專利名稱：空氣凈化方法和其所采用的空氣凈化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用水清洗空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)而凈化空氣的空氣凈化方法，以及用于該方法的裝置。更具體地說，本發(fā)明涉及給半導(dǎo)體，液晶裝置的制造工廠、制藥工廠、生命科學(xué)相關(guān)設(shè)備等的凈化室提供的空氣的空氣凈化方法和其所采用的空氣凈化裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體，液晶裝置的制造工廠、制藥工廠、生命科學(xué)相關(guān)設(shè)備等中，為了提高產(chǎn)品合格率或確保質(zhì)量，最好，不但去除過去的細(xì)微顆粒狀的污染物質(zhì)，而且還去除氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)。作為這樣的化學(xué)污染物質(zhì)，例舉有，比如，鈉、鉀、鈣、硼等的無機(jī)金屬元素；氟離子、氯化物離子、硝酸離子、亞硝酸離子、硫酸離子、亞硫酸離子等的陽離子類；氨離子等的陰離子類型等。過去的細(xì)微顆粒狀的污染物質(zhì)可通過ULPA過濾器等的集塵過濾器去除，但是，這些化學(xué)污染物質(zhì)無法通過ULPA過濾器等去除。
由此，在過去，空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)通過采用稱為所謂的“水噴淋”的水滴的噴淋方法，或采用可以吸附除去化學(xué)成分的化學(xué)過濾器的方法去除。在這里，采用前者的水噴淋器的方法為通過水滴的噴霧，去除具有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣的方法。
但是，在前者的采用水噴淋器的方法中，由于被處理空氣與水的接觸效率差，故化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率較低。由此，具有下述的問題，即，由水噴淋裝置形成的加濕機(jī)構(gòu)的長度也必須要求達(dá)到數(shù)m，要求較寬大的設(shè)置空間，并且壓力損失也增加。另外，作為水噴淋器的處理水通常采用高價(jià)的脫離子水(DIW)，但是，由于需要大量的處理水量，故具有成本增加的問題。另外，為了降低成本，通常，DIW循環(huán)使用，以便降低成本，但是，具有暫時(shí)吸收的化學(xué)污染物質(zhì)容易產(chǎn)生再次擴(kuò)散的問題。此外，采用后者的化學(xué)過濾器的方法具有下述問題，即，由于化學(xué)過濾器本身的價(jià)格較高，且吸附能力是有壽命的，故成本增加。
于是，本發(fā)明的目的在于提供一種空氣處理方法，通過該空氣處理方法，空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率高，可降低成本，另外，本發(fā)明的還一目的在于提供一種空氣凈化裝置，該空氣凈化裝置整體緊湊，壓力損失小，能夠?qū)崿F(xiàn)低成本處理。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述的實(shí)際情況，本發(fā)明進(jìn)行了深入的分析，其結(jié)果是，發(fā)現(xiàn)在加濕機(jī)構(gòu)或冷凝機(jī)構(gòu)中的一者，或兩者采用斜式蜂窩，如果從該斜式蜂窩的前面開口部送入空氣，并且從頂面開口部供給水，則送入到斜式蜂窩的空氣與所供給的水有效地接觸，在加濕機(jī)構(gòu)中可有效地提高空氣中的濕度，并且在冷凝機(jī)構(gòu)中，將氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)有效地獲取到冷凝水中，將其去除，由此完成了本發(fā)明。
即，本發(fā)明(1)提供一種空氣凈化方法，該空氣凈化方法具有加濕步驟，在該加濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩用于加濕機(jī)構(gòu)，從該斜式蜂窩的前面開口部送入具有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣，從頂面開口部供給水，由此，將該空氣加濕到規(guī)定濕度，并且將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的至少一部分獲取到過量的水分中，從該空氣中將其去除；本發(fā)明(2)提供一種空氣凈化方法，該空氣凈化方法具有除濕步驟，在該除濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩用于冷凝機(jī)構(gòu)，從該斜式蜂窩的前面開口部送入具有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣，從頂面開口部供給水，由此，將該空氣除濕到規(guī)定濕度，并且將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中，將其去除；另外，本發(fā)明(3)提供一種空氣凈化方法，該空氣凈化方法具有加濕步驟和除濕步驟，在該加濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩用于加濕機(jī)構(gòu)，從該斜式蜂窩的前面開口部送入具有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣，從頂面開口部供給水，由此將該空氣加濕到規(guī)定濕度，并且將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到多余的水分中，從該空氣中將其去除；在該除濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置且比前述加濕步驟的溫度更低的斜式蜂窩用于冷凝機(jī)構(gòu)，從該后段斜式蜂窩的前面開口部送入在上述加濕步驟被加濕的空氣，從頂面開口部供給水，由此，對已加濕的空氣進(jìn)行除濕，將未通過加濕步驟去除而殘留的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中并將其去除；此外，本發(fā)明(4)提供一種空氣凈化方法，該空氣凈化方法具有加濕步驟和除濕步驟，在該加濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩用于加濕機(jī)構(gòu)，從該斜式蜂窩的前面開口部送入具有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣，從頂面開口部供給水，由此，將該空氣加濕到規(guī)定濕度，并且將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到過量的水分中，從該空氣中將其去除；在該除濕步驟中，通過冷凝機(jī)構(gòu)，將通過上述加濕步驟加濕的空氣除濕到規(guī)定的濕度，將未通過加濕步驟去除而殘留的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中，將其去除；還有，本發(fā)明(5)提供一種空氣凈化方法，該空氣凈化方法具