專利名稱：300mm立式氧化爐爐體熱電偶固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種用于300mm硅片熱處理的氧化爐設(shè)備，具體的是一種用于300mm硅片氧化處理的立式氧化爐爐體的熱電偶固定裝置。
背景技術(shù)：
氧化爐是用于硅片進行氧化、退火等熱處理工藝的半導(dǎo)體設(shè)備，現(xiàn)在的氧化爐，大 都是臥式結(jié)構(gòu)，其溫度均勻性及控溫精度不夠理想，操作和控制不夠精確靈活，自動化程度 低、生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量不夠高，不能適應(yīng)300mm硅片的生產(chǎn)需求。特別是爐體的熱電偶固 定裝置固定方式不夠理想，以往臥式爐體熱電偶的固定方式為徑向固定結(jié)構(gòu)，易弄斷熱電 偶，同時軸向方向幾乎沒有約束，所以，需要對其結(jié)構(gòu)進行改進。因此，需要提出一種結(jié)構(gòu)改 進的立式氧化爐爐體熱電偶固定方式。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決上述技術(shù)問題，提出一種300mm立式氧化爐熱電偶固定 裝置，該裝置結(jié)構(gòu)科學(xué)、新穎、簡單適用，固牢性強，準確地控制熱電偶各個方向的位置。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的300mm立式氧化爐爐體熱電偶固定 裝置，其特征在于設(shè)有固定板，該固定板的外側(cè)中心部位設(shè)有一個凹槽，在該凹槽內(nèi)固定 設(shè)置一個固定塊，熱電偶固定在該固定塊的中心孔中，固定塊的旁邊設(shè)有一個直邊，固定塊 的一側(cè)固定設(shè)有一個擋板，該擋板的內(nèi)側(cè)邊與固定塊的直邊緊靠在一起將固定塊和熱電偶 卡住，所述固定板通過螺栓固定在氧化爐爐體的內(nèi)壁上；熱電偶固定裝置設(shè)有數(shù)個，縱向間 隔設(shè)置在氧化爐爐體上；所述固定板、固定塊、擋板用耐熱材料制成。本發(fā)明的爐體熱電偶固定裝置通過精確的設(shè)計計算和合理巧妙的設(shè)計，使熱電偶 能夠全方位固定而且易于更換。


圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明實施例參見附圖，300mm 立式氧化爐爐體熱電偶固定裝置，設(shè)有固定板5，該固定板的外側(cè)中心部位設(shè)有一個凹槽， 在該凹槽內(nèi)固定設(shè)置一個固定塊3，熱電偶2固定在該固定塊的中心孔中，固定塊的旁邊設(shè) 有一個直邊，固定塊的一側(cè)固定設(shè)有一個擋板1，該擋板的內(nèi)側(cè)邊與固定塊的直邊緊靠在一 起將固定塊和熱電偶卡住，所述固定板通過螺栓4固定在立式氧化爐爐體的內(nèi)壁上；熱電 偶固定裝置設(shè)有數(shù)個，縱向間隔設(shè)置在立式氧化爐爐體上；所述固定板、固定塊、擋板用絕 緣、耐熱材料制成。
權(quán)利要求
一種300mm立式氧化爐爐體熱電偶固定裝置，其特征在于設(shè)有固定板(5)，該固定板的外側(cè)中心部位設(shè)有一個凹槽，在該凹槽內(nèi)固定設(shè)置一個固定塊(3)，熱電偶(2)固定在該固定塊的中心孔中，固定塊的旁邊設(shè)計有一個直邊，固定塊的一側(cè)固定設(shè)有一個擋板(1)，該擋板的內(nèi)側(cè)邊與固定塊的直邊緊靠在一起將固定塊和熱電偶卡住，所述固定板通過螺栓(4)固定在氧化爐爐體的內(nèi)壁上；熱電偶固定裝置設(shè)有數(shù)個，縱向間隔設(shè)置在氧化爐爐體上；所述固定板、固定塊、擋板用絕緣、耐熱材料制成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種300mm立式氧化爐爐體熱電偶固定裝置，其特征在于設(shè)有固定板(5)，該固定板的外側(cè)中心部位設(shè)有一個凹槽，在該凹槽內(nèi)固定設(shè)置一個固定塊(3)，熱電偶(2)固定在該固定塊的中心孔中，固定塊的一側(cè)設(shè)有一個直邊，固定塊的一側(cè)固定設(shè)有一個擋板(1)，該擋板的內(nèi)側(cè)邊與固定塊的直邊緊靠在一起將固定塊和熱電偶卡住，所述固定板通過螺栓(4)固定在立式氧化爐爐體的內(nèi)壁上；熱電偶固定裝置設(shè)有數(shù)個，縱向間隔設(shè)置在立式氧化爐爐體上；所述固定板、固定塊、擋板用耐熱材料制成。本發(fā)明適用于300mm立式氧化爐爐體熱電偶的固定，結(jié)構(gòu)科學(xué)、新穎，固定效果好，易于更換熱電偶。
文檔編號F27B1/10GK101813411SQ200810240138
公開日2010年8月25日 申請日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月17日
發(fā)明者胡星強, 艾倫·埃馬米, 董金衛(wèi), 鐘華 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司