11維持各區(qū)所需的溫度精度，其廢氣再分別由A′、B′、C′、D′的方向排出。因溶劑沸點(diǎn)的關(guān)系，在烤箱10A、10B區(qū)所送的熱風(fēng)會(huì)遠(yuǎn)大于烤箱10C、10D區(qū)(因要帶走絕大部分的溶劑)，所以基本上烤箱10A、10B區(qū)比較傾向于熱風(fēng)式，而烤箱10C、10D區(qū)則因溶劑量較少，所以可以用較少的風(fēng)量，再加上電熱盤的輔助控溫，以期能精準(zhǔn)地控制烤箱10C區(qū)粘合片的膠化時(shí)間，因此烤箱10C、10D區(qū)較接近電熱輻射式的上膠機(jī)。在控制方面，設(shè)有多數(shù)個(gè)壓力計(jì)30以監(jiān)控烤箱10A、10B、10C、10D及頂部區(qū)20的壓力，于量測時(shí)可在管路上增設(shè)一收縮管31，利用管徑的收縮，增加氣流的流速，使壓力計(jì)30兩端的壓差得以明顯增加，以期精確地控制各區(qū)的風(fēng)量；再以多點(diǎn)式熱偶計(jì)輔助單點(diǎn)熱偶計(jì)，以期精確地控制各區(qū)的溫度；再加上本實(shí)用新型的改良型攪拌槽(如圖4所示)，除具有原來攪拌的功能外，并設(shè)有一泵93，使攪拌槽90本身產(chǎn)生自我循環(huán)，并利用一過濾器94以濾除雜質(zhì)，以達(dá)到攪拌物質(zhì)完全溶解而不沉積的目的，相較于習(xí)用攪拌槽，本實(shí)用新型的改良型攪拌槽在后制程控制上可達(dá)到100％的預(yù)期控制，各種攪拌物的比例亦可完全掌握；如此，才能確保制程的參數(shù)均在掌握之下。因此，本實(shí)用新型具有以下的特點(diǎn)一、采用多段溫控且不產(chǎn)生內(nèi)部循環(huán)的熱風(fēng)，再加上熱風(fēng)流向與玻璃纖維布運(yùn)動(dòng)保持相反方向，帶走凡立水所揮發(fā)出來的各式溶劑與樹脂內(nèi)的雜質(zhì)，以減少反應(yīng)物在反應(yīng)區(qū)的殘存或硬化，并使用反應(yīng)區(qū)區(qū)壁的加熱盤，做必要的恒溫控制，再依初期溶劑揮發(fā)的多寡，將溶劑揮發(fā)區(qū)分成數(shù)區(qū)，以利制程控制。
二、采用臺灣專利85214720號的熱輻射能量來控制烤箱10C區(qū)的膠化時(shí)間，同時(shí)使用少量的單次不循環(huán)的熱氣體，帶走殘余的少量溶劑。
三、熱風(fēng)的流向均與玻璃纖維布運(yùn)動(dòng)方向相反，使揮發(fā)的溶劑與雜質(zhì)均向較高濃度的梯度方向急速排出反應(yīng)區(qū)。
四、熱風(fēng)能源取自熱能氧化器的廢熱氣經(jīng)熱交換而來，以節(jié)約能源；熱風(fēng)溫度也控制在所需的反應(yīng)溫度范圍，使溫度誤差在±1℃之間。
五、使用壓差式壓力計(jì)或絕對式壓力計(jì)，來精確控制通過各反應(yīng)區(qū)的氣體流量為一固定值；若出風(fēng)口A′、B′、C′、D′及頂部區(qū)20的排風(fēng)有阻塞，壓力計(jì)30會(huì)令PID控制器40去控制出風(fēng)口的風(fēng)車70轉(zhuǎn)速加快，以保持各區(qū)均在設(shè)定的壓力范圍內(nèi)；同時(shí)，PID控制器40會(huì)通知PLC控制器50做必要的其他控制，并將此訊息儲(chǔ)存于電腦60中；如此，制程工程師即可隨時(shí)監(jiān)控整個(gè)壓力流程。
六、由于各種不同的含浸物，會(huì)有不同溫度與風(fēng)量的制程參數(shù)；以習(xí)用含浸機(jī)的控制方式需調(diào)整不同的風(fēng)量、溫度及其他制程參數(shù)；而本實(shí)用新型的含浸控制系統(tǒng)，只要經(jīng)由電腦60的按鍵處理即可迅速改變不同的制程參數(shù)。
