專利名稱：熱處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對被處理件進(jìn)行熱處理的熱處理裝置。
背景技術(shù)：
以往，公知的熱處理裝置，是在裝有被處理件的熱處理部分內(nèi)，通 過使空氣進(jìn)行循環(huán)，加熱所述被處理件，對該被處理件進(jìn)行熱處理。
這樣的熱處理裝置常用于例如FPD (平板顯示器)制造工序中的光 刻膠和有機(jī)薄膜的預(yù)烘干工序和后烘干工序。在這些工序中，在對由玻 璃基板等構(gòu)成的被處理件進(jìn)行熱處理的過程中，光刻膠等材料中所含有 的揮發(fā)性成分會氣化，產(chǎn)生大量的升華物質(zhì)，這種升華物質(zhì)再結(jié)晶后， 會產(chǎn)生飛散或附著在熱處理裝置周圍的問題。
作為這種問題的對策，例如，在特開平10-141868號公報中記載了 以下方案吸入外部空氣，用加熱器進(jìn)行加熱之后，在送入所述熱處理 部分內(nèi)的同時，通過把所述熱處理部分內(nèi)的空氣排出去，對所述熱處理 部分的內(nèi)部進(jìn)行換氣。通過這樣的換氣，就能抑制升華物質(zhì)的再結(jié)晶和 向熱處理裝置周圍附著。
可是，在所述的換氣過程中，為所吸入的外部氣體加熱，需要非常 多的電力，將使整個熱處理裝置的耗電增加。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種解決上述問題的熱處理裝置。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種能使整個熱處理裝置的耗電降低的 熱處理裝置。
具體說，本發(fā)明的熱處理裝置包括熱處理部件，在被處理件裝在 熱處理部分內(nèi)的狀態(tài)下，通過使所述熱處理部分內(nèi)的空氣邊循環(huán)邊加熱， 對所述被處理件進(jìn)行熱處理；以及換氣裝置，通過把外部氣體加熱后送入到所述熱處理部分內(nèi)，并且把所述熱處理部分內(nèi)的空氣排出，對所述 熱處理部分內(nèi)部進(jìn)行換氣，其特征在于，還包括換氣量調(diào)整裝置，使所 述換氣裝置的換氣量在所述熱處理部件不對被處理件進(jìn)行熱處理時，比 所述熱處理部件對被處理件進(jìn)行熱處理時減少。
此外，本發(fā)明的熱處理裝置包括熱處理部分，可以裝入被處理件； 加熱裝置，對空氣進(jìn)行加熱，使所述熱處理部分內(nèi)的溫度達(dá)到能對所述 被處理件進(jìn)行熱處理的溫度；以及換氣裝置，對所述熱處理部分內(nèi)部進(jìn) 行換氣，其特征在于，還包括換氣量調(diào)整裝置，使所述換氣裝置的換氣 量在對所述被處理件進(jìn)行熱處理以外的時間里，比進(jìn)行熱處理時減少。
此外，本發(fā)明的熱處理裝置包括熱處理部分，可以裝入被處理件； 加熱裝置，對空氣進(jìn)行加熱，使所述熱處理部分內(nèi)的溫度達(dá)到能對所述 被處理件進(jìn)行熱處理的溫度；以及換氣裝置，對所述熱處理部分內(nèi)部進(jìn) 行換氣，其特征在于，還包括換氣量調(diào)整裝置，在所述被處理件的熱處 理結(jié)束后，使所述換氣裝置的換氣量減少。


圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式的熱處理裝置的簡要結(jié)構(gòu)圖。
圖2是第一實(shí)施方式的換氣量調(diào)整裝置的框圖。
圖3是第一實(shí)施方式的熱處理裝置的時序圖。
圖4是本發(fā)明第二實(shí)施方式的熱處理裝置的簡要結(jié)構(gòu)圖。
圖5是第二實(shí)施方式的換氣量調(diào)整裝置的框圖。
圖6是第二實(shí)施方式的熱處理裝置的時序圖。
圖7是變形例的時序圖。
圖8是第三實(shí)施方式的熱處理裝置的時序圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)說明用于實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式的熱處理裝置1A的結(jié)構(gòu)圖。這種熱處
理裝置1A用于FPD的制造工序中，是設(shè)置在凈化室內(nèi)的所謂凈化烘箱。
所述熱處理裝置1A具有裝置主體2，裝置主體2具有由絕熱壁包圍 著的空間構(gòu)成的絕熱室20。絕熱室20的內(nèi)部用隔壁24隔成左右兩部分。 隔壁24左側(cè)的部分為熱處理部分21，隔壁24右側(cè)部分為空調(diào)部分23。 在隔壁24上形成開口，在此開口中設(shè)置過濾器31。通過這個開口可以讓 氣體流通。此外，圖中雖沒有表示，但在裝置主體2中還設(shè)有連通熱處 理部分21內(nèi)部與空調(diào)部分23內(nèi)部的連通通道。