有加濕步驟和除濕步驟，在該加濕步驟中，通過加濕機(jī)構(gòu)將具有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣加濕到規(guī)定的濕度，將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到多余的水分中，從該空氣中將其去除；在該除濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置且比上述加濕步驟的溫度更低的斜式蜂窩用于冷凝機(jī)構(gòu)，從該斜式蜂窩的前面開口部送入通過上述加濕步驟加濕的空氣，從頂面開口部供給水，由此，將該已加濕的空氣除濕到規(guī)定濕度，將未通過加濕步驟去除而殘留的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中，將其去除；另外，本發(fā)明(6)提供一種空氣凈化方法，該空氣凈化方法進(jìn)行如下的加濕步驟，即，從前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩的前面開口部送入空氣，同時(shí)從頂面開口部供給水，將上述斜式蜂窩中的前段部作為將空氣加濕到規(guī)定的濕度并且獲得過量的水分的加濕部，并且將上述斜式蜂窩中的后段部作為將空氣除濕到規(guī)定的濕度并且獲得冷凝水的冷凝部，由此，通過上述加濕部對具有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣進(jìn)行加濕，同時(shí)將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到上述過量的水分中，由此從該空氣中將其去除；接著該空氣凈化方進(jìn)行如下的除濕步驟，即，通過上述除濕部將通過上述加濕步驟加濕的空氣除濕，將未通過加濕部去除而殘留的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)獲取到上述冷凝水中，將其去除。
另外，本發(fā)明(7)提供一種空氣凈化裝置，該空氣凈化裝置包括加濕部和冷凝部，該加濕部包括第1空氣送入口，第1供水機(jī)構(gòu)，通過由上述第1供水機(jī)構(gòu)供給的水加濕從上述第1空氣送入口送入的空氣的加濕機(jī)構(gòu)，排出該被加濕的空氣的第1空氣排出口，將滯留于系統(tǒng)內(nèi)的水排出到系統(tǒng)之外的第1水排出機(jī)構(gòu)；該冷凝部包括連接于該第1空氣排出口的第2空氣送入口，第2供水機(jī)構(gòu)，通過由上述第2供水機(jī)構(gòu)供給的水冷凝從上述第2空氣送入口送入的空氣中的水分的冷凝機(jī)構(gòu)，排出該冷凝后的空氣的第2空氣排出口，將在系統(tǒng)內(nèi)已冷凝的水排到系統(tǒng)之外的第2水排出機(jī)構(gòu)，在上述加濕機(jī)構(gòu)和上述冷凝機(jī)構(gòu)中設(shè)有前后兩面和上下兩面開口的斜式蜂窩，該斜式蜂窩的前面分別朝向上述第1空氣送入口和上述第2空氣送入口側(cè)，并且被送入的空氣通過該斜式蜂窩，另外，在該斜式蜂窩的上方，設(shè)置有上述第1供水機(jī)構(gòu)和上述第2供水機(jī)構(gòu)；另外，本發(fā)明(8)提供一種包括加濕部的空氣凈化裝置，該加濕部具有第1空氣送入口，第1供水機(jī)構(gòu)，通過由上述第1供水機(jī)構(gòu)供給的水加濕從上述第1空氣送入口送入的空氣的加濕機(jī)構(gòu)，排出該被加濕的空氣的第1空氣排出口，將滯留于系統(tǒng)內(nèi)的水排出到系統(tǒng)之外的第1水排出機(jī)構(gòu)，在上述加濕機(jī)構(gòu)中設(shè)有前后兩面和上下兩面開口的斜式蜂窩，該斜式蜂窩的前面朝向上述第1空氣送入口側(cè)，并且被送入的空氣通過該斜式蜂窩，另外，在該斜式蜂窩的上方設(shè)置上述第1供水機(jī)構(gòu)；此外，本發(fā)明(9)提供一種包括冷凝部的空氣凈化裝置，該冷凝部包括第2空氣送入口，第2供水機(jī)構(gòu)，通過由第2供水機(jī)構(gòu)供給的水冷凝從上述第2空氣送入口送入的空氣中的水分的冷凝機(jī)構(gòu)，排出冷凝后的空氣的第2空氣排出口，將在系統(tǒng)內(nèi)已冷凝的水排到系統(tǒng)之外的第2水排出機(jī)構(gòu)，在上述冷凝機(jī)構(gòu)中設(shè)有前后兩面和上下兩面開口的斜式蜂窩，該斜式蜂窩的前面朝向上述第2空氣送入口側(cè)，并且已送入的空氣通過該斜式蜂窩，另外，在該斜式蜂窩的上方設(shè)置上述第2供水機(jī)構(gòu)。


圖1為說明本發(fā)明的空氣凈化方法所采用的斜式蜂窩的說明圖；圖2為表示本發(fā)明第1實(shí)施例的空氣凈化裝置的概要的模式圖。
具體實(shí)施例方式
下面說明作為本發(fā)明的第1項(xiàng)發(fā)明的空氣凈化方法。本發(fā)明中的加濕機(jī)構(gòu)是指，具有向被處理空氣供水的供水機(jī)構(gòu)，以及回收適當(dāng)水分的回收機(jī)構(gòu)或溫度調(diào)整機(jī)構(gòu)，由此，將被處理空氣加濕到規(guī)定濕度，并且獲得過量的水分的機(jī)構(gòu)。該加濕機(jī)構(gòu)加濕該被處理空氣，同時(shí)將包含于被處理空氣中的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)中的至少一部分獲取到該過量的水分中，并將其去除。
另外，冷凝機(jī)構(gòu)是指，具有可與被處理空氣接觸的低溫部，以及適當(dāng)水分的回收機(jī)構(gòu)，由此，將被處理空氣除濕到規(guī)定濕度，同時(shí)獲得在除濕時(shí)產(chǎn)生的冷凝水的機(jī)構(gòu)。該冷凝機(jī)構(gòu)盡可能地將被處理空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)，或未通過加濕機(jī)構(gòu)去除的化學(xué)污染物質(zhì)獲取到在除濕時(shí)產(chǎn)生的冷凝水中，并將其去除。
在本發(fā)明中，上述加濕機(jī)構(gòu)或者上述冷凝機(jī)構(gòu)中的一者或兩者采用了前后兩面和上下兩面均開口而設(shè)置的斜式蜂窩。下面參照圖1說明該斜式蜂窩。在這里，斜式蜂窩1是指具有朝向一個(gè)方向傳波的波形形狀的波形片2，3(以下，也可以稱為“波紋狀片”。)多層層疊而呈蜂窩形狀的斜式蜂窩，該斜式蜂窩為按照下述方式設(shè)置的蜂窩狀體，該方式為所層疊的波紋狀片2，3按照相鄰接的片之間的波的傳播方向傾斜交叉的方式層疊，并且每隔一張的片的波的傳播方向分別基本為同一方向。
該斜式蜂窩1是通過切斷與平行于波形片2，3的面相垂直的4個(gè)面101～104形成長方體，并且該切斷面不與波紋狀片的波的傳播方向相平行，并且也不與其相垂直的時(shí)候，如果以切斷面中的1個(gè)面104為底面，且分別以波紋狀片的最外層105，106為左右面放置該長方體，則在作為切斷面的前后兩面102，103和上下兩面101，104的4個(gè)面中，全部的蜂窩腔室開口，左右面105，106被波紋狀片封閉的結(jié)構(gòu)。另外，在該切斷面中的，比如前后兩面102，103中，沿斜上方向延伸的腔室和沿斜下方向延伸的腔室相鄰接而形成。相對從沿傾斜方向延伸的腔室的前后兩面看時(shí)的空氣的流入、流出方向(水平方向)的傾斜角度(圖中的標(biāo)號X)通常在15～45度的范圍內(nèi)，最好在25～35度的范圍內(nèi)。這是因?yàn)椋谏鲜鰞A斜角度的范圍內(nèi)時(shí)，下流速度在適合的范圍內(nèi)，接觸效率提高。