七、于每個(gè)烤箱反應(yīng)區(qū)的排氣管道皆裝置有溶劑濃度LEL值檢測器，藉由調(diào)整氣體流量與氣體溫度的方式，可以維持溶劑濃度在安全LEL值的四分之一為上限，確實(shí)合乎相關(guān)安全法規(guī)及準(zhǔn)則；且相關(guān)的數(shù)據(jù)，亦可輸入上游電腦系統(tǒng)內(nèi)。
八.使用數(shù)個(gè)多點(diǎn)式熱偶計(jì)80，以校正及量測玻璃纖維布或其他的強(qiáng)化物質(zhì)及含浸樹脂通過烤箱反應(yīng)區(qū)中央的實(shí)際溫度；其中多點(diǎn)式熱偶計(jì)80的架設(shè)方式與含浸物平行(如圖3所示)，因此可量測出含浸物的左、左中、中、中右、右的實(shí)際料溫，再由多點(diǎn)式熱偶計(jì)的各個(gè)熱點(diǎn)去控制各電熱盤的加熱與降熱；如此，制程工程師即可隨時(shí)監(jiān)控整個(gè)含浸物的溫度流程。
九、使用數(shù)個(gè)單點(diǎn)式熱偶計(jì)，可量測反應(yīng)區(qū)靠近區(qū)壁的溫度；當(dāng)在適當(dāng)熱氣流量、適當(dāng)溫度及多點(diǎn)熱偶計(jì)的溫度達(dá)所設(shè)定的反應(yīng)溫度時(shí)，亦可利用相對單點(diǎn)熱偶計(jì)的溫度顯示值，來輔助控制烤箱反應(yīng)區(qū)加熱盤的溫度控制，或直接輸入上游電腦系統(tǒng)中，做自動(dòng)控制及不同制程參數(shù)的儲(chǔ)存。
十、其中頂部區(qū)20亦使用恒壓回授控制，保持固定的氣壓，以減少冷空氣回流到烤箱反應(yīng)區(qū)中；同時(shí)為了確保反應(yīng)區(qū)內(nèi)的溫度，亦可將反應(yīng)區(qū)的緩沖區(qū)加長，以避免頂部區(qū)的冷空氣灌入烤箱反應(yīng)區(qū)或熱空氣上沖至頂部區(qū)20，而影響反應(yīng)區(qū)的溫度精確度。
綜上所述，本實(shí)用新型的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)不僅兼具熱風(fēng)式與電輻射式上膠機(jī)的優(yōu)點(diǎn)，而且改善其制程控制上的不足；在品質(zhì)上亦能在壓力計(jì)、熱偶計(jì)、分區(qū)控制及分區(qū)流量的輔助下，達(dá)到完全掌握與自動(dòng)化監(jiān)控。故本實(shí)用新型具有高度的實(shí)用性，并具有新穎性與創(chuàng)造性，實(shí)符合專利的申請條件，故依法申請實(shí)用新型專利。
權(quán)利要求1.一種銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)，其特征在于，它包括一頂部區(qū)，內(nèi)有滾輪傳動(dòng)裝置，用以連續(xù)輸送粘合片材料，使含浸的粘合片材料通過烤箱反應(yīng)區(qū)；多數(shù)個(gè)風(fēng)車裝置，用以產(chǎn)生氣流；多數(shù)個(gè)烤箱反應(yīng)區(qū)，可令銅箔基板內(nèi)層粘合片材料通過以產(chǎn)生反應(yīng)；其中各烤箱反應(yīng)區(qū)均于其內(nèi)裝置有加熱裝置，并藉由風(fēng)車導(dǎo)入氣流，使氣流流向與粘合片材料通過的方向保持相反，并藉由一控制裝置，可調(diào)整風(fēng)車的轉(zhuǎn)速，進(jìn)而控制各烤箱反應(yīng)區(qū)的氣流流量、壓力，而能依溶劑的濃度調(diào)適至最佳的粘合片品質(zhì)；多數(shù)個(gè)單點(diǎn)式熱偶計(jì)，可量測反應(yīng)區(qū)靠近區(qū)壁的溫度以控制烤箱反應(yīng)區(qū)加熱裝置的溫度；多數(shù)個(gè)溶劑濃度LEL值偵測器，裝置于烤箱反應(yīng)區(qū)內(nèi)，用以檢測溶劑濃度，并將訊號傳送至該控制裝置；一攪拌槽結(jié)構(gòu)，其上方具有一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其旋轉(zhuǎn)軸末端連接有一攪拌裝置，能于攪拌槽的底部轉(zhuǎn)動(dòng)而將含浸物質(zhì)攪拌混合，其中設(shè)有一泵及所需管路，使攪拌槽內(nèi)的攪拌物產(chǎn)生循環(huán)作用，并利用一過濾器濾除雜質(zhì)，以達(dá)到攪拌物質(zhì)完全溶解，并經(jīng)由一控制閥而排出。
