專利名稱：液晶顯示組件的制造方法及干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于液晶顯示組件的制造技術(shù)，特別是關(guān)于對(duì)基板上所涂布的配向劑的干燥處理。
背景技術(shù)：
液晶顯示組件的基板上，形成有用以使液晶的分子配列狀態(tài)相同的配向膜。此配向膜的形成步驟包含(1)印刷步驟，其是將由溶劑所稀釋的配向膜材料的涂膜(以下稱其為配向膜材料涂膜)形成于基板的一面上；及(2)加熱步驟，其是將印刷步驟所形成的配向膜材料涂膜加熱硬化。
此處，加熱步驟包含干燥處理，是以100℃左右的溫度使配向膜材料涂膜的含有溶劑預(yù)干燥；及燒成處理，是將預(yù)干燥后的配向膜材料涂膜以180℃以上的溫度燒成。這些階段性的處理中使用如圖13所示的熱板(hot plate)。該熱板具有板15，其上形成貫通孔12，是從基板1的另一面(配向膜材料涂膜的形成面的相反側(cè)的面)所接觸的范圍(以下稱基板接觸范圍)內(nèi)的多個(gè)位置貫通至排氣口；加熱器2，是被埋入板15；及真空泵(圖未示)，是用來連接板15的排氣口。
若為這種結(jié)構(gòu)，由真空泵的真空吸引，可使基板1密接于板15，因此可有效的將加熱器2的熱經(jīng)由板15傳至基板1?；?上所形成的涂膜被該熱而預(yù)干燥或燒成。
又，加熱處理后，必須將密接于板15的基板1，自板15移換至搬送臂。這里，在板15的內(nèi)部，容納用以在基板接觸面將基板1頂起的多個(gè)的突出的插腳3。如圖14所示，由于這些突起的插腳3向上頂起，基板1自板15浮起，因此在基板1與板15之間，確保了臂11的揷入空間。

發(fā)明內(nèi)容
但是，在上述已知熱板的板15的基板接觸范圍內(nèi)，由于形成有貫通孔12的端部，及突起的插腳3的容納孔的端部，基板1的背面，會(huì)產(chǎn)生部分未與板15接觸的范圍。因此，配向膜材料涂膜上會(huì)產(chǎn)生干燥斑，導(dǎo)致配向膜的膜厚不均、對(duì)配向膜表面的液晶分子配列造成影響。其結(jié)果即造成液晶顯示組件的顯示特性不良。
鑒于此，本發(fā)明即以制造具良好顯示特性的液晶顯示組件為目的。
為解決上述課題，本發(fā)明是在用于液晶顯示組件的基板上形成配向膜的步驟為，將成為配向膜的涂膜形成于基板的一面上，并在該涂膜的形成面?zhèn)让嫘纬蓺饬鳌?br> 由此，可得到具有良好顯示特性的液晶顯示組件。


參照附圖本發(fā)明的上述目的、其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將在以下的發(fā)明實(shí)施方案的詳細(xì)說明中表述的更加清楚。
圖1為本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的干燥裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
圖2為玻璃基板的支持材料與熱擴(kuò)散率相對(duì)應(yīng)的示意圖。
圖3為用以研究玻璃基板的支持材料對(duì)基板溫度分布的影響的實(shí)驗(yàn)設(shè)備的簡(jiǎn)要附圖。
圖4為被圖1的干燥裝置進(jìn)行干燥處理后的玻璃基板的面內(nèi)溫度分布圖。
圖5為用以使干燥處理最佳化的實(shí)驗(yàn)設(shè)備的簡(jiǎn)要附圖。
圖6為在各干燥方式中干燥時(shí)間與預(yù)傾角的關(guān)系圖。
圖7為配向膜形成材料溶液中的高分子擴(kuò)散的概念性的附圖。
圖8為圖1的干燥裝置的腔內(nèi)溫度與預(yù)干燥后的涂膜的表面粗糙度之間的關(guān)系附圖。
圖9為溫風(fēng)的溫度與預(yù)傾角度的關(guān)系附圖。
圖10為熱板的干燥效果與圖1的干燥裝置的干燥效果的對(duì)比圖。