在上述斜式蜂窩1中，層疊的相鄰的波紋狀片之間的波的傳播方向相互交叉的角度(圖中的標(biāo)號Y)通常在30～90度的范圍內(nèi)，最好在50～70度的范圍內(nèi)。這是因?yàn)?，如果層疊波紋狀片使相互交叉的角度在上述角度范圍內(nèi)，則如上所述那樣，傾斜角度(X)在上述15～45度的范圍內(nèi)時(shí)，由于被處理空氣和水與蜂窩實(shí)際接觸的面積增加，故被處理空氣與水之間的接觸，即，加濕機(jī)構(gòu)中的被處理空氣的加濕的效率增加，另外，冷凝機(jī)構(gòu)中的通過被處理空氣中的水分的冷凝的除濕的效率也增加。即，如后所述的那樣，在本發(fā)明中，將被處理空氣從斜式蜂窩1的前面開口部103送入，另外，由于水從頂面開口部101，借助如供水管4供給，滲透于斜式蜂窩的波紋狀片，慢慢地朝向下方流下，故被處理空氣的通氣方向和滲透壁面的水的流下方向保持適合的角度，接觸效率增加。
表示本發(fā)明所采用的斜式蜂窩中的腔室的高度，即，波形的波峰和波谷之間的尺寸的腔室的波峰高度尺寸通常為2.0～8.0mm，最好是3.0～5.0mm。如果腔室尺寸小于2.0mm，則難于制造，壓力損失增加，故不好。另外，如果腔室尺寸超過8.0mm，則氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率降低，因此不好。
斜式蜂窩的在波紋狀片狀態(tài)中的腔室的寬度，即，腔室的間距通常為2.5～12.0mm，最好為5～10.0mm。另外，該斜式蜂窩的前面開口部和后面開口部之間的尺寸，即，斜式蜂窩的厚度(t)雖然沒有特別地進(jìn)行限定，但是通常為100～1000mm，最好是200～800mm。另外，在如梅雨季節(jié)那樣濕度高的時(shí)候，在通過1個(gè)蜂窩進(jìn)行化學(xué)污染物質(zhì)的去除和除濕的情況下，為了能夠充分地進(jìn)行除濕，最好采用800mm程度的較大的厚度。如果該厚度小于100mm，則由于NO2-等的去除效率降低，故不好，如果厚度大于1000mm，則化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率無法提高到上述程度以上，壓力損失增加，故也不好。另外，在本發(fā)明中，當(dāng)采用多個(gè)斜式蜂窩的時(shí)候，斜式蜂窩的厚度只要其總厚度在上述范圍內(nèi)即可。比如，在采用厚度為300mm的斜式蜂窩的時(shí)候，也可將3個(gè)厚度為100mm的斜式蜂窩沿厚度方向重合，使其總厚度為300mm。此外，用作過去的加濕機(jī)構(gòu)的水噴淋器需要裝置的長度為數(shù)m程度，但是如果將本發(fā)明的斜式蜂窩用作加濕機(jī)構(gòu)，由于該斜式蜂窩本身的厚度最多達(dá)到400mm程度，故可大幅度地減小裝置的設(shè)置空間。這樣大幅度的空間的節(jié)省滿足半導(dǎo)體制造工廠等的合理化的要求。另外，與過去的水噴淋器的情況相比較，用于循環(huán)水的泵的動力進(jìn)一步減少，還可大幅度地實(shí)現(xiàn)節(jié)能。
從以較大程度采用元件的表面積，提高滲透于元件中而流下的水和空氣的接觸面積的方面來說，最好是構(gòu)成斜式蜂窩的片狀部件采用在表面上具有凹凸部，內(nèi)部為多孔質(zhì)的材料。作為這樣的片狀部件，例舉有比如，具有三維網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，具有規(guī)定的纖維間空隙率的部件，具體來說，可采用無機(jī)纖維基材，該無機(jī)纖維基材包含選自從氧化鋁，二氧化硅和二氧化鈦形成的組中的1種或2種以上的填充材料或粘結(jié)材料。其中，最好采用摻有二氧化鈦的材料，以便提高酸性的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率。另外，片狀部件通常包含60～93重量％的填充材料或粘結(jié)材料，7～40重量％的纖維基材，最好是包含70～88％重量的填充材料或粘結(jié)材料，12～30重量％的纖維基材。如果上述片狀部件的配合比在該范圍內(nèi)，則由于片狀部件的水滲透性和強(qiáng)度較高，故最好在該范圍內(nèi)。另外，該片狀部件可通過公知的方法制作，比如，將通過玻璃纖維、陶瓷纖維，或氧化鋁纖維制作的紙浸泡于混合有氧化鋁溶膠等的粘結(jié)材料和氧化鋁水和物等的填充材料的漿液中，然后，對其進(jìn)行干燥，進(jìn)行波紋加工，接著，進(jìn)行干燥處理和熱處理，去除水分和有機(jī)成分。在除了氧化鋁以外，還具有二氧化硅或二氧化鈦的情況下，比如，二氧化硅及二氧化鈦的含量相對100重量份的氧化鋁，分別通常為5～40重量份。
另外，上述粘結(jié)材料或填充材料中含有的無機(jī)纖維基材的纖維間空隙率通常在65～85％的范圍內(nèi)，最好在75～82％的范圍內(nèi)。通過使上述纖維間空隙率在該范圍內(nèi)，可實(shí)現(xiàn)更好的滲透性，可提高空氣和水的接觸效率。另外，在上述粘結(jié)材料或填充材料中包括的無機(jī)纖維基材中，該無機(jī)纖維基材的厚度，即，壁的厚度通常在200～1000μm的范圍內(nèi)，最好在300～800μm的范圍內(nèi)。如果該無機(jī)纖維基材具有上述空隙率和上述厚度，則液氣比和水的滲透速度在適合的范圍內(nèi)，水與空氣的接觸效率提高，還獲得充分的強(qiáng)度。
作為將上述無機(jī)纖維基材形成為波紋狀片的方法，例舉有采用使平面狀片通過沿徑向起伏的波形的凹凸部形成于表面的多個(gè)齒輪之間的公知的波紋加工機(jī)的方法。作為采用已獲得的波紋狀片，形成上述斜式蜂窩的方法，例舉有下述方法，首先，相對縱100mm(成形后的厚度)×橫3000mm的矩形的切斷樣板，使波的傳播方向相對矩形樣板的一邊在15～45度的范圍內(nèi)的方式設(shè)置該波紋狀片，并將其切斷制作矩形的波紋狀片，接著，按照每隔一張波的傳播方向斜交的方式設(shè)置已獲得的矩形的波紋狀片，將其粘接，或在不將其粘接的情況下，將它們疊置。另外，在象這樣制作的場合，上述切斷樣板的縱向長度等于1個(gè)斜式蜂窩的厚度。由此，在如加濕機(jī)構(gòu)或冷凝機(jī)構(gòu)所需的斜式蜂窩的厚度，即，斜式蜂窩的前面開口部與后面開口部之間的尺寸為300mm的時(shí)候，可沿厚度方向重疊3個(gè)通過縱向尺寸為100mm的切斷樣板制作的厚度為100mm的斜式蜂窩。另外，象這樣多個(gè)重疊使用的時(shí)候，斜式蜂窩之間既可粘接，也可不粘接。在不粘接的時(shí)候，可僅僅按照重合方式設(shè)置多個(gè)斜式蜂窩。
在本發(fā)明中，在上述斜式蜂窩用于上述加濕機(jī)構(gòu)或上述冷凝機(jī)構(gòu)的一者或兩者的時(shí)候，斜式蜂窩按照前后兩面和上下兩面開口的方式設(shè)置。通過這樣設(shè)置斜式蜂窩，可從斜式蜂窩的前面開口部送入被處理空氣，同時(shí)可從頂面開口部供給水，被處理空氣與水的接觸是按照被處理空氣的通氣方向與水的流落方向相垂直的方式實(shí)現(xiàn)的。由此，如果作為上述加濕機(jī)構(gòu)或上述冷凝機(jī)構(gòu)，采用斜式蜂窩，則被處理空氣與水的接觸效率高于過去的采用水噴淋器的加濕機(jī)構(gòu)或采用冷卻器的冷凝機(jī)構(gòu)的場合，可有效地去除被處理空氣中包含的化學(xué)污染物質(zhì)，可大幅度地縮小裝置的長度。