在所述熱處理部分21內(nèi)部設(shè)有工件支承部分22，它可以把多個被 處理件W (以下簡稱為工件)支承成上下并排的狀態(tài)。而且，工件W以 支承在該工件支承部分22上的狀態(tài)裝入熱處理部分21內(nèi)。工件W例如 是玻璃基板等。
在所述空調(diào)部分23中設(shè)有加熱器32和送風(fēng)機(jī)33。作為加熱裝置的 加熱器32由于通電而產(chǎn)生熱量(焦耳熱)，對空調(diào)部分23內(nèi)的空氣加 熱。送風(fēng)機(jī)33使空調(diào)部分23內(nèi)的空氣通過過濾器31后，送入熱處理部 分21內(nèi)。然后，當(dāng)用送風(fēng)機(jī)33把空氣送入熱處理部分21內(nèi)時，熱處理 部分21內(nèi)的空氣便通過圖中未表示的連通通道返回空調(diào)部分23內(nèi)。返 回到空調(diào)部分23內(nèi)的空氣，再一次用加熱器32加熱。這樣，熱處理部 分21內(nèi)的空氣在與空調(diào)部分23之間進(jìn)行循環(huán)的同時進(jìn)行加熱，于是就 對裝在熱處理部分21內(nèi)的工件W進(jìn)行了熱處理。g卩，加熱器32和送風(fēng) 機(jī)33通過使熱處理部分21內(nèi)的空氣邊進(jìn)行循環(huán)邊進(jìn)行加熱，從而構(gòu)成 了對工件W進(jìn)行熱處理的熱處理部件3。此外，加熱器32能把在熱處理 部分21和空調(diào)部分23之間循環(huán)的空氣加熱到能對工件W進(jìn)行熱處理的 溫度。
此外，加熱器32不是只在對工件W進(jìn)行熱處理時才工作，在非熱 處理時間里也工作。即，即使在沒有把工件W裝在熱處理部分21內(nèi)時， 也要讓加熱器32預(yù)先進(jìn)行工作，由此使熱處理部分21內(nèi)的溫度能保持 在規(guī)定的溫度。
吸氣管道41連接在所述空調(diào)部分23上，排氣管道42連接在所述熱 處理部分21上。在排氣管道42的中段設(shè)有風(fēng)扇(也稱為鼓風(fēng)機(jī))43。
然后，當(dāng)風(fēng)扇43工作時，熱處理部分21內(nèi)的空氣便通過排氣管道42排 出，同時外部氣體隨之從吸氣管道41吸入，并送到空調(diào)部分23中。送 到空調(diào)部分23內(nèi)的外部氣體，用加熱器32進(jìn)行加熱后，通過過濾器31 送到熱處理部分21內(nèi)。這樣，就對熱處理部分21內(nèi)部進(jìn)行了換氣。艮P， 吸氣管道41、排氣管道42、風(fēng)扇43和加熱器32，在把外部氣體加熱后 送到熱處理部分21內(nèi)的同時，排出熱處理部分21內(nèi)的空氣，從而構(gòu)成 對熱處理部分21內(nèi)部進(jìn)行換氣的換氣裝置4。而且，加熱器32是該換氣 裝置4和所述的熱處理部件3共同使用的。此外，換氣裝置也可以由吸 氣管道41、排氣管道42和風(fēng)扇43構(gòu)成，加熱器32僅僅作為熱處理部件 3的一個要素使用。
所述吸氣管道41具有導(dǎo)入外部氣體的一根導(dǎo)入管道41c，以及從該 導(dǎo)入管道41c分路的兩根流入管道41a、 41b。外部氣體通過兩根流入管 道41a、 41b流入到空調(diào)部分23內(nèi)。此外，也可以不設(shè)置導(dǎo)入管道41c， 而由流入管道41a、 41b直接導(dǎo)入外部氣體。
在所述流入管道41a、 41b中的一根(圖l中的下側(cè))流入管道41a 中，設(shè)有調(diào)整風(fēng)量用的手動調(diào)節(jié)風(fēng)門44A，在另一根(圖1中的上側(cè)) 流入管道41b中，設(shè)有調(diào)整風(fēng)量用的自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A。
所述排氣管道42具有使熱處理部分21內(nèi)的空氣流出的兩根流出管 道42a、 42b，以及把在這兩根流出管道42a、 42b中流動的空氣匯集后向 外部導(dǎo)出的一根導(dǎo)出管道42c。此外，在導(dǎo)出管道42c的中段設(shè)有所述風(fēng) 扇43。
在所述流出管道42a、 42b中的一根(圖1中的右側(cè))流出管道42a 中，設(shè)有調(diào)整風(fēng)量用的手動調(diào)節(jié)風(fēng)門44B，在另一跟(圖1中的左側(cè)) 流出管道42b中，設(shè)有調(diào)整風(fēng)量用的自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51B。