圖11為本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的干燥裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
圖12為本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的干燥裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
圖13為現(xiàn)有熱板的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
圖14為現(xiàn)有熱板的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)。
首先，參照?qǐng)D1說明本實(shí)施形態(tài)的干燥裝置的構(gòu)造。又，為以下說明的方便，圖1中定義的直角坐標(biāo)系將干燥裝置的設(shè)置面包含于XY面。
本實(shí)施形態(tài)的干燥裝置具有用于氣體供給的送風(fēng)機(jī)5，設(shè)有HEPA過濾器，可將自外部取入的氣體(空氣，氮等)進(jìn)行浄化并放出；加熱器2，可將來自供氣用送風(fēng)機(jī)5的氣體進(jìn)行加熱；以上面固持基板1的基座底板9；將通過加熱器2的氣體予以暫時(shí)蓄積的均熱容器7；使基座底板9在X軸方向往復(fù)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；將均熱容器7內(nèi)的氣體向基座底板9上面放出的多個(gè)狹縫噴嘴4；容室13，可將基座底板9及均熱容器7容納于其內(nèi)部；及排氣用送風(fēng)機(jī)6，可將容室13的內(nèi)部氣體從設(shè)于基座底板下面位置的排氣口放出。
多個(gè)的狹縫噴嘴4，在基座底板的上面分別設(shè)有相對(duì)向的狹縫狀噴嘴孔。且，這些狹縫噴嘴4的各噴嘴孔的長(zhǎng)徑都是沿著Y軸，并以大致等間隔在X軸方向并排成一列。又，狹縫噴嘴4的條數(shù)最好設(shè)定為與基座底板上面所載置的玻璃基板1的面積等相對(duì)應(yīng)。
基座底板9上面，立有多個(gè)插腳3以點(diǎn)支撐的方式支撐基板1一面。這些插腳3最好可保持一種狀態(tài)，即保持在基板1與基座底板9之間形成可揷入搬送臂的前端11的間隙A的狀態(tài)。因此，在基座底板9的上面，只要在搬送臂的前端11的揷入路徑以外，設(shè)立未并排成一列的3支以上(含有3支)的插腳3即可。例如，在搬送臂的前端11為分叉成二股的形狀時(shí)，可將多個(gè)插腳配置成具有大于搬送臂的前端腳部寬度的行間隔的2行矩陣狀。
這些插腳3，雖如上述以點(diǎn)支撐方式支撐玻璃基板1，但實(shí)際上與玻璃基板1的接觸界面上占有面積。因此，干燥處理中，若以來自狹縫噴嘴9的氣體加熱插腳3，則基板1因來自與各插腳3的接觸界面的熱而被部分的加熱。因此要降低基板1的溫度不均，最好使各插腳3的前端與基板1的接觸面積較狹窄。此處，各插腳3的前端形狀是采用曲率半徑5mm以下的球面形狀。而且，各插腳3的前端最好是由熱擴(kuò)散率小的材料形成。
于此，應(yīng)以適當(dāng)?shù)牟牧献鳛楦鞑迥_3的前端的形成材料，使用圖2所示的熱擴(kuò)散率30mm2/s～0.1mm2/s的材料(鋁，玻璃，鐵氟龍(登録商標(biāo))，VESPEL(登録商標(biāo)))所形成的塊材進(jìn)行以下實(shí)驗(yàn)。準(zhǔn)備多片形成有未干燥的配向膜材料涂膜(膜厚約1.5μm)的玻璃基板(100mm×100mm×1.1mm)，如圖3所示，將各玻璃基板1配置于任一材料的塊材17上，并使其未干燥的配向膜材料涂膜18朝向上側(cè)。
