專利名稱：一種硅片甩干機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種硅片甩干機，屬晶體硅制備裝置技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有硅片甩干機多為進口設(shè)備，主流甩干方式采用水平旋轉(zhuǎn)甩干，該結(jié)構(gòu)
兼容性強，操作簡單。4、 5、 6、 8、寸硅片均可用該設(shè)備甩干。設(shè)備內(nèi)腔由不 銹鋼組成，甩干過程分兩步，低速旋轉(zhuǎn)一段時間后再進行高速旋轉(zhuǎn)，進風通過 設(shè)備頂部的高效過濾單元直接耳又自凈化間。
該設(shè)備與傳統(tǒng)的單cassette垂直甩干方式相比具有甩干時間短，效率高， 一次可甩干4個cassette,操作、安裝簡單等特點。
設(shè)備在雨水較多，大氣空氣質(zhì)量較好的環(huán)境下安裝使用時沒有任何問題， 但在秋冬兩季，空氣干燥，大氣空氣質(zhì)量不好以及凈化間溫濕度控制不當時， 清洗甩干后的硅片在存放一段時間后會出現(xiàn)色斑，在強光燈或顆粒檢測儀下看 是一些密集的點狀缺陷，會嚴重的影響器件的成品率。
該缺陷產(chǎn)生的原因在于，該類型的甩干機轉(zhuǎn)速只有1000轉(zhuǎn)/分，片子在甩 干完成后，干燥不充分，在凈化間存在有機物或其它的酸根和堿根離子時，會 形成時間依敕性的霧，時間依敕性的霧就是一些點狀缺陷，而且也會影響柵氧 的完整性，造成漏電，考慮該設(shè)備的進風是通過空氣過濾裝置直接將凈化間的 空氣給入的，國內(nèi)現(xiàn)有凈化廠房條件與國外發(fā)達技術(shù)相比存在差距，凈化間中 的Airborne molecular contamination不易4空制。因jt匕在厄干過禾呈中力口裝氣氣 保護就變得非常重要。

實用新型內(nèi)容
本實用新型需要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片甩干機，通過對現(xiàn)有甩干 機的結(jié)構(gòu)改造，使甩干后的產(chǎn)品干燥充分，徹底解決硅片表面形成時間依敕性
3霧的缺陷。
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采用的技術(shù)方案是 一種硅片甩干機，其結(jié)構(gòu)中包括，腔體，腔體內(nèi)設(shè)置旋轉(zhuǎn)體，旋轉(zhuǎn)體上承 載硅片架，腔體頂部設(shè)置包括空氣過濾裝置的頂蓋，空氣過濾裝置由過濾介質(zhì)、 隔板和框架組成，在甩干機頂蓋上設(shè)置有連通空氣過濾裝置的氮氣進氣口 。
本實用新型的上述技術(shù)方案的進一步改進在于氮氣進氣口與空氣過濾裝 置之間設(shè)置一互相連通的氮氣箱。
由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型取得的技術(shù)進步是 本實用新型通過加裝氮氣進氣裝置，使設(shè)備具有強制干燥功能，片子在甩 千的同時，附加氮氣干燥作用，可徹底去除表面的水氣，解決表面形成時間依 敕性霧的問題，同時空氣過濾裝置又保證了硅片表面的顆粒不超標，本新型結(jié) 構(gòu)在不改變原有結(jié)構(gòu)前提下進行改進，結(jié)構(gòu)筒單，性能可靠。


圖1是新型硅片甩干機結(jié)構(gòu)原理示意其中1、空氣過濾裝置，2、氮氣箱，3、氮氣進氣口， 4、旋轉(zhuǎn)體，5、 硅片架，6、腔體，7、頂蓋。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型做進一步詳細說明
如圖l所示，本實用新型結(jié)構(gòu)包括，腔體6,腔體6內(nèi)設(shè)置旋轉(zhuǎn)體4，旋轉(zhuǎn) 體4上承載硅片架5，腔體6頂部設(shè)置包括空氣過濾裝置1的頂蓋7，空氣過濾 裝置1由過濾介質(zhì)、隔板和框架組成，甩干機頂蓋7上設(shè)置有連通空氣過濾裝 置1的氮氣進氣口 3;氮氣進氣口 3與空氣過濾裝置1之間設(shè)置互相連通的氮氣
々々 ，相3。
清洗甩干過程
l.打開氮氣進氣口 3的控制閥門，把待甩干的清洗干凈的硅片及硅片架5 放在甩干機承載裝置內(nèi)。2. 啟動甩干程序則帶有氮氣箱2及空氣過濾裝置1的甩干機項蓋7自動蓋
上，開始甩干過程。
3. 程序結(jié)束后，頂蓋7自動打開，取出帶有已干燥的硅片的硅片架5。
權(quán)利要求1、一種硅片甩干機，其結(jié)構(gòu)中包括，腔體，腔體內(nèi)設(shè)置旋轉(zhuǎn)體，旋轉(zhuǎn)體上承載硅片架，腔體頂部設(shè)置包括空氣過濾裝置的頂蓋，空氣過濾裝置由過濾介質(zhì)、隔板和框架組成，其特征在于在甩干機頂蓋上設(shè)置有連通空氣過濾裝置的氮氣進氣口。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片甩干機，其特征在于所述氮氣進氣口 與空氣過濾裝置之間設(shè)置有互相連通的氮氣箱。
專利摘要本實用新型涉及一種硅片甩干機，屬晶體硅制備裝置技術(shù)領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)中包括，腔體，腔體內(nèi)設(shè)置旋轉(zhuǎn)體，旋轉(zhuǎn)體上承載硅片架，腔體頂部設(shè)置包括空氣過濾裝置的頂蓋，空氣過濾裝置由過濾介質(zhì)、隔板和框架組成，其特征在于在甩干機頂蓋上設(shè)置有連通空氣過濾裝置的氮氣進氣口。通過加裝氮氣進氣裝置，使設(shè)備具有強制干燥功能，片子在甩干的同時，附加氮氣干燥作用，可徹底去除表面的水氣，解決表面形成時間依敕性霧的問題，同時空氣過濾裝置又保證了硅片表面的顆粒不超標，本新型結(jié)構(gòu)在不改變原有結(jié)構(gòu)前提下進行改進，結(jié)構(gòu)簡單，性能可靠。
文檔編號F26B5/00GK201266000SQ20082010568
公開日2009年7月1日 申請日期2008年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月1日
發(fā)明者趙麗霞 申請人:河北普興電子科技股份有限公司