專利名稱：高頻電感耦合等離子槍的冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種新型高頻電感槍的冷卻裝置。用環(huán)烷酸油冷卻氮化矽陶瓷管 和與電感線圈外壁銅管換熱，提高耦合效率。
背景技術(shù)：
公知的電感耦合等離子體的耦合效率決定于等離子體半徑與電感線圈半徑的比 例。比例越大耦合效率越高。由于電感線圈帶有高電壓，線圈間必須以高電壓絕緣體保護 防止線圈與線圈間產(chǎn)生短路擊穿電弧并與水隔離。高頻電感等離子是以管狀高溫陶瓷的絕 緣體包住，此陶瓷管過熱易過熱損壞。目前，電感高頻槍的冷卻是利用水流經(jīng)高溫的陶瓷外 壁和高電壓絕緣體間的環(huán)狀的間隙，以防止陶瓷管過熱。如此的環(huán)狀的間隙冷卻水裝置造 成等離子體的半徑與電感線圈的半徑比例變小，降低耦合效率。
發(fā)明內(nèi)容為了克服冷卻和低耦合率的兩難，本實用新型提供一種新的冷 卻裝置以達到冷卻和高耦合率。本實用新型解決其冷卻和低耦合率問題所采用的技術(shù)方案 是利用環(huán)烷酸油來同時達到冷卻與絕緣的效用，因環(huán)烷酸油是非常好的高絕緣體，電感線 圈可以浸泡在環(huán)烷酸油中，不會有電弧擊穿，免去了使用絕緣體。而且環(huán)烷酸油導(dǎo)熱系數(shù)和 水相近，是非常好傳熱液體。在中空的電感線圈中流通大量的冷卻水讓電感線圈成為換熱 器，以便換出環(huán)烷酸油的熱，有效的達到冷卻。如此縮短了等離子體與電感線圈的距離，解 決了冷卻水流須經(jīng)高溫陶瓷外壁和高絕緣體而造成低耦合率。管狀高溫陶瓷絕緣體也被取 消了。具體步驟是將高頻電感線圈環(huán)繞在氮化矽陶瓷管上，高頻線圈的銅管內(nèi)充滿冷 卻水，由水泵驅(qū)動水循環(huán)，同時環(huán)烷酸油經(jīng)由等離子槍的下游流入高絕緣體與管狀高溫陶 瓷之間的間隙中，將銅管完全浸泡在環(huán)烷酸油中。用油泵推動環(huán)烷酸油在環(huán)狀密封的空隙 內(nèi)流動，免去了使用絕緣體，利用本身絕緣的環(huán)烷酸油冷卻銅管內(nèi)的冷卻水。本實用新型的有益效果是，取消了管狀高溫陶瓷絕緣體，簡化高頻電感耦合等離 子槍的冷卻裝置結(jié)構(gòu)，利用環(huán)烷酸油與換熱電感線圈來縮短了等離子體與電感線圈的距 離，提高耦合效率。

圖1是本實用新型的截面圖。圖1中1.氣體入口，2.氮化矽 陶瓷管，3.冷卻水入口，4.電弧易擊穿處，5.冷卻水出口，6.環(huán)烷酸油入口，7.電感線圈， 8.粉末入口，9.環(huán)烷酸油出口，10.冷卻氣，11.高溫陶瓷外壁。
具體實施方式
參閱圖1，高頻線圈的銅管7環(huán)繞在氮化矽陶瓷管2上，高頻線圈的銅管7的給水 出入口位于整個裝置的側(cè)面見冷卻水入口 3和出口 5。圖1的高溫陶瓷外壁11套裝在和高 絕緣體2的外面，形成放置高頻線圈的銅管7的環(huán)形空間室，此環(huán)形室的出入口為環(huán)烷酸 油入口 6環(huán)烷酸油出口 9，他們則位于整個裝置的另一側(cè)。
權(quán)利要求一種高頻電感耦合等離子槍的冷卻裝置，其特征是高頻線圈的銅管環(huán)繞在氮化硅陶瓷管上，高頻線圈的銅管的出入口位于整個裝置的側(cè)面，高溫陶瓷外壁套裝在銅管環(huán)繞的氮化硅陶瓷管的外面，形成放置高頻線圈的銅管的環(huán)形空間室。
專利摘要一種新型高頻電感槍的冷卻裝置。將高頻電感線圈環(huán)繞在氮化矽陶瓷管上，高步頻線圈的銅管內(nèi)充滿冷卻水，由水泵驅(qū)動水循環(huán)。同時環(huán)烷酸油經(jīng)由等離子槍的下游流入高絕緣體與管狀高溫陶瓷之間的間隙中，將銅管完全浸泡在環(huán)烷酸油中。用油泵推動環(huán)烷酸油在環(huán)狀密封的空隙內(nèi)流動。利用環(huán)烷酸油來同時達到冷卻與絕緣，免去了使用絕緣體。
文檔編號F28D7/10GK201621995SQ20092006834
公開日2010年11月3日 申請日期2009年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月3日
發(fā)明者劉海波, 簡臨君 申請人:簡臨君;劉海波