但是，各材料的塊材17是與各玻璃基板1的配向膜材料涂膜18的形成范圍的相反側(cè)的范圍的一部份18A相接觸。在該狀態(tài)下，對(duì)各玻璃基板1的配向膜材料涂膜18吹大約100℃的溫風(fēng)，在以熱擴(kuò)散率0.47mm2/s以下的材料所形成的塊材上所載置的玻璃基板1的配向膜材料涂膜18上，不會(huì)產(chǎn)生干燥不均。本實(shí)施形態(tài)中，各插腳3的至少前端部是由熱擴(kuò)散率0.5mm2/s以下的材料形成。
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有臺(tái)8，其上形成有導(dǎo)引溝8b將基座底板9導(dǎo)引于X軸方向；及馬達(dá)10，其使基座底板9沿導(dǎo)引溝8b移動(dòng)。該處所用的臺(tái)8是大致水平的配置于基座底板下的位置，以在噴嘴4側(cè)與排氣用送風(fēng)機(jī)6的連結(jié)口側(cè)將容室13的內(nèi)部隔開，且形成多個(gè)的狹縫狀排氣口8a，是以Y軸方向?yàn)殚L(zhǎng)徑方向。因此，若使排氣用送風(fēng)機(jī)6旋轉(zhuǎn)，則從狹縫噴嘴4向下方放出的氣體，經(jīng)由該臺(tái)8的狹縫狀排氣口8a，被快速的回収至排氣用送風(fēng)機(jī)6側(cè)面。因此，可防止容室內(nèi)異物漂浮。
其次，說明使用此種干燥裝置的液晶顯示組件制造處理的配向膜形成處理。
液晶顯示組件制造處理包含配向膜形成處理、刷擦處理、密封材印刷處理、間隔粒散布處理、基板貼合處理、密封材燒成處理、液晶注入處理、液晶注入口密封處理、偏光板貼裝處理等，此處以圖1所示的使用干燥裝置的配向膜處理為重點(diǎn)進(jìn)行說明。
將在一面(以下稱電極面)上被6面配置有TFT(顯示區(qū)域?qū)?7時(shí))或彩色濾光層圖案的洗浄后的玻璃基板，送去進(jìn)行配向膜形處理后，如以下所示，對(duì)玻璃基板1的配向膜材料涂膜實(shí)行干燥處理。而且，此處使用將可溶性聚醯亞胺或醯胺酸溶解于1-甲基-2-pyrrolidone(NMP)或γ-butyrolactone(BL)而得到約5wt％的配向膜材料溶液。
首先，使供氣用的送風(fēng)機(jī)5開始旋轉(zhuǎn)，以此將氣體送至用于加熱的加熱器2。因此，加熱氣體被暫時(shí)蓄存于均熱容器7，再自各狹縫噴嘴4的前端以一樣的溫度(例如約60℃)被放出。
其間，于洗浄后的玻璃基板(720mm×930mm×0.7mm)的電極面，以苯胺印刷的方式涂布約1.5μm厚的配向膜材料溶液，由此而形成配向膜材料涂膜。而且，當(dāng)容室13的內(nèi)部溫度穩(wěn)定于適當(dāng)溫度(例如約55℃)后，打開容室的搬入口的閘門。然后，以使配向膜材料涂膜朝上側(cè)的方式，將玻璃基板載置于搬送臂11的前端，搬送至容室13內(nèi)的基座底板9上。
之后，使搬送臂11于Z軸方向移動(dòng)，以使搬送臂11的前端被容納于基座底板9上的插腳列之間。因此，以將基板1被自搬送臂11的前端換置于插腳群的前端的方式，使搬送臂11于X軸方向移動(dòng)，將搬送臂11的前端自插腳列之間拔出。接著，關(guān)閉容室的搬入口的閘門。
其后，使馬達(dá)10開始旋轉(zhuǎn)，由此使基座底板9以適當(dāng)?shù)乃俣?例如約100mm/s)于X軸方向往復(fù)移動(dòng)。此時(shí)的基座底板9的行程為與狹縫噴嘴4的配置間隔大致相等的距離。依此，可使溶劑自配向膜材料涂膜全體，均一且有效率的蒸發(fā)。因此，于燒成前的階段可防止配向膜材料涂膜的膜厚及膜物性不均。
再者，此時(shí)，若以使玻璃基板的表面附近的溫風(fēng)風(fēng)速達(dá)0.5m/s以上的方式，自狹縫噴嘴4放出溫風(fēng)，則含氣化溶劑的氣體將不會(huì)滯留于玻璃基板的表面附近，而可平順的向外部放出，因此可縮短干燥時(shí)間。
