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推拉舟帶熱屏蔽罩的前限位裝置的制作方法

文檔序號(hào):4759356閱讀:340來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):推拉舟帶熱屏蔽罩的前限位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于一種電熱加工工藝中與電熱爐配套使用的推拉舟上的配件,具體
是擴(kuò)散爐的推拉舟上帶熱屏蔽罩的前限位裝置。
背景技術(shù)
在電熱加工工藝中使用一種電熱爐,比如,太陽(yáng)能電池上使用的硅片加工中,使用 一種擴(kuò)散爐,該擴(kuò)散爐配套使用一種推拉舟,用來(lái)將硅片送入爐中和從爐中取出。在該推拉 舟上設(shè)有限位開(kāi)關(guān),用以控制推拉舟進(jìn)入爐中的位置。目前使用推拉舟的限位開(kāi)關(guān)沒(méi)有熱 屏蔽,用于帶升降溫的半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)工藝。由于太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的高效率要求,工藝結(jié)束 后沒(méi)有降溫階段,進(jìn)出料時(shí)由于爐口的高溫烘烤,限位開(kāi)關(guān),特別是前限位開(kāi)關(guān)經(jīng)常會(huì)出現(xiàn) 不動(dòng)作或誤動(dòng)作,直接影響推拉舟的傳動(dòng),導(dǎo)致設(shè)備不能正常運(yùn)轉(zhuǎn);不能滿足規(guī)模化生產(chǎn)的 要求。因此,需要對(duì)其進(jìn)行改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,提出一種推拉舟帶熱屏蔽罩的前限 位裝置。該熱屏蔽罩較好地解決了上述技術(shù)問(wèn)題。 本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技述方案來(lái)解決的推拉舟帶熱屏蔽罩的前限位裝 置,設(shè)有支架、限位開(kāi)關(guān),限位開(kāi)關(guān)固定在支架上,其特征在于所述支架為一個(gè)方筒形,其 下底板上設(shè)有用以在推拉舟上固定的固定孔,下底板對(duì)應(yīng)推拉舟的感應(yīng)片的位置設(shè)有作為 感應(yīng)片進(jìn)出通道的開(kāi)口,在一個(gè)側(cè)壁上設(shè)有固定感應(yīng)片的長(zhǎng)圓槽,所述限位開(kāi)關(guān)可調(diào)節(jié)地 安裝在該長(zhǎng)圓槽中,支架朝向前面的一端為密封,后端開(kāi)放。 本實(shí)用新型的推拉舟帶熱屏蔽罩的前限位裝置,其支架設(shè)計(jì)成方筒狀,固定于推 拉舟上蓋板上,前端靠爐口處封閉,后端開(kāi)放,下側(cè)有開(kāi)口作為感應(yīng)片進(jìn)出的通道, 一側(cè)有 長(zhǎng)圓槽用于安裝限位開(kāi)關(guān)。既利于限位開(kāi)關(guān)的安裝與調(diào)整,方便感應(yīng)片進(jìn)出和有效感應(yīng),又 能對(duì)其進(jìn)行有效的熱保護(hù),保證了設(shè)備的正常運(yùn)行。

圖1是本實(shí)用新型在推拉舟上安裝狀態(tài)的示意圖; 圖2是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明實(shí)施例參見(jiàn)附圖,推拉 舟帶熱屏蔽罩的前限位裝置,設(shè)有支架、限位開(kāi)關(guān),限位開(kāi)關(guān)固定在支架上,所述支架1為 一個(gè)方筒形,其下底板上設(shè)有用以在推拉舟1. 0上固定的固定孔4,下底板對(duì)應(yīng)推拉舟的感 應(yīng)片1. 1的位置設(shè)有作為感應(yīng)片進(jìn)出通道的開(kāi)口 5,在一個(gè)側(cè)壁上設(shè)有固定感應(yīng)片的長(zhǎng)圓 槽2,所述限位開(kāi)關(guān)3可調(diào)節(jié)地安裝在該長(zhǎng)圓槽中,支架朝向前面的一端為密封,后端開(kāi)放。[0009] 本實(shí)施例經(jīng)試用效果非常好c
權(quán)利要求一種推拉舟帶熱屏蔽罩的前限位裝置,設(shè)有支架、限位開(kāi)關(guān),限位開(kāi)關(guān)固定在支架上,其特征在于所述支架(1)為一個(gè)方筒形,其下底板上設(shè)有用以在推拉舟(1.0)上固定的固定孔(4),下底板對(duì)應(yīng)推拉舟的感應(yīng)片(1.1)的位置設(shè)有作為感應(yīng)片進(jìn)出通道的開(kāi)口(5),在一個(gè)側(cè)壁上設(shè)有固定感應(yīng)片的長(zhǎng)圓槽(2),所述限位開(kāi)關(guān)(3)可調(diào)節(jié)地安裝在該長(zhǎng)圓槽中,支架朝向前面的一端為密封,后端開(kāi)放。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種推拉舟帶熱屏蔽罩的前限位裝置,設(shè)有支架、限位開(kāi)關(guān),限位開(kāi)關(guān)固定在支架上,其特征在于所述支架(1)為一個(gè)方筒形,下底板上設(shè)有用以在推拉舟上固定的固定孔(4),正對(duì)著感應(yīng)片的一邊與相鄰側(cè)壁之間設(shè)有作為感應(yīng)片進(jìn)出通道的開(kāi)口(5),在一個(gè)側(cè)壁上設(shè)有感應(yīng)片固定的長(zhǎng)圓槽(2),所述限位開(kāi)關(guān)(3)可調(diào)節(jié)地安裝在該長(zhǎng)圓槽中,支架朝向前面的一端為密封,后端開(kāi)放。本實(shí)用新型適用于做擴(kuò)散爐的推拉舟上的前限位裝置,方便感應(yīng)片進(jìn)出和有效感應(yīng),又能進(jìn)行有效的熱保護(hù),保證設(shè)備的正常運(yùn)行。
文檔編號(hào)F27D5/00GK201440040SQ200920109660
公開(kāi)日2010年4月21日 申請(qǐng)日期2009年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者李補(bǔ)忠, 桂曉波, 郝曉明 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
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