專利名稱：300mm立式氧化爐爐體冷卻系統的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于一種硅片熱處理設備，具體的是一種用于硅片氧化、退 火處理的立式氧化爐爐體的冷卻系統。
背景技術：
現在用于硅片熱處理的氧化爐大都是臥式的，其自動化程度及控溫精度 不高，操作不夠靈活，特別是爐體冷卻系統，基本不具備單獨的爐體冷卻設 置?？刂撇粔蜢`活精確，冷卻效率不夠理想，因此，需要對其進行改進。
實用新型內容
本實用新型的目的是為了解決上述技術問題，提出一種300mm立式氧 化爐爐體冷卻系統，該系統結構新穎、簡單適用，控制靈活，冷卻效果好。
本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的300mm立式氧化爐 爐體冷卻系統，設有冷卻管，其特征在于冷卻系統由爐體冷卻結構和基座 冷卻結構兩部分組成；所述爐體冷卻結構由冷卻管夾、螺栓組、冷卻管、連 接管組成，冷卻管為上下迂回彎曲并圍成圓筒狀，設置在氧化爐爐體的內外 壁之間，由冷卻管夾和螺栓組固定在爐體內壁上，并設有連接管與外面水管 連通；所述基座冷卻結構由基板、冷卻槽、冷卻環(huán)、隔離塊、進出水管組成， 基板上設有冷卻槽，該冷卻槽中設有隔離塊將冷卻槽斷開，隔離塊兩側設有 進水孔、出水孔與進出水管連通，所述冷卻環(huán)設置在冷卻槽上面，通過焊接 將冷卻槽密封。
本實用新型的立式氧化爐爐體冷卻系統能有效地給氧化爐爐體降溫，參 與爐體降溫，同時使爐體外表面溫度不致過高，從而提高周圍器件的使用壽 命。具有結構新穎、簡單適用、操作方便、冷卻效果好的優(yōu)點。

圖1是本實用新型的爐體冷卻管的結構示意圖； 圖2是爐體冷卻管的俯視圖； 圖3是本實用新型的基座冷卻結構示意圖； 圖4是圖3的B—B截面視圖； 圖5是圖4的局部C放大圖； 圖6是圖4的局部D放大圖； 圖7是圖3的局部A的放大圖。
具體實施方式

以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明實施例參見附
圖，300mm立式氧化爐爐體冷卻系統，設有冷卻管，冷卻系統由爐體冷卻 結構和基座冷卻結構兩部分組成；所述爐體冷卻結構由冷卻管夾1、螺栓組 2、冷卻管3、連接管4組成，冷卻管為上下迂回彎曲并圍成圓筒狀，設置在 氧化爐爐體的內外壁之間，由冷卻管夾和螺栓組固定在爐體內壁上，并設有 連接管與外面水管連通；所述基座冷卻結構由基板5、冷卻槽6、冷卻環(huán)7、 隔離塊8、進出水管9組成，基板上設有冷卻槽，該冷卻槽中設有隔離塊將 冷卻槽斷開，隔離塊兩側設有進水孔、出水孔與進出水管連通，所述冷卻環(huán) 設置在冷卻槽上面，通過焊接將冷卻槽密封。
權利要求1、一種300mm立式氧化爐爐體冷卻系統，設有冷卻管，其特征在于冷卻系統由爐體冷卻結構和基座冷卻結構兩部分組成；所述爐體冷卻結構由冷卻管夾(1)、螺栓組(2)、冷卻管(3)、連接管(4)組成，冷卻管為上下迂回彎曲并圍成圓筒狀，設置在氧化爐爐體的內外壁之間，由冷卻管夾和螺栓組固定在爐體內壁上，并設有連接管與外面水管連通；所述基座冷卻結構由基板(5)、冷卻槽(6)、冷卻環(huán)(7)、隔離塊(8)、進出水管(9)組成，基板上設有冷卻槽，該冷卻槽中設有隔離塊將冷卻槽斷開，隔離塊兩側設有進水孔、出水孔與進出水管連通，所述冷卻環(huán)設置在冷卻槽上面，將冷卻槽密封。
專利摘要本實用新型公開了一種300mm立式氧化爐爐體冷卻系統，冷卻系統由爐體冷卻結構和基座冷卻結構兩部分組成；所述爐體冷卻結構由冷卻管夾、螺栓組、冷卻管、連接管組成，冷卻管為上下迂回彎曲并圍成圓筒狀，設置在氧化爐爐體的內外壁之間，由冷卻管夾和螺栓組固定在爐體內壁上，并設有連接管與外面水管連通；所述基座冷卻結構由基板、冷卻槽、冷卻環(huán)、隔離塊、進出水管組成，基板上設有冷卻槽，該冷卻槽中設有隔離塊將冷卻槽斷開，隔離塊兩側設有進水孔、出水孔與進出水管連通，所述冷卻環(huán)設置在冷卻槽上面，通過焊接將冷卻槽密封。本實用新型適用于300mm立式氧化爐爐體的冷卻，結構簡捷、完善，冷卻效果好，控制靈活。
文檔編號F27B1/24GK201352064SQ200820124689
公開日2009年11月25日 申請日期2008年12月17日 優(yōu)先權日2008年12月17日
發(fā)明者胡星強, 艾倫·埃馬米, 董金衛(wèi), 趙星梅 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司