設(shè)置在所述流入管道41b中的自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A，和設(shè)置在所述流 出管道42b中的自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51B，構(gòu)成了圖2所示的換氣量調(diào)整裝置 5A。該換氣量調(diào)整裝置5A除了具有自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B以外，還 具有用于調(diào)整自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B開度的調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部分52。
所述調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部分52控制自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B的驅(qū)動，以使當(dāng)所述熱處理部件3不對工件W進(jìn)行熱處理時，比對工件W進(jìn)行熱 處理時減少換氣裝置4的換氣量。下面參照圖3所示的時序圖，具體說 明調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部分52所進(jìn)行的控制。
首先，在沒有把工件W送入熱處理部分21內(nèi)時，調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部 分52向關(guān)閉流入管道41b和流出管道42b的方向驅(qū)動自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B，使自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B成為全關(guān)閉狀態(tài)。此時的換氣量只要能 使熱處理部分21內(nèi)的靜壓保持不變就可以了，而手動調(diào)節(jié)風(fēng)門44A、44B 的開度設(shè)定為可以確保這樣的換氣量的程度。此外，此時的自動調(diào)節(jié)風(fēng) 門51A、 51B不是一定要處于全部關(guān)閉的狀態(tài)。即，利用與手動調(diào)節(jié)風(fēng) 門44A、 44B的關(guān)系，可以讓流入管道41b或流出管道42b處于稍稍打 開的狀態(tài)。
在把工件W送入熱處理部分21內(nèi)的時候，調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部52便向 打開流入管道41b和流出管道42b的方向驅(qū)動自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B。 此時，為了防止熱處理部分21內(nèi)的空氣溫度紊亂，調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部52 要在規(guī)定的時間(例如IO分鐘)里，慢慢地使自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B 成為全開的狀態(tài)。 一旦把工件W送入熱處理部分21內(nèi)，就開始用熱處 理部件3進(jìn)行工件W的熱處理。伴隨著熱處理，揮發(fā)成分開始從工件W 蒸發(fā)出來，但由于熱處理剛開始，它的生成量很少，所以這樣也沒有問 題。
這里，所謂把工件W送入熱處理部分21內(nèi)的時刻，是指設(shè)置在熱 處理裝置內(nèi)檢測有無工件的例如光電傳感器(圖中沒有表示)之類的工 件檢測裝置，檢測到工件W的時刻。此外，在熱處理裝置1A組裝在FPD 制造工序的生產(chǎn)線上的情況下，也可以從圖外的上游裝置等得到工件送 入的信號。此外，在這種情況下，也可以如圖3中箭頭a所示，在把工 件送入的規(guī)定時間之前就從上游裝置等得到信號，如圖3中雙點(diǎn)劃線所 示，在工件W實(shí)際送入的時刻之前，就開始驅(qū)動自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B。