如此，配向膜材料涂膜的含有溶劑的約80％被蒸發(fā)，配向膜材料涂膜失去流動(dòng)性后，以使搬送臂11的前端揷入玻璃基板1與基座底板9的間隙A的方式，使搬送臂11于X軸方向移動(dòng)，再以將玻璃基板1自插腳3的前端換置于搬送臂11的前端的方式，使搬送臂11于Z軸方向移動(dòng)。依此，可將玻璃基板1自插腳前端平順的向上提。
這樣，不會(huì)對(duì)玻璃基板1施加過度的力，可將玻璃基板1自插腳前端向上提的原因在于與玻璃基板1的接觸面積狹小的各插腳3是與熱板的板相異，其與玻璃基板1之間幾乎不會(huì)產(chǎn)生靜電(剝離帶電)的故。因此，可防止玻璃基板1的破裂等缺陷產(chǎn)生。
而且，將基板1自基座底板9的插腳前端向上提后，直到隨后的對(duì)玻璃基板1的配向膜材料涂膜進(jìn)行的干燥處理開始為止，停止從供氣用送風(fēng)機(jī)5的送風(fēng)，即可以防止插腳3的加熱。
以上的干燥處理結(jié)束后，玻璃基板1以其原狀被搬送臂11自干燥爐搬送至紅外加熱爐。接著，實(shí)行對(duì)玻璃基板1的配向膜材料涂膜的燒成處理。即，于紅外加熱爐的內(nèi)部對(duì)玻璃基板1以適當(dāng)?shù)臏囟?例如約230℃)適當(dāng)?shù)臅r(shí)間(例如約20分)加熱，而得以燒成玻璃基板1上的配向膜材料涂膜。依此，于玻璃基板1上形成膜厚及膜物性均一的配向膜。
其后，將玻璃基板1從配向膜形燒成處理，依序被送去進(jìn)行刷擦處理、密封材印刷處理、間隔粒散布處理、基板貼合處理、密封材燒成處理、液晶注入處理、液晶注入口密封處理、偏光板貼裝處理等。由此，完成含有該玻璃基板1的液晶顯示組件。
依照以上的液晶顯示組件制造處理，在配向膜形成步驟中，由于可將具有一樣的膜物性的配向膜形成一樣的膜厚，則可防止液晶顯示組件的液晶分子配列的紊亂情況發(fā)生。因此，可得具良好顯示特性的液晶顯示組件。而且，由于可防止在使用熱板的配向膜形成步驟中容易發(fā)生的基板破裂情況，因此可提高液晶顯示組件制造處理的成品率。且，與使用熱板的情況相比，至少由于不需進(jìn)行以突起的插腳將基板頂起的處理，因此該部分可以更有效率。
這些效果與使用熱板的步驟的比較如圖10所示。(1)在使用本實(shí)施形態(tài)的干燥裝置的情況下，不會(huì)發(fā)生在使用熱板的情況中所產(chǎn)生的剝離帶電的情況。因此，與使用熱板的情況不同，幾乎不會(huì)發(fā)生玻璃基板的破裂。
(2)在使用熱板的情況下，為防止玻璃基板的發(fā)生破裂，必須以突起的插腳將玻璃基板緩慢向上提。相對(duì)的，在使用本實(shí)施形態(tài)的干燥裝置的情況下，則不需要進(jìn)行以突起的插腳將基板頂起的處理。
因此，在該部分，可使配向膜形燒成處理更有效率。例如，若使用熱板，則對(duì)720mm×930mm的玻璃基板的干燥處理(從搬入至搬出為止)需要100秒以上的時(shí)間，而使用本實(shí)施形態(tài)的干燥裝置，對(duì)720mm×930mm的玻璃基板的干燥處理所需要的時(shí)間可縮短為60秒以下。
(3)在使用熱板的情況下，玻璃基板的溫度有±2℃程度的不均，相對(duì)的在使用本實(shí)施形態(tài)的干燥裝置的情況下，則將玻璃基板的溫度的不均控制在±1℃左右。因此，可使配向膜材料涂膜均一的干燥。該效果，依以下的實(shí)驗(yàn)得以確認(rèn)。
使用具有以熱擴(kuò)散率約0.1mm2/s的VESPEL(登録商標(biāo))所形成的插腳3及以200mm的間隔并排的狹縫噴嘴4的干燥裝置，進(jìn)行以下的實(shí)驗(yàn)。在內(nèi)部溫度穩(wěn)定于約55℃的容室中，一面自各狹縫噴嘴4以0.5m/s～2m/s的速度放出約60℃的溫風(fēng)，一面在距離狹縫噴嘴4的前端約200mm的位置，使已涂布有配向膜材料溶液的玻璃基板1以100mm/s的速度往復(fù)移動(dòng)。此時(shí)的玻璃基板1的行程為200mm。
