專利名稱：處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，特別是關(guān)于一種處理半導(dǎo)體制程廢氣 的入口頭座，并涉及該入口頭座內(nèi)部的廢氣通道、點(diǎn)火腔室和導(dǎo)引廢氣用的斜孔。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體的生產(chǎn)制造過程中，會產(chǎn)生許多具有毒性、腐蝕性及易燃性的制程廢氣， 為了避免該廢氣污染環(huán)境而造成公害的可能性，必須先將該廢氣內(nèi)的有害物質(zhì)予以過濾去 除之后，才能將無害的廢氣排放至外界大氣。且知，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體制程廢氣的處理方式，是將該制程廢氣注入廢氣處理槽內(nèi)，先 接受廢氣處理槽內(nèi)的高溫火焰燃燒，而形成高溫廢氣，迫使高溫廢氣中有害物質(zhì)接受高溫 催化，而分解成無害的物質(zhì)，隨后憑借廢氣處理槽內(nèi)部的洗滌水將高溫廢氣中可溶于水的 有害物質(zhì)加以融解，而使高溫廢氣轉(zhuǎn)換成為無害的氣體，同時(shí)冷卻該高溫廢氣，以利于排放 至外界大氣中，而不會造成環(huán)境的污染。上述傳統(tǒng)的廢氣處理槽的頂部一般都具有一入口頭座(inlet head)，該入口頭座 通常能夠同時(shí)輸入廢氣及含氧的燃?xì)?，以混合該廢氣與含氧燃?xì)?，并?jīng)由點(diǎn)燃該含氧燃?xì)?而生成高溫火焰，用以燃燒該廢氣。目前市面上已存在有多款上述利用高溫火焰及洗滌水處理半導(dǎo)體制程廢氣的方 法，舉如中國臺灣第482038號及第570146號專利案，主要是利用廢氣處理槽頂部的入口頭 座產(chǎn)生高溫火焰，對外界廢氣供應(yīng)端輸送進(jìn)入該入口頭座內(nèi)部的制程廢氣先行燃燒，并將 洗滌水以噴灑成水滴或溢流成水幕的方式散布于入口頭座下方的廢氣處理槽內(nèi)，以融解廢 氣中的有害物質(zhì)。然而，上述中國臺灣第482038號及第570146號專利案中的制程廢氣是以直線路 徑通過該入口頭座及廢氣處理槽；換言之，該廢氣是以直線路徑通過高溫火焰及洗滌水，導(dǎo) 致該廢氣與高溫火焰及洗滌水相互反應(yīng)的時(shí)間難以提增的問題，如此容易造成廢氣中有害 物質(zhì)未完全燃燒殆盡的狀況，也容易造成廢氣中有害物質(zhì)未完全融解于洗滌水的狀況，亟 需加以改善。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中，有關(guān)半導(dǎo)體制程廢氣以直線路徑通過高 溫火焰及洗滌水，而導(dǎo)致該廢氣與高溫火焰及洗滌水相互反應(yīng)的時(shí)間難以提增的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，在一個(gè)廢氣供應(yīng)端及一個(gè)燃?xì)?供應(yīng)端之間設(shè)一入口頭座，其特征在于，該入口頭座內(nèi)配置包含有一廢氣通道，連通于該廢氣供應(yīng)端與該入口頭座下方的一燃燒區(qū)之間，以導(dǎo)引廢 氣進(jìn)入該燃燒區(qū)；兩個(gè)隔板，間隔設(shè)置于該廢氣通道外圍與入口頭座內(nèi)壁之間，并形成一個(gè)位于所述兩個(gè)隔板之間的點(diǎn)火腔室；一點(diǎn)火棒，植設(shè)于該點(diǎn)火腔室中；及復(fù)數(shù)斜孔，呈漩渦狀分布形成于所述隔板上，連通該燃?xì)夤?yīng)端、點(diǎn)火腔室與燃燒 區(qū)，以導(dǎo)引燃?xì)怃鰷u進(jìn)入該點(diǎn)火腔室內(nèi)，經(jīng)由該點(diǎn)火棒點(diǎn)燃而在該點(diǎn)火腔室內(nèi)形成漩渦火 焰，所述斜孔并導(dǎo)引該火焰漩渦進(jìn)入該燃燒區(qū)，以燃燒該燃燒區(qū)中的廢氣。