下面參照圖2，說明第2項(xiàng)發(fā)明的第1實(shí)施例的空氣凈化裝置。在該空氣凈化裝置40中，在加濕機(jī)構(gòu)13和冷凝機(jī)構(gòu)23上設(shè)置前后兩面和上下兩面開口的斜式蜂窩1，該斜式蜂窩1的前面分別朝向第1空氣送入口11側(cè)和第2空氣送入口21側(cè)，且已送入的空氣通過斜式蜂窩1，另外，在斜式蜂窩1的頂面上，分別設(shè)置有第1供水機(jī)構(gòu)12和第2供水機(jī)構(gòu)22。第1空氣排出口14和第2空氣送入口21之間通過管等連接。
第1供水機(jī)構(gòu)12為從頂面，將水供給作為加濕機(jī)構(gòu)13而設(shè)置于加濕部10中的前層斜式蜂窩1的頂面開口部101的機(jī)構(gòu)，另外，第2供水機(jī)構(gòu)22為從頂面，將水供給作為冷凝機(jī)構(gòu)23而設(shè)置于冷凝部20中的斜式蜂窩1的頂面開口部101的機(jī)構(gòu)。作為第1供水機(jī)構(gòu)12或第2供水機(jī)構(gòu)22，比如，例舉圖1所示的那樣的供水管4。供給加濕部10的水通過作為加濕機(jī)構(gòu)13而設(shè)置的前段斜式蜂窩1，然后，從第1水排出機(jī)構(gòu)15排出到加熱部10的系統(tǒng)之外，另外，供給冷凝部20的水通過作為冷凝機(jī)構(gòu)23而設(shè)置的后段斜式蜂窩1，然后，從第2水排出機(jī)構(gòu)25排出到冷凝部20的系統(tǒng)之外。
在第1實(shí)施例中，通過這樣設(shè)置斜式蜂窩，從第1空氣送入口11或第2空氣送入口21送入的被處理空氣的通氣方向，與通過第1供水機(jī)構(gòu)12或第2供水機(jī)構(gòu)22供給的水301或401的流落方向，即，被處理空氣與水的接觸方向按照規(guī)定角度交叉。由此，如果作為加濕機(jī)構(gòu)和冷凝機(jī)構(gòu)采用斜式蜂窩，則被處理空氣與水的接觸效率高于過去的采用水噴淋器的加濕機(jī)構(gòu)或采用冷凝器的冷凝機(jī)構(gòu)，可有效地去除被處理空氣中包含的化學(xué)污染物質(zhì)，可大幅度地縮小裝置中的加濕機(jī)構(gòu)和冷凝機(jī)構(gòu)部分的長度。
在第1實(shí)施例中，具有第1水排出機(jī)構(gòu)15的水通過配管15b排出，通過第1循環(huán)泵16循環(huán)地供給加濕機(jī)構(gòu)13的情況，與從循環(huán)水存留部32的堰部15a實(shí)現(xiàn)溢流的情況。從節(jié)省資源，低成本，化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率的管理等的方面來說，用第1循環(huán)泵16連接配管15b和第1供水機(jī)構(gòu)12，將在加濕部10中產(chǎn)生的剩余水302再次用作供給第1供水機(jī)構(gòu)12的水301。另外，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定循環(huán)水存留部32的容量，連續(xù)地或間歇地將水302溢流到系統(tǒng)之外，并且添加清潔的補(bǔ)充水進(jìn)行稀釋，由此，可將供給到加濕機(jī)構(gòu)13的循環(huán)水中的污染物質(zhì)的濃度控制在規(guī)定值以下。通過第2水排出機(jī)構(gòu)25的水通過配管25b排出，借助第2循環(huán)泵26循環(huán)地供給冷凝機(jī)構(gòu)23的情況，與從循環(huán)水存留部33的堰部25a溢流的情況，此方面與上述加濕部相同。即，同樣在冷凝部20中，最好用第2循環(huán)泵26連接配管25b與第2供水機(jī)構(gòu)22，再次將在冷凝部20產(chǎn)生的冷凝水402用作供給第2供水機(jī)構(gòu)22的水401，使循環(huán)水存留部33中的水401溢流或補(bǔ)償清潔水的方面與前述的相同。另外，也可為供給加濕部10或冷凝部20的水不循環(huán)地使用，通過一次流過，實(shí)現(xiàn)溢流的使用方式。
另外，加濕部10和冷凝部20最好在它們之間的被處理空氣可導(dǎo)通的范圍內(nèi)，設(shè)置適當(dāng)?shù)姆指舨?0等，由此，分別在加濕部10和冷凝部20中循環(huán)的水不混合，而成獨(dú)立的系統(tǒng)。通過采用這樣的水系獨(dú)立的結(jié)構(gòu)，即使在比如，分別給加濕部10和冷凝部20供給相同質(zhì)量的水的情況下，排水中的化學(xué)污染物質(zhì)的污染程度不同，故污染程度較高的系統(tǒng)的水不會污染其它系統(tǒng)的水。另外，由于采用了這樣的水系獨(dú)立的類型，故即使在供給加濕部10和冷凝部20的水質(zhì)不同的類型的情況下，仍可循環(huán)地利用排水。
作為通過第1供水機(jī)構(gòu)12而供給加濕部10的水301，例舉有比如，脫離子水、自來水、工業(yè)用水等。其中，從化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率的方面來說，最好采用作為盡可能不包含雜質(zhì)的水的脫離子水，另外，從成本方面來說，最好采用自來水或工業(yè)用水。另外，在第1實(shí)施例中，由于通過加濕部10處理的空氣還通過冷凝部20處理，故從成本方面來說，最好是供給第1供水機(jī)構(gòu)12的水301采用自來水或工業(yè)用水。由于作為通過第2供水機(jī)構(gòu)22供給冷凝部20的水401，必須充分地去除化學(xué)污染物質(zhì)，故例舉有盡可能不包含雜質(zhì)的水，比如脫離子水。不特別地限定該脫離子水，可采用在對自來水或工業(yè)用水進(jìn)行前處理后，通過離子交換樹脂而處理的處理水。
即，從化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率的方面來說，最好第1供水機(jī)構(gòu)和第2供水機(jī)構(gòu)為脫離子供水機(jī)構(gòu)。另外，從成本方面來說，最好第1供水機(jī)構(gòu)為自來水供給機(jī)構(gòu)或工業(yè)用水供給機(jī)構(gòu)，上述第2供水機(jī)構(gòu)為脫離子水供給機(jī)構(gòu)。供給第1供水機(jī)構(gòu)12或第2供水機(jī)構(gòu)22的水301，401的溫度，水的供給量針對被處理空氣的通氣量等，按照加濕部10和冷凝部20的溫度、濕度為所需值的方式適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。但是，由于絕對濕度在加濕部10內(nèi)的濕度常常高于冷凝部20內(nèi)的濕度，故供給第1供水機(jī)構(gòu)12的水301的水溫高于供給第2供水機(jī)構(gòu)22的水401的水溫。