其結(jié)果，自將玻璃基板1投入容室后約25秒，完成配向膜材料涂膜的預(yù)干燥，自將玻璃基板1投入容室后約40秒后停止溫風(fēng)的放出及玻璃基板的往復(fù)移動(dòng)，然后觀察玻璃基板1的外觀及面內(nèi)溫度分布。其結(jié)果，確認(rèn)玻璃基板1未發(fā)生破裂等缺陷。而且，玻璃基板1的溫度不均被控制于±1.0℃的程度。但是，如圖4所示，玻璃基板1的1部的區(qū)域以外，可認(rèn)為玻璃基板1的溫度的不均是被控制于±0.5℃的程度。即，可以確認(rèn)配向膜材料膜的干燥不均的主要因素即控制玻璃基板1的溫度不均。
其后，以紅外加熱爐以約230℃將玻璃基板加熱20分鐘，使玻璃基板上的配向膜材料硬化。使用如此形成配向膜的玻璃基板制作LCD面板，并測(cè)定其預(yù)傾角。其結(jié)果，確認(rèn)與使用熱板形成配向膜的玻璃基板制作的LCD面板具有同程度的預(yù)傾角(約6°)。
接著，說明使用本實(shí)施形態(tài)的干燥裝置進(jìn)行干燥處理的最佳條件。此處，為獲得干燥處理的最佳條件，進(jìn)行以下的實(shí)驗(yàn)。
(1)實(shí)施例1為使干燥時(shí)間最佳化，如圖5所示，由來自熱板15的傳熱及吹風(fēng)機(jī)19的溫風(fēng)，分別使100mm×100mm×1.1mm的玻璃基板1上的配向膜材料膜干燥。且，此處，以使溫風(fēng)垂直吹至玻璃基板1的狀態(tài)，將吹風(fēng)機(jī)19水平往復(fù)移動(dòng)。
此處所用的配向膜材料是由聚醯亞胺骨架的主鏈及長(zhǎng)鏈烷基的側(cè)鏈所形成，使用依長(zhǎng)鏈烷基存在于配向膜表面而可呈現(xiàn)預(yù)傾角的材料。稀釋配向膜材料的溶劑為1-甲基-2-pyrrolidone(NMP)或γ-butyrolactone(BL)。
溶劑干燥后，依相同條件制作液晶單元，測(cè)定預(yù)傾角結(jié)果如圖6所示。此處，干燥時(shí)間的定義如下。使涂布于基板上的溶液干燥，溶劑蒸發(fā)時(shí)，引起膜厚減少，在膜面產(chǎn)生干涉圖紋。溶劑蒸發(fā)、膜厚均一后，干涉圖紋便消失，膜面呈現(xiàn)均勻的干涉色。自基板加熱開始至呈現(xiàn)均勻的干涉色為止的時(shí)間即測(cè)定為干燥時(shí)間。
熱板干燥是與干燥時(shí)間無關(guān)，都呈現(xiàn)大致一定的預(yù)傾角，相對(duì)的，溫風(fēng)干燥則根據(jù)干燥時(shí)間產(chǎn)生較大的預(yù)傾角的改變，干燥時(shí)間越短預(yù)傾角越小。
此處，研究溶劑組成對(duì)配向膜高分子造成的影響。將配向膜高分子分別溶解于NMP、BL，根據(jù)光散射強(qiáng)度的散射角度依存性求取分子尺寸。其結(jié)果表示于圖7?？芍贜MP溶液中高分子收縮。高分子若收縮則需考慮到對(duì)呈現(xiàn)預(yù)傾角有貢獻(xiàn)的側(cè)鏈會(huì)卷入主鎖之中。且，可知由NMP比率高的溶液所成膜的配向膜的預(yù)傾角降低。配向膜高分子伸長(zhǎng)時(shí)，與氣體的親和性高的側(cè)鏈偏存于膜表面，但配向膜高分子収縮時(shí)，對(duì)呈現(xiàn)預(yù)傾角有貢獻(xiàn)的側(cè)鏈會(huì)卷入主鎖，使存在于膜表面的量減少，其結(jié)果即造成預(yù)傾角降低。
溶劑干燥步驟中混合溶劑不會(huì)被均一的蒸發(fā)，蒸發(fā)速度則以BL比NMP快。因此，涂膜中配向膜高分子濃縮的同時(shí)混合溶劑組成也發(fā)生變化。溶劑干燥時(shí)的涂膜中的溶劑組成變化如下。