其中所述兩個(gè)隔板是一個(gè)上層隔板與一個(gè)下層隔板，所述斜孔包含形成于該上 層隔板上的上層斜孔與形成于該下層隔板上的下層斜孔，所述上層斜孔連通于該燃?xì)夤?yīng) 端與點(diǎn)火腔室之間，所述下層斜孔連通于該點(diǎn)火腔室與燃燒區(qū)之間。其中所述點(diǎn)火腔室形成于該廢氣通道外圍、入口頭座內(nèi)壁以及上層與下層隔板 之間。其中所述入口頭座位于一廢氣處理槽頂部，且該廢氣處理槽內(nèi)壁形成一外層水 幕，該燃燒區(qū)位于該廢氣處理槽內(nèi)，且漩渦進(jìn)入該燃燒區(qū)的火焰引動(dòng)該廢氣漩渦至該水幕 上。其中所述廢氣通道外圍、上層隔板頂部與入口頭座內(nèi)壁之間形成一連通該燃?xì)?供應(yīng)端與所述上層斜孔的燃?xì)馇皇?。其中所述燃?xì)馇皇覂?nèi)設(shè)有一連通該點(diǎn)火腔室的容置管，該點(diǎn)火器設(shè)于該容置管 內(nèi)，且該容置管上形成有復(fù)數(shù)氣孔，連通于該容置管內(nèi)部與該燃?xì)馇皇抑g，以導(dǎo)引燃?xì)膺M(jìn) 入該容置管內(nèi)。其中所述點(diǎn)火腔室外圍與該入口頭座內(nèi)壁之間形成一能夠?qū)胪饨缦礈焖沫h(huán) 狀上層水槽，且該上層水槽與該廢氣處理槽內(nèi)部之間連通一上溢流口，以導(dǎo)引洗滌水溢流 至該廢氣處理槽內(nèi)，而形成一位于該外層水幕內(nèi)側(cè)的內(nèi)層水幕，以接受廢氣吹襲。其中所述點(diǎn)火腔室外圍與該入口頭座內(nèi)壁之間形成一連通該上層水槽的環(huán)狀集 水槽，位于該上層水槽頂部，且外界洗滌水經(jīng)由該集水槽導(dǎo)入該上層水槽。其中所述廢氣處理槽內(nèi)壁形成一能夠?qū)胪饨缦礈焖沫h(huán)狀下層水槽，且該下 層水槽與該廢氣處理槽內(nèi)部之間連通一下溢流口，以導(dǎo)引洗滌水溢流至該廢氣處理槽內(nèi)形 成該外層水幕。其中所述廢氣通道及所述下層斜孔下方相對端設(shè)有一位于該廢氣處理槽內(nèi)的燃 燒腔槽，且該燃燒腔槽頂部連通該廢氣通道及所述下層斜孔，該燃燒區(qū)位于該燃燒腔槽內(nèi)， 該燃燒腔槽底部并形成一連通該廢氣處理槽的槽口。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，采用上述技術(shù)方案的本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)在于憑借上述， 所述斜孔的漩渦方向相等，而使經(jīng)由所述斜孔漩渦進(jìn)入點(diǎn)火腔室內(nèi)的燃?xì)庥邳c(diǎn)燃生成火焰 后，接續(xù)經(jīng)由所述斜孔漩渦進(jìn)入燃燒區(qū)內(nèi)，而形成以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)的火焰，進(jìn)而引 動(dòng)該燃燒區(qū)內(nèi)的廢氣以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)；據(jù)此，利用漩渦火焰引動(dòng)半導(dǎo)體制程廢氣， 致使該廢氣以由上而下的漩渦路徑通過漩渦的高溫火焰，以延長該廢氣與漩渦火焰相互反 應(yīng)的時(shí)間；同時(shí)，憑借所述斜孔加壓該燃?xì)?，而使漩渦火焰形成高密度旋風(fēng)火網(wǎng)，以提升火 焰凈化廢氣中有害物質(zhì)的效率。