在第1實(shí)施例中，如圖2所示的那樣，根據(jù)需要，也可在上述第2空氣排出口后面進(jìn)一步設(shè)置溫度和濕度的調(diào)整機(jī)構(gòu)30或ULPA5。這樣設(shè)置溫度和濕度的調(diào)整機(jī)構(gòu)30，將通過該機(jī)構(gòu)處理的空氣的排出部與凈化室等連通，由此可形成比如凈化室所需的溫度、濕度。作為溫度和濕度的調(diào)整機(jī)構(gòu)，例舉有比如，加熱器或熱水等。在采用加熱器的時(shí)候，通過提高空氣溫度的處理，相對濕度降低。另外，在采用熱水的時(shí)候，可使熱水與處理后的空氣間接或直接地接觸即可。比如，可向熱交換器60等供給熱水，以便使其間接地接觸。在間接地接觸熱水的時(shí)候，處理后的空氣的相對濕度降低，而在直接接觸的時(shí)候，可根據(jù)條件的設(shè)定情況，使處理后的空氣的相對濕度為降低，上升的任何一種。
下面，說明第1實(shí)施例的空氣凈化裝置的空氣的凈化作用。首先，被處理空氣通過管借助吹風(fēng)機(jī)5等送入到加濕部10。在該加濕部10中，被處理空氣與下述的腔室的表面接觸并加熱到規(guī)定的溫度，在該腔室中，從作為加濕機(jī)構(gòu)13的前段斜式蜂窩1的頂部供給水301，該水慢慢地在斜式蜂窩1中流下，使腔室整體形成滲透壁結(jié)構(gòu)。此時(shí)，被處理空氣通過從表面蒸發(fā)的水分加濕，另一方面，被處理空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分吸收于水膜的水中。此時(shí)，將化學(xué)污染物質(zhì)從被處理空氣中去除某種程度。在浸透水從前段斜式蜂窩1流下的地方形成剩余水302，通過第1水排出機(jī)構(gòu)15從加濕部10的系統(tǒng)內(nèi)部排出。
將經(jīng)過加濕部10而加濕的被處理空氣送入到冷凝部20。在冷凝部20中，被處理空氣由通過第2供水機(jī)構(gòu)22供給并且通過熱交換器60等使其溫度低于加濕部10內(nèi)的溫度的水形成，通過形成于后段斜式蜂窩1的腔室的表面上的水膜而冷卻。此時(shí)，空氣中的水分冷凝，將在空氣中，在加濕部10的內(nèi)部未去除而殘留的化學(xué)污染物質(zhì)基本獲取到冷凝水402中，將其與供給水一起回收，其結(jié)果是，從被處理空氣中基本去除化學(xué)污染物質(zhì)。上述加濕部10內(nèi)的水的溫度可高于冷凝部20內(nèi)的水的溫度，可按照獲得所需的濕度或溫度的空氣的方式進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整。在冷凝部20的冷凝步驟結(jié)束后，照原樣或通過溫度和濕度的調(diào)整機(jī)構(gòu)30適當(dāng)?shù)卣{(diào)整濕度或溫度，將其用作用于凈化室等的凈化空氣。
另外，由于在凈化室的內(nèi)部，因?yàn)橥ǔ０凑諟囟仍?3℃前后，相對濕度在40～50％的范圍內(nèi)的程度調(diào)整，所以當(dāng)調(diào)整凈化室用的凈化空氣時(shí)，加濕步驟和冷凝步驟的條件按照下述方式設(shè)定，即，在將上述冷凝步驟后獲得的凈化空氣適當(dāng)加熱到23℃左右時(shí)，設(shè)定成形成上述范圍內(nèi)的相對濕度。這樣獲得的23℃左右的，并且相對濕度在40～50％的范圍內(nèi)的清潔空氣作為凈化室用空氣使用。
按照本發(fā)明的第1實(shí)施例的空氣凈化裝置，由于通過滲透到構(gòu)成斜式蜂窩的波形的無機(jī)多孔板中而流下的水進(jìn)行加濕或冷凝，故即使是因循環(huán)使用等因素而使用了包含化學(xué)污染物質(zhì)的循環(huán)水，化學(xué)污染物質(zhì)幾乎不從該循環(huán)水中再次揮發(fā)。即，按照過去的方法，由于噴淋狀地噴霧包含污染物質(zhì)的水，故將霧獲取到空氣中，產(chǎn)生化學(xué)污染物質(zhì)的再次飛散。相對于此，按照本發(fā)明的方法，由于只有表面積較大的蜂窩表面的水蒸發(fā)，暫時(shí)獲取到水中的化學(xué)污染物質(zhì)殘留于水側(cè)，故認(rèn)為化學(xué)污染物質(zhì)難于再次飛散。由此，在將斜式蜂窩用于加濕機(jī)構(gòu)的時(shí)候，如上所述，不僅可采用脫離子水，而且還可以采用自來水或工業(yè)用水。另外，由于化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率較高，故過去公知水噴淋器等中所需的1～2程度的液氣比可以為0.1程度。另外，在循環(huán)使用供給加濕機(jī)構(gòu)或冷凝機(jī)構(gòu)的水的時(shí)候，所使用的水量少，結(jié)果泵容量等也小。另外，由于作為形成斜式蜂窩的材料采用上述特定的材料，故還可有效地去除過去難于去除的NO2-。第1實(shí)施例與第2實(shí)施例或第3實(shí)施例的任何一個(gè)實(shí)施例相比較，化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率或者空間節(jié)省性優(yōu)良，其為最優(yōu)選的實(shí)施例。
下面說明第2實(shí)施例的空氣凈化裝置。在第2實(shí)施例中，針對第1實(shí)施例，斜式蜂窩僅僅用于加濕機(jī)構(gòu)，沒有對冷凝機(jī)構(gòu)進(jìn)行特別限定。如果采用斜式蜂窩，由于水與被處理空氣的接觸效率較高，空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率較高，故作為冷凝機(jī)構(gòu)即使采用普通的冷卻器，也可以提高空間效率。由于與過去的水噴淋器相比較，斜式蜂窩的厚度在100～400mm的范圍內(nèi)，故可使加濕部的厚度為過去的幾分之一～幾十分之一。
在第2實(shí)施例中，與第1實(shí)施例的加濕部10相同，通過第1循環(huán)泵16連接第1水排出機(jī)構(gòu)15和第1供水機(jī)構(gòu)12，若將從第1水排出機(jī)構(gòu)的排出的水作為供給第1供水機(jī)構(gòu)12的水再次利用，則與第1實(shí)施例的加濕部10相同的方面來說是好的。另外，從與第1實(shí)施例的加濕部10相同的方面來說，最好，加濕部10和冷凝部20在它們之間可實(shí)現(xiàn)被處理空氣的導(dǎo)通的范圍內(nèi)設(shè)置適當(dāng)?shù)胤指舨俊?br> 另外，從與第1實(shí)施例的加濕部10相同的方面來說，作為通過第1供水機(jī)構(gòu)12供給加濕部10的水，例舉有比如，脫離子水、自來水、工業(yè)用水等。其中，從與第1實(shí)施例的加濕部10相同的方面來說，最好分別采用脫離子水、自來水或工業(yè)用水。另外，在第2實(shí)施例中，為了盡可能地提高化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率，最好采用脫離子水。即，在第2實(shí)施例中，從化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率的方面來說，最好，第1供水機(jī)構(gòu)為脫離子水供給機(jī)構(gòu)。另外，在第2實(shí)施例中，與第1實(shí)施例相同，可根據(jù)需要在第2空氣排出口后面設(shè)置溫度和濕度的調(diào)整機(jī)構(gòu)30。在沒有設(shè)置冷凝機(jī)構(gòu)的時(shí)候，也可在第1空氣排出口14的后面設(shè)置溫度和濕度的調(diào)整機(jī)構(gòu)30。第2實(shí)施例與過去公知的采用水噴淋器等的加濕機(jī)構(gòu)相比較，可以實(shí)現(xiàn)與第1實(shí)施例中的加濕機(jī)構(gòu)采用斜式蜂窩的效果相同的效果。本實(shí)例適合于冬季的干燥空氣為被處理空氣的情況。