在把工件W送入熱處理部分21內(nèi)部并經(jīng)過規(guī)定時間之后，到把工 件W從熱處理部分21送出的期間內(nèi)，調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部分52保持在讓自 動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B全部打開的狀態(tài)，以確保規(guī)定的換氣量。
在由熱處理部件3進(jìn)行的工件W的熱處理結(jié)束之后，把工件W從
熱處理部分21取出來，在把工件W從熱處理部分21取出并經(jīng)過規(guī)定的
時間后，換句話說，從所述工件檢測裝置檢測到?jīng)]有工件時開始經(jīng)過規(guī)
定的時間后，調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部52便向關(guān)閉流入管道41b和流出管道42b 的方向驅(qū)動自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B，使自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B成為全 關(guān)閉狀態(tài)。此時，為了防止熱處理部分21內(nèi)的空氣溫度紊亂，或?yàn)榱税?殘留在熱處理部分21內(nèi)的含有揮發(fā)成分的空氣排出，調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部分 52要在規(guī)定的時間(例如IO分鐘)內(nèi)，使自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B處于 全閉狀態(tài)。即，在工件W不進(jìn)行熱處理時候的換氣量，要比工件W進(jìn) 行熱處理時候的換氣量少。此外，也可以根據(jù)揮發(fā)成分的生成量，在工 件W從熱處理部分21中取出來的同時，開始驅(qū)動自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B。
這樣，在第一實(shí)施方式的熱處理裝置1A中，由于用換氣量調(diào)整裝 置5A抑制非熱處理時的換氣量，所以在非熱處理時，減少了加熱器32 用于加熱外部氣體所需要的電力，從而能降低整個熱處理裝置的電力消耗。
此外，在第一實(shí)施方式中，表示的是分別設(shè)置兩根流入管道41a、 41b和流出管道42a、 42b，但如果采用帶窄縫的調(diào)節(jié)風(fēng)門作為自動調(diào)節(jié) 風(fēng)門51A、 51B，則可以省掉一根流入管道41a和一根流出管道42a以及 手動調(diào)節(jié)風(fēng)門44A、 44B。
下面，參照圖4 圖6說明本發(fā)明第二實(shí)施方式的熱處理裝置1B。 此外，凡是與第一實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分都采用同樣的附圖標(biāo)記，并 省略其說明。
在第二實(shí)施方式的熱處理裝置1B中，吸氣管道41和排氣管道42 都分別用一根管道構(gòu)成，在這兩根吸氣管道41和排氣管道42中，設(shè)有 手動調(diào)節(jié)風(fēng)門44A、 44B。
熱處理裝置1B具有換氣量調(diào)整裝置5B，它能使熱處理部件3不對 工件W進(jìn)行熱處理時比熱處理部件3對工件W進(jìn)行熱處理時減少換氣 裝置4的換氣量。這種換氣量調(diào)整裝置5B具有控制風(fēng)扇43轉(zhuǎn)速的風(fēng)扇控制部分53。
如圖6所示，所述風(fēng)扇控制部分53在沒有把工件W送入到熱處理 部分21內(nèi)時，使風(fēng)扇43保持在低轉(zhuǎn)速，在把工件W送入到熱處理部分 21內(nèi)時，在規(guī)定的時間(例如IO分鐘)內(nèi)，使風(fēng)扇43的轉(zhuǎn)速逐漸增大。
此外，與第一實(shí)施方式相同，所謂把工件W送入熱處理部分21內(nèi) 的時刻，是指設(shè)置在熱處理裝置內(nèi)檢測有無工件的例如光電傳感器(圖 中沒有表示)之類的工件檢測裝置，檢測到工件W的時刻。此外，在熱 處理裝置1B組裝在FPD制造工序的生產(chǎn)線上的情況下，也可以從上游 裝置等得到工件送入的信號，還可以在把工件送入的一定時間之前從上 游裝置等得到信號，以便從工件W實(shí)際送入之前就開始增加風(fēng)扇43的 轉(zhuǎn)速。
