專利名稱：300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種用于300mm硅片熱處理的氧化爐設(shè)備，具體的是一種用于300mm 硅片氧化處理的立式氧化爐的爐體爐絲固定裝置。
背景技術(shù)：
氧化爐是用于硅片進行氧化、退火等熱處理工藝的半導(dǎo)體設(shè)備，現(xiàn)在的氧化爐，大
都是臥式結(jié)構(gòu)，其溫度均勻性及控溫精度不夠理想，操作和控制不夠精確靈活，自動化程度 低、生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量不夠高，不能適應(yīng)300mm硅片的生產(chǎn)需求。因此，需要提出一種結(jié)
構(gòu)改進的立式氧化爐。需要在爐體爐絲引線固定裝置上進行全新的設(shè)計。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決上述技術(shù)問題，提出一種300mm立式氧化爐爐體爐絲固
定裝置，該裝置結(jié)構(gòu)新穎簡單適用，固牢性強，對爐絲高溫狀態(tài)的保護結(jié)構(gòu)科學(xué)、合理。 本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝
置，其特征在于該固定裝置由數(shù)個絕緣子組構(gòu)成，每個絕緣子組設(shè)有支撐桿、頂部絕緣子、
中部絕緣子、底部絕緣子，該頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子穿在所述支撐桿上，上下
相鄰兩個絕緣子的凹凸部分相互吻合，并各設(shè)有一個半圓凹槽相對，形成空隙，該空隙的直
徑大于爐絲的直徑，爐絲支撐在該絕緣子間的空隙中，支撐桿的上下兩端分別固定在氧化
爐爐體的頂塊和底塊上；數(shù)個絕緣子組在氧化爐爐體內(nèi)圓周上均勻分布，頂部絕緣子的厚
度在圓周方向上依次減少，相對應(yīng)的底部絕緣子的厚度則依次增加。 本發(fā)明的300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置，其絕緣子的設(shè)計形式有利于爐絲 加熱時的熱變形及恢復(fù)，有利于加熱元件壽命的提高。同時使爐絲的固定更加準確、可靠、 合理。本裝置中各絕緣子具有凸緣，凸緣上下相扣，保證各個絕緣子之間沒有相對轉(zhuǎn)動，使 爐體的結(jié)構(gòu)更加合理。


圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明的上絕緣子的俯視圖； 圖3是本發(fā)明的上絕緣子的側(cè)視圖； 圖4是本發(fā)明的中絕緣子的俯視圖； 圖5是本發(fā)明的中絕緣子的側(cè)視圖； 圖6是本發(fā)明的下絕緣子的俯視圖； 圖7是本發(fā)明的下絕緣子的側(cè)視圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明實施例參見附圖，300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置，該固定裝置由16個絕緣子組構(gòu)成，每個絕緣子組設(shè)有支撐 桿1、 1個頂部絕緣子2、 100個中部絕緣子3、 1個底部絕緣子4，該頂部絕緣子、中部絕緣子、 底部絕緣子穿在所述支撐桿上，上下相鄰兩個絕緣子的凹凸部分相互吻合，并各設(shè)有一個 半圓凹槽相對，形成空隙，該空隙的直徑大于爐絲6的直徑，爐絲支撐在該絕緣子間的空隙 中，支撐桿的上下兩端分別固定在氧化爐爐體的頂塊5和底塊5. 1上；16個絕緣子組在氧 化爐爐體內(nèi)圓周上均勻分布，頂部絕緣子的厚度在圓周方向上依次減少，相對應(yīng)的底部絕 緣子的厚度則依次增加，以保證爐體上下底面水平。
權(quán)利要求
一種300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置，其特征在于該固定裝置由數(shù)個絕緣子組構(gòu)成，每個絕緣子組設(shè)有支撐桿(1)、頂部絕緣子(2)、中部絕緣子(3)、底部絕緣子(4)，該頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子穿在所述支撐桿上，上下相鄰兩個絕緣子的凹凸部分相互吻合，并各設(shè)有一個半圓凹槽相對，形成空隙，該空隙的直徑大于爐絲的直徑，爐絲支撐在該絕緣子間的空隙中，支撐桿的上下兩端分別固定在氧化爐爐體的頂塊(5)和底塊(5.1)上；數(shù)個絕緣子組在氧化爐爐體內(nèi)圓周上均勻分布，頂部絕緣子的厚度及底部絕緣子的厚度在圓周上依次遞增或遞減。以保證爐體上下底面水平。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置，該固定裝置由數(shù)個絕緣子組構(gòu)成，每個絕緣子組設(shè)有支撐桿、頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子，該頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子穿在所述支撐桿上，上下相鄰兩個絕緣子的凹凸部分相互吻合，并各設(shè)有一個半圓凹槽相對，形成空隙，該空隙的直徑大于爐絲的直徑，爐絲支撐在該絕緣子間的空隙中，支撐桿的上下兩端分別固定在氧化爐爐體的頂塊和底塊上；數(shù)個絕緣子組在氧化爐爐體內(nèi)圓周上均勻分布。本發(fā)明適用于處理300mm硅片的立式氧化爐爐體的爐絲固定，加工工藝好。從而很好支撐了爐絲，由于爐絲固定結(jié)構(gòu)科學(xué)、合理，從而延長了爐體壽命。
文檔編號F27B1/10GK101776386SQ200810240139
公開日2010年7月14日 申請日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月17日
發(fā)明者胡星強, 艾倫·埃馬米, 趙星梅, 鐘華 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司