下面說明第3實(shí)施例的空氣凈化裝置。第3實(shí)施例僅僅是將第1實(shí)施例中的斜式蜂窩用于冷凝機(jī)構(gòu)，沒有特別地對加濕機(jī)構(gòu)進(jìn)行限定。如果采用斜式蜂窩，則由于水和被處理空氣的接觸效率較高，故空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率較高，即使作為加濕機(jī)構(gòu)采用普通的水噴淋器等，也可以具有比過去更高的化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率，同時(shí)僅由冷凝機(jī)構(gòu)可以提高空間效率。由于與過去的熱交換器等冷卻機(jī)相比較，斜式蜂窩的厚度在100～400mm的范圍內(nèi)，故可使冷凝部的厚度為過去的幾分之一～幾十分之一。
另外，在第3實(shí)施例的空氣凈化裝置中，與第1實(shí)施例的冷凝部20相同，通過第2循環(huán)泵26連接第2水排出機(jī)構(gòu)25和第2供水機(jī)構(gòu)22，若將從第2供水機(jī)構(gòu)的排出的水作為供給第2供水機(jī)構(gòu)22的水再次利用，則從與第1實(shí)施例的冷凝部20相同的方面來說是好的。另外，從與第1實(shí)施例的冷凝部20相同的方面來說，最好，加濕部10和冷凝部20在它們之間可實(shí)現(xiàn)被處理空氣的導(dǎo)通的范圍內(nèi)設(shè)置適當(dāng)?shù)姆指舨俊?br> 此外，從與第1實(shí)施例的冷凝部20相同的方面來說，作為通過第2供水機(jī)構(gòu)22供給冷凝部20的水，由于需要充分地去除化學(xué)污染物質(zhì)，故例舉有脫離子水等盡可能地不包含雜質(zhì)的水。即，在第3實(shí)施例中，若第2供水機(jī)構(gòu)為脫離子水供給機(jī)構(gòu)，則從化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率的方面來說是最好的。
另外，在第3實(shí)施例中，由于作為冷凝機(jī)構(gòu)采用斜式蜂窩的冷凝部的化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率較高，故在被處理空氣的絕對濕度較高的時(shí)候，或在被處理空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的濃度較低的時(shí)候，甚至在處理后空氣的化學(xué)污染物質(zhì)的允許濃度較高的時(shí)候，即使不特意設(shè)置加濕機(jī)構(gòu)也可以。特別是從梅雨季節(jié)到夏天，空氣處于高溫高濕狀態(tài)，可照原樣將其作為被處理空氣而供給，由此，本實(shí)施例特別有效。從降低成本或節(jié)省空間性方面來說，此實(shí)施例是優(yōu)選的。另外，在第3實(shí)施例中，與第1實(shí)施例相同，可根據(jù)需要，在第2空氣排出口的后面設(shè)置溫度和濕度的調(diào)整機(jī)構(gòu)30。第3實(shí)施例與過去公知的采用冷卻器等的冷凝機(jī)構(gòu)相比較，能夠達(dá)到第1實(shí)施例中的冷凝機(jī)構(gòu)采用斜式蜂窩的效果相同的效果。
此外，在第4實(shí)施例的空氣凈化裝置中，上述第1水排出口14和第2空氣送入口21成一體連接，上述加濕和冷凝均是通過一臺斜式蜂窩依次實(shí)現(xiàn)的。即，被處理空氣通過管4，借助吹風(fēng)機(jī)5等供給斜式蜂窩的前面的第1空氣送入口11。斜式蜂窩的前段側(cè)成為加濕區(qū)域，將被處理空氣加濕到規(guī)定的濕度，在該斜式蜂窩內(nèi)部，將其除濕到飽和狀態(tài)。由此，在上述加濕區(qū)域，該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到過量的水分中，并且通過上述除濕區(qū)域，將未通過上述加濕區(qū)域去除而殘留的化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中，將其去除。
另外，在第4實(shí)施例中，通過循環(huán)泵連接一個(gè)水排出機(jī)構(gòu)和一個(gè)供水機(jī)構(gòu)，將從水排出機(jī)構(gòu)的排出的水作為供給供水機(jī)構(gòu)的水再次利用，從與第1實(shí)施例的冷凝部20等相同的方面來說是最好的。另外，作為通過供給機(jī)構(gòu)供給加濕區(qū)域或冷凝區(qū)域的水，由于需要充分地去除化學(xué)污染物質(zhì)，故例舉有脫離子水等盡可能不包括雜質(zhì)的水。即，在第4實(shí)施例中，從化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率的方面來說，最好供水機(jī)構(gòu)為脫離子水供給機(jī)構(gòu)。
在本發(fā)明中，化學(xué)污染物質(zhì)是指通過高性能(ULPA)過濾器的網(wǎng)眼那樣的細(xì)微的化學(xué)物質(zhì)，例舉有，比如，鈉、鉀、鈣、硼等的無機(jī)金屬元素、氟離子、氯化物離子、硝酸離子、亞硝酸離子、硫酸離子、亞硫酸離子等的陽離子類，氨離子等的陰離子類型等。
雖然，上述本發(fā)明所述的空氣凈化裝置的尺寸沒有特別地限定，但是在半導(dǎo)體或液晶器件的制造工廠中，用于該裝置的斜式蜂窩的尺寸可為，比如，縱向尺寸為1000～5000mm，橫向尺寸為1000～5000mm，厚度為100～400mm。
實(shí)施例下面例舉實(shí)施例，詳細(xì)說明本發(fā)明，但是本發(fā)明并不限于此。
實(shí)施例1～11，比較例1～3制作具有表1～3所示類型的加濕機(jī)構(gòu)和冷凝機(jī)構(gòu)的空氣凈化裝置，分別在表4～6所示的條件下，對它們進(jìn)行處理，其結(jié)果分別獲得表7～9所示的結(jié)果。另外，在表10～12所示的條件下，對已獲得的凈化空氣進(jìn)行加熱，獲得凈化室用的凈化空氣。表10～12表示其結(jié)果。另外，實(shí)施例5～9指未設(shè)置加濕區(qū)域，直接將被處理空氣供給冷凝區(qū)域的實(shí)施例。另外，斜式蜂窩采用表1～3所記載的材料的無紡布制波紋狀片，但相鄰且略呈直角地交叉，并且腔室的傾斜角度相對空氣的流入方向成30度。另外，加濕機(jī)構(gòu)所采用的水與冷凝機(jī)構(gòu)所采用的水形成分別獨(dú)立的系統(tǒng)，對于實(shí)施例4和比較例2，相應(yīng)的水循環(huán)使用，對于實(shí)施例1～3，5～11和比較例1，3為一次性流過。另外，補(bǔ)充水供給至循環(huán)水中的污染物質(zhì)在規(guī)定濃度以下。比如，循環(huán)水中的氨離子濃度在實(shí)施例3中為100ppb，在實(shí)施例4中為500ppb。如果水中的氨離子濃度大于500ppb，則在過去的水噴淋器中產(chǎn)生氨氣的氣散，其吸收去除率顯著降低(比較例2)。在表中，“空氣洗滌器”指水噴淋器。
表1

*1表示具有冷卻散熱片的冷卻器*2商品名“空氣洗滌器”(新晃工業(yè))
表2