當(dāng)把工件W送入熱處理部分21中時，就開始用熱處理部件3進(jìn)行 工件W的熱處理，在把工件W送入熱處理部分21內(nèi)，并經(jīng)過規(guī)定的時 間之后，到把工件W從熱處理部分21取出來之前的期間里，風(fēng)扇控制 部分53保持風(fēng)扇43的轉(zhuǎn)速，以確保規(guī)定的換氣量。
在由熱處理部件3所進(jìn)行的工件W的熱處理結(jié)束之后，把工件W 從熱處理部分21中取出來，風(fēng)扇控制部分53在工件W從熱處理部分21 取出來并經(jīng)過一定時間之后，在規(guī)定的時間(例如IO分鐘)內(nèi)使風(fēng)扇43 的轉(zhuǎn)速逐漸降低。此外，與第一實(shí)施方式相同，也可以在把工件W從熱 處理部分21取出來的同時，使風(fēng)扇43的轉(zhuǎn)速降低。
這樣，就能獲得與第一實(shí)施方式相同的效果。
此外，如圖7所示，在沒有把工件W送入到熱處理部分21中時， 風(fēng)扇控制部分53便使風(fēng)扇43停止，或者，也可以在把工件W送入到熱 處理部分21之前，使風(fēng)扇43以低轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動?；蛘?，如圖7中的雙點(diǎn)劃 線所示，也可以在把工件W送入熱處理部分21之前，使風(fēng)扇43停止， 一旦送入工件W,就驅(qū)動風(fēng)扇43。
下面，說明本發(fā)明第三實(shí)施方式的熱處理裝置。這種熱處理裝置的 圖省略了，但它是在第一實(shí)施方式的熱處理裝置1A中的換氣量調(diào)整裝置 5A上，增加第二實(shí)施方式的風(fēng)扇控制部分53。即，換氣量調(diào)整裝置5A 包括調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部分52和風(fēng)扇控制部分53。
如圖8所示，這樣的熱處理裝置，可以對自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B 和風(fēng)扇43進(jìn)行單獨(dú)控制，也可以進(jìn)行關(guān)聯(lián)控制。例如，可以同時驅(qū)動風(fēng) 扇43和打開自動調(diào)節(jié)風(fēng)門51A、 51B，或在時間上錯開雙方的驅(qū)動。
此外在第一 第三實(shí)施方式中，也可以在換氣裝置的吸氣管道41的 中段另外設(shè)置加熱器，而把吸氣管道41直接連接在熱處理部分21上。
下面，說明本實(shí)施方式的要點(diǎn)。
(1) 在本實(shí)施方式中，由于利用換氣量調(diào)整裝置抑制非熱處理時的 換氣量，所以可以減少非熱處理時換氣裝置用于加熱外部氣體所需要的 電力，從而能降低熱處理裝置整體的電力消耗。
(2) 在本實(shí)施方式中，所述換氣裝置具有吸入外部氣體的吸氣管道 和排出所述熱處理部分內(nèi)的空氣的排氣管道，所述換氣量調(diào)整裝置，具 有分別設(shè)置在所述吸氣管道和排氣管道中的調(diào)整風(fēng)量用的自動調(diào)節(jié)風(fēng)門 以及調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部分。該調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部分在所述熱處理部件對被處 理件進(jìn)行熱處理時，向打開所述吸氣管道和排氣管道的方向驅(qū)動所述自 動調(diào)節(jié)風(fēng)門，在所述熱處理部件不對被處理件進(jìn)行熱處理時，向關(guān)閉所 述吸氣管道和排氣管道的方向驅(qū)動所述自動調(diào)節(jié)風(fēng)門。
(3) 在本實(shí)施方式中，所述換氣裝置具有排出所述熱處理部分內(nèi)的 空氣的排氣管道以及設(shè)置在所述排氣管道中段的風(fēng)扇，所述換氣量調(diào)整 裝置具有風(fēng)扇控制部分，該風(fēng)扇控制部分在所述熱處理部件對被處理件 進(jìn)行熱處理時，使所述風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速增加，而在所述熱處理部件不對被處 理件進(jìn)行熱處理時，使所述風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速降低。
(4) 在本實(shí)施方式中，具有與所述熱處理部分隔開的空調(diào)部分，所 述熱處理部件一邊使所述熱處理部分內(nèi)的空氣在與所述空調(diào)部分之間進(jìn) 行循環(huán)， 一邊對它進(jìn)行加熱。