由于加熱，BL自配向膜表面蒸發(fā)。膜內(nèi)于深度方向產(chǎn)生溶劑的濃度分布，BL雖自基板側(cè)向表面擴(kuò)散，但若干燥時(shí)間短，則膜內(nèi)的擴(kuò)散速度會(huì)追不上相對(duì)的表面的蒸發(fā)速度，因此表面的不易蒸發(fā)的NMP的組成比會(huì)增加。且，由于溫風(fēng)干燥為了防止溶劑的滯留，而積極的以溶劑除去，因此使BL與NMP的蒸發(fā)速度差增大，從而增進(jìn)表面NMP的濃縮。所以，在NMP易于濃縮的干燥速度快的條件下，表面的高分子收縮，預(yù)傾角降低。
根據(jù)以上的結(jié)果，在與過去的熱板干燥方法同等的情況下，即預(yù)傾角的形成在20秒以上的干燥時(shí)間內(nèi)的溫度及風(fēng)速，為該配向膜材料的最佳溫風(fēng)干燥條件。其溫度為溫風(fēng)的吹出口溫度為70～90℃，基板上風(fēng)速為1.5～2.0m/s。
(2)實(shí)施例2依本實(shí)施形態(tài)的干燥裝置，將各溫度的氣體吹至玻璃基板，并觀察配向膜材料涂膜的外觀。其結(jié)果，在吹出30℃以下的氣體的情況下，配向膜材料涂膜的平坦性劣化。且，在吹出30℃以上的氣體的配向膜材料涂膜的平坦度，如圖8所示，隨氣體的溫度而變化。即，由于氣體溫度越高，配向膜材料溶液的流動(dòng)性越佳，因此平坦性提升。
配向膜溶液的溶劑一般為混合溶劑，在干燥時(shí)溶劑成分比會(huì)變化。此時(shí)，隨著時(shí)間，配向膜高分子與溶劑的親和性的變化、配向膜濃度增加而造成流動(dòng)性的降低，從而決定了最表面的配向膜高分子構(gòu)造。例如，將與配向膜的親和性較差的溶劑濃縮，分子收縮，其結(jié)果，作為使預(yù)傾角呈現(xiàn)的要素的高分子側(cè)鏈的表面濃度降低，使預(yù)傾角降低。
因此，在經(jīng)過由各溫度的氣體干燥處理后的玻璃基板上制作各單元，并測(cè)定其預(yù)傾角。其結(jié)果，如圖9所示，可確認(rèn)氣體溫度越高則預(yù)傾角越低。且，可確認(rèn)以100℃以上的氣體進(jìn)行干燥難以獲得適當(dāng)?shù)念A(yù)傾角。
根據(jù)以上的結(jié)果，本實(shí)施形態(tài)是采用約30℃～100℃作為自噴嘴供給的氣體的最佳溫度范圍。
且，本實(shí)施形態(tài)，雖使用狹縫噴嘴4以自均熱容器7放出氣體，但并不一定必須如此。例如圖11所示，以多個(gè)的貫通孔14a形成矩陣狀的板材14，取代狹縫噴嘴4，安裝于均熱裝置7也可。
以此種構(gòu)成中，若使用由直徑約5mm的貫通孔14a以20mm間隔形成的板材14，可對(duì)基板1全體吹附均一的氣體，因此使基板1于X軸方向往復(fù)移動(dòng)的必要性減小。因此，若不使基板1移動(dòng)，則除臺(tái)8外的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)造可省略，且可防止異物卷入配向膜材料涂膜。
且，本實(shí)施形態(tài)，雖自基板1的正面供給氣體，但并不一定必須如此。例如也可以自基板1的一端面?zhèn)裙┙o氣體。其如圖12所示，使1條狹縫噴嘴4以其噴嘴孔與基板1大致平行的方式，配置在基板1的一端面?zhèn)燃纯伞４饲闆r下，因?yàn)楠M縫噴嘴4只要1條即足夠，不需要均熱容器7。因此，可期使干燥裝置小型化。
但是，于此情況下，來自狹縫噴嘴4的氣體，因奪取溶劑的蒸發(fā)潛熱分的能量等理由，隨著沿基板1的兩面流動(dòng)而溫度漸漸降低。因此，為了減低配向膜材料涂膜的干燥不均，將隨著離開狹縫噴嘴4而與基板1的間隔漸漸變狹的頂板16配置于容室13內(nèi)較佳。
據(jù)此，由于來自狹縫噴嘴4的氣體的流速，隨著沿基板1流動(dòng)而漸漸加速，因此可控制配向膜材料涂膜的干燥速度的面內(nèi)不均，且有望降低配向膜材料涂膜的干燥不均。
且，本實(shí)施形態(tài)中，雖是以插腳使玻璃基板自基座底板頂起，但以插腳以外的支持部件使玻璃基板自基座底板被頂起也可。例如可在基座底板形成與玻璃基板成線接觸的凸部。