圖1是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的一剖示圖；[0025]圖2是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的另一剖示圖；圖3是圖2的A-A斷面圖；圖3a是圖3的局部放大圖；圖4是圖2的B-B斷面圖；圖如是圖4的局部放大圖；圖5是本實(shí)用新型的導(dǎo)管與隔板的立體圖；圖6是本實(shí)用新型的隔板的立體圖；圖7是圖1的使用狀態(tài)圖；圖8是圖2的使用狀態(tài)圖。附圖標(biāo)記說明11-廢氣供應(yīng)端；12-燃?xì)夤?yīng)端；13-洗滌水供應(yīng)端；2_廢氣處理 槽；20-反應(yīng)腔室；21-下層水槽；22-第二給水口 ；23-下溢流口 ；3-入口頭座；30-燃燒區(qū)； 31-燃?xì)馇皇遥?11-燃?xì)馊肟?；32-點(diǎn)火腔室；33-容置管；331-氣孔；34-環(huán)套；341-燃燒 腔槽；；342_槽口 ；35-上層水槽；351-上溢流口 ；36-集水槽；361-通孔；362-第一給水口 ； 4-廢氣通道；40-導(dǎo)管；41-廢氣入口 ；42-廢氣出口 ；5-上層隔板；51-上層斜孔；6-下層 隔板；61-下層斜孔；7-點(diǎn)火器；81-外層水幕；82-內(nèi)層水幕；91、92_火焰。
具體實(shí)施方式
請參閱圖1所示，揭示出本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的剖示圖，并配合圖2說明本實(shí)用 新型處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，在一半導(dǎo)體制程的廢氣供應(yīng)端11及一 燃?xì)夤?yīng)端12之間介設(shè)一入口頭座3 (inlet head)，且該入口頭座3位于一廢氣處理槽2 頂部，該廢氣處理槽2內(nèi)壁形成一外層水幕81 (如圖7所示)，該入口頭座3內(nèi)并配置包含 一呈垂直狀的廢氣通道4、兩個(gè)隔板5、6、一點(diǎn)火器7及復(fù)數(shù)斜孔51、61。其中，該燃?xì)夤?yīng) 端12供應(yīng)的燃?xì)獍?% 15%的瓦斯及95% 85%的空氣，利用外界一文式管預(yù)混器 (未繪制)將瓦斯及外界空氣預(yù)先混合成可供燃燒的含氧燃?xì)?，如此能夠省去單?dú)供應(yīng)氧 氣的必要性；該廢氣處理槽2內(nèi)部中央形成一反應(yīng)腔室20，且廢氣處理槽2內(nèi)壁形成一呈 環(huán)狀的下層水槽21，并于廢氣處理槽2外壁設(shè)有一連通該下層水槽21的第二給水口 22，該 第二給水口 22能夠與外界的一個(gè)洗滌水供應(yīng)端13相連通，以供應(yīng)洗滌水至下層水槽21， 且下層水槽21頂端與廢氣處理槽2內(nèi)部反應(yīng)腔室20之間連通一個(gè)呈環(huán)狀的下溢流口 23， 該下層水槽21內(nèi)的洗滌水能夠經(jīng)由該下溢流口 23導(dǎo)引而溢流至廢氣處理槽2的反應(yīng)腔室 20內(nèi)，并沿著反應(yīng)腔室20內(nèi)壁由上而下流動(dòng)形成該外層水幕81。該廢氣通道4形成于該入口頭座3中央的一垂直配置的圓形導(dǎo)管40內(nèi)(如圖1及 圖3所示)，而在入口頭座3頂部形成一連通廢氣供應(yīng)端11的廢氣入口 41，并在入口頭座3 底部形成一廢氣出口 42，且廢氣出口 42連通該入口頭座3下方的一燃燒區(qū)30 ；實(shí)際上，該 燃燒區(qū)30位于該廢氣處理槽2的反應(yīng)腔室20，致使廢氣通道4連通于廢氣供應(yīng)端11與反 應(yīng)腔室20的燃燒區(qū)30之間，能夠?qū)б龔U氣由上而下進(jìn)入反應(yīng)腔室20的燃燒區(qū)30內(nèi)。所 述兩個(gè)隔板5、6間隔設(shè)置于該廢氣通道4外圍與入口頭座3內(nèi)壁之間，并形成一個(gè)位于所 述兩個(gè)隔板5、6之間的點(diǎn)火腔室32 ；在實(shí)施上，所述隔板5、6是一上層隔板5與一下層隔 板6，該上層隔板5與下層隔板6均呈圓環(huán)狀(如圖6所示)，分別套置于該導(dǎo)管40外周壁 上(配合圖4及圖5所示)，而間隔于含藏該廢氣通道4的導(dǎo)管40外圍與入口頭座3內(nèi)壁之間；該下層隔板6位于上層隔板5下方，且點(diǎn)火腔室32形成于該導(dǎo)管40外圍、入口頭座 3內(nèi)壁、上層與下層隔板5、6之間。