專利名稱：單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于單晶硅切片技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種改良的單晶硅切割用砂漿冷 卻系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體行業(yè)和太陽能行業(yè)，硅棒加工成硅片多使用多線切割機(jī)，多線切割機(jī)的 切割線實(shí)用表面鍍銅的不銹鋼絲，在切割過程中切割砂漿由噴嘴沿著鋼絲流動(dòng)，通過鋼絲 將切割砂漿帶入切割區(qū)域，鋼絲表面的游離的切割砂漿在鋼絲的壓力和速度的帶動(dòng)下對硅 棒進(jìn)行切割。切割后的切割砂漿流入到砂漿桶內(nèi)進(jìn)行再循環(huán)實(shí)用。切割過程中會(huì)產(chǎn)生大量 的熱量，切削后的切割砂漿溫度身高，在硅片切割過程中對切割砂漿的溫度有嚴(yán)格要求，因 此切割砂漿必須進(jìn)行冷卻后再循環(huán)使用，由于切割砂漿的粘度大，散熱比較的慢，冷卻后常 常無法達(dá)到規(guī)定的使用溫度，從而影響了產(chǎn)品的質(zhì)量，且以前采用的板式換熱器，換熱速度 較慢，冷卻的切割砂漿無法滿足生產(chǎn)的需要，且板式換熱器容易存在死角，不容易清理，長 時(shí)間堆積就會(huì)產(chǎn)生大顆粒，大顆粒進(jìn)入切割加工過程，就會(huì)影響產(chǎn)品的質(zhì)量。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種冷卻段較長，冷卻速度塊的，容易清洗且能對冷卻腔的溫 度進(jìn)行檢測的單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)。本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)，其包括殼體，殼體的內(nèi)部被分隔成三個(gè)腔體，為進(jìn)漿 腔、出漿腔和冷卻腔，在殼體的下端設(shè)有進(jìn)漿口和出漿口，進(jìn)水口設(shè)置在殼體側(cè)面的頂部， 出水口設(shè)置在殼體側(cè)面的底部，其特征在于在冷卻腔內(nèi)設(shè)有多路連接進(jìn)漿腔和出漿腔的管路。在殼體的外部設(shè)置有保溫夾套。所述的殼體上還設(shè)有對冷卻腔溫度檢測的傳感裝置。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于1、其冷卻的管路的長度長，能達(dá)到一個(gè)較好的冷卻效果，其次多個(gè)管路同時(shí)進(jìn)行 冷卻，速度較快，能及時(shí)的滿足生產(chǎn)的需要，2、管路式冷卻系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于對冷卻管路的清洗，3、殼體外設(shè)置保溫夾套，防止外界溫度影響冷卻系統(tǒng)的冷卻效果，4、設(shè)置的溫度檢測的傳感裝置，便于時(shí)刻檢測冷卻腔的溫度，及時(shí)的調(diào)節(jié)冷卻水 的流速。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中1為進(jìn)水口，2為傳感裝置，3為管路，4為出漿腔，5為出漿口，6為進(jìn)漿口，7為進(jìn)漿腔，8為出水口，9為殼體，10為保溫夾套，11為冷卻腔。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明如圖1所示的單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)，其包括殼體10，殼體10的內(nèi)部被分隔 成三個(gè)腔體，為進(jìn)漿腔7、出漿腔4和冷卻腔11，在殼體10的下端設(shè)有進(jìn)漿口 6和出漿口 5， 進(jìn)水口 1設(shè)置在殼體10側(cè)面的頂部，出水口 8設(shè)置在殼體10側(cè)面的底部，冷卻水從進(jìn)水口 1進(jìn)入在冷卻腔11內(nèi)循環(huán)后從出水口 8流出，在冷卻腔11內(nèi)設(shè)有多路連接進(jìn)漿腔7和出 漿腔4的管路3，設(shè)置的多路管路保證了砂漿與冷卻水的接觸面積，使其具有較好的冷卻效^ ο在殼體的外部設(shè)置有保溫夾套，設(shè)置的保溫夾套能防止外界的室溫對冷卻效果的 影響，保證了冷卻的質(zhì)量。所述的殼體上還設(shè)有對冷卻腔溫度檢測的傳感裝置，設(shè)置的溫度檢測傳感裝置便 于人們時(shí)刻觀測砂漿冷卻的狀況。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種具有較長冷卻行程和冷卻量的砂漿冷卻系統(tǒng)，以及較大的 接觸面積，保證了較快的冷卻速度和冷卻的砂漿的量，滿足了較快的生產(chǎn)需要，冷卻循環(huán)采 用管路設(shè)計(jì)，便于對管路的清潔，在整個(gè)冷卻系統(tǒng)的外面包裹的保溫夾套能防止外界室溫 對冷卻效果產(chǎn)生影響，另外設(shè)置的溫度檢測傳感裝置，便于人們實(shí)時(shí)的檢測冷卻腔的溫度， 當(dāng)發(fā)現(xiàn)溫度異常時(shí)，能及時(shí)的調(diào)整冷卻水的進(jìn)水速度來保證冷卻質(zhì)量。
權(quán)利要求1.單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)，其包括殼體，殼體的內(nèi)部被分隔成三個(gè)腔體，為進(jìn)漿 腔、出漿腔和冷卻腔，在殼體的下端設(shè)有進(jìn)漿口和出漿口，進(jìn)水口設(shè)置在殼體側(cè)面的頂部， 出水口設(shè)置在殼體側(cè)面的底部，其特征在于在冷卻腔內(nèi)設(shè)有多路連接進(jìn)漿腔和出漿腔的管路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)，其特征在于在殼體的外部設(shè)置有保溫夾套。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)，其特征在于所述的殼體上還 設(shè)有對冷卻腔溫度檢測的傳感裝置。
專利摘要本實(shí)用新型屬于單晶硅切片技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種改良的單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)。單晶硅切割用砂漿冷卻系統(tǒng)，其包括殼體，殼體的內(nèi)部被分隔成三個(gè)腔體，為進(jìn)漿腔、出漿腔和冷卻腔，在殼體的下端設(shè)有進(jìn)漿口和出漿口，進(jìn)水口設(shè)置在殼體側(cè)面的頂部，出水口設(shè)置在殼體側(cè)面的底部，在冷卻腔內(nèi)設(shè)有多路連接進(jìn)漿腔和出漿腔的管路。本實(shí)用新型的冷卻段較長，冷卻速度塊的，容易清洗且能對冷卻腔的溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測。
文檔編號F28D7/00GK201837274SQ20102052572
公開日2011年5月18日 申請日期2010年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月13日
發(fā)明者陳榮興 申請人:江蘇創(chuàng)大光伏科技有限公司