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多晶硅鑄錠爐用石墨坩鍋的制作方法

文檔序號(hào):4654116閱讀:162來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:多晶硅鑄錠爐用石墨坩鍋的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種多晶硅鑄錠爐用石墨坩鍋,屬多晶硅鑄錠爐 用石墨坩堝的制造技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
現(xiàn)有使用的多晶硅鑄錠爐,其用于支撐石英坩堝的石墨坩鍋都是 由四塊側(cè)板與一塊底板組合而成,當(dāng)發(fā)生硅液溢出時(shí),硅液在平坦的 石墨坩堝底板上可以往四處任意流動(dòng)。由于硅液溢出是一種工藝事 故,須及時(shí)發(fā)現(xiàn)并采取相應(yīng)措施處理,而硅液的不確定流向延長(zhǎng)了事 故的報(bào)警時(shí)間,極易引發(fā)更為嚴(yán)重的后果。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型目的是提供一種設(shè)計(jì)合理,使用方便,能有效導(dǎo)引硅 液流向的多晶硅鑄錠爐用石墨坩鍋。本實(shí)用新型為多晶硅鑄錠爐用石墨坩鍋,包括底板,置于底板四 周帶緊固螺絲的側(cè)板,其特征在于底板的四周與側(cè)板的底部之間還開(kāi)設(shè)有溝槽。所述底板上的溝槽在底板的四周可為任意位置、任意數(shù)量設(shè)置。 本實(shí)用新型通過(guò)在底板四周與側(cè)板的底部之間開(kāi)設(shè)溝槽,使石墨 坩鍋的整體設(shè)計(jì)更趨合理,當(dāng)石英坩堝出現(xiàn)裂紋時(shí),可在溝槽的導(dǎo)引之下,將溢流硅液及時(shí)按指定流向溢流,產(chǎn)生報(bào)警,提醒操作者注意。


圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實(shí)用新型去除部分側(cè)板和緊固螺絲后的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖3為本實(shí)用新型使用狀態(tài)的局部剖視圖; 圖4為圖3所示A部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型主要由底板3,置于底板3四周帶緊固螺絲4的側(cè)板 1、 2,開(kāi)設(shè)于底板3四周與側(cè)板l、 2的底部之間的溝槽5等構(gòu)成, 溝槽5在底板3四周為任意位置、任意數(shù)量設(shè)置。正常生產(chǎn)時(shí),按附圖3所示,將石英坩堝6置于本實(shí)用新型內(nèi)即 可使用。原材料硅7在石英坩堝6中被加熱熔化。當(dāng)石英坩堝6出現(xiàn) 裂紋時(shí),硅液必然沿著石墨坩堝與石英坩堝6之間的縫隙往下流,由 于結(jié)構(gòu)上的原因,石墨坩堝與石英坩堝在底部會(huì)形成一個(gè)縫隙,由此, 沿縫隙流下的硅液會(huì)沿著底板3上的溝槽5往下流,在溝槽5的導(dǎo)引 之下,溢流硅液及時(shí)按指定流向溢流,產(chǎn)生報(bào)警,提醒操作者注意。 附圖4中所示的箭頭指向表示硅液溢流流向。
權(quán)利要求1. 一種多晶硅鑄錠爐用石墨坩鍋,包括底板(3),置于底板(3)四周帶緊固螺絲(4)的側(cè)板(1)、(2),其特征在于底板(3)的四周與側(cè)板(1)、(2)的底部之間還開(kāi)設(shè)有溝槽(5)。
專利摘要一種多晶硅鑄錠爐用石墨坩鍋,屬多晶硅鑄錠爐用石墨坩堝的制造技術(shù)領(lǐng)域,主要由底板(3),置于底板(3)四周帶緊固螺絲(4)的側(cè)板(1)、(2),開(kāi)設(shè)于底板(3)四周與側(cè)板(1)、(2)的底部之間的溝槽(5)等構(gòu)成,溝槽(5)在底板(3)四周為任意位置、任意數(shù)量設(shè)置。本實(shí)用新型通過(guò)在底板四周與側(cè)板的底部之間開(kāi)設(shè)溝槽,使石墨坩鍋的整體設(shè)計(jì)更趨合理,當(dāng)石英坩堝出現(xiàn)裂紋時(shí),可在溝槽的導(dǎo)引之下,將溢流硅液及時(shí)按指定流向溢流,產(chǎn)生報(bào)警,提醒操作者注意。
文檔編號(hào)F27B14/10GK201104102SQ200720113619
公開(kāi)日2008年8月20日 申請(qǐng)日期2007年8月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月23日
發(fā)明者衛(wèi)國(guó)軍, 孫海梁, 徐芳華, 杰 高 申請(qǐng)人:浙江精工科技股份有限公司;紹興縣精工機(jī)電研究所有限公司
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