所述斜孔51、61包含復(fù)數(shù)的上層斜孔51與下層斜孔61，所述上層斜孔51呈漩渦 狀分布形成于該上層隔板5上(如圖2及圖3所示)，而圍繞于該廢氣通道4的導(dǎo)管40外 圍(配合圖3a及圖6所示)；該入口頭座3內(nèi)壁、含藏廢氣通道4的導(dǎo)管40外圍與上層隔 板5頂部之間形成一連通所述上層斜孔51頂端的燃?xì)馇皇?1，該入口頭座3外壁設(shè)有一連 通該燃?xì)馇皇?1與燃?xì)夤?yīng)端12的燃?xì)馊肟?311，且所述上層斜孔51底端連通該點(diǎn)火腔 室32，致使所述上層斜孔51連通于燃?xì)夤?yīng)端12與點(diǎn)火腔室32之間；該燃?xì)夤?yīng)端12能 夠供應(yīng)該含氧燃?xì)庵寥肟陬^座3的燃?xì)馇皇?1內(nèi)，該燃?xì)馇皇?1能夠平均供應(yīng)燃?xì)庵粮?個(gè)上層斜孔51，且所述上層斜孔51能夠?qū)б細(xì)馇皇?1內(nèi)的燃?xì)庥缮隙落鰷u進(jìn)入該點(diǎn) 火腔室32內(nèi)，而使燃?xì)庥邳c(diǎn)火腔室32內(nèi)以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)。該燃?xì)馇皇?1內(nèi)設(shè)有 一連通該點(diǎn)火腔室32的容置管33，該點(diǎn)火器7植設(shè)于容置管33內(nèi)，并延伸至點(diǎn)火腔室32 內(nèi)，且容置管33上形成有復(fù)數(shù)氣孔331，連通于容置管33內(nèi)部與燃?xì)馇皇?1之間，以導(dǎo)引 燃?xì)馇皇?1的燃?xì)膺M(jìn)入容置管33內(nèi)，接受點(diǎn)火器7點(diǎn)燃而生成一母火火焰91 (如圖7所 示)，以觸燃該點(diǎn)火腔室32內(nèi)的燃?xì)猓梢凿鰷u狀態(tài)由上而下流動(dòng)的火焰92，能夠經(jīng)由 導(dǎo)管40外壁加溫廢氣通道4內(nèi)的廢氣。所述下層斜孔61呈漩渦狀分布形成于該下層隔板6上(如圖2及圖4所示)，而 圍繞于該廢氣通道4的導(dǎo)管40外圍(配合圖如及圖6所示)；所述上、下層斜孔51、61的 漩渦方向相等，且所述下層斜孔61連通于點(diǎn)火腔室32與反應(yīng)腔室20的燃燒區(qū)30之間，能 夠?qū)бc(diǎn)火腔室32內(nèi)的漩渦狀火焰92由上而下漩渦進(jìn)入反應(yīng)腔室20的燃燒區(qū)30內(nèi)，驅(qū) 使該火焰92于燃燒區(qū)30內(nèi)持續(xù)以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)。該入口頭座3底部周邊設(shè)有一 向下方延伸至廢氣處理槽2內(nèi)的環(huán)套34，且環(huán)套34內(nèi)形成一位于該廢氣通道4及所述下 層斜孔61下方相對端的燃燒腔槽341，而使燃燒腔槽341位于廢氣處理槽2的反應(yīng)腔室20 內(nèi)，且燃燒腔槽341頂部連通該廢氣通道4及所述下層斜孔61，該燃燒區(qū)30位于該燃燒腔 槽341內(nèi)，該燃燒腔槽341底部形成一連通廢氣處理槽2的反應(yīng)腔室20的槽口 342 ；上述 下溢流口 23實(shí)際上可形成于下層水槽21頂端與環(huán)套34外壁之間。