*1將拉西環(huán)(raschig rings)作為填充材料，水與空氣的對流接觸型冷卻器表3

*1重疊5個(gè)厚度為50mm的斜式蜂窩，而作為厚度為250mm的機(jī)構(gòu)使用。
*2重疊4個(gè)厚度為50mm的斜式蜂窩，而作為厚度為200mm的機(jī)構(gòu)使用。
*3重疊7個(gè)厚度為100mm的斜式蜂窩，而作為厚度為700mm的機(jī)構(gòu)使用。
*4玻璃纖維基材+氧化鋁溶膠(粘結(jié)材料)+氧化鋁、二氧化鈦(填充材料)組成；氧化鋁40％、二氧化鈦40％、二氧化硅20％、空隙率79％。
表4

*1加濕區(qū)域的液氣比為2.0g-water/g-air、冷凝區(qū)域的液氣比為1.2g-water/g-air*2 Cl-濃度270ppb
表5

*1凈化室內(nèi)循環(huán)空氣*2加濕區(qū)域的液氣比為0.4g-water/g-air、冷凝區(qū)域的液氣比為0.8g-water/g-air。
表6

*1實(shí)施例10、11是“加濕部與冷凝部”
表7

*1僅僅加濕區(qū)域的去除率*2僅僅冷凝區(qū)域的去除率*3通過加濕區(qū)域和冷凝區(qū)域的總的去除率表8

*1僅僅加濕區(qū)域的去除率*2僅僅冷凝區(qū)域的去除率*3通過加濕區(qū)域和冷凝區(qū)域的總的去除率表9

*1實(shí)例10，11是“加濕部與冷凝部”表10

表11

*1利用熱水流過具有散熱片的螺旋狀管的方式的熱交換器進(jìn)行加熱。
表12

*1利用熱水流過具有散熱片的螺旋狀管的方式的熱交換器進(jìn)行加熱。
本發(fā)明所述的空氣凈化方法具有如下所述的效果。(1)氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)的去除效率高。(2)可有效地去除以往吸收效率難于提高的NH4+，NO2-等。(3)由于使?jié)B透到構(gòu)成斜式蜂窩的波形無機(jī)多孔板而流下的水與被處理空氣接觸，故只有表面積較大的蜂窩表面的水蒸發(fā)，暫時(shí)獲取到水中的化學(xué)污染物質(zhì)殘留于水側(cè)，由此化學(xué)污染物質(zhì)難于再次飛散。因此再次污染被處理空氣的危險(xiǎn)少。
在本發(fā)明的空氣凈化裝置中，(1)通過使用低價(jià)的斜式蜂窩，空氣凈化裝置整體緊湊，故可節(jié)省資源，同時(shí)可大幅度地降低處理成本。(2)由于所使用的脫離子水的量少，故可削減脫離子水的制造成本或泵的運(yùn)送能力。(3)由于所處理空氣通過空氣凈化裝置時(shí)的壓力損耗較小，故可減小送風(fēng)動力。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明的空氣凈化裝置可用作供給比如，半導(dǎo)體或液晶器件的制造工廠、制藥工廠、生命科學(xué)相關(guān)設(shè)備等的凈化室空氣的空氣凈化裝置。另外，本發(fā)明的空氣凈化方法通過采用上述空氣凈化裝置，可容易且確實(shí)地實(shí)施。
權(quán)利要求
1.一種空氣凈化方法，其特征在于，該空氣凈化方法具有加濕步驟，在該加濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩用于加濕機(jī)構(gòu)，從該斜式蜂窩的前面開口部送入含有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣，同時(shí)從頂面開口部供給水，由此將該空氣加濕到規(guī)定濕度，同時(shí)將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的至少一部分獲取到過量的水分中，將其從該空氣中去除。
2.一種空氣凈化方法，其特征在于，該空氣凈化方法具有除濕步驟，在該除濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩用于冷凝機(jī)構(gòu)，從該斜式蜂窩的前面開口部送入含有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣，同時(shí)從頂面開口部供給水，由此將該空氣除濕到規(guī)定濕度，并且將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中，將其去除。
3.一種空氣凈化方法，其特征在于，該空氣凈化方法具有加濕步驟，在該加濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的前段斜式蜂窩用于加濕機(jī)構(gòu)，從該前段斜式蜂窩的前面開口部送入含有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣，同時(shí)從頂面開口部供給水，由此將該空氣加濕到規(guī)定濕度，同時(shí)將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到過量的水分中，將其從該空氣中去除；除濕步驟，在該除濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置且比上述加濕步驟的溫度更低的后段斜式蜂窩用于冷凝機(jī)構(gòu)，從該后段斜式蜂窩的前面開口部送入已通過上述加濕步驟加濕的空氣，同時(shí)從頂面開口部供給水，由此對該已加濕的空氣進(jìn)行除濕，將在上述加濕步驟中未去除而殘留的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中，將其去除。
4.一種空氣凈化方法，其特征在于，該空氣凈化方法具有加濕步驟，在該加濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩用于加濕機(jī)構(gòu)，從該斜式蜂窩的前面開口部送入含有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣，同時(shí)從頂面開口部供給水，由此將該空氣加濕到規(guī)定濕度，并且將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到過量的水分中，而將其從該空氣中去除；除濕步驟，在該除濕步驟中，將通過上述加濕步驟加濕的空氣通過冷凝機(jī)構(gòu)除濕到規(guī)定的濕度，將在上述加濕步驟中未去除而殘留的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中，并將其去除。
5.一種空氣凈化方法，其特征在于，該空氣凈化方法具有加濕步驟，通過加濕機(jī)構(gòu)，將含有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣加濕到規(guī)定的濕度，同時(shí)將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到過量的水分中，而將其從該空氣中去除；除濕步驟，在該除濕步驟中，將前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置且比上述加濕步驟的溫度更低的斜式蜂窩作為冷凝機(jī)構(gòu)使用，從該斜式蜂窩的前面開口部送入通過上述加濕步驟加濕的空氣，同時(shí)從頂面開口部供給水，由此將該已加濕的空氣除濕到規(guī)定濕度，將在上述加濕步驟中未去除而殘留的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中，將其去除。
