片材的制造方法和片材制造裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及片材的制造方法和片材制造裝置、詳細(xì)而言涉及用于制造在電子元件的密封中使用的片材的制造方法和在該制造方法中使用的片材制造裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在電子元件中使用的片材、例如用于將光半導(dǎo)體元件密封的密封片材是通過如下方式制造成的:將作為片材的原料的液狀組成物涂覆在基材上，針對每I張片材(單片片材)進(jìn)行成膜，接著，通過對該片材實(shí)施加熱等后處理，從而使其成為半固化狀態(tài)或固化狀
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[0003]并且，作為在工業(yè)上連續(xù)地進(jìn)行加熱處理來產(chǎn)生片材的方式，可列舉出例如利用帶式輸送機(jī)輸送通過成膜而形成的單片片材并使單片片材通過加熱烘箱內(nèi)部的帶式輸送機(jī)方式。
[0004]但是，在該帶式輸送機(jī)方式中，為了充分地加熱單片片材，需要使烘箱和帶式輸送機(jī)這兩者的距離較長，從而產(chǎn)生使整個(gè)裝置大型化這樣的不良情況。
[0005]另一方面，除了帶式輸送機(jī)方式之外，例如，還提出一種加熱裝置，其包括設(shè)于加熱室的內(nèi)部的加熱板和以與加熱室相鄰的方式設(shè)置的冷卻板，其中，通過從設(shè)于加熱板和冷卻板的噴出孔噴出氣體，從而使基板在加熱板與冷卻板之間移動(dòng)(例如，參照專利文獻(xiàn)
1 ) O
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2007 - 184429號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

_7] 發(fā)明要解決的問題
[0008]然而，在片材的制造方法中，存在加熱處理時(shí)間長于成膜處理時(shí)間的情況。在這樣的情況下，在使用專利文獻(xiàn)I的加熱裝置來連續(xù)地生產(chǎn)單片片材時(shí)，對于通過成膜而形成的某一單片片材，不能對其實(shí)施加熱處理，而不得不待機(jī)，直至剛在該某一單片片材之前進(jìn)行了成膜并正在進(jìn)行加熱處理的單片片材的加熱處理結(jié)束為止。因而，產(chǎn)生生產(chǎn)效率較差這樣的不良情況。
[0009]本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠高效地制造片材的片材的制造方法和片材制造
目.ο
[0010]用于解決問題的方案
[0011]本發(fā)明提供一種片材的制造方法，其特征在于，該片材的制造方法包括:成膜工序，在該成膜工序中，按照批次實(shí)施對片材組合物進(jìn)行成膜而形成單片片材的成膜處理；以及后處理工序，在該后處理工序中，對所述單片片材實(shí)施第I后處理，將所述第I后處理所需的第I后處理時(shí)間設(shè)定得長于所述成膜處理所需的成膜時(shí)間，在所述后處理工序中，對多個(gè)批次的單片片材同時(shí)并行地實(shí)施所述第I后處理。
[0012]采用該制造方法，能夠?qū)υ诔赡すば蛑型ㄟ^成膜而形成的單片片材和剛在其之前通過成膜而形成的單片片材同時(shí)并行地進(jìn)行第I后處理。因此，能夠?qū)νㄟ^成膜而形成的單片片材實(shí)施第I后處理，而無需直到剛在其之前通過成膜而形成的單片片材的第I后處理結(jié)束為止待機(jī)。
[0013]其結(jié)果，能夠縮短單片片材的制造時(shí)間，從而能夠高效地制造單片片材。
[0014]另外，在本發(fā)明的片材的制造方法中，優(yōu)選的是，在所述后處理工序中，按照批次在不同的靜止區(qū)域?qū)嵤┧龅贗后處理。
[0015]采用該制造方法，由于能夠按照批次在不同的靜止區(qū)域?qū)νㄟ^成膜而形成的單片片材實(shí)施第I后處理，因此能夠在不同的靜止區(qū)域?qū)νㄟ^成膜而形成的單片片材和剛在其之前通過成膜而形成的單片片材同時(shí)并行地實(shí)施第I后處理。因此，能夠縮短單片片材的制造時(shí)間，從而能夠尚效地制造單片片材。