該點(diǎn)火腔室32外圍與入口頭座3內(nèi)壁之間形成一呈環(huán)狀的上層水槽35 (如圖1 所示)，以及一呈環(huán)狀的集水槽36 (配合圖3所示)，該集水槽36位于上層水槽35頂部，且 集水槽36與上層水槽35之間連通復(fù)數(shù)排水通孔361，該入口頭座3外壁設(shè)有一連通集水 槽36與外界的洗滌水供應(yīng)端13的第一給水口 362，能夠供應(yīng)洗滌水經(jīng)由集水槽36及所述 通孔361導(dǎo)入上層水槽35 ；該上層水槽35頂端與廢氣處理槽2內(nèi)部的燃燒腔槽341之間 連通一呈環(huán)狀的上溢流口 351，能夠?qū)б蠈铀?5內(nèi)的洗滌水溢流至燃燒腔槽341內(nèi)壁 (如圖7所示)，并沿著鄰近廢氣處理槽2的反應(yīng)腔室20內(nèi)壁的區(qū)域?yàn)⒙洌纬梢晃挥谠?外層水幕81內(nèi)側(cè)的內(nèi)層水幕82。依據(jù)上述構(gòu)件組成，可供據(jù)以實(shí)施本實(shí)用新型，包括下列步驟(1)令洗滌水供應(yīng)端13同時(shí)對第一及第二給水口 362、22持續(xù)供應(yīng)洗滌水(如圖 7所示)，而使反應(yīng)腔室20和燃燒腔槽341內(nèi)壁分別形成外層水幕81與內(nèi)層水幕82。(2)同時(shí)令燃?xì)夤?yīng)端12經(jīng)由該燃?xì)馊肟?311持續(xù)供應(yīng)含氧的燃?xì)庵寥細(xì)馇皇?31內(nèi)(如圖7所示)，迫使該燃?xì)饨邮芩錾蠈有笨?1導(dǎo)引，而由上而下漩渦進(jìn)入該點(diǎn)火腔室32內(nèi)(配合圖8所示)，進(jìn)而形成以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)的燃?xì)?；同時(shí)，一部分燃?xì)?經(jīng)由所述氣孔331進(jìn)入容置管33內(nèi)，而充斥于該點(diǎn)火器7四周。(3)利用點(diǎn)火器7產(chǎn)生電弧火花(如圖7所示)，以點(diǎn)燃容置管33內(nèi)燃?xì)?，而?成母火火焰91，進(jìn)而觸燃點(diǎn)火腔室32內(nèi)的燃?xì)?，而生成以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)的火焰 92(如圖8所示)，致使點(diǎn)火腔室32內(nèi)持續(xù)保持燃燒狀態(tài)，且該火焰92接受所述下層斜孔 61導(dǎo)引，而由上而下漩渦進(jìn)入燃燒腔槽341內(nèi)，迫使該火焰92于燃燒腔槽341及反應(yīng)腔室 20內(nèi)保持以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)，并于燃燒腔槽341的燃燒區(qū)30形成高密度的旋風(fēng)火 網(wǎng)。該燃?xì)夤?yīng)端12供應(yīng)至入口頭座3的含氧燃?xì)獾亩喙眩軌蚩刂扑鲆凿鰷u狀態(tài)由上 而下流動(dòng)的火焰92的漩渦速度，增加該燃?xì)獾墓?yīng)量能夠提升火焰92的漩渦速度，減少該 燃?xì)獾墓?yīng)量能夠降低火焰92的漩渦速度。(4)開放廢氣供應(yīng)端11經(jīng)由廢氣入口 41持續(xù)供應(yīng)半導(dǎo)體制程廢氣進(jìn)入廢氣通道 4 (如圖7所示)，而使廢氣依序通過廢氣入口 41、廢氣通道4、廢氣出口 42、燃燒腔槽341及 反應(yīng)腔室20。期間，通過廢氣通道4的廢氣接受燃?xì)馇皇?1內(nèi)火焰92通過導(dǎo)管40外壁預(yù)先 加溫，以利于縮減廢氣中有害物質(zhì)接受高溫催化而分解成無害物質(zhì)的時(shí)間，經(jīng)由廢氣通道4 的廢氣出口 42進(jìn)入廢氣處理槽2的燃燒腔槽341及反應(yīng)腔室20的廢氣，接受燃燒區(qū)30的 所述以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)的火焰92燃燒(配合圖8所示)，迫使廢氣中有害物質(zhì)接受 該火焰92的高溫催化而分解成無害的物質(zhì)，該火焰92形成的高密度旋風(fēng)火網(wǎng)并引動(dòng)該廢 氣以漩渦狀態(tài)拋甩至該內(nèi)層與外層水幕82、水幕81上，迫使廢氣中包含粉塵及氟離子等能 夠接受水洗的有害物質(zhì)撞擊在所述水幕82、81上，且融解于所述水幕82、81中，并隨著所述 水幕82、81排出，致使廢氣轉(zhuǎn)換成為無害的氣體，同時(shí)憑借所述水幕82、81冷卻該廢氣。