專利名稱：300mm立式氧化爐雙壁反應(yīng)管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)發(fā)明屬于一種硅片加工裝置，具體的是一種用于硅片加熱氧化工藝 的立式氧化爐中的反應(yīng)管。
背景技術(shù)：
反應(yīng)管是立式氧化爐系統(tǒng)中最關(guān)鍵的部件之一，硅片的工藝過程全部在 反應(yīng)管內(nèi)進(jìn)行，反應(yīng)管的設(shè)計(jì)將直接影響硅片氧化膜的質(zhì)量。已往的反應(yīng)管 結(jié)構(gòu)進(jìn)氣管只是兩根很細(xì)的石英管焊在反應(yīng)管外壁上，這種結(jié)構(gòu)不利于工 藝氣體的均勻預(yù)熱及均勻分布。偶管的設(shè)計(jì)上多采用每支熱偶用一個(gè)偶管， 這樣對(duì)于5個(gè)溫區(qū)的爐體來說，在反應(yīng)管的外壁上就要焊接5根偶管，此種 結(jié)構(gòu)不利于結(jié)構(gòu)緊湊，同時(shí)很難保證5根熱偶之間的相對(duì)位置的精確及拆卸 后位置的重復(fù)精度。因此，需要提出一種新結(jié)構(gòu)的立式氧化爐的反應(yīng)管。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決上述技術(shù)問題，提出一種300mm立式氧化爐 雙壁反應(yīng)管，該反應(yīng)管結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)完善合理，保證了硅片的加工效果。
本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的300mm立式氧化爐雙壁反 應(yīng)管，其特征在于設(shè)有圓桶形石英材料的外管壁和內(nèi)管壁，內(nèi)管壁與外管 壁之間設(shè)有間隔夾層，外管壁上端封閉，內(nèi)管壁上端為開口，內(nèi)、外管壁下 端密封連接；在內(nèi)管壁的下端設(shè)有連通內(nèi)、外管壁之間夾層和氣源的進(jìn)氣管 及連通內(nèi)管壁的內(nèi)腔與反應(yīng)管外的出氣管；在外管壁內(nèi)焊接固定有兩個(gè)偶 管，在該偶管的下端焊接有一個(gè)半圓柱管，該半圓柱管焊在內(nèi)管壁上，其外 側(cè)設(shè)有一個(gè)用以安裝熱電偶的橢圓形開口 。
在反應(yīng)管下面設(shè)有法蘭盤，該法蘭盤上設(shè)有一個(gè)定位凸塊。
本發(fā)明采用了雙壁反應(yīng)管，這種方式可以有效的使工藝氣體均布在整個(gè) 雙壁石英管夾層內(nèi)，從而使工藝氣體在管內(nèi)從下向上流動(dòng)過程中被充分的均勻的加熱。然后進(jìn)入內(nèi)壁，充滿整個(gè)內(nèi)腔，硅片工藝結(jié)束后，殘余氣體由出 氣口排出。石英偶管被焊接在內(nèi)外管之間，可以更好的測試硅片的溫度，同 時(shí)使得工藝管的結(jié)構(gòu)更加合理。偶管與外壁焊接，并通過焊接細(xì)小的半圓柱 形支撐管固定整個(gè)偶管，有效的固定偶管。半圓柱管設(shè)有橢圓形開口，這樣 比直接在工藝管即內(nèi)管壁上開口不僅尺寸要大，而且石英制品的加工工藝性 能更好了，此結(jié)構(gòu)有利于熱電偶在偶管的安裝，防止熱電偶在安裝時(shí)因偶管 開口過小而造成碰撞損壞。在反應(yīng)管的法蘭上增加一個(gè)凸塊，更好地對(duì)反應(yīng) 管進(jìn)行定位，保證反應(yīng)管在爐體內(nèi)的同軸度，起到了定位準(zhǔn)確、結(jié)構(gòu)簡單的 作用。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)完善，整體性強(qiáng)，能保證工藝效果好的優(yōu)點(diǎn)。


圖l是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明的剖視圖； 圖3是圖1中局部A的放大圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明實(shí)施例參見附圖， 300mm立式氧化爐雙壁反應(yīng)管，設(shè)有圓桶形石英材料的外管壁2和內(nèi)管壁1, 內(nèi)管壁與外管壁之間設(shè)有間隔夾層1.1,外管壁上端封閉，內(nèi)管壁上端為開 口，內(nèi)、外管壁下端密封連接；在內(nèi)管壁的下端設(shè)有連通內(nèi)、外管壁之間夾 層和氣源的進(jìn)氣管5及連通內(nèi)管壁的內(nèi)腔與反應(yīng)管外的出氣管4;在外管壁 內(nèi)焊接固定有兩個(gè)偶管3,在該偶管的下端焊接有一個(gè)半圓柱管6，該半圓 柱管焊在內(nèi)管壁上，其外側(cè)設(shè)有一個(gè)用以安裝熱電偶的橢圓形開口 6.1。在 反應(yīng)管下面設(shè)有法蘭盤7，該法蘭盤上設(shè)有一個(gè)定位凸塊7.1 。
權(quán)利要求
1、一種300mm立式氧化爐雙壁反應(yīng)管，其特征在于設(shè)有圓桶形石英材料的外管壁(2)和內(nèi)管壁(1)，內(nèi)管壁與外管壁之間設(shè)有間隔夾層(1.1)，外管壁上端封閉，內(nèi)管壁上端為開口，內(nèi)、外管壁下端密封連接；在內(nèi)管壁的下端設(shè)有連通內(nèi)、外管壁之間夾層和氣源的進(jìn)氣管(5)及連通內(nèi)管壁的內(nèi)腔與反應(yīng)管外的出氣管(4)；在外管壁內(nèi)焊接固定有兩個(gè)偶管(3)，在該偶管的下端焊接有一個(gè)半圓柱管(6)，該半圓柱管焊在內(nèi)管壁上，其外側(cè)設(shè)有一個(gè)用以安裝熱電偶的橢圓形開口(6.1)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)管，其特征在于在反應(yīng)管下面設(shè)有法蘭 盤(7)，該法蘭盤上設(shè)有一個(gè)定位凸塊(7.1)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種300mm立式氧化爐雙壁反應(yīng)管，設(shè)有圓桶形石英材料的外管壁和內(nèi)管壁，內(nèi)管壁與外管壁之間設(shè)有間隔夾層，外管壁上端封閉，內(nèi)管壁上端為開口，內(nèi)、外管壁下端密封連接；在內(nèi)管壁的下端設(shè)有連通內(nèi)、外管壁之間夾層和氣源的進(jìn)氣管及連通內(nèi)管壁的內(nèi)腔與反應(yīng)管外的出氣管；在外管壁內(nèi)焊接固定有兩個(gè)偶管，在該偶管的下端焊接有一個(gè)半圓柱管，該半圓柱管焊在內(nèi)管壁上，其外側(cè)設(shè)有一個(gè)用以安裝熱電偶的橢圓形開口。在反應(yīng)管下面設(shè)有法蘭盤，該法蘭盤上設(shè)有一個(gè)定位凸塊。本發(fā)明適用于立式氧化爐的爐體內(nèi)使用，是硅片氧化的反應(yīng)腔室，加工質(zhì)量易于保證，結(jié)構(gòu)完善，使用方便靈活。
文檔編號(hào)F27B1/10GK101526306SQ20081024115
公開日2009年9月9日 申請(qǐng)日期2008年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月31日
發(fā)明者胡星強(qiáng), 艾倫·埃馬米, 董金衛(wèi), 趙星梅, 華 鐘 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司