2.如權(quán)利要求1所述的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)，其特征在于，控制裝置是由一壓力計(jì)、一PID控制器、一PLC控制器及一電腦所組成；其壓力計(jì)用以檢測烤箱各反應(yīng)區(qū)的壓力值，并產(chǎn)生一電子訊號傳送至PID控制器，當(dāng)壓力超出設(shè)定值的范圍時(shí)，PID控制器則將產(chǎn)生一控制訊號以調(diào)整出風(fēng)口的風(fēng)車轉(zhuǎn)速，以保持烤箱反應(yīng)區(qū)均在設(shè)定的壓力范圍內(nèi)；而PID控制器亦會(huì)通知PLC控制器做必要的其他控制，并將此訊息儲(chǔ)存于電腦中。
3.如權(quán)利要求2所述的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)，其特征在于，頂部區(qū)使用一壓力計(jì)、一PID控制器、一PLC控制器及一電腦所組成的控制裝置，以保持固定之氣壓，以減少冷空氣回流到烤箱反應(yīng)區(qū)中。
4.如權(quán)利要求1或2或3所述的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)，其特征在于，吹入烤箱反應(yīng)區(qū)的熱風(fēng)能源取自熱能氧化器的廢熱氣經(jīng)熱交換而來，可節(jié)約能源，熱風(fēng)溫度亦可控制在所需的反應(yīng)溫度范圍內(nèi)。
5.如權(quán)利要求2或3所述的銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī)，其特征在于，各烤箱反應(yīng)區(qū)使用數(shù)個(gè)多點(diǎn)式熱偶計(jì)，用以校正及量測粘合片材料通過烤箱反應(yīng)區(qū)中央的實(shí)際溫度；其中多點(diǎn)式熱偶計(jì)的架設(shè)是與粘合片材料平行，可量測出粘合片材料及其含浸物的左、左中、中、中右、右的實(shí)際料溫，再由多點(diǎn)式熱偶計(jì)的各個(gè)熱點(diǎn)去控制各烤箱反應(yīng)區(qū)加熱裝置的加熱與降熱或直接輸入電腦加以記錄。
專利摘要一種銅箔基板內(nèi)層粘合片含浸機(jī),具有多數(shù)個(gè)烤箱反應(yīng)區(qū),可令銅箔基板內(nèi)層粘合片材料通過以產(chǎn)生反應(yīng);各烤箱反應(yīng)區(qū)均裝有加熱裝置,由風(fēng)車導(dǎo)入氣流,使氣流流向與粘合片材料通過的方向相反,并藉由一控制裝置,調(diào)整風(fēng)車的轉(zhuǎn)速,進(jìn)而依溶劑的濃度不同,控制各烤箱反應(yīng)區(qū)的氣流量、壓力,以調(diào)適至最佳的粘合片品質(zhì);藉由壓力計(jì)、熱偶計(jì)、分區(qū)控制及分區(qū)流量的輔助,穩(wěn)定制程控制,并利用改良型的攪拌槽達(dá)到完全掌握與自動(dòng)化監(jiān)控產(chǎn)品品質(zhì)的目的。
文檔編號B29B15/12GK2374326SQ9920271
公開日2000年4月19日 申請日期1999年2月13日 優(yōu)先權(quán)日1999年2月13日
發(fā)明者馬崇仁, 游進(jìn)益, 李正慧 申請人:旭象股份有限公司