憑借上述，由于所述上、下層斜孔51、61的漩渦方向相等，而使經(jīng)由所述上層斜孔 51漩渦進(jìn)入點(diǎn)火腔室32內(nèi)的燃?xì)庥邳c(diǎn)燃生成火焰92后，接續(xù)經(jīng)由所述下層斜孔61漩渦進(jìn) 入廢氣處理槽2的燃燒區(qū)30內(nèi)，而形成以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)的火焰92，進(jìn)而引動(dòng)該廢 氣處理槽2的燃燒區(qū)30內(nèi)的廢氣以漩渦狀態(tài)由上而下流動(dòng)；據(jù)此，利用漩渦火焰92引動(dòng)半 導(dǎo)體制程廢氣，致使該廢氣以由上而下的漩渦路徑通過漩渦的高溫火焰及洗滌水，以延長 該廢氣與漩渦火焰及洗滌水相互反應(yīng)的時(shí)間，致使廢氣受熱更加均勻，能夠避免廢氣未受 熱就離開火焰92的旋風(fēng)火網(wǎng)的狀況；同時(shí)，憑借所述上、下層斜孔51、61加壓該燃?xì)?，而?漩渦火焰92形成高密度的旋風(fēng)火網(wǎng)，以提升火焰凈化廢氣中有害物質(zhì)的效率；此外，憑借 該水幕81、82融解廢氣中有害物質(zhì)，能夠避免有害物質(zhì)附著于廢氣處理槽2內(nèi)壁，以進(jìn)一步 防止廢氣處理槽2內(nèi)壁發(fā)生卡垢及侵蝕的現(xiàn)象。以上說明對本實(shí)用新型而言只是說明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員 理解，在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可作出許多修改、變化或等效，但 都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，在一個(gè)廢氣供應(yīng)端及一個(gè)燃?xì)夤?應(yīng)端之間設(shè)一入口頭座，其特征在于，該入口頭座內(nèi)配置包含有一廢氣通道，連通于該廢氣供應(yīng)端與該入口頭座下方的一燃燒區(qū)之間，以導(dǎo)引廢氣進(jìn) 入該燃燒區(qū)；兩個(gè)隔板，間隔設(shè)置于該廢氣通道外圍與入口頭座內(nèi)壁之間，并形成一個(gè)位于所述兩 個(gè)隔板之間的點(diǎn)火腔室；一點(diǎn)火棒，植設(shè)于該點(diǎn)火腔室中；及復(fù)數(shù)斜孔，呈漩渦狀分布形成于所述隔板上，連通該燃?xì)夤?yīng)端、點(diǎn)火腔室與燃燒區(qū)， 以導(dǎo)引燃?xì)怃鰷u進(jìn)入該點(diǎn)火腔室內(nèi)，經(jīng)由該點(diǎn)火棒點(diǎn)燃而在該點(diǎn)火腔室內(nèi)形成漩渦火焰， 所述斜孔并導(dǎo)弓I該火焰漩渦進(jìn)入該燃燒區(qū)，以燃燒該燃燒區(qū)中的廢氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，其特征在于 所述兩個(gè)隔板是一個(gè)上層隔板與一個(gè)下層隔板，所述斜孔包含形成于該上層隔板上的上層 斜孔與形成于該下層隔板上的下層斜孔，所述上層斜孔連通于該燃?xì)夤?yīng)端與點(diǎn)火腔室之 間，所述下層斜孔連通于該點(diǎn)火腔室與燃燒區(qū)之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，其特征在于 所述點(diǎn)火腔室形成于該廢氣通道外圍、入口頭座內(nèi)壁以及上層與下層隔板之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，其特征在于 