[0016]另外，由于能夠針對各個(gè)不同的靜止區(qū)域設(shè)定處理?xiàng)l件，因此能夠按照批次以不同的條件對單片片材實(shí)施第I后處理。因此，能夠按照批次制造不同種類的單片片材。
[0017]另外，在本發(fā)明的片材的制造方法中，優(yōu)選的是，所述第I后處理是對所述單片片材進(jìn)行加熱的加熱處理。
[0018]采用該制造方法，能夠制造出被加熱處理后的單片片材。
[0019]另外，在本發(fā)明的片材的制造方法中，優(yōu)選的是，在所述后處理工序中，實(shí)施所述第I后處理，之后，對所述單片片材進(jìn)行冷卻。
[0020]采用該制造方法，由于在第I后處理后對被加熱處理后的單片片材進(jìn)行冷卻，因此能夠?qū)纹馁x予適當(dāng)?shù)臒釟v程。
[0021]另外，在本發(fā)明的片材的制造方法中，優(yōu)選的是，在所述后處理工序中，在進(jìn)行第I后處理之前，對所述單片片材進(jìn)行消泡。
[0022]采用該制造方法，由于在第I后處理之前對單片片材進(jìn)行消泡，因此能夠制造抑制了因第I后處理而產(chǎn)生的表面粗糙的單片片材。
[0023]另外，本發(fā)明提供一種片材制造裝置，其特征在于，該片材制造裝置包括:成膜部，其用于按照批次實(shí)施對片材組合物進(jìn)行成膜而形成單片片材的成膜處理；后處理部，其用于對所述單片片材實(shí)施第I后處理；以及控制部件，其用于控制所述成膜部和所述后處理部，所述控制部件將對所述單片片材實(shí)施所述第I后處理的第I后處理時(shí)間設(shè)定為長于對所述片材組合物進(jìn)行成膜而形成所述單片片材的成膜時(shí)間，所述后處理部以能對多個(gè)批次的單片片材同時(shí)并行地實(shí)施所述第I后處理的方式構(gòu)成。
[0024]采用該制造裝置，在后處理部中，能夠?qū)υ诔赡げ恐型ㄟ^成膜而形成的單片片材和剛在其之前通過成膜而形成的單片片材同時(shí)并行地實(shí)施第I后處理。因此，能夠?qū)νㄟ^成膜而形成的單片片材實(shí)施第I后處理，而無需直到剛在其之前通過成膜而形成的單片片材的第I后處理結(jié)束為止待機(jī)。
[0025]其結(jié)果，能夠縮短單片片材的制造時(shí)間，從而能夠高效地制造單片片材。
[0026]另外，在本發(fā)明的制造裝置中，優(yōu)選的是，在所述后處理部中具有多個(gè)第I后處理區(qū)域，該第I后處理區(qū)域是按照批次在不同的靜止區(qū)域?qū)嵤┧龅贗后處理的區(qū)域。
[0027]采用該制造裝置，由于能夠按照批次在不同的靜止區(qū)域?qū)νㄟ^成膜而形成的單片片材實(shí)施第I后處理，因此能夠在不同的靜止區(qū)域?qū)νㄟ^成膜而形成的單片片材和剛在其之前通過成膜而形成的單片片材同時(shí)并行地進(jìn)行第I后處理。因此，能夠縮短單片片材的制造時(shí)間，從而能夠尚效地制造單片片材O
[0028]另外，由于能夠針對各個(gè)不同的靜止區(qū)域設(shè)定處理?xiàng)l件，因此能夠按照批次以不同的條件對單片片材實(shí)施第I后處理。因此，能夠按照批次制造不同種類的單片片材。
[0029]另外，在本發(fā)明的制造裝置中，優(yōu)選的是，所述成膜部與所述各第I后處理區(qū)域直列配置。
[0030]采用該制造裝置，能夠使單片片材從成膜部沿著直列方向順暢地移動(dòng)至第I后處理區(qū)域。
[0031]另外，在本發(fā)明的制造裝置中，優(yōu)選的是，所述第I后處理區(qū)域包括加熱部件。
[0032]采用該制造裝置，能夠制造出被加熱處理后的單片片材。
[0033]另外，在本發(fā)明的制造裝置中，優(yōu)選的是，所述加熱部件是加熱板。
[0034]采用該制造裝置，能夠可靠且高效地加熱單片片材。
[0035]另外，在本發(fā)明的制造裝置中，優(yōu)選的是，所述加熱部件是烘箱。
[0036]采用該制造裝置，能夠易于設(shè)計(jì)制造裝置，從而能夠以低成本來制造片材。
[0037]另外，在本發(fā)明的制造裝置中，優(yōu)選的是，所述后處理部在相對于最后的第I后處理區(qū)域而言與所述成膜部相反的那一側(cè)包括用于對所述單片片材進(jìn)行冷卻的冷卻區(qū)域。
[0038]采用該制造裝置，由于在第I后處理后對被加熱處理后的單片片材進(jìn)行冷卻，因此能夠?qū)纹馁x予適當(dāng)?shù)臒釟v程。