且，本實(shí)施形態(tài)中，雖使基座底板相對(duì)于氣體供給部(噴嘴)移動(dòng)，但亦可使氣體供給部(噴嘴)相對(duì)于基座底板移動(dòng)，或可使雙方移動(dòng)。
若為本發(fā)明，可得到具有良好顯示特性的液晶顯示組件。
上述本發(fā)明的各實(shí)施形態(tài)在不脫離本發(fā)明的范圍下可進(jìn)行各種變化、變形。本發(fā)明并不限定于上述各實(shí)施形態(tài)，本發(fā)明的各種變化、變形是限定于后述權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示組件的制造方法是具有第1基板及與前述第1基板相對(duì)向的第2基板的液晶顯示組件的制造方法，其特征為包含第1處理，在前述第1基板的靠前述第2基板一側(cè)的面上，涂布用以形成配向膜的溶液；及第2處理，是在前述第1基板的被涂布前述溶液的面?zhèn)龋纬蓺饬鳌?br> 2.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示組件的制造方法，其中前述第2處理是在前述第1基板的被涂布前述溶液的面?zhèn)龋試娮旃┙o前述氣體，并使前述噴嘴與前述第1基板相對(duì)的移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示組件的制造方法，其中前述第2處理是在前述第1基板的被涂布前述溶液的面?zhèn)鹊南喾磦?cè)，在形成有空間的狀態(tài)下，引起前述氣流。
4.如權(quán)利要求2所述的液晶顯示組件的制造方法，其中前述第2處理是在前述第1基板的被涂布前述溶液的面?zhèn)鹊南喾磦?cè)，在形成有空間的狀態(tài)下，引起前述氣流。
5.如權(quán)利要求3所述的液晶顯示組件的制造方法，其中前述第2處理是在前述第1基板的被涂布前述溶液的面?zhèn)鹊南喾磦?cè)的面內(nèi)的多個(gè)位置，支持前述第1基板。
6.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示組件的制造方法，其中前述第2處理是加熱前述氣體。
7.一種干燥裝置，是使基板的一方的面上所涂布的用以形成配向膜的溶液干燥的干燥裝置，其特征為具有氣流形成裝置，其是在前述基板的被涂布前述溶液的面?zhèn)?，形成氣流?br> 8.如權(quán)利要求7所述的干燥裝置，其中具備支持裝置，其是在基板的被涂布前述溶液的面的相反側(cè)的面內(nèi)的多個(gè)位置，支持前述基板，以使前述基板的被涂布前述溶液的面的相反側(cè)的面?zhèn)刃纬煽臻g；及臂，其是揷入前述空間，自前述支持裝置抬起前述基板。
9.如權(quán)利要求7所述的干燥裝置，其中前述氣流形成裝置具備噴嘴，是對(duì)前述基板的被涂布前述溶液的面，供給前述氣體；而該干燥裝置具有驅(qū)動(dòng)裝置，是使前述噴嘴與前述支持裝置相對(duì)的移動(dòng)。
10.如權(quán)利要求7所述的干燥裝置，其中具有加熱裝置，是對(duì)前述氣體加熱。
全文摘要
本發(fā)明是在用于液晶顯示組件的基板上形成配向膜的步驟中,在基板的一面上形成用于成為配向膜的涂膜,在該涂膜的形成面以噴嘴形成氣流。因此,可在液晶顯示組件用基板上,形成良好的配向膜。
文檔編號(hào)F26B3/06GK1423159SQ0213220
公開日2003年6月11日 申請(qǐng)日期2002年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月30日
發(fā)明者中野敬子, 今山寬隆, 松田茂樹, 巖田敏郎, 山田將弘 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立制作所