所述入口頭座位于一廢氣處理槽頂部，且該廢氣處理槽內(nèi)壁形成一外層水幕，該燃燒區(qū)位 于該廢氣處理槽內(nèi)，且漩渦進(jìn)入該燃燒區(qū)的火焰引動(dòng)該廢氣漩渦至該水幕上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，其特征在于 所述廢氣通道外圍、上層隔板頂部與入口頭座內(nèi)壁之間形成一連通該燃?xì)夤?yīng)端與所述上 層斜孔的燃?xì)馇皇摇?br> 6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，其特征在于 所述燃?xì)馇皇覂?nèi)設(shè)有一連通該點(diǎn)火腔室的容置管，該點(diǎn)火器設(shè)于該容置管內(nèi)，且該容置管 上形成有復(fù)數(shù)氣孔，連通于該容置管內(nèi)部與該燃?xì)馇皇抑g，以導(dǎo)引燃?xì)膺M(jìn)入該容置管內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，其特征在于 所述點(diǎn)火腔室外圍與該入口頭座內(nèi)壁之間形成一能夠?qū)胪饨缦礈焖沫h(huán)狀上層水槽，且 該上層水槽與該廢氣處理槽內(nèi)部之間連通一上溢流口，以導(dǎo)引洗滌水溢流至該廢氣處理槽 內(nèi)，而形成一位于該外層水幕內(nèi)側(cè)的內(nèi)層水幕，以接受廢氣吹襲。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，其特征在于 所述點(diǎn)火腔室外圍與該入口頭座內(nèi)壁之間形成一連通該上層水槽的環(huán)狀集水槽，位于該上 層水槽頂部，且外界洗滌水經(jīng)由該集水槽導(dǎo)入該上層水槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求4或7所述的處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，其特征在 于所述廢氣處理槽內(nèi)壁形成一能夠?qū)胪饨缦礈焖沫h(huán)狀下層水槽，且該下層水槽與該 廢氣處理槽內(nèi)部之間連通一下溢流口，以導(dǎo)引洗滌水溢流至該廢氣處理槽內(nèi)形成該外層水 眷ο
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，其特征在于 所述廢氣通道及所述下層斜孔下方相對端設(shè)有一位于該廢氣處理槽內(nèi)的燃燒腔槽，且該燃 燒腔槽頂部連通該廢氣通道及所述下層斜孔，該燃燒區(qū)位于該燃燒腔槽內(nèi)，該燃燒腔槽底部并形成一連通該廢氣處理槽的槽口。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種處理半導(dǎo)體制程廢氣的旋風(fēng)式合氧燃燒裝置，在一入口頭座內(nèi)配置一廢氣通道，連通于外界一廢氣供應(yīng)端與入口頭座下方一燃燒區(qū)之間，導(dǎo)引廢氣進(jìn)入燃燒區(qū)，且廢氣通道外圍間隔設(shè)置兩個(gè)隔板，該廢氣通道外圍與所述隔板之間形成一點(diǎn)火腔室，且所述隔板上分別形成連通外界一燃?xì)夤?yīng)端、點(diǎn)火腔室與燃燒區(qū)的復(fù)數(shù)斜孔，導(dǎo)引燃?xì)饨?jīng)由點(diǎn)火腔室漩渦進(jìn)入燃燒區(qū)，期間接受點(diǎn)火腔室內(nèi)一點(diǎn)火器點(diǎn)燃而生成漩渦火焰，以燃燒進(jìn)入燃燒區(qū)的廢氣。
文檔編號F23G7/06GK201925936SQ20102063284
公開日2011年8月10日 申請日期2010年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月8日
發(fā)明者馮五良 申請人:東服企業(yè)股份有限公司