(5) 在本實(shí)施方式中，借助于換氣量調(diào)整裝置抑制非熱處理時的換 氣量，所以可以減少非熱處理時用于加熱外部氣體所需要的電力，從而 能降低整個熱處理裝置的電力消耗。
權(quán)利要求
1.一種熱處理裝置，包括熱處理部件，在被處理件裝在熱處理部分內(nèi)的狀態(tài)下，通過使所述熱處理部分內(nèi)的空氣邊循環(huán)邊加熱，對所述被處理件進(jìn)行熱處理；以及換氣裝置，通過把外部氣體加熱后送入到所述熱處理部分內(nèi)，并且把所述熱處理部分內(nèi)的空氣排出，對所述熱處理部分內(nèi)部進(jìn)行換氣，其特征在于，還包括換氣量調(diào)整裝置，使所述換氣裝置的換氣量在所述熱處理部件不對被處理件進(jìn)行熱處理時，比所述熱處理部件對被處理件進(jìn)行熱處理時減少。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于， 所述換氣裝置具有吸入外部氣體的吸氣管道、以及把所述熱處理部分內(nèi)的空氣排出的排氣管道；所述換氣量調(diào)整裝置具有調(diào)整風(fēng)量用的自動調(diào)節(jié)風(fēng)門，分別設(shè)置在所述吸氣管道和排氣管道中；以及調(diào)節(jié)風(fēng)門控制部分，在所述熱處理部件對被處理件進(jìn)行熱處理 時，向打開所述吸氣管道和排氣管道的方向驅(qū)動所述自動調(diào)節(jié)風(fēng)門，在 所述熱處理部件不對被處理件進(jìn)行熱處理時，向關(guān)閉所述吸氣管道和排 氣管道的方向驅(qū)動所述自動調(diào)節(jié)風(fēng)門。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于， 所述換氣裝置具有把所述熱處理部分內(nèi)的空氣排出的排氣管道、以及設(shè)置在所述排氣管道中段的風(fēng)扇；所述換氣量調(diào)整裝置具有風(fēng)扇控制部分，在所述熱處理部件對被處 理件進(jìn)行熱處理時，使所述風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速增加，在所述熱處理部件不對被 處理件進(jìn)行熱處理時，使所述風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速降低。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的熱處理裝置，其特征在于， 還包括與所述熱處理部分隔開的空調(diào)部分， 所述熱處理部件一邊使所述熱處理部分內(nèi)的空氣在與所述空調(diào)部分 之間進(jìn)行循環(huán)， 一邊對空氣進(jìn)行加熱。
5. —種熱處理裝置，包括熱處理部分，可以裝入被處理件；加熱 裝置，對空氣進(jìn)行加熱，使所述熱處理部分內(nèi)的溫度達(dá)到能對所述被處 理件進(jìn)行熱處理的溫度；以及換氣裝置，對所述熱處理部分內(nèi)部進(jìn)行換 氣，其特征在于，還包括換氣量調(diào)整裝置，使所述換氣裝置的換氣量在對所述被處理 件進(jìn)行熱處理以外的時間里，比進(jìn)行熱處理時減少。
6. —種熱處理裝置，包括熱處理部分，可以裝入被處理件；加熱 裝置，對空氣進(jìn)行加熱，使所述熱處理部分內(nèi)的溫度達(dá)到能對所述被處 理件進(jìn)行熱處理的溫度；以及換氣裝置，對所述熱處理部分內(nèi)部進(jìn)行換 氣，其特征在于，還包括換氣量調(diào)整裝置，在所述被處理件的熱處理結(jié)束后，使所述 換氣裝置的換氣量減少。
全文摘要
本發(fā)明提供一種熱處理裝置，其包括熱處理部件，在把被處理件裝入到熱處理部分內(nèi)的狀態(tài)下，通過使所述熱處理部分內(nèi)的空氣邊循環(huán)邊加熱，來對所述被處理件進(jìn)行熱處理；換氣裝置，通過把外部氣體加熱后送入到所述熱處理部分內(nèi)，并且把所述熱處理部分內(nèi)的空氣排出，對所述熱處理部分內(nèi)部進(jìn)行換氣；以及換氣量調(diào)整裝置，使所述換氣裝置的換氣量在所述熱處理部件不對被處理件進(jìn)行熱處理時比所述熱處理部件對被處理件進(jìn)行熱處理時減少。這種熱處理裝置能降低整個熱處理裝置的電力消耗。
文檔編號F27D7/00GK101173840SQ20071014586
公開日2008年5月7日 申請日期2007年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月13日
發(fā)明者長野由龜雄 申請人:愛斯佩克株式會社