專利名稱：300mm立式氧化爐爐體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種用于300mm硅片熱處理的立式氧化爐，具體是一 種300mm立式氧化爐的爐體。
背景技術(shù)：
氧化爐是用于硅片進(jìn)行氧化、退火等熱處理工藝的半導(dǎo)體設(shè)備，現(xiàn)用的 氧化爐，大都是臥式結(jié)構(gòu)，其溫度均勻性及控溫精度不夠理想，操作和控制 不夠精確靈活，自動(dòng)化程度低、生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量不夠高，不能適應(yīng)300mm 硅片的生產(chǎn)需求。因此，需要提出一種結(jié)構(gòu)改進(jìn)的300mm立式氧化爐爐體。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，提出一種300mm立式氧 化爐爐體，該氧化爐爐體結(jié)構(gòu)新穎、完善，溫度控制靈活、精確，生產(chǎn)效率 和產(chǎn)品質(zhì)量大大提高。
本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的300mm立式氧化爐 爐體，設(shè)有主體、頂蓋、基座，其特征在于所述主體為一直立圓筒形，由 內(nèi)到外依次設(shè)有爐絲、爐絲支撐件、保溫棉層、內(nèi)壁、冷卻管、外壁，所述 爐絲在主體內(nèi)由上到下多圈環(huán)繞，由爐絲支撐件支撐固定，保溫棉層設(shè)置在 內(nèi)壁內(nèi)側(cè)，在內(nèi)壁和外壁之間設(shè)置上下迂廻彎曲的冷卻管；冷卻管設(shè)有冷卻 水進(jìn)出水口；設(shè)有多個(gè)熱電偶、爐絲引線穿過(guò)保溫層、內(nèi)壁、外壁，橫向固 定在內(nèi)壁上，熱電偶里端到達(dá)測(cè)溫位置，爐絲引線里端焊接在爐絲上；在主 體上口沿設(shè)有環(huán)形頂塊，該頂塊中間設(shè)有頂蓋，在主體的下口設(shè)有環(huán)形底塊， 所述頂蓋、頂塊、保溫棉、底塊組成保溫層，該保溫層通過(guò)頂塊和底塊固定 在內(nèi)壁上；冷卻管和外壁也固定在內(nèi)壁上，外壁將冷卻管包覆起來(lái)；內(nèi)壁周 定在基座上，該基座上設(shè)有冷卻密封槽和進(jìn)出水口。本實(shí)用新型的300mm立式氧化爐爐體是一種新型的爐體結(jié)構(gòu)形式，區(qū) 別與以往常規(guī)臥式爐體結(jié)構(gòu)，與一般立式爐爐體在結(jié)構(gòu)上也是有很大不同， 結(jié)構(gòu)新穎，首創(chuàng)。恒溫區(qū)長(zhǎng)度占爐體總長(zhǎng)度的70%，有效地節(jié)約了空間和能 源?？販鼐雀?，提高了處理硅片的質(zhì)量及效率。

圖1是本實(shí)用新型的外觀結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本實(shí)用新型的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本實(shí)用新型的基座結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4是圖2局部A放大示意圖； 圖5是圖3局部C放大示意圖； 圖6是圖2局部B放大示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明實(shí)施例參見(jiàn)附 圖，300mm立式氧化爐爐體，設(shè)有主體、頂蓋、基座，所述主體為一直立 圓筒形，由內(nèi)到外依次設(shè)有爐絲8、爐絲支撐件7、保溫棉層6、內(nèi)壁3、冷 卻管4、外壁5，所述爐絲在主體內(nèi)由上到下多圈環(huán)繞，由爐絲支撐件支撐 