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300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置的制作方法

文檔序號:4680226閱讀:214來源:國知局
專利名稱:300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于一種用于300mm硅片熱處理的氧化爐設(shè)備,具體的是一 種用于300mm硅片氧化處理的立式氧化爐的爐體爐絲固定裝置。
背景技術(shù)
氧化爐是用于硅片進(jìn)行氧化、退火等熱處理工藝的半導(dǎo)體設(shè)備,現(xiàn)在的氧 化爐,大都是臥式結(jié)構(gòu),其溫度均勻性及控溫精度不夠理想,操作和控制不夠 精確靈活,自動(dòng)化程度低、生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量不夠高,不能適應(yīng)300mm硅 片的生產(chǎn)需求。因此,需要提出一種結(jié)構(gòu)改進(jìn)的立式氧化爐。需要在爐體爐絲 引線固定裝置上進(jìn)行全新的設(shè)計(jì)。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問題,提出一種300mm立式氧化 爐爐體爐絲固定裝置,該裝置結(jié)構(gòu)新穎簡單適用,固牢性強(qiáng),對爐絲高溫狀態(tài)
的保護(hù)結(jié)構(gòu)科學(xué)、合理。
本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的300mm立式氧化爐爐體 爐絲固定裝置,其特征在于該固定裝置由數(shù)個(gè)絕緣子組構(gòu)成,每個(gè)絕緣子組 設(shè)有支撐桿、頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子,該頂部絕緣子、中部絕 緣子、底部絕緣子穿在所述支撐桿上,上下相鄰兩個(gè)絕緣子的凹凸部分相互吻 合,并各設(shè)有一個(gè)半圓凹槽相對,形成空隙,該空隙的直徑大于爐絲的直徑, 爐絲支撐在該絕緣子間的空隙中,支撐桿的上下兩端分別固定在氧化爐爐體的 頂塊和底塊上;數(shù)個(gè)絕緣子組在氧化爐爐體內(nèi)圓周上均勻分布,頂部絕緣子的 厚度在圓周方向上依次減少,相對應(yīng)的底部絕緣子的厚度則慎沐塘加。
本實(shí)用新型的300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置,其絕緣子的設(shè)計(jì)形式有利于爐絲加熱時(shí)的熱變形及恢復(fù),有利于加熱元件壽命的提高。同時(shí)使?fàn)t 絲的固定更加準(zhǔn)確、可靠、合理。本裝置中各絕緣子具有凸緣,凸緣上下相扣, 保證各個(gè)絕緣子之間沒有相對轉(zhuǎn)動(dòng),使?fàn)t體的結(jié)構(gòu)更加合理。

圖1是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2是本實(shí)用新型的上絕緣子的俯視圖; 圖3是本實(shí)用新型的上絕緣子的側(cè)視圖; 圖4是本實(shí)用新型的中絕緣子的俯視圖; 圖5是本實(shí)用新型的中絕緣子的側(cè)視圖; 圖6是本實(shí)用新型的下絕緣子的俯視圖; 圖7是本實(shí)用新型的下絕緣子的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明實(shí)施例參見附圖, 300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置,該固定裝置由16個(gè)絕緣子組構(gòu)成,每 個(gè)絕緣子組設(shè)有支撐桿l、 l個(gè)頂部絕緣子2、 100個(gè)中部絕緣子3、 l個(gè)底部絕 緣子4,該頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子穿在所述支撐桿上,上下相 鄰兩個(gè)絕緣子的凹凸部分相互吻合,并各設(shè)有一個(gè)半圓凹槽相對,形成空隙, 該空隙的直徑大于爐絲6的直徑,爐絲支撐在該絕緣子間的空隙中,支撐桿的 上下兩端分別固定在氧化爐爐體的頂塊5和底塊5.1上;16個(gè)絕緣子組在氧化 爐爐體內(nèi)圓周上均勻分布,頂部絕緣子的厚度在圓周方向上依次減少,相對應(yīng) 的底部絕緣子的厚度則依次增加。
權(quán)利要求1、一種300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置,其特征在于該固定裝置由數(shù)個(gè)絕緣子組構(gòu)成,每個(gè)絕緣子組設(shè)有支撐桿(1)、頂部絕緣子(2)、中部絕緣子(3)、底部絕緣子(4),該頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子穿在所述支撐桿上,上下相鄰兩個(gè)絕緣子的凹凸部分相互吻合,并各設(shè)有一個(gè)半圓凹槽相對,形成空隙,該空隙的直徑大于爐絲的直徑,爐絲支撐在該絕緣子間的空隙中,支撐桿的上下兩端分別固定在氧化爐爐體的頂塊(5)和底塊(5.1)上;數(shù)個(gè)絕緣子組在氧化爐爐體內(nèi)圓周上均勻分布,頂部絕緣子的厚度及底部絕緣子的厚度在圓周上依次遞增或遞減,以保證爐體上下底面水平。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種300mm立式氧化爐爐體爐絲固定裝置,該固定裝置由數(shù)個(gè)絕緣子組構(gòu)成,每個(gè)絕緣子組設(shè)有支撐桿、頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子,該頂部絕緣子、中部絕緣子、底部絕緣子穿在所述支撐桿上,上下相鄰兩個(gè)絕緣子的凹凸部分相互吻合,并各設(shè)有一個(gè)半圓凹槽相對,形成空隙,該空隙的直徑大于爐絲的直徑,爐絲支撐在該絕緣子間的空隙中,支撐桿的上下兩端分別固定在氧化爐爐體的頂塊和底塊上;數(shù)個(gè)絕緣子組在氧化爐爐體內(nèi)圓周上均勻分布。本實(shí)用新型適用于處理300mm硅片的立式氧化爐爐體的爐絲固定,加工工藝好。從而很好支撐了爐絲,由于爐絲固定結(jié)構(gòu)科學(xué)、合理,從而延長了爐體壽命。
文檔編號F27B1/10GK201352062SQ20082012468
公開日2009年11月25日 申請日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月17日
發(fā)明者胡星強(qiáng), 艾倫·埃馬米, 趙星梅, 華 鐘 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
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