[0039]另外，在本發(fā)明的制造裝置中，優(yōu)選的是，所述后處理部在所述成膜部與最初的第I后處理區(qū)域之間包括用于對所述單片片材進(jìn)行消泡的消泡區(qū)域。
[0040]采用該制造裝置，由于對單片片材進(jìn)行消泡，因此能夠制造抑制了因第I后處理而產(chǎn)生的表面粗糙的單片片材。
[0041]另外，在本發(fā)明的制造裝置中，優(yōu)選的是，所述后處理部包括η個(gè)第I后處理區(qū)域，所述控制部件將對η個(gè)批次實(shí)施所述第I后處理的處理作為I個(gè)周期，以前一周期的最初批次的所述第I后處理的結(jié)束時(shí)刻為基準(zhǔn)來設(shè)定當(dāng)前周期的開始時(shí)刻。
[0042]在完成對前一周期的最初批次進(jìn)行的第I后處理之后，能夠毫無遲延地開始對當(dāng)前周期的最初批次進(jìn)行第I后處理。因此，能夠高效地制造單片片材。
[0043]發(fā)明的效果
[0044]采用本發(fā)明的制造方法和制造裝置，能夠縮短單片片材的制造時(shí)間，從而能夠高效地制造單片片材。
【附圖說明】
[0045]圖1是本發(fā)明的片材制造裝置的一實(shí)施方式的立體圖。
[0046]圖2是圖1的片材制造裝置的消泡區(qū)域的剖視圖。
[0047]圖3是圖1的片材制造裝置的加熱區(qū)域的剖視圖。
[0048]圖4是圖1的片材制造裝置的冷卻區(qū)域的剖視圖。
[0049]圖5是表示本發(fā)明的片材的制造方法的一實(shí)施方式中的各批次中的各工序所需的時(shí)間的時(shí)序圖。
[0050]圖6是本發(fā)明的片材制造裝置的另一實(shí)施方式(沿上下方向劃分加熱區(qū)域的實(shí)施方式)的立體圖。
[0051]圖7是本發(fā)明的片材制造裝置的又一實(shí)施方式(加熱部件為烘箱的實(shí)施方式)的立體圖。
[0052]圖8是本發(fā)明的片材制造裝置的再一實(shí)施方式(加熱部件為烘箱且沿上下方向劃分加熱區(qū)域的實(shí)施方式)的立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0053]在圖1中，前后方向是第I方向，前側(cè)是后述的單片片材的輸送方向下游側(cè)(第I方向一側(cè))，后側(cè)是單片片材的輸送方向上游側(cè)(第I方向另一側(cè))。另外，與前后方向正交的方向是左右方向(第2方向)，與前后方向以及左右方向正交的方向是上下方向(第3方向)。圖2?圖4的方向以圖1的箭頭所示的方向?yàn)橐罁?jù)。
[0054]1.片材制造裝置
[0055]如圖1所示，片材制造裝置I是用于自片材組成物制造單片片材2 (參照圖2?圖4)的制造裝置，該單片片材2用于密封作為電子元件的光半導(dǎo)體元件。
[0056]該片材制造裝置I包括成膜部3和配置在成膜部3的前側(cè)的后處理部4。另外，在片材制造裝置I中，在成膜部3的后側(cè)配置有輸送載體容納部(未圖示)，在后處理部4的前側(cè)配置有回收部(未圖示)。
[0057]在片材制造裝置I中，沿著前后方向直列配置有成膜部3和后處理部4。在該片材制造裝置I中，利用成膜部3對片材組成物進(jìn)行成膜，從后方向前方輸送通過成膜而形成的單片片材2，之后，利用后處理部4進(jìn)行后處理。
[0058]輸送載體容納部配置在片材制造裝置I的后側(cè)。輸送載體容納部用于容納多個(gè)輸送載體6，構(gòu)成為能夠一個(gè)一個(gè)地將輸送載體6向成膜部3輸送。輸送載體容納部也可以是能夠移動(dòng)的臺車。
[0059]輸送載體6構(gòu)成為能夠在其上表面上載置脫模基材7 (后述)。具體而言，輸送載體6形成為俯視大致矩形形狀的平板。
[0060]成膜部3包括成膜臺5和成膜裝置8。
[0061]成膜臺5呈沿前后方向延伸的俯視大致矩形形狀，并形成為箱狀。
[0062]成膜裝置8是用于在配置于輸送載體6的脫?；? (后述)的表面涂覆片材組成物的裝置，包括軌道9、滑動(dòng)構(gòu)件10、載置臺11、支承構(gòu)件12、以及涂覆構(gòu)件13。
[0063]軌道9在成膜臺5的上表面沿左右方向相互隔開間隔地設(shè)有I對，各個(gè)軌道9以沿前后方向延伸的方式形成在直線上。
[0064]滑動(dòng)構(gòu)件10安裝在軌道9上而構(gòu)