專利名稱：一種爐管裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種爐管裝置，特別是涉及一種改進(jìn)噴管的爐管裝置。
背景技術(shù)：
目前的爐管(Furnace)裝置，例如日立國際電氣(KE)的爐管，如 圖1所示，圖中的箭頭為KE爐管工作中氣體的流向，由于爐體l內(nèi)的O 型圈(O-ring)(圖中未示出)未頂緊，而目前的噴管(nozzle) 3設(shè)計(jì)為"L" 型，氣體流向?qū)е聡姽?產(chǎn)生一個(gè)向心力，從而使噴管3被爐內(nèi)的真空吸 出。再者，如圖2所示，噴管支承圈4的表面是光滑的，對(duì)于其所支承的 噴管3沒有阻力，氣體流向?qū)е碌南蛐牧κ箛姽?向內(nèi)移動(dòng)，而與工作中 爐內(nèi)旋轉(zhuǎn)的石英舟(Boat) 2相撞，造成噴管3斷裂，從而使產(chǎn)品報(bào)廢。

實(shí)用新型內(nèi)容
鑒于現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型的目的在于提供一種包括改進(jìn)噴管 的爐管裝置。
本實(shí)用新型提供的一種爐管裝置，包含爐體，石英舟，噴管和噴管支 承圈，上述噴管與上述噴管支承圈接觸的一端具有一個(gè)或一個(gè)以上的對(duì)所 述噴管進(jìn)行限位的裝置。
優(yōu)選地，上述限位的裝置為凸塊。
優(yōu)選地，至少一個(gè)上述凸塊與上述噴管支承圈的外周緣接觸。 優(yōu)選地，上述限位的裝置為一夾持部
本實(shí)用新型的爐管裝置改進(jìn)的噴管具有限位的裝置，當(dāng)噴管被真空吸出時(shí)，噴管支承圈可以擋住該限位的裝置，從而避免噴管由于向心力的作 用而向內(nèi)移動(dòng)，進(jìn)而發(fā)生與旋轉(zhuǎn)的石英舟踫撞的事故。
以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。 對(duì)于所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，從對(duì)本實(shí)用新型的詳細(xì)說明中，本實(shí) 用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將顯而易見。


圖l為公知的爐管裝置示意圖2為公知的爐管裝置內(nèi)噴管的示意圖3為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的噴管的示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例如圖3所示。
為了解決噴管3被吸入而與旋轉(zhuǎn)的石英舟2踫撞，從而造成噴管3斷 裂的事故，本實(shí)用新型一優(yōu)選的實(shí)施例在噴管3的底部加入一凸塊5以對(duì) 該噴管3進(jìn)行限位，即在原來成"L"型的噴管3與噴管支承圈4的外周緣 接觸處加入一凸塊5，也可以有兩個(gè)凸塊5，中間夾著該噴管支承圈4。噴 管3的材質(zhì)可以是摻雜多晶硅(DPOLY)，也可以是不摻雜多晶硅 (UPOLY)。工作時(shí)，當(dāng)氣體流向?qū)е碌南蛐牧κ箛姽?向內(nèi)移動(dòng)時(shí)，噴 管3底部的凸塊5會(huì)被噴管支承圈4擋住，從而阻止噴管3內(nèi)移，避免噴 管3與石英舟2踫撞。
當(dāng)然，對(duì)于屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，上述的限位的裝置除凸塊5 之外還可以采用其他結(jié)構(gòu)，例如在噴管3上設(shè)置一夾持部將噴管3夾持在 噴管支承圈4上等方式，只要能夠限定上述噴管3的位置使其不至因向心 力與石英舟2相撞而造成設(shè)備損壞的裝置即可，在此不一一贅述。
當(dāng)然，本實(shí)用新型還可有其他實(shí)施例，在不背離本實(shí)用新型精神及其 實(shí)質(zhì)的情況下，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本實(shí)用新型作出各種相 應(yīng)的改變，但這些相應(yīng)的改變都應(yīng)屬于本實(shí)用新型的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種爐管裝置，包含爐體，石英舟，噴管和噴管支承圈，所述噴管成“L”型，其特征在于，上述噴管與上述噴管支承圈接觸的一端具有一個(gè)或一個(gè)以上的對(duì)所述噴管進(jìn)行限位的裝置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管裝置，其特征在于，上述限位的裝置 為凸塊。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐管裝置，其特征在于，至少一個(gè)上述凸 塊與上述噴管支承圈的外周緣接觸。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管裝置，其特征在于，上述限位的裝置 為一夾持部。
專利摘要本實(shí)用新型提供的爐管裝置，是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的爐管裝置中的噴管容易被吸出與旋轉(zhuǎn)的石英舟碰撞的缺陷而提出的，本實(shí)用新型通過在噴管的底部加入一限位的裝置，當(dāng)噴管內(nèi)移時(shí)該限位的裝置會(huì)被噴管支承圈擋住，從而有效阻止噴管的內(nèi)移。
文檔編號(hào)F27D5/00GK201072298SQ20072012653
公開日2008年6月11日 申請(qǐng)日期2007年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月8日
發(fā)明者孫雷軍 申請(qǐng)人:和艦科技(蘇州)有限公司