固定，保溫棉層設(shè)置在內(nèi)壁內(nèi)側(cè)，在內(nèi)壁和外壁之間設(shè)置上下迂廻彎曲的冷 卻管；冷卻管設(shè)有冷卻水進(jìn)出水口 (15);設(shè)有多個(gè)熱電偶ll、爐絲引線12 穿過(guò)保溫層、內(nèi)壁、外壁，橫向固定在內(nèi)壁上，熱電偶里端到達(dá)測(cè)溫位置， 爐絲引線里端焊接在爐絲上；在主體上口沿設(shè)有環(huán)形頂塊2，該頂塊中間設(shè) 有頂蓋1，在主體的下口設(shè)有環(huán)形底塊9，所述頂蓋、頂塊、保溫棉、底塊 組成保溫層，該保溫層通過(guò)頂塊和底塊固定在內(nèi)壁上；冷卻管和外壁也固定 在內(nèi)壁上，外壁將冷卻管包覆起來(lái)；內(nèi)壁固定在基座10上，該基座上設(shè)有 冷卻密封槽14和進(jìn)出水口 13。
權(quán)利要求1、一種300mm立式氧化爐爐體，設(shè)有主體、頂蓋、基座，其特征在于所述主體為一直立圓筒形，由內(nèi)到外依次設(shè)有爐絲(8)、爐絲支撐件(7)、保溫棉層(6)、內(nèi)壁(3)、冷卻管(4)、外壁(5)，所述爐絲在主體內(nèi)由上到下多圈環(huán)繞，由爐絲支撐件支撐固定，保溫棉層設(shè)置在內(nèi)壁內(nèi)側(cè)，在內(nèi)壁和外壁之間設(shè)置上下迂廻彎曲的冷卻管；冷卻管設(shè)有冷卻水進(jìn)出水口(15)；設(shè)有多個(gè)熱電偶(11)、爐絲引線(12)穿過(guò)保溫層、內(nèi)壁、外壁，橫向固定在內(nèi)壁上，熱電偶里端到達(dá)測(cè)溫位置，爐絲引線里端焊接在爐絲上；在主體上口沿設(shè)有環(huán)形頂塊(2)，該頂塊中間設(shè)有頂蓋(1)，在主體的下口設(shè)有環(huán)形底塊(9)，所述頂蓋、頂塊、保溫棉、底塊組成保溫層，該保溫層通過(guò)頂塊和底塊固定在內(nèi)壁上；冷卻管和外壁也固定在內(nèi)壁上，外壁將冷卻管包覆起來(lái)；內(nèi)壁固定在基座(10)上，該基座上設(shè)有冷卻密封槽(14)和進(jìn)出水口(13)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種300mm立式氧化爐爐體，設(shè)有主體、頂蓋、基座，主體為一直立圓筒形，由內(nèi)到外依次設(shè)有爐絲、爐絲支撐件、保溫棉層、內(nèi)壁、冷卻管、外壁，爐絲由爐絲支撐件支撐固定，保溫棉層設(shè)置在內(nèi)壁內(nèi)側(cè)，在內(nèi)壁和外壁之間設(shè)置冷卻管；設(shè)有多個(gè)熱電偶、爐絲引線穿過(guò)保溫層、內(nèi)壁、外壁，橫向固定在內(nèi)壁上；在主體上口沿設(shè)有環(huán)形頂塊，頂塊中間設(shè)有頂蓋，下口設(shè)有底塊，頂蓋、頂塊、保溫棉、底塊組成保溫層，保溫層固定在內(nèi)壁上；冷卻管和外壁也固定在內(nèi)壁上；內(nèi)壁固定在基座上，基座上設(shè)有冷卻密封槽和進(jìn)出水口。本實(shí)用新型適用于300mm硅片進(jìn)行氧化、退火等工藝，溫度控制精確，具有高質(zhì)量、高壽命、高效率的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)F27B1/00GK201382675SQ200820124688
公開(kāi)日2010年1月13日 申請(qǐng)日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月17日
發(fā)明者盛金龍, 程朝陽(yáng), 胡星強(qiáng), 艾倫·埃馬米, 華 鐘 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司