6.一種空氣凈化方法，其特征在于，從前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩的前面開口部送入空氣，同時(shí)從頂面開口部供給水，將上述斜式蜂窩中的前段部作為將空氣加濕到規(guī)定的濕度且獲得過量水分的加濕部，并且將上述斜式蜂窩中的后段部作為將空氣除濕到規(guī)定的濕度且獲得冷凝水的冷凝部，由此進(jìn)行加濕步驟，在該加濕步驟中，利用上述加濕部將含有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣進(jìn)行加濕，同時(shí)將該空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到上述過量的水分中，將其從該空氣中去除；接著進(jìn)行除濕步驟，在該除濕步驟中，利用上述除濕部將由該加濕步驟加濕的空氣進(jìn)行除濕，將在上述加濕部中未去除而殘留的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)獲取到上述冷凝水中，將其去除。
7.如權(quán)利要求1～6中任何一項(xiàng)所述的空氣凈化方法，其特征在于，供給上述斜式蜂窩的水為脫離子水。
8.如權(quán)利要求3所述的空氣凈化方法，其特征在于，供給上述加濕機(jī)構(gòu)使用的前段斜式蜂窩的水為自來水或工業(yè)用水，供給上述冷凝機(jī)構(gòu)使用的后段斜式蜂窩的水為脫離子水。
9.如權(quán)利要求1～6中的任何一項(xiàng)所述的空氣凈化方法，其特征在于，上述斜式蜂窩采用含有選自從氧化鋁、二氧化硅和二氧化鈦所組成的群組中的1種或2種以上的填充材料或粘結(jié)材料的玻璃纖維、陶瓷纖維或氧化鋁纖維基材而制作。
10.如權(quán)利要求1～6中的任何一項(xiàng)所述的空氣凈化方法，其特征在于，通過上述除濕步驟除濕的凈化空氣被加熱到規(guī)定溫度后，用作凈化室用的空氣。
11.一種空氣凈化裝置，該空氣凈化裝置包括加濕部，該加濕部具有第1空氣送入口、第1供水機(jī)構(gòu)、通過上述第1供水機(jī)構(gòu)供給的水加濕從上述第1空氣送入口送入的空氣的加濕機(jī)構(gòu)、排出該已加濕的空氣的第1空氣排出口、以及將滯留于系統(tǒng)內(nèi)的水排出到系統(tǒng)之外的第1水排出機(jī)構(gòu)；冷凝部，該冷凝部包括連接于該第1空氣排出口的第2空氣送入口、第2供水機(jī)構(gòu)、通過第2供水機(jī)構(gòu)供給的水來冷凝從上述第2空氣送入口送入的空氣中的水分的冷凝機(jī)構(gòu)、排出該冷凝后的空氣的第2空氣排出口、以及將在系統(tǒng)內(nèi)已冷凝的水排到系統(tǒng)之外的第2水排出機(jī)構(gòu)，其特征在于，在上述加濕機(jī)構(gòu)和上述冷凝機(jī)構(gòu)中，前后兩面和上下兩面開口的斜式蜂窩以該斜式蜂窩的前面分別朝向上述第1空氣送入口側(cè)和上述第2空氣送入口側(cè)，并且已送入的空氣流過該斜式蜂窩的方式設(shè)置，另外，在該斜式蜂窩的上方設(shè)置上述第1供水機(jī)構(gòu)和上述第2供水機(jī)構(gòu)。
12.一種空氣凈化裝置，該空氣凈化裝置包括加濕部，該加濕部具有第1空氣送入口、第1供水機(jī)構(gòu)、通過上述第1供水機(jī)構(gòu)供給的水加濕從上述第1空氣送入口送入的空氣的加濕機(jī)構(gòu)、排出該已加濕的空氣的第1空氣排出口、以及將滯留于系統(tǒng)內(nèi)的水排出到系統(tǒng)之外的第1水排出機(jī)構(gòu)，其特征在于，在上述加濕機(jī)構(gòu)中，前后兩面和上下兩面開口的斜式蜂窩以該斜式蜂窩的前面朝向上述第1空氣送入口側(cè)，并且已送入的空氣流過該斜式蜂窩的方式設(shè)置，另外，在該斜式蜂窩的上方設(shè)置上述第1供水機(jī)構(gòu)。
13.一種空氣凈化裝置，該空氣凈化裝置包括冷凝部，該冷凝部包括第2空氣送入口、第2供水機(jī)構(gòu)、通過該第2供水機(jī)構(gòu)供給的水冷凝從上述第2空氣送入口送入的空氣中的水分的冷凝機(jī)構(gòu)、排出冷凝后的空氣的第2空氣排出口、以及將在系統(tǒng)內(nèi)已冷凝的水排到系統(tǒng)之外的第2水排出機(jī)構(gòu)，其特征在于，在上述冷凝機(jī)構(gòu)中，前后兩面和上下兩面開口的斜式蜂窩以該斜式蜂窩的前面朝向上述第2空氣送入口側(cè)，并且已送入的空氣流過該斜式蜂窩的方式設(shè)置，另外，在該斜式蜂窩的上方設(shè)置上述第2供水機(jī)構(gòu)。
14.如權(quán)利要求11所述的空氣凈化裝置，其特征在于，上述第1空氣排出口和第2空氣送入口一體連接，上述加濕和上述冷凝通過1臺斜式蜂窩進(jìn)行。
15.如權(quán)利要求11～13中任一項(xiàng)所述的空氣凈化裝置，其特征在于，上述斜式蜂窩的腔室的波峰高度為2.0～8.0mm。
16.如權(quán)利要求11或12所述的空氣凈化裝置，其特征在于，上述第1水排出機(jī)構(gòu)和第1供水機(jī)構(gòu)通過第1循環(huán)泵連接。
17.如權(quán)利要求11或13所述的空氣凈化裝置，其特征在于，上述第2水排出機(jī)構(gòu)和第2供水機(jī)構(gòu)通過第2循環(huán)泵連接。
18.如權(quán)利要求11～13中任一項(xiàng)所述的空氣凈化裝置，其特征在于，在上述加濕機(jī)構(gòu)或冷凝機(jī)構(gòu)中的一者或兩者的下方，設(shè)置有通過溢流調(diào)整污染物質(zhì)的濃度的循環(huán)水存留部。
19.如權(quán)利要求11所述的空氣凈化裝置，其特征在于，在上述第2空氣排出口后面進(jìn)一步設(shè)置有溫度和濕度的調(diào)整機(jī)構(gòu)。
20.如權(quán)利要求19所述的空氣凈化裝置，其特征在于，上述溫度和濕度的調(diào)整機(jī)構(gòu)的空氣排出部與凈化室連接。
全文摘要
本發(fā)明的空氣凈化方法具有加濕步驟，在該加濕步驟中，通過加濕機(jī)構(gòu)，對具有化學(xué)污染物質(zhì)的空氣加濕，將該空氣中的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)的一部分獲取到過量的水分中，從該空氣中將其去除；除濕步驟，在該除濕步驟中，在加濕步驟后，通過冷凝機(jī)構(gòu)對已加濕的空氣進(jìn)行除濕，將未通過上述加濕步驟去除而殘留的氣體狀化學(xué)污染物質(zhì)獲取到冷凝水中，將其去除，上述加濕機(jī)構(gòu)或上述冷凝機(jī)構(gòu)中的一者或兩者采用前后兩面和上下兩面開口而設(shè)置的斜式蜂窩，從該斜式蜂窩的前面開口部送入空氣，并且從頂面開口部供給水。
文檔編號F24F3/14GK1520503SQ02812848
公開日2004年8月11日 申請日期2002年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2001年6月26日
發(fā)明者寺田功, 田中實(shí), 松村裕司, 小林貞雄, 森直樹, 伊藤宏, 若山惠英, 末永修, 司, 英, 雄 申請人:霓佳斯株式會社, 東京毅力科創(chuàng)株式會社